DE102009011960A1

DE102009011960A1 - Verfahren zur Überwachung von Plasma-Entladungen

Info

Publication number: DE102009011960A1
Application number: DE102009011960A
Authority: DE
Inventors: Hartmut Dipl.-Phys.-Ing. Bauch (FH); Matthias Dr. Bicker
Original assignee: Schott AG
Current assignee: Schott AG
Priority date: 2009-03-10
Filing date: 2009-03-10
Publication date: 2010-09-23
Anticipated expiration: 2029-03-11
Also published as: CN101832928A; EP2228818B1; EP2228818A3; CN101832928B; DE102009011960B4; US20100231194A1; EP2228818A2

Abstract

Vorgeschlagen werden ein Verfahren und eine Vorrichtung (MON) zur Überwachung von Plasma-Entladungen während eines Oberflächen-Behandlungsverfahrens, bei dem Elektroden in einem gasförmigen Medium zur Erzeugung von Plasma mit einer Wechselspannung (U) beaufschlagt werden, wobei die Vorrichtung (MON) Detektormittel (M1) zum Erfassen eines Messsignals enthält, das eine Messgröße (I) für die durch die Wechselspannung (U) in dem Medium erzeugte elektrische Energie darstellt. Außerdem sind Trennmittel (M2) vorgesehen zum Separieren von Signalanteilen des Messsignals (I), die oberhalb einer vorgebbaren Frequenz liegen, und sind Auswertungsmittel (M3) vorgesehen zum Auswerten der separierten Signalanteile des Messsignals (I) durch Vergleich mit mindestens einer vorgebbaren Referenz. Vorzugsweise erfolgt die Erzeugung eines Plasmas mittels einer dielektrischen Barriere-Entladung, wobei als Messgröße dann ein das Medium durchdringender elektrischer Strom, insbesondere ein dielektrischer Verschiebestrom (I), gemessen wird.

Description

Die Erfindung betrifft ein Verfahren und eine Vorrichtung zur Überwachung von Plasma-Entladungen nach dem Oberbegriff des Anspruchs 1 bzw. des nebengeordneten Anspruchs. Insbesondere betrifft die Erfindung ein Verfahren sowie eine Vorrichtung zur Überwachung von Plasma-Entladungen (auch Plasma-Zündungen genannt) während eines Oberflächen-Behandlungsverfahrens, bei dem Elektroden in einem gasförmigen Medium zur Erzeugung von Plasma mit einer Wechselspannung beaufschlagt werden. Darunter fallen beispielsweise Verfahren, bei denen Plasma zur Beschichtung und Modifikation von Oberflächen diverser Produkte, wie etwa pharmazeutischer Packmittel aus Glas und/oder Kunststoff, erzeugt wird. Bei solchen Verfahren kommt oft auch die sog. dielektrische Barriere-Entladung (Englisch: „Dieleetric Barrier Discharge”), kurz auch als DBD bezeichnet, zum Einsatz. Hierbei werden durch Einwirkung Wechselspannungen von z. B. 10–100 kHz und unter dielektrischer Abschirmung einer Elektrode kurzzeitige, nur wenige Mikrosekunden dauernde Plasma-Entladungen erzeugt.
Die Stabilität der Plasma-Entladungen und somit auch die Qualität solcher Oberflächen-Behandlungsverfahren hängt von mehreren Bedingungen, wie z. B. Druck, Gasfluss, Gas-Zusammensetzung und Oberflächen-Beschaffenheit ab. Deshalb müssen bei der industriellen Anwendung solcher Oberflächen-Behandlungsverfahren geeignete Messmethoden und -mittel zur Überwachung der Plasma-Entladungen eingesetzt werden.
Bekannt sind Verfahren und Vorrichtungen zur Überwachung von Plasma-Entladungen mittels optischer Überwachung der Lichtemission, welche bei auftretenden Plasma-Entladungen durch die damit einhergehende Erzeugung von Photonen erfasst werden können. Beispielsweise wird anhand der Intensität der Lichtemission und insbesondere durch spektraloptische Diskriminierung derselben der Ablauf des Behandlungsprozesses überwacht und gesteuert. Diese Vorgehensweise, die auch als „Optical Emission Spectroscopy”, kurz OES, bezeichnet wird ist beispielsweise in folgenden Offenlegungsschriften offenbart: US-A-2003223055 , EP-A-1630848 sowie EP-A-0821079 . Das OES-Verfahren hat jedoch den Nachteil, dass ein hoher Realisierungsaufwand durch Einsatz von optoelektronischen Komponenten, Filtern, Spektrometern und dergleichen erforderlich ist.
Es sind auch andere Verfahren zur Überwachung von Plasma-Entladungen bekannt, die eingesetzt werden, wenn das Plasma durch Einwirkung von RF-Energie erzeugt wird. Hierbei bewirkt eine hochfrequente Wechselspannung von z. B. 13 MHz eine Plasma-Erzeugung im stationären Zustand. Zur Überwachung des Vorgangs wird mittels einer sog. Match-Box die Plasma-Impedanz gemessen. Solche Verfahren sind beispielsweise in folgenden Patent- bzw. Offenlegungsschriften beschrieben: US-B-6291999 sowie US-A-5576629 . Aus der Patentschrift US-B-7169625B ist sogar ein Verfahren zur Überwachung von Plasma-Entladungen bekannt, bei dem eine Kombination von Messungen der optischen Lichtemission (OES) und der RF-Parameter vorgeschlagen wird, wobei jedoch nicht näher beschrieben wird, welche RF-Parameter wie gemessen werden sollen. Auch diese bekannten Verfahren erfordern einen recht hohen Aufwand an Messinstrumenten und -geräten.
Demnach ist es Aufgabe der vorliegenden Erfindung, ein Verfahren und eine Vorrichtung zum Überwachen von Plasma-Entladungen vorzuschlagen, die möglichst einfach und kostengünstig zu realisieren sind. Insbesondere soll ein Verfahren und eine Vorrichtung zur Überwachung von Plasma-Entladungen vorgeschlagen werden, die besonderes vorteilhaft im Zusammenhang mit dielektrischer Barriere-Entladung (DBD) eingesetzt werden können.
Gelöst wird die Aufgabe durch ein Verfahren mit den Merkmalen des Anspruchs 1 sowie durch eine Vorrichtung mit den Merkmalen des nebengeordneten Anspruchs.
Demnach wird vorgeschlagen, zuerst ein Messsignal zu erfassen, das eine Messgröße für die durch die Wechselspannung in dem Medium erzeugten elektrischen Energie darstellt, dann solche Signalanteile des Messsignals zu separieren bzw. getrennt zu detektieren, welche oberhalb einer vorgebbaren Frequenz liegen, und schließlich die separierten Signalanteile des Messsignals durch Vergleich mit mindestens einer vorgebbaren Referenz bzw. Mustervorgabe auszuwerten. Die erfindungsgemäße Vorrichtung weist dazu Detektormittel, Trennmittel sowie Auswertungsmittel auf.
Durch die Erfindung wird eine zeitaufgelöste direkte Messung der elektrischen Energie ermöglicht, welche vorzugsweise durch Messung des elektrischen Stroms bei aufgeprägter Spannung durchgeführt werden kann. Durch Anwendung von Separation und Auswertung des Messsignals, vorzugsweise innerhalb einer entsprechenden Signalverabeitung, kann dann ein für die Plasma-Eigenschaften relevantes Nutzsignal [jsl]extrahiert werden. Vorzugsweise wird bei Einsatz von DBD als Messgröße ein das Medium durchdringender Strom, insbesondere ein dielektrischer Verschiebestrom, gemessen. Dies kann beispielsweise anhand eines Messwiderstandes erfolgen, der einen Spannungsabfall erzeugt und ein zu dem Strom proportionales Spannungssignal abgibt. Von dem gemessenen Signal werden die Signalanteile mit höheren Frequenzen separiert, wobei hierzu eine Filterung und/oder eine Spektralanalyse, insbesondere eine Fast-Fourier Analyse, eingesetzt werden kann. Die betrachteten Signalanteile liegen vorzugsweise oberhalb einer anregenden Frequenz, wobei die anregende Frequenz z. B. 10–100 kHz betragen kann.
Nicht nur das Separieren der Signalanteile, sondern auch das Auswerten der separierten Signalanteile kann mittels einer Spektralanalyse, insbesondere einer Fast-Fourier Analyse, durchgeführt werden, wobei die den Signalanteilen entsprechenden Spektralanteile mit einem als Referenz dienenden Referenzspektrum verglichen werden. Das Referenzspektrum wird vor dem Auftreten einer Plasma-Entladung bzw. -Zündung aufgenommen. Alternativ dazu kann das Auswerten der aufgetretenen Signalanteile auch mittels einer Differenzenbildung durchgeführt werden, bei der die Signalanteile des Messsignals mit einem Referenzsignal verglichen werden. Auch das Referenzsignal wurde vor dem Auftreten einer Plasma-Zündung aufgenommen.
Zur Auswertung der hier interessierenden Hochfrequenz-Signalanteile kann ein Schwellwert herangezogen werden, der beispielsweise einem Signalwert (Betrag, Phase) im Spektralbereich (Betrag, Phase) oder im Zeitbereich (Signalverlauf) entspricht.
Diese und weitere vorteilhafte Ausgestaltungen ergeben sich auch aus den Unteransprüchen.
Nachfolgend wird die Erfindung eingehender anhand eines Ausführungsbeispieles und unter Zuhilfenahme der beiliegenden Figuren, näher beschrieben, wobei:
1 das elektrische Ersatzschaltbild für eine Anordnung zur Erzeugung eines Plasmas zur Beschichtung einer pharmazeutischen Verpackung, wie z. B. einer Spritze, zeigt;
2 den Messsignal-Verlauf vor dem Auftreten von Plasma-Entladungen zeigt;
3 den Messsignal-Verlauf bei auftretenden Plasma-Entladungen zeigt;
4 passend zur 2 aber nun über ein längeres Zeitintervall den Messsignal-Verlauf ohne auftretende Plasma-Entladungen und das daraus gewonnene Messsignal-Spektrum zeigt;
5 passend zur 3 aber nun über ein längeres Zeitintervall den Messsignal-Verlauf bei auftretenden Plasma-Entladungen und das daraus gewonnene Messsignal-Spektrum zeigt; und
6 ein Ablaufdiagramm für das erfindungsgemäße Verfahren zeigt.
Die 1 zeigt in Form eines Blockschaltbildes das elektrische Ersatzschaltbild für eine Anordnung zur Erzeugung eines Plasmas durch dielektrische behinderte Barriere-Entladung (DBD). Im Ersatzschaltbild stellt die Anordnung einen mit einem Dielektrikum DIEL versehenen Kondensator dar, in dem beim Anlegen einer elektrischen Wechselspannung U_HV einen dielektrischen Verschiebestrom I erzeugt wird. Hier wird von einem Generator G beispielsweise eine sinusförmige Wechselspannung U_HV mit einer Amplitude von 2 kV und einer Frequenz von 15 kHz erzeugt und an die Elektroden innerhalb einer Plasma-Kammer PK angelegt, wobei eine der Elektroden mit einem Dielektrikum (z. B. Glasplatte) abgeschirmt ist, um einen ohmschen Kurzschluss zu vermeiden. Somit wird ausschließlich ein dielektrischer Verschiebestrom I erzeugt, der an einer der Zuleitungen über einen Messwiderstand R als entsprechender Spannungsabfall U_R abgegriffen werden kann und der Überwachungs-Vorrichtung MON zugeführt werden kann.
So lange keine Plasma-Entladung auftritt, fließt ein dielektrischer Verschiebestrom I, der idealerweise rein sinusförmig ist und der erzeugenden Spannung U_HV phasenversetzt folgt (siehe auch 2). Dieser Strom I wird als Messgröße durch die erfindungsgemäße Vorrichtung MON erfasst, um den in dem Medium bzw. der Plasma-Kammer PK auftretende Plasma-Entladungen zu überwachen. Bei den in 2 und 3 dargestellten Amplitudenverläufe über der Zeitachse wird von folgendem Rastermaße (Kästchen) ausgegangen: Auf der Zeitachse entspricht ein Kästchen 2 Mikrosekunden; auf der Amplitudenachse entspricht ein Kästchen 1000 Volt bzw. 10 Milli-Ampere.
Wie auch diese Figuren verdeutlichen, liegt der Erfindung liegt die Erkenntnis zu Grunde, dass bereits durch Messung des Stromes I oder einer vergleichbaren Messgröße der Energiezustand in der Plasma-Kammer PK und insbesondere das Auftreten von Plasma-Entladungen bzw. Plasma-Zündungen zuverlässig erkannt werden können. Daher sind keine optischen Messmittel oder dergleichen erforderlich. Zudem können durch Auswertung der Messgröße I auch Erkenntnisse über die Quantität und Qualität der Plasma-Entladungen gewonnen werden.
Denn bei Auftreten von Plasma-Entladungen erhöht sich sprunghaft der elektrische Strom I für eine begrenzte Zeitdauer, wobei ein charakteristischer Signalverlauf zu erkennen ist (siehe in 3 den eingekreisten Bereich). Dies ergibt sich daraus, dass im Bereich der maximalen Amplituden der Wechselspannung U_HV oberhalb einer systembedingten Feldstärke sich das wirksame Dielektrikum DIEL ändert und die Impedanz geringer wird, so dass der Strom I sprunghaft ansteigt und eine Plasma-Zündung entsteht. Dann reduziert sich im zeitlichen Verlauf der Wechselspannung der Amplitudenwert U_HV wieder und das Plasma erlischt; der Strom I entspricht dann wieder dem rein sinusförmig verlaufendem dielektrischen Verschiebestrom. Beim Auftreten des Plasmas entstehen somit im oberen Bereich der positiven sowie im unteren. Bereich der negativen Halbwelle periodisch auftretende Stromimpulse (siehe 3), die typische Ausprägungen haben und somit jeweils eine Plasma-Zündung anzeigen.
Mit anderen Worten schlägt die Erfindung eine zeitaufgelöste Messung der elektrischen Energie vor, hier in Form einer Strommessung bei aufgeprägter Spannung. Durch die Anwendung von einzelnen oder kombinierten Signalverarbeitungs-Funktionen, wie z. B. Diskriminatoren, Hoch- und Tiefpassfilter, Fourier-Transformationen, Spektrumsanalyse, kann aus den gemessenen Signalen somit ein Nutzsignal extrahiert werden, das die Plasma-Eigenschaften widerspiegelt. Mittels geeigneter nachgeschalteter Auswertelogik bzw. intelligenter Rechnertechnik lässt sich dies auch vorteilhaft durch hierfür angepasste Software erzielen. Das erzeugte Nutzsignal lässt sich nicht nur zu einer Prozessüberwachung, sondern auch zur Prozessregelung, einsetzen.
Die Erfindung schlägt also vor, das Auftreten eines elektrischen Pulssignals zu überwachen, um dann daraus das Auftreten einer Gasentladung bzw. Gaszündung zu erkennen, wobei die Überwachungs-Vorrichtung MON (s. 1) hierzu über entsprechende Mittel bzw. Einheiten verfügt, insbesondere über Detektormittel M1, die das Messignal erfassen, über Trennmittel M2, die daraus die höherfrequenten Signalanteile separieren, und über Auswertemittel M3, die die Signalanteile mittels Vergleich auswerten.
Zur weiteren Verdeutlichung der Erfindung zeigt die 4 den zeitlichen Verlauf der elektrischen Wechselspannung U_HV über einen größeren Zeitraum und den sich ergebenden dielektrischen Verschiebestrom I. Im unteren Bereich des Bildes ist die spektrale Darstellung der Fourier-Transformierten FFT des Stromsignals I dargestellt. Die 4 bezieht sich auf den Zeitraum vor einer Plasmazündung. Demnach sind insbesondere in den höheren Frequenzbereichen ab etwa 500 kHz keine nennenswerten Spektralanteile vorhanden.
Die 5 bezieht sich auf die Situation, bei der eine Plasma-Entladung bzw. Plasma-Zündung auftritt. Auch hier sind die Wechselspannung U_HV, der Strom I sowie die Fourier-Transformierte FFT davon eingezeichnet. Deutlich zu erkennen ist, dass nun auch in den höheren Frequenzbereichen nennenswerte Spektralanteile vorhanden sind.
Die 6 zeigt schließlich den Ablauf des erfindungsgemäßen Verfahrens 100 mit den Schritten 110 bis 130. Das Verfahren 100 umfasst insbesondere folgende Schritte (siehe dazu auch die zuvor beschriebenen 1 bis 5):
In einem ersten Schritt 110 wird ein Messsignal erfasst, das eine Messgröße, hier also den Strom I, für die durch die Wechselspannung U_HV in dem Medium erzeugte elektrische Energie darstellt. In einem nächsten Schritt 120 werden dann diejenigen Signalanteile des Messsignals getrennt, die oberhalb einer anregenden Frequenz liegen. Hier die anregende Frequenz etwa 100 kHz, die getrennten Signalanteile liegen oberhalb davon im Bereich von z. B. 500 kHz. In einem weiteren Schritt 130 werden dann die separierten Signalanteile des Messsignals I durch Vergleich mit mindestens einer vorgebbaren Referenz ausgewertet. Die Erfindung schlägt also vor, das Auftreten eines elektrischen Pulssignals zu überwachen, um dann daraus das Auftreten einer Gasentladung bzw. Gaszündung zu erkennen.
Das Verfahren und die danach arbeitende Vorrichtung MON (siehe 1) sind insbesondere für die Überwachung von dielektrisch behinderten Barriere-Entladungen geeignet. Hierbei wird atmosphärisches Plasma innerhalb eines Hohlkörpers von Glas, Kunststoff o. ä. erzeugt. Als gasförmiges Medium wird Helium oder Argon oder auch eine Mischung beider Gase eingesetzt. Ein Hochspannungsgenerator G mit einer Ausgangsleistung von z. B. 10 kW (SS) steht zur Verfügung. Die Wechselspannung U_HV kann eine Frequenz von beispielsweise 10 bis 100 kHz aufweisen, die der anregenden Frequenz entspricht. Die Wechselspannung U_HV wird an eine in dem Hohlkörper sich befindende Spitze bzw. Elektrode geführt. Außen um den Hohlkörper herum befindet sich als Gegenelektrode eine metallische Hülse. Das gasförmige Medium wird durch spezielle Bohrungen in den Hohlkörper geleitet. Somit stellt die Anordnung den in 1 dargestellten koaxialförmigen Kondensator dar. Beim Anlegen der Wechselspannung U_HV fließt dann ein um 90° phasenverschobener, dielektrischer Verschiebestrom I. Sobald das Plasma entsteht, bildet dieses wechselstrommäßig einen Teil-Kurzuschluß über dem Gasraum zwischen Mittelelektrode und Glaswandung.
Die 3 und 4 zeigen Verläufe von Spannungen, Strom sowie die Spektralanalyse für den hier geschilderten Anwendungsfall. Beispielsweise wird mittels einer schnellen Fourier-Transformation das Stromsignal einer Spektralanalyse unterzogen. Im Falle einer Plasma-Zündung zeigt sich so im Spektrum des Messsignals ein hoher Anteil an hochfrequenten Spektralanteilen. Die anhand des Messsignals und der Spektralanalyse ausgewerteten Spektralfrequenzen und/oder deren Amplituden lassen sich dann leicht empirisch mit den vorherrschenden Plasmabedingungen, wie z. B. Druck, Gasflüsse und -zusammensetzung, Oberflächenbeschaffenheit und dergleichen, in Koordination bringen. Hierdurch ist eine Überwachung von Plasma-Entladungen unter Einsatz von wenigen Messmitteln möglich. Auch lässt sich die Gesamtprozessregelung hiermit steuern.
Bezugszeichenliste

G

Hochspannungs-Generator

U_HV

Wechselspannung (20–100 kHz)

DIEL

Dielektrikum

PK

Plasmakammer

MON

Überwachungs-Vorrichtung

M1

Detektormittel (einschl. Widerstand R)

M2

Trennmittel (hier Filter)

M3

Auswertemittel (einschl. FFT-Analyser)

R

Messwiderstand

I

Messgröße bzw. Messignal (hier dielektrischer Verschiebestrom)

U_R

Spannungsabfall (Messspannung)

FFT

Spektrum des Messsignales I

ZITATE ENTHALTEN IN DER BESCHREIBUNG
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Zitierte Patentliteratur

- US 2003223055 A [0003]
- EP 1630848 A [0003]
- EP 0821079 A [0003]
- US 6291999 B [0004]
- US 5576629 A [0004]
- US 7169625 B [0004]

Claims

Verfahren (100) zur Überwachung von Plasma-Entladungen während eines Oberflächen-Behandlungsverfahrens, bei dem Elektroden in einem gasförmigen Medium zur Erzeugung von Plasma mit einer Wechselspannung (U_HV) beaufschlagt werden, gekennzeichnet durch folgende Schritte: Erfassen eines Messsignales, das eine Messgröße (I) für die durch die Wechselspannung (U_HV) in dem Medium erzeugte elektrische Energie darstellt (Schritt 110); Separieren von Signalanteilen des Messsignales (I), die oberhalb einer vorgebbaren Frequenz liegen (Schritt 120); Auswerten der separierten Signalanteile des Messsignales (I) durch Vergleich mit mindestens einer vorgebaren Referenz (Schritt 130).
Verfahren (100) nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die Erzeugung des Plasmas mittels einer dielektrischen Barriere-Entladung erfolgt.
Verfahren (100) nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, dass als Messgröße ein das Medium durchdringender elektrischer Strom, insbesondere ein dielektrischer Verschiebestrom (I), gemessen wird (Schritt 110).
Verfahren (100) nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass das Separieren der Signalanteile des Messsignales (I) mittels einer Filterung und/oder einer Spektralanalyse, insbesondere einer Fast-Fourrier-Analyse (FFT), durchgeführt wird (Schritt 120).
Verfahren (100) nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass zum Separieren der Signalanteile des Messsignales (I) eine oberhalb einer anregenden Frequenz liegenden Frequenz vorgegeben wird (Schritt 120).
Verfahren (100) nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass das Auswerten der separierten Signalanteile des Messsignales (I) mittels einer Spektralanalyse, insbesondere einer Fast-Fourrier-Analyse (FFT), durchgeführt wird, wobei die den Signalanteilen entsprechenden Spektralanteile mit einem als Referenz dienendem Referenzspektrum verglichen werden (Schritt 130).
Verfahren (100) nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, dass das Referenzspektrum vor dem Auftreten einer Plasma-Entladung aufgenommen wird.
Verfahren (100) nach einem der Ansprüche 1 bis 5, dadurch gekennzeichnet, dass das Auswerten der separierten Signalanteile des Messsignales (I) mittels einer Differenzbildung durchgeführt wird, bei der die Signalanteile des Messsignales (I) mit einem Referenzsignal verglichen werden.
Verfahren (100) nach Anspruch 8, dadurch gekennzeichnet, dass das Referenzsignal vor dem Auftreten einer Plasma-Entladung aufgenommen wird.
Verfahren (100) nach einem der Ansprüche 6 bis 9, dadurch gekennzeichnet, dass das Auswerten der separierten Signalanteile des Messsignales (I) mittels eines Schwellwertes, insbesondere eines Signalwertes im Spektral- oder Zeitbereich, durchgeführt wird (Schritt 130).
Vorrichtung (MON) zur Überwachung von Plasma-Entladungen während eines Oberflächen-Behandlungsverfahrens, bei dem Elektroden in einem gasförmigen Medium zur Erzeugung von Plasma mit einer Wechselspannung (U_HV) beaufschlagt werden, gekennzeichnet durch: Detektormittel (M1) zum Erfassen eines Messsignales, das eine Messgröße (I) für die durch die Wechselspannung (U_HV) in dem Medium erzeugte elektrische Energie darstellt; Trennmittel (M2) zum Separieren von Signalanteilen des Messsignales (I), die oberhalb einer vorgebbaren Frequenz liegen; und Auswertungsmittel (M3) zum Auswerten der separierten Signalanteile des Messsignales (I) durch Vergleich mit mindestens einer vorgebaren Referenz.
Vorrichtung (MON) nach Anspruch 11, dadurch gekennzeichnet, dass die Detektormittel (M1) einen Messwiderstand (R) umfassen, an dem ein das Medium durchdringender elektrischer Strom, insbesondere ein dielektrischer Verschiebestrom (I), einen Spannungsabfall (U_R) erzeugt.
Vorrichtung (MON) nach Anspruch 11 oder 12, dadurch gekennzeichnet, dass die Trennmittel (M2) zum Separieren der oberhalb der vorgebbaren Frequenz liegenden Signalanteile des Messsignales (I) mindestens ein Filter und/oder eine Einrichtung zur Spektralanalyse, insbesondere zur Fast-Fourrier-Analyse (FFT), umfassen.
Vorrichtung (MON) nach einem der Ansprüche 11 bis 13, dadurch gekennzeichnet, dass die Auswertemittel (M3) mindestens eine Einrichtung zur Spektralanalyse, insbesondere Fast-Fourrier-Analyse (FFT), umfassen.
Vorrichtung (MON) nach einem der Ansprüche 11 bis 14, dadurch gekennzeichnet, dass die Auswertemittel (M3) Vergleichsmittel umfassen, die die Signalanteile mit einem als Referenz dienendem Referenzspektrum vergleichen.
Vorrichtung (MON) nach einem der Ansprüche 11 bis 14, dadurch gekennzeichnet, dass die Auswertemittel (M3) Vergleichsmittel umfassen, die die Signalanteile des Messsignales (I) mit einem Referenzsignal vergleichen.