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Die vorliegende Erfindung betrifft einen magnetischen Maßstabträger bzw. eine magnetische Maßverkörperung mit in einer Messrichtung abwechselnd magnetisierten oder magnetisierbaren Abschnitten. Die Erfindung betrifft ferner ein Verfahren zur Herstellung des Maßstabträgers.
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Hintergrund und Stand der Technik
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Magnetoresistive (MR) Sensoren finden zur Messung physikalischer Größen, insbesondere von Wegstrecken und Rotationsbewegungen mannigfaltige Verwendung. Diese machen sich den sogenannten magnetoresistiven Effekt zunutze, wonach sich der elektrische Widerstand eines leitfähigen Materials unter Einwirkung eines Magnetfeldes ändert. MR-Sensoren nach dem Stand der Technik nutzen dabei insbesondere den sogenannten Anisotropen Magnetoresistiven Effekt (AMR) und den Giant Magnetoresistiven Effekte (GMR) aus, anhand derer nicht nur die Amplitude, sondern auch die Richtung eines anliegenden magnetischen Feldes präzise bestimmbar ist.
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Um diese magnetischen Effekte für die Messtechnik zu nutzen, werden einzelne AMR- oder GMR-Widerstände als Wheatstonesche Brücke auf einem integrierten Chip angeordnet.
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Derartige MR-Sensoren sind dazu ausgebildet, Magnetfeldänderungen präzise zu erfassen. Für die Längen- oder Drehwinkelmessung sind daher Referenzobjekte, wie magnetische Maßstäbe oder Polräder nötig, die ein wohldefiniertes induzierbares oder permanentes räumlich inhomogenes oder einer geometrischen Vorgabe folgendes alternierendes Magnetfeld aufweisen. Bei den zur Verfügung stehenden Referenzobjekten wird zwischen magnetischen und nichtmagnetischen Maßstäben unterschieden.
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Nichtmagnetische Maßstäbe sind beispielsweise nichtmagnetisierte Zahnräder oder Zahnstangen aus einem ferromagnetischen Material, die jedoch in Anwesenheit eines externen Magnetfeldes bei einer Relativbewegung gegenüber dem MR-Sensor messbare räumliche Magnetfeldinhomogenitäten erzeugen. Aus der Geometrie des Referenzobjektes und dem bekannten Abstand der einzelnen Zähne, welche für die magnetischen Inhomogenitäten verantwortlich sind, können aus dem Sensorsignal präzise Rückschlüsse über die erfolgte Translations- oder Rotationsbewegung des Referenzobjektes gezogen werden.
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Magnetisierte Maßstäbe weisen demgegenüber ein permanentes inhomogenes und/oder in Mess- oder Bewegungsrichtung alternierendes Magnetfeld auf. Derartige magnetische Maßstäbe sind aus magnetisierbarem, insbesondere hartmagnetischem oder weichmagnetischem Material gefertigt und weisen eine periodisch abwechselnde Polung entlang der zu messenden Bewegungs- oder Rotationsrichtung auf.
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In der
DE 10 2004 063 462 B3 ist ein derartiger Maßstabträger für magnetische Längen- oder Winkelmessungen beschrieben. Dieser weist eine an seiner Oberfläche entlang der Maßstabspur eingearbeitete Nut auf, die mit einer aushärtbaren Magnetpulverpaste aufgefüllt wird. Zum Aushärten dieser Pulverpaste wird der Maßstabträger erhitzt und nach dem Aushärten wird über die Nutoberfläche hinweg eine Magnetschicht angebracht. Ein derartiger Maßstabträger eignet sich allenfalls für die Erzeugung periodischer magnetischer Strukturen im Millimeterbereich. Für kleinere Strukturen im Submillimeterbereich ist ein solches Herstellungsverfahren kaum anwendbar. Für Anwendungen in der Mikrosystemtechnik sind solche Maßstabträger daher nahezu ungeeignet. Darüber hinaus ist deren Herstellung relativ aufwendig und arbeitsintensiv.
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Bei der Herstellung von magnetischen Maßstäben oder Maßverkörperungen ist zudem die Aufmagnetisierung eines vorgegebenen Magnetmusters auf den zu magnetisierenden Maßstab recht problematisch. Insbesondere dann, wenn, wie in der Mikrosystemtechnik üblich, besonders kleine Maßstäbe für entsprechend miniaturisierte MR-Sensoren gefertigt werden sollen. Mittels den heute zur Verfügung stehenden Aufmagnetisierungsvorrichtungen können allenfalls magnetische Polstrukturen im Submillimeterbereich erzeugt werden.
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Jedoch weisen derartige bekannte Polstrukturen ein relativ schwaches Magnetfeld auf, so dass die Sensoren der Messsysteme sehr nahe an den Polstrukturen angeordnet werden müssen, um ein auswertbares Messsignal zu erhalten. Aufgrund des geringen Abstandes der Sensoren zu den Polstrukturen ist jedoch bei diesen Systemen eine hohe Störanfälligkeit durch etwaige sich im Spalt zwischen Sensor und Polstruktur festsetzender Verschmutzungen erheblich.
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Ein gattungsgemäßer magnetischer Maßstabträger ist aus der
JP 560 168 01 AA bekannt. Der Maßstabträger weist in X-Richtung auf einem Trägerelement in Abstand zueinander angeordnete Abschnitte gleicher Magnetisierung auf, wobei jeweils unterschiedliche Pole der Abschnitte einander zugewandt sind.
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Aus der
DE 93 11 045 U1 ist ein Maßstabträger bekannt, bei dem eine Magnetfolie wechselnde Pole aufweist, welche in Messrichtung hintereinander liegend angeordnet sind.
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Aufgabe
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Der vorliegenden Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, einen magnetischen Maßstab bzw. eine magnetische Maßverkörperung mit deutlich geringeren magnetischen Strukturgrößen zur Verfügung zu stellen, die eine präzise und scharf abgegrenzte Polteilung aufweisen. Zudem soll sich der erfindungsgemäße magnetische Maßstab für die industrielle Massenfertigung eignen und ein hohes Optimierungspotenzial hinsichtlich Produktionszeit und Produktionsaufwand aufweisen.
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Erfindung und vorteilhafte Wirkungen
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Die der Erfindung zugrundeliegende Aufgabe wird mittels eines magnetischen Maßstabträgers gemäß Anspruch 1, einem Verfahren zu seiner Herstellung gemäß Anspruch 10 sowie einer Vorrichtung zur Messung von Strecken und/oder Drehwinkeln gelöst. Weitere vorteilhafte Ausgestaltungen der Erfindung sind in den jeweiligen Unteransprüchen angegeben.
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Der erfindungsgemäße magnetische Maßstabträger weist entlang einer Messrichtung abwechselnd magnetisierte oder magnetisierbare Abschnitte auf. Diese alternierend magnetisch gepolten in Mess- oder in Bewegungsrichtung aneinander angrenzenden magnetisierten oder magnetisierbaren Abschnitte geben eine räumliche magnetische Codierung vor, die bei einer Relativbewegung von Maßstabträger und zugehörigem MR-Sensor ein inkrementales oder aber auch absolutes Messen einer Wegstrecke oder eines Drehwinkels ermöglicht.
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Erfindungsgemäß weist der magnetische Maßstabträger zumindest zwei Trägerelemente auf, an denen jeweils in Mess- oder Bewegungsrichtung voneinander beabstandete Abschnitte gleicher Magnetisierung vorgesehen sind. Die beiden Trägerelemente sind dabei derart zueinander angeordnet, dass magnetisierte oder magnetisierbare Abschnitte eines Trägerelementes in Zwischenräumen von korrespondierenden magnetisierten oder magnetisierbaren Abschnitten des jeweils anderen Trägerelementes zu liegen kommen, sodass in Mess- oder Bewegungsrichtung eine alternierende magnetische Polstruktur erzeugt wird.
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So ist nach der Erfindung vorgesehen, dass in Mess- oder Bewegungsrichtung einander benachbarte magnetisierbare oder magnetisierte Abschnitte unterschiedlicher Trägerelemente jeweils unterschiedliche magnetische Polungen aufweisen. Dabei sind die magnetisierten oder magnetisierbaren Abschnitte jeweils eines Trägerelements mit gleicher Polarität versehen.
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Durch das Zusammenfügen zweier im Bereich ihrer magnetisierten oder magnetisierbaren Abschnitte im Wesentlichen homogen magnetisch gepolten Trägerelemente und deren einander korrespondierende ineinandergreifende geometrische Ausgestaltung kann in einem Überlappbereich der zum Maßstabträger zusammengefügten Trägerelemente eine scharf abgegrenzte, präzise und zugleich miniaturisierte räumliche magnetische Codierung erzeugt werden. Mittels einfachster Magnetisierungsvorrichtungen können somit kleinste magnetische Strukturen im Submillimeterbereich kostengünstig und einfach erzeugt werden. Diese Strukturen weisen zudem ein relativ starkes Magnetfeld auf, so dass etwaige Sensoren ohne Einbuße auf die Qualität des Messsignals auch in größerem Abstand dazu angeordnet werden können. Insofern ist hierdurch auch die Störanfälligkeit aufgrund etwaiger Verschmutzungen verringert.
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Die gegenständliche und strukturelle Trennung von magnetischen Polen durch die ineinandergreifende und quasi verzahnende Anordnung im Überlappbereich der Trägerelemente ermöglicht die Erzeugung einer besonders hohen Anzahl an Polpaaren pro Längen- oder Flächeneinheit. Hierdurch kann eine weitere Miniaturisierung magnetischer Maßstäbe ohne eine signifikante Erhöhung von Produktionskosten und Herstellungsaufwand erfolgen.
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Nach einer ersten vorteilhaften Ausgestaltung der Erfindung ist vorgesehen, dass sich die magnetisierten oder magnetisierbaren Abschnitte der Trägerelemente im Wesentlichen senkrecht zur messenden Bewegungsrichtung an den zugehörigen Trägerelementen erstrecken. Zwischen den sich von der Trägerebene senkrecht erstreckenden magnetisierten oder magnetisierbaren Abschnitte eines Trägerelements sind Zwischenräume vorgesehen, in welche diejenigen entgegengesetzt gepolten magnetisierten oder magnetisierbaren Abschnitte eines korrespondierenden Trägerelements beim Zusammenfügen zweier Trägerelemente eintauchen oder zu liegen kommen.
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Es ist insbesondere vorgesehen, dass die magnetisierten oder magnetisierbaren Abschnitte unterschiedlicher und einander zusammenzufügender Trägerelemente klauenartig bzw. verzahnend ineinandergreifen. Auf diese Art und Weise kann ein parallel zur Ebene der Trägerelemente verlaufendes Muster mit alternierenden magnetischen Polungen erzeugt werden.
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Nach einem weiteren vorteilhaften Aspekt der Erfindung ist vorgesehen, dass die magnetisierten oder magnetisierbaren Abschnitte und/oder die dazwischenliegenden Zwischenräume eines Trägerelements lithographisch erzeugbar sind. Hierfür kommen sämtliche gängige Lithographieverfahren in Betracht. Von Vorteil ist für die Erzeugung der magnetisierten oder magnetisierbaren Abschnitte das sogenannte LIGA-Verfahren oder LIG-Verfahren vorgesehen. Dieses beruht auf einer Kombination von Tiefenlithographie, Galvanik- und Mikroabformung. Mittels derartiger Lithografieverfahren können Mikrostrukturen mit kleinsten Abmessungen bis zu 0,2 μm, Strukturhöhen bis 3 mm und Aspektverhältnissen bis 50 erzeugt werden.
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Als Ausgangsmaterial für die Trägerelemente dient dabei ein ebenes Substrat, wie beispielsweise ein Siliziumwafer, welches, soweit nicht schon von Haus aus elektrisch leitend, mit einer metallischen leitenden Schicht versehen wird. Auf diese Schicht wird ein dicker strahlungs- insbesondere foto- oder röntgenempfindlicher Film (Resist) aufgebracht, der durch Bestrahlung belichtet wird. Nach dem Entwickeln des Resist bleibt in der aufgebrachten Metallstruktur eine Negativform stehen.
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In einem anschließenden galvanischen Verfahren wird ein Metall auf dem Substrat in den Bereichen abgeschieden, in denen der Film beim Entwickeln entfernt worden ist. Nach dem Entfernen des Films bzw. des Fotoresists bleiben das Substrat, die Startschicht und das galvanisch abgeschiedene Metall zurück. Für das weitere Verfahren kann entweder die Startschicht weggeätzt, durch eine weiteren galvanischen Prozessschritt die Struktur ”überwachsen” werden oder alternativ direkt die lithographisch erzeugte Mikrostruktur aus dem Substrat herausgeschnitten werden.
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Nach einer weiteren vorteilhaften Ausführungsform sind zumindest die magnetisierbaren Abschnitte der Trägerelemente vor einem Zusammenfügen der Trägerelemente magnetisierbar. Diese Magnetisierung kann über die Fläche der Trägerelemente weitgehend homogen erfolgen. Die inhomogene und in Messrichtung alternierende magnetische Polung wird dabei erst durch das anschließende Zusammenfügen der Trägerelemente erzeugt.
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Weiterhin ist vorgesehen, dass die magnetisierten oder magnetisierbaren Abschnitte einstückig mit dem zugeordneten Trägerelement verbunden oder einstückig daran angeformt sind. Nach der Erfindung ist insbesondere vorgesehen, dass die magnetisierten oder magnetisierbaren Abschnitte durch einen fotolithographischen Prozess aus dem ebenen Substrat eines Trägerelements erzeugt werden. Alternativ kann die geometrische Form des Trägerelements aber auch durch Gießen oder Stanzen erzeugt werden. Die Wahl des Herstellungsverfahrens richtet sich dabei vornehmlich nach der Auswahl des Materials sowie der Größe der im Material zu erzeugenden Struktur.
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Nach einem weiteren vorteilhaften Aspekt ist vorgesehen, dass die Strukturgröße der magnetisierten oder magnetisierbaren Abschnitte der Trägerelemente im Bereich einiger Mikrometer bis Millimeter liegt. Insbesondere sind Strukturgrößen im Bereich von minimal 5 bis 10 μm vorgesehen. Derartige Strukturgrößen ermöglichen eine drastische Miniaturisierung magnetischer Maßstäbe und deren Implementierung in entsprechend kleinbauende magnetoresistive sensorische Messsysteme.
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Durch diese Miniaturisierung kann nicht nur die Baugröße entsprechender Messsysteme reduziert werden, sondern auch die Genauigkeit des Messsystems erheblich gesteigert werden. Da zudem keine aufwendige hochauflösende Magnetisierungsvorrichtung mehr benötigt wird, können zugleich die Herstellungskosten für derartige miniaturisierte und zugleich hochauflösende magnetische Maßstäbe drastisch reduziert werden.
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Nach einer Weiterbildung der Erfindung weisen die aufeinander angepassten und aneinander anordenbaren Trägerelemente eine im Wesentlichen geradlinige bzw. stabartige Außengeometrie auf. Derartig ausgebildete Maßverkörperungen dienen vorzugsweise einer Längenmessung. Dabei wird der Maßstab entlang seiner Längsrichtung, in welcher er alternierend unterschiedliche magnetische Polungen aufweist, gegenüber einem sensorischen Element verschoben.
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Weiterhin ist vorgesehen, dass die Trägerelemente auch eine scheibenartige Geometrie aufweisen und koaxial zueinander angeordnet werden können. In dieser Ausgestaltung fungiert der Maßstab als Polrad mit in Umfangsrichtung abwechselnd angeordneten Permanentmagneten. Das Polrad wird dabei als Inkrementalgeber für einen Drehzahl- oder Drehwinkelsensor verwendet. Es ist dabei ausreichend, wenn die Trägerelemente auch lediglich eine ringartige Struktur aufweisen.
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Die einzelnen magnetisierbaren Abschnitte benachbarter Trägerelemente erstrecken sich dabei in Axialrichtung. Das freie Ende der stab- oder zahnartig ausgebildeten magnetisierbaren Abschnitte kommt dabei in Zwischenräume korrespondierender magnetisierbarer Abschnitte des in Axialrichtung benachbart angeordneten Trägerelementes zu liegen. Auf diese Art und Weise kann eine in Umfangsrichtung alternierende magnetische Polung in einfacher Art und Weise erzeugt werden.
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Nach einer vorteilhaften Ausgestaltung der Erfindung ist wenigstens ein vorzugsweise separater Dauermagnet und/oder Elektromagnet vorgesehen, durch den die Abschnitte und ggf. die Trägerelemente magnetisierbar sind. Dadurch kann der Maßstabsträger besonders kostengünstig realisiert werden, da die Abschnitte und vorzugsweise auch die Trägerelemente selbst nicht magnetisiert sein müssen und insofern zu deren Herstellung auf relativ kostengünstige Materialien zurückgegriffen werden kann, welche lediglich magnetisierbar sein müssen. Denn als Quelle der Magnetisierung wirkt in diesem Fall wenigstens ein Dauermagnet bzw. Elektromagnet, durch dessen Magnetfeld die Abschnitte bzw. Trägerelemente in der erfindungsgemäßen Art und Weise magnetisiert werden.
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Dabei bietet es sich an, dass die Abschnitte und ggf. die Trägerelemente aus weichmagnetischem Werkstoff bestehen, da diese Werkstoffe besonders kostengünstig sind.
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Nach einem weiteren unabhängigen Aspekt betrifft die Erfindung ein Verfahren zur Herstellung eines magnetischen Maßstabträgers, wobei zumindest zwei Trägerelemente vorgesehen sind, die jeweils magnetisierbare Abschnitte aufweisen. Dabei werden die Trägerelemente derart zusammengefügt, dass die magnetisierten oder magnetisierbaren Abschnitte eines Trägerelementes in Zwischenräume von magnetisierten oder magnetisierbaren Abschnitten des benachbart anzuordnenden bzw. des anderen Trägerelementes zu liegen kommen.
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Senkrecht zur Schnittstelle zwischen den beiden Trägerelementen entsteht somit ein alternierendes Muster unterschiedlich magnetisch gepolter Abschnitte.
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Von Vorteil werden die Trägerelemente mittels lithographischer Methoden aus magnetisierten oder magnetisierbaren Trägersubstraten erzeugt. Als Trägersubstrate kommen sämtliche hartmagnetischen und/oder weichmagnetischen Werkstoffe infrage. Als gute Ausgangsstoffe für die Trägersubstrate sind insbesondere Nickelkobalt oder Nickeleisen-Legierungen, aber auch Pulverwerkstoffe und Weichferrite, wie beispielsweise NiZn und MnZn vorgesehen.
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Die Magnetisierung der einzelnen Trägerelemente, die in der Ebene der Schnittstelle zwischen einzelnen Trägerelementen weitgehend homogen verläuft, kann nach einer fotolithographischen bzw. galvanischen Formgebung der Trägerelemente erfolgen. Alternativ oder ergänzend hierzu kann auch direkt bei der galvanischen Abscheidung der geometrischen Struktur am Trägersubstrat durch Anlegen geeigneter Felder eine ausreichende Magnetisierung geschaffen werden.
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Darüber hinaus betrifft die Erfindung eine Vorrichtung zur Messung von Strecken und/oder Drehwinkel mit einem erfindungsgemäßen Maßstabträger und einer magnetoresistiven Sensoreinrichtung. Diese ist in oder an der Messvorrichtung in unmittelbarer Nähe zum beweglichen Maßstabträger angeordnet und ist dazu ausgebildet, in Abhängigkeit einer translatorischen oder rotativen Bewegung des Maßstabträgers gegenüber der Sensoreinrichtung elektrische Signale zu erzeugen, anhand derer die vom Maßstab vollzogene Bewegung qualitativ und quantitativ ermittelbar ist.
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Ausführungsbeispiel
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Weitere Ziele, Vorteile, Merkmale und Anwendungsmöglichkeiten der vorliegenden Erfindung werden nachfolgend an einem Ausführungsbeispiel anhand der Zeichnungen erläutert.
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Es zeigen:
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1 eine Querschnittsdarstellung eines Maßstabträgers mit klauenartig ineinandergreifenden alternierend magnetisierten Abschnitten und
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2 eine schematischen Querschnitt eines magnetischen Maßstabs in der Ausführung als Polrad in Draufsicht.
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In der 1 ist ein Maßstabträger mit zwei Trägerelementen 10, 12 im Querschnitt gezeigt. An den Trägerelementen 10, 12 sind jeweils sich in Vertikalrichtung erstreckende einzelne magnetisierbare Abschnitte 14, 16 ausgebildet, die beim Zusammenfügen der beiden Trägerelemente 10, 12, wie es in 1 angedeutet ist, klauenartig ineinandergreifen. In der Mess- oder Bewegungsrichtung 22, welche in 1 horizontal verläuft, entsteht somit eine scharf abgegrenzte und in Miniaturausführung problemlos realisierbare magnetische periodische Polstruktur, die als magnetische Maßverkörperung sowohl für die Messung translatorischer als auch rotativer Bewegungen in Kombination mit gängigen MR-Sensoren universell verwendbar ist.
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Die einzelnen steg- oder kammartig ausgebildeten magnetisierbaren Abschnitte 14, 16 sind insbesondere mittels lithografischer Prozesse, wie etwa dem LIGA- oder LIG-Verfahren erzeugbar. Es sind jedoch auch alternative Herstellungswege, wie etwa Stanzen oder Metallspritzgießen denkbar. Auf jeden Fall ist es für die Erfindung erforderlich, dass die einzelnen Abschnitte 14, 16 weitgehend dauerhaft magnetisierbar sind.
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Es ist insbesondere vorgesehen, dass die beiden Trägerelemente 10, 12 unterschiedlich magnetisiert werden. Im in 1 gezeigten Beispiel weist das oben liegende Trägerelement 10 an seinem oberen durchgehenden Abschnitt einen nicht explizit dargestellten magnetischen Nordpol und in seinen nach unten in die Zwischenräume korrespondierende Abschnitte 16 hineinragenden magnetisierbaren Abschnitte 14 einen magnetischen Südpol auf. Entsprechend umgekehrt ist das in 1 unten liegende Trägerelement 12 gepolt. So weist der dort unten liegende durchgehende Teil einen magnetischen Südpol und die nach oben ragenden Abschnitte 16 einen magnetischen Nordpol auf.
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Mittels der erfindungsgemäßen Technik können somit kleinstmögliche alternierende magnetische Strukturen im Mikrometerbereich erzeugt werden, ohne dass hierfür hochauflösende Magnetisiereinrichtungen erforderlich wären. Die räumliche Auflösung und Dichte magnetischer Polarität ist allein durch die Größe der von den Trägerelementen 10, 12 sich im Wesentlichen senkrecht zur Mess- oder Bewegungsrichtung 22 erstreckenden Strukturen 14, 16 vorgegeben.
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Das in 1 gezeigte klauenartige Ineinandergreifen unterschiedlich gepolter und mit korrespondierenden geometrischen Formen ausgestatteter Trägerelemente 10, 12 ist gleichsam auf stabartig ausgebildete magnetische Maßstäbe für die Längenmessung als auch für scheibenartig ausgebildete Maßstäbe für die Drehwinkelmessung universell anwendbar. So ist in 2 beispielhaft ein Polrad entlang einer Schnittlinie A-A' gemäß 1 gezeigt. Das Polrad ist entlang der durch Bezugsziffer 24 gekennzeichneten Rotationsrichtungen entweder gegen oder mit dem Uhrzeigersinn drehbar gelagert.
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An seinem Außenumfang sind alternierend gepolte magnetische Abschnitte 14, 16 angeordnet, die entsprechende magnetische Felder, welche durch die magnetischen Feldlinien 18 exemplarisch dargestellt sind, erzeugen. Diese von den alternierend angeordneten unterschiedlich gepolten magnetischen Abschnitten 14, 16 erzeugten Magnetfelder können bei einer Drehbewegung des Polrades vom zugeordneten MR-Sensor 20 sowohl qualitativ als auch quantitativ erfasst werden.
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Die Mikrosystemtechnik zur Erzeugung von geometrischen Strukturen im Mikrometerbereich ermöglicht die Herstellung solcher Polräder auf einer Mikrometerskala.
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Nach einem hier nicht dargestellten möglichen Ausführungsbeispiel des magnetischen Maßstabträgers kann es vorgesehen sein, dass ein vorzugsweise separater Dauermagnet oder Elektromagnet vorgesehen ist, durch den die Abschnitte und ggf. die Trägerelemente magnetisierbar sind. Dabei sind bevorzugt die Abschnitte und/oder die Trägerelemente aus weichmagnetischem Werkstoff hergestellt. Sofern die Abschnitte und Trägerelemente mittels lithografischen Verfahren hergestellt werden, ist der bevorzugte weichmagnetische Werkstoff eine Nickel-Eisen-Legierung.
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Selbstverständlich können die magnetisierbaren Strukturen, wie die Abschnitte und Trägerelemente, aus anderen ferritischen Werkstoffen und/oder auch aus ferritischen Werkstoffen hergestellt sein.
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Bezugszeichenliste
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- 10
- Trägerelement
- 12
- Trägerelement
- 14
- Magnetisierbarer Abschnitt
- 16
- Magnetisierbarer Abschnitt
- 18
- Magnetfeldlinien
- 20
- MR-Sensor
- 22
- Messrichtung
- 24
- Drehrichtung
