DE102010043768B3 - Lichtlaufzeitkamera - Google Patents
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Abstract
Lichtlaufzeitkamera, mit einem Photosensor (22) und einem Referenzphotosensor (280), die als Photomischdetektoren aufgebaut sind, mit einer Auslesevorrichtung (400), die mit Akkumulationsgates (Ga, Gb) des Photosensors (22) und des Referenzphotosensors (280) verbunden ist, wobei die Auslesevorrichtung (400) zum Auslesen einer elektrischen Größe, die einer an den Akkumulationsgates (Ga, Gb) anliegenden Ladung (qa, qb) entspricht, ausgebildet ist, dadurch gekennzeichnet, dass eine Integrationszeit (t_int), während der Ladungen (qa, qb) an den Akkumulationsgates (Ga, Gb) gesammelt werden, für den Photosensor (22) und den Referenzphotosensor (280) gleich groß ist, und so bemessen ist, dass der Referenzphotosensor (280) während des Betriebs nicht in Sättigung gerät.
Description
- Die Erfindung betrifft ein Lichtlaufzeitkamera und ein Verfahren zum Betreiben einer solchen nach Gattung der unabhängigen Ansprüche.
- Mit Lichtlaufzeit-Kamerasystem sollen nicht nur Systeme umfasst sein, die Entfernungen direkt aus der Lichtlaufzeit ermitteln, sondern insbesondere auch alle Lichtlaufzeit bzw. 3D-TOF-Kamerasysteme, die eine Laufzeitinformation aus der Phasenverschiebung einer emittierten und empfangenen Strahlung gewinnen. Als Lichtlaufzeit bzw. 3D-TOF-Kameras sind insbesondere PMD-Kameras mit Photomischdetektoren (PMD) geeignet, wie sie u. a. in den Anmeldungen
EP 1 777 747 A1 ,US 6 587 186 B2 und auchDE 197 04 496 A1 beschrieben und beispielsweise von der Firma ‚ifm electronic gmbh’ als Frame-Grabber O3D zu beziehen sind. Die PMD-Kamera erlaubt insbesondere eine flexible Anordnung der Lichtquelle und des Detektors, die sowohl in einem Gehäuse als auch separat angeordnet werden können. Selbstverständlich sollen mit dem Begriff Kamera bzw. Kamerasystem auch Kameras bzw. Geräte mit mindestens einem Empfangspixel mit umfasst sein, wie beispielsweise das Entfernungsmessgerät O1D der Anmelderin. - Ferner ist aus der
DE 10 2004 044 581 A1 ein Verfahren und eine Vorrichtung zur laufzeitsensitiven Messung eines Signals bekannt, bei dem Phase und Amplitude eines intensitätsmodulierten Eingangssignals ermittelt werden. Das Eingangssignal wird mit einem ersten Referenzsignal gemischt, wobei die Phase des Signals im Weiteren über ein IQ-Verfahren unter Verwendung einer ungeraden und geraden Autokorrelationsfunktion ermittelt wird. - Aus der
DE 10 2004 016 625 A1 ist ein PMD-System für den Empfang und die Verarbeitung modulierter elektromagnetischer Signale bekannt, bei dem ein Halbleiter für den Empfang und die Umwandlung elektromagnetischer Strahlung in eine elektrische Messgröße ausgebildet ist. Der Halbleiter weist einen Eingang für ein moduliertes Signal sowie mindestens zwei Akkumulationselektroden auf, die mit einer Ausgangselektronik verbunden sind und an deren Ausgang eine Mischung des empfangenen Signals und eines Modulationssignals als elektrisches Signal bereitgestellt wird. - Aufgabe der Erfindung ist es, die Zuverlässigkeit der Distanzmessungen einer Lichtlaufzeitkamera zu verbessern.
- Die Aufgabe wird in vorteilhafter Weise durch die erfindungsgemäße Lichtlaufzeitkamera und das Verfahren zum Betreiben einer solchen entsprechend der unabhängigen Ansprüche gelöst.
- Vorteilhaft ist eine Lichtlaufzeitkamera mit einem Photosensor und einem Referenzphotosensor vorgesehen, bei der beide Sensoren als Photomischdetektoren ausgebildet sind. Eine Auslesvorrichtung ist mit den Akkumulationsgates der beiden Sensoren verbunden und liest dort eine Größe, die einer an den Akkumulationsgates anliegenden Ladung entspricht aus. Die Integrationszeit mit der die Akkumulationsgates betrieben werden, ist für beide Sensoren gleich und ist so bemessen, dass die Akkumulationsgates des Referenzphotosensors während des Betriebs nicht in Sättigung geraten. Es hat sich gezeigt, dass sich bei variierenden Integrationszeiten unter anderem das elektrische Verhalten der Photosensoren verändert, so dass im Einzelfall die Messergebnisse mit unterschiedlichen Integrationszeiten nicht direkt miteinander vergleichbar sind. Um insbesondere bei einer Messung mit Hilfe eines Referenzphotosensors die Messergebnisse als Referenz heranziehen zu können, ist erfindungsgemäß vorteilhaft vorgesehen, die Integrationszeiten für den Photosensor und den Referenzphotosensor gleich groß zu wählen und entsprechend den Erfordernissen des Referenzphotosensors anzupassen.
- Ebenso vorteilhaft ist ein Verfahren vorgesehen, bei dem eine empfangene Strahlung mit einer Modulationsfrequenz gemischt und hiernach eine Phasenverschiebung ermittelt wird, wobei für einen Photosensor eine Phasenverschiebung eines externen Lichts, und für einen Referenzphotosensor ein Phasenverschiebung für ein internes Licht ermittelt wird. Die Integrationszeit für den Referenzphotosensor und den Photosensor ist gleich groß gewählt und so bemessen, dass im Betrieb der Referenzphotosensor nicht in Sättigung gerät.
- In einer weiteren Ausgestaltung ist es vorgesehen, dass Photosensor und Referenzphotosensor als ein gemeinsames Bauelement aufgebaut sind. So ist vorteilhaft gewährleistet, dass beide Sensoren im Wesentlichen den gleichen Umgebungsbedingungen ausgesetzt sind.
- Auch ist es von Vorteil, wenn der Referenzphotosensor und der Photosensors bzw. ein einzelnes PMD-Pixel dieser Sensoren im Wesentlichen die gleichen physikalischen bzw. elektrischen Eigenschaften aufweist.
- Ferner ist es vorgesehen, dass innerhalb eines vorgegebenen Messintervall die Ladungen am Akkumulationsgate des Photosensors mehrfach sequentiell mit der festgelegten Integrationszeit integriert werden und die der Ladung entsprechenden elektrische Größe ausgelesen und aufsummiert wird. So kann in vorteilhafter Weise ein Distanzfehler aufgrund zu geringer Lichtmenge vermieden werden, da aufgrund der Aufsummierung der Ladungen über mehrere Messungen ein im Wesentlichen gleich vertrauenswürdiger Distanzwert ermittelt werden kann.
- Bevorzugt können die Ladungen an den Akkumulationsgates auch solange mehrfach sequentiell ausgelesen wird, bis die Summe der entsprechenden ausgelesenen elektrischen Größe einen Grenzwert überschreitet. Durch ein solches Vorgehen ist es in einfacher Art und Weise möglich sich den Lichtverhältnissen dynamisch anzupassen.
- Nachfolgend wird die Erfindung anhand von Ausführungsbeispielen unter Bezugnahme auf die Zeichnungen näher erläutert.
- Es zeigen schematisch:
-
1 das Grundprinzip einer Lichtlaufzeitkamera nach dem PMD-Prinzip, -
2 eine modulierte Integration der laufzeitverschobenen erzeugten Ladungsträger, -
3 einen Querschnitt eines PMD-Pixel, -
4 eine Abhängigkeit der Amplitude und des Distanzfehlers in Abhängigkeit der einfallenden Lichtmenge, -
5 ein Bauelement mit Photosensor und Referenzphotosensor, -
6 eine lange Integrationszeit und eine Sequenz kurzer Integrationszeiten, -
7 eine Anordnung mit einer Referenzlichtquelle. - Bei der nachfolgenden Beschreibung der bevorzugten Ausführungsformen bezeichnen gleiche Bezugszeichen gleiche oder vergleichbare Komponenten.
-
1 zeigt eine Messsituation für eine optische Entfernungsmessung mit einer Lichtlaufzeit-Kamera, wie sie beispielsweise aus derDE 197 04 496 A1 bekannt ist. - Das Lichtlaufzeit-Kamerasystem
1 umfasst eine Sendeeinheit bzw. ein Beleuchtungsmodul10 mit einer Beleuchtungslichtquelle12 und einer dazugehörigen Strahlformungsoptik15 sowie eine Empfangseinheit bzw. TOF-Kamera20 mit einer Empfangsoptik25 und einem Photosensor22 . Der Photosensor22 weist mindestens ein Pixel, vorzugsweise jedoch ein Pixel-Array, auf und ist insbesondere als PMD-Sensor ausgebildet. Die Empfangsoptik25 besteht typischerweise zur Verbesserung der Abbildungseigenschaften aus mehreren optischen Elementen. Die Strahlformungsoptik15 der Sendeeinheit10 ist vorzugsweise als Reflektor ausgebildet. Es können jedoch auch diffraktive Elemente oder Kombinationen aus reflektierenden und diffraktiven Elementen eingesetzt werden. - Das Messprinzip dieser Anordnung basiert im Wesentlichen darauf, dass ausgehend von der Phasenverschiebung des emittierten und empfangenen Lichts die Laufzeit des emittierten und reflektierten Lichts ermittelt werden kann. Zu diesem Zwecke werden die Lichtquelle
12 und der Photosensor22 über einen Modulator30 gemeinsam mit einer bestimmten Modulationsfrequenz mit einer ersten Phasenlage a beaufschlagt. Entsprechend der Modulationsfrequenz sendet die Lichtquelle12 ein amplitudenmoduliertes Signal mit der Phase a aus. Dieses Signal bzw. die elektromagnetische Strahlung wird im dargestellten Fall von einem Objekt40 reflektiert und trifft aufgrund der zurückgelegten Wegstrecke entsprechend phasenverschoben mit einer zweiten Phasenlage b auf den Photosensor22 . Im Photosensor22 wird das Signal der ersten Phasenlage a des Modulators30 mit dem empfangenen Signal, das die laufzeitbedingte zweiten Phasenlage b aufweist, gemischt, wobei aus dem resultierenden Signal die Phasenverschiebung bzw. die Objektentfernung1 ermittelt wird. - Dieses Grundprinzip ist schematisch in
2 dargestellt. Die obere Kurve zeigt den zeitlichen Verlauf der Modulationsfrequenz mit der die Beleuchtung12 und der Photosensor22 angesteuert werden. Das vom Objekt40 reflektierte Licht b trifft entsprechend seiner Lichtlaufzeit tL phasenverschoben auf den Photosensor22 . Der Photosensor22 sammelt die photonisch erzeugten Ladungen q während der ersten Hälfte der Modulationsperiode in einem ersten Akkumulationsgate Ga und in der zweiten Periodenhälfte in einem zweiten Akkumulationsgate Gb. Die Ladungen werden typischerweise über mehrere Modulationsperioden gesammelt bzw. integriert. Aus dem Verhältnis der im ersten und zweiten Gate Ga, Gb gesammelten Ladungen qa, qb lässt sich die Phasenverschiebung und somit eine Entfernung des Objekts bestimmen. -
3 zeigt einen Querschnitt durch einen Pixel eines Photomischdetektors wie er beispielsweise aus derDE 197 04 496 C2 bekannt ist. Die mittleren Modulationsphotogates Gam, G0, Gbm bilden den lichtsensitiven Bereich eines PMD-Pixels. Entsprechend der an den Modulationsgates angelegten Spannung werden die photonisch erzeugten Ladungen q entweder zum einen oder zum anderen Akkumulationsgate Ga, Gb gelenkt. -
3b zeigt einen Potenzialverlauf bei dem die Ladungen q in Richtung des ersten Akkumulationsgates Ga abfliesen, während das Potenzial gemäß3c die Ladung q in Richtung des zweiten Akkumulationsgates Gb fließen lässt. Die Potenziale werden entsprechend der anliegenden Modulationsfrequenz vorgegeben. Je nach Anwendungsfall liegen die Modulationsfrequenzen vorzugsweise in einem Bereich von 1 bis 100 MHz. Bei einer Modulationsfrequenz von beispielsweise 1 MHz ergibt sich eine Periodendauer von einer Mikrosekunde, so dass das Modulationspotenzial dementsprechend alle 500 Nanosekunden wechselt. - In
3a ist ferner eine Ausleseeinheit400 dargestellt, die gegebenenfalls bereits Bestandteil eines als CMOS ausgebildeten PMD-Photosensors sein kann. Die als Kapazitäten ausgebildeten Akkumulationsgates Ga, Gb integrieren die photonisch erzeugten Ladungen aber eine Vielzahl von Modulationsperioden. In bekannter Weise kann die dann an den Gates Ga, Gb anliegende Spannung beispielsweise über die Ausleseeinheit400 hochohmig abgegriffen werden. Die Integrationszeiten so sind vorzugsweise so zu wählen, dass für die zu erwartende Lichtmenge der Photosensor bzw. die Akkumulationsgates und/oder die lichtsensitiven Bereiche nicht in Sättigung geraten. -
4 zeigt schematisch die Abhängigkeit einer elektrischen Größe des Photosensors bzw. eines Akkumulationsgates von der Lichtmenge. Die Lichtmenge bestimmt sich in bekannter Weise aus dem Lichtstrom und der Bestrahlungsdauer. Proportional zur Lichtmenge werden Ladungsträger im photosensitiven Bereich Gam, G0, Gbm erzeugt und entsprechend der Modulationsfrequenz phasenkorreliert auf die Akkumulationsgates Ga, Gb verteilt. Diese Ladungen können entweder als Spannungssignal bzw. -Amplitude hochohmig am Gate abgegriffen oder ggf. bei einer Entladung der Gates als Strom gemessen werden. Diese elektrischen Größen entsprechen somit dem phasenkorrelierten Lichtstrom bzw. der entsprechenden Lichtmenge. - Der mögliche Dynamikbereich erstreckt sich typischerweise über mehrere Größenordnungen. Die Größe des Dynamikbereiches hängt im Wesentlichen von der Fläche der photosensitiven Schicht eines Pixels sowie der Kapazität der Akkumulationsgates ab. Die Integrationszeit für den Photosensor bzw. einem einzelnen Pixel wird vorzugsweise so festgelegt, dass für den Anwendungsfall der Sensor nicht in die Sättigung gerät. Mit abnehmender Lichtmenge bzw. analog mit abnehmender Integrationszeit nimmt jedoch das Potenzial am Akkumulationsgate immer mehr ab und bewirkt unter anderem aufgrund des abnehmenden Signal/Rausch-Verhältnisses eine zunehmende Unsicherheit bei der Entfernungsbestimmung, so wie es mit der gestrichelten Kurve der Standardabweichung in
4 dargestellt ist. Die untere Grenze des Arbeitsbereichs der Integrationszeit ist daher so zu wählen, dass ein zu erwartender Distanzfehler noch innerhalb einer zulässigen Toleranz bzw. Standardabweichung liegt, wobei die obere Grenze vorzugsweise unterhalb der Sättigung liegen sollte. -
5 zeigt ein Photosensorbauelement23 mit einem Photosensorbereich22 mit mehreren PMD-Pixel sowie einem Referenzsensor280 auf bzw. in demselben Bauelement23 . Der Referenzphotosensor280 wird über einen Lichtkanal265 vorzugsweise mit einem modulierten, internen Licht beleuchtet. Das interne Licht kann beispielsweise von einer Referenzlichtquelle stammen oder direkt von der Beleuchtungslichtquelle beispielsweise über einen Lichtleiter bzw. Lichtkanal265 auf den Referenzphotosensor280 gelenkt werden. - Das interne Licht wird dem Referenzphotosensor vorzugsweise mit einer Modulationsfrequenz zur Verfügung gestellt, mit der auch die Beleuchtungsquelle betrieben wird. Vereinfacht sollte am Referenzphotosensor
280 bei einer Beleuchtung mit einem solchen nicht-phasenverschobenen Licht im Ergebnis im Wesentlichen ein Entfernungswert von Null ermittelt werden. Dieses Referenzergebnis muss selbstverständlich nicht zwangsläufig einem elektrischen Nullsignal entsprechen, sondern sollte zumindest innerhalb tolerierter Grenzen als Referenzwert reproduzierbar sein. - Über das Verhalten des Referenzphotosensors bzw. eines ermittelten Referenzwertes können beispielsweise temperaturbedingte Verschiebungen der Distanzmessungen oder gegebenenfalls auch Alterungen des Sensors, der Lichtquelle oder ähnliches kompensiert werden. Im in der
5 dargestellten Aufbau wird der Referenzphotosensor280 vorzugsweise mit derselben Modulationsfrequenz und Integrationszeit betrieben wie der librige Photosensor22 . Damit bei diesen vorgegebenen Integrationszeiten der Referenzphotosensor280 nicht in die Sättigung gelangt, kann über den Lichtkanal265 beispielsweise das von der Beleuchtungsquelle ausgekoppelte Licht so bemessen werden, dass der Referenzphotosensor280 nicht in die Sättigung gelangt. - Erfindungsgemäß ist es jedoch nun vorgesehen, nicht bzw. nicht nur das dem Referenzphotosensor
280 intern zugefügte Licht, sondern die Integrationszeiten zu beeinflussen. Beispielsweise kann in einer Kalibrierphase wird die Integrationszeit vorzugsweise so eingestellt werden, dass der Referenzphotosensor280 kurz unterhalb seiner Sättigung bzw. einer Sättigungsgrenze in einem optimalen Arbeitsbereich betrieben werden kann. Erfindungsgemäß ist es dann ferner vorgesehen, auch den übrigen Photosensor22 mit Integrationszeit des Referenzphotosensors280 zu betreiben, um die die Vergleichbarkeit der Referenz- und Distanzmessungen zu verbessern. - In
6 ist exemplarisch ein möglicher Betrieb eines Photosensors22 mit mehreren Messintervallen gezeigt, innerhalb derer über dem gesamten Messintervall die Ladungsintegrationen sequenziell durchgeführt werden. Die Messintervalle sind vorzugsweise so bemessen, dass an den Akkumulationsgates Ga, Gb über diese Zeit eine ausreichende Menge an Ladungsträgern q für eine zuverlässige Messung gesammelt werden können. Erfindungsgemäß ist es vorgesehen, die Akkumulationsgates Ga, Gb nach jeder Integration auszulesen und die Ladung bzw. eine entsprechende elektrische Größe aufzusummieren. - Es kann auch vorgesehen sein, für verschiedene Messintervalle das Modulationssignal des Modulators
30 zwischen der Lichtquelle12 und dem Photosensor22 bzw. Referenzphotosensors280 in der Phase zu verschieben. Bevorzugt sind für die verschiedenen Messintervalle Phasenverschiebungen Δφ von 0°, 90°, 180°, 270° vorgesehen. Ausgehend von den Ergebnissen dieser Phasenmessung lässt sich in bekannter Weise ein zuverlässiger Distanzwert ermitteln. -
7 zeigt eine Anordnung gemäß5 , bei der jedoch das interne Licht für den Referenzphotosensor280 nicht von der Beleuchtungsquelle12 bzw. Sendeeinheit10 selbst ausgekoppelt wird, sondern von einer Referenzlichtquelle260 . Dieses Vorgehen hat den Vorteil, dass der Referenzphotosensor280 ggf. auch unabhängig von der Sendeeinheit10 betrieben werden kann. So ist es beispielsweise möglich den Referenzphotosensor280 mit einem Licht mit unterschiedlichen Modulationsfrequenzen oder auch Amplituden zu beaufschlagen. Weichen die gemessenen Ergebnisse von den erwarteten ab, können dann ggf. verschiedene Fehlerreaktionen oder auch Kalibriermaßnahmen eingeleitet werden. - Darüber hinaus kann es auch vorgesehen sein, den Referenzphotosensor
280 als separates Bauelement auszuführen. - Insbesondere ist es auch denkbar, den Referenzphotosensor
280 in die Nähe der Beleuchtungslichtquelle12 zu positionieren, so dass der Referenzphotosensor280 direkt oder ggf. indirekt über Reflektionen Licht von der Beleuchtungslichtquelle12 ohne Verwendung eines Lichtleiters empfangen kann. Dieses Vorgehen ist insbesondere dann von Interesse, wenn der Referenzphotosensor280 auch zur Überwachung der Beleuchtungslichtquelle12 verwendet wird. - Bezugszeichenliste
-
- 10
- Sendeeinheit
- 12
- Beleuchtungslichtquelle
- 15
- Strahlformungsoptik
- 20
- Empfangseinheit, TOF-Kamera
- 22
- Photosensor
- 23
- Photosensor-Bauelement
- 265
- Lichtkanal
- 280
- Referenzphotosensor, -pixel, -pixelstruktur
- 25
- Empfangsoptik
- 30
- Modulator
- 40
- Objekt
- 400
- Ausleseeinheit
- 500
- Bauelementeträger
- Gam, G0, Gbm
- Modulationsphotogate
- Ga,
- Gb Akkumulationsgate
- q
- Ladungen
- qa,
- qb Ladungen am Akkumulationsgate Ga, Gb
Claims (7)
- Lichtlaufzeitkamera, mit einem Photosensor (
22 ) und einem Referenzphotosensor (280 ), die als Photomischdetektoren aufgebaut sind, mit einer Auslesevorrichtung (400 ), die mit Akkumulationsgates (Ga, Gb) des Photosensors (22 ) und des Referenzphotosensors (280 ) verbunden ist, wobei die Auslesevorrichtung (400 ) zum Auslesen einer elektrischen Größe, die einer an den Akkumulationsgates (Ga, Gb) anliegenden Ladung (qa, qb) entspricht, ausgebildet ist, dadurch gekennzeichnet, dass eine Integrationszeit (t_int), während der Ladungen (qa, qb) an den Akkumulationsgates (Ga, Gb) gesammelt werden, für den Photosensor (22 ) und den Referenzphotosensor (280 ) gleich groß ist, und so bemessen ist, dass der Referenzphotosensor (280 ) während des Betriebs nicht in Sättigung gerät. - Lichtlaufzeitkamera nach Anspruch 1, bei der der Referenzphotosensor (
280 ) und der Photosensors (22 ) oder ein einzelnes PMD-Pixel dieser Sensoren (280 ,22 ) im Wesentlichen die gleichen physikalischen und elektrischen Eigenschaften aufweist. - Lichtlaufzeitkamera nach einem der vorhergehenden Ansprüche, bei der der Referenzphotosensor (
280 ) und der Photosensor (22 ) als ein gemeinsames Photosensorbauelement (23 ) aufgebaut sind. - Lichtlaufzeitkamera nach einem der vorhergehenden Ansprüche, bei der die Auslesevorrichtung (
400 ) so ausgestaltet ist, dass innerhalb eines vorgegebenen Messintervalls (t_mess) die Ladungen am Akkumulationsgate (Ga, Gb) des Photosensors (22 ) mehrfach sequentiell mit der festgelegten Integrationszeit (t_int) integriert werden und die der Ladung entsprechenden elektrischen Größe ausgelesen und aufsummiert wird. - Verfahren zum Betreiben einer Lichtlaufzeitkamera nach einem der vorhergehenden Ansprüche, bei dem eine empfangene Strahlung mit einer Modulationsfrequenz gemischt und hiernach eine Phasenverschiebung ermittelt wird, wobei für einen Photosensor (
22 ) eine Phasenverschiebung eines externen Lichts, und für einen Referenzphotosensor (280 ) eine Phasenverschiebung für ein internes Licht ermittelt wird, dadurch gekennzeichnet, dass eine Integrationszeit (t_int) für den Referenzphotosensor (280 ) und den Photosensor (22 ) gleich groß ist und so bemessen ist, dass im Betrieb der Referenzphotosensor (280 ) nicht in Sättigung gerät. - Verfahren nach einem der vorhergehenden Verfahrensansprüche, bei dem innerhalb eines vorgegebenen Messintervalls die Ladungen am Akkumulationsgate (Ga, Gb) des Photosensors (
22 ) mehrfach sequentiell mit der festgelegten Integrationszeit integriert werden und die der Ladung (qa, qb) entsprechenden elektrischen Größe ausgelesen und aufsummiert wird. - Verfahren nach einem der vorhergehenden Verfahrensansprüche, bei dem die Ladungen an den Akkumulationsgates (Ga, Gb) solange mehrfach sequentiell ausgelesen werden, bis die Summe der entsprechenden ausgelesenen elektrischen Größe einen Grenzwert überschreitet.
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