DE102007035198A1 - Vorrichtung zur Inspektion von optischen Datenträgern - Google Patents

Vorrichtung zur Inspektion von optischen Datenträgern Download PDF

Info

Publication number
DE102007035198A1
DE102007035198A1 DE200710035198 DE102007035198A DE102007035198A1 DE 102007035198 A1 DE102007035198 A1 DE 102007035198A1 DE 200710035198 DE200710035198 DE 200710035198 DE 102007035198 A DE102007035198 A DE 102007035198A DE 102007035198 A1 DE102007035198 A1 DE 102007035198A1
Authority
DE
Germany
Prior art keywords
lens
light
light source
optical data
data carrier
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Ceased
Application number
DE200710035198
Other languages
English (en)
Inventor
Hans Dipl.-Phys. Schremmer
Wilbert Dr. Windeln
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
DATARIUS TECHNOLOGIES GmbH
Original Assignee
DATARIUS TECHNOLOGIES GmbH
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by DATARIUS TECHNOLOGIES GmbH filed Critical DATARIUS TECHNOLOGIES GmbH
Priority to DE200710035198 priority Critical patent/DE102007035198A1/de
Publication of DE102007035198A1 publication Critical patent/DE102007035198A1/de
Ceased legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/84Systems specially adapted for particular applications
    • G01N21/88Investigating the presence of flaws or contamination
    • G01N21/95Investigating the presence of flaws or contamination characterised by the material or shape of the object to be examined
    • G01N21/9506Optical discs
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/84Systems specially adapted for particular applications
    • G01N21/88Investigating the presence of flaws or contamination
    • G01N21/95Investigating the presence of flaws or contamination characterised by the material or shape of the object to be examined
    • G01N21/956Inspecting patterns on the surface of objects

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Health & Medical Sciences (AREA)
  • Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • Biochemistry (AREA)
  • General Health & Medical Sciences (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Immunology (AREA)
  • Pathology (AREA)
  • Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)

Abstract

Der vorliegenden Erfindung liegt das technische Problem zu Grunde, eine Vorrichtung anzugeben, mit der die Inspektion von Oberflächen von optischen Datenträgern verbessert und insbesondere zeitlich und räumlich effizienter vorgenommen werden kann. Das technische Problem wird gelöst durch eine Vorrichtung (1) mit einem elektronischen Lichtempfänger (4), mit einem an dem elektronischen Lichtempfänger (4) angeordneten Objektiv (6), mit einer Lichtquelle (8, 8', 8'') und mit einer von dem Objektiv (6) beabstandet angeordneten Halterung für einen optischen Datenträger (10), wobei die Lichtquelle (8, 8', 8'') benachbart zu dem Objektiv (6) angeordnet ist, wobei zumindest ein Teil des von der Lichtquelle (8, 8', 8'') ausgesendeten Lichts (12) auf eine Oberfläche des in der Halterung angeordneten optischen Datenträgers (10) auftrifft und wobei der elektronische Lichtempfänger (4), das Objektiv (6), die Lichtquelle (8, 8', 8'') und die Halterung so angeordnet sind, dass das Sichtfeld des Objektivs (6) im Wesentlichen keine direkten Reflexe und Beugungsreflexe des von der Oberfläche des optischen Datenträgers (10) reflektierten Lichts erfasst.

Description

  • Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung zur Inspektion von Oberflächen von optischen Datenträgern.
  • Optische Datenträger, beispielsweise Compact Discs (CDs), Digital Versatile Discs (DVDs), High Density DVDs (HD-DVDs) oder Blu-ray Discs (BDs), werden auf ihren Oberflächen häufig mit Aufdrucken versehen. Diese Aufdrucke sind vorzugsweise aus farbigen Lacken ausgebildet und dienen der Kennzeichnung oder Spezifizierung des optischen Datenträgers. Das Bedrucken der optischen Datenträger wird automatisiert ausgeführt. Dabei kann es zu fehlerhaften Druckbildern kommen, also Istdruckbildern, die nicht den Solldruckbildern entsprechen. Um fehlerhafte Druckbilder auf den optischen Datenträgern zu erkennen, werden diese nach dem Aufdrucken einer Prüfung unterzogen.
  • Die optischen Datenträger weisen eine Spurrille auf, die sich spiralförmig auf einer Oberfläche von dem Innenbereich bis zum äußeren Rand des optischen Datenträgers windet und als Führung für einen zum Beschreiben bzw. Ablesen verwendeten Laserstrahl dient. Licht, das auf die Oberfläche gestrahlt wird, erzeugt somit unter bestimmten Bedingungen Beugungserscheinungen. Dadurch wird die Prüfung der optischen Datenträger erschwert. Insbesondere bei CD-Recordables (CD-Rs), also einmalig beschreibbaren CDs, ist die Intensität der Beugungsmaxima durch die spezielle Ausgestaltung der unter einer dünnen, transparenten Lackschicht angeordneten gesputterten Metallschicht, insbesondere aus Aluminium, Silber oder Gold, sehr stark.
  • Es sind bereits Vorrichtungen zur Inspektion von optischen Datenträgern bekannt, die den störenden Effekt von Beugungserscheinungen bei der Aufnahme kompensieren. Dabei werden zwei unterschiedliche Beleuchtungswinkel verwendet.
  • Zuerst wird Licht von einem Ort unmittelbar über dem optischen Datenträger auf die Oberfläche des optischen Datenträgers gestrahlt. Das Licht wird von der Oberfläche des optischen Datenträgers reflektiert oder gestreut und von einer CCD-Kamera aufgenommen. Bei dieser Beleuchtung weisen die bedruckten Bereiche der Oberfläche des optischen Datenträgers im Vergleich zu den nicht bedruckten Bereichen eine sehr geringe Reflektivität auf. Daher sind die bedruckten Bereiche in dieser ersten Aufnahme sehr dunkel und einer weiteren automatisierten Bildverarbeitung zur Prüfung des Druckbildes nicht zugänglich.
  • Als nächstes wird Licht unter einem bestimmten Winkel zur Flächennormale des optischen Datenträgers, also seitlich, auf dessen Oberfläche gestrahlt. Bei dieser Beleuchtung erscheinen in der Aufnahme der CCD-Kamera die bedruckten Bereiche der Oberfläche im Vergleich zu den nicht bedruckten Bereichen hell. Allerdings treten in den nicht bedruckten Bereichen Beugungsringe auf, die von der CCD-Kamera aufgenommen werden. Um die zweite Aufnahme mit Mitteln der Bildverarbeitung automatisiert prüfen zu können, sind die nicht bedruckten Bereiche in der ersten Aufnahme anhand ihrer hohen Reflektivität zu identifizieren. Dann können diese Bereiche aus der zweiten Aufnahme unter Einsatz von Mitteln zur Bildverarbeitung ausgeblendet werden. Somit wird in der zweiten Aufnahme das weitgehend ungestörte Druckbild erhalten und ist einer weiteren Prüfung zugänglich.
  • Um die Beleuchtung der Oberfläche des optischen Datenträgers aus verschiedenen Winkeln zu ermöglichen, ist ein erhöhter Montageraum für die Lichtquellen und die CCD-Kamera notwendig. Dies schränkt den Einsatz einer solchen Vorrichtung jedoch insbesondere dann ein, wenn nur ein begrenzter Raum zur Aufstellung der Vorrichtung zur Verfügung steht.
  • Weiterhin sind in einer solchen Vorrichtung mehrere Lichtquellen anzuordnen, um die Beleuchtung aus zwei Winkeln zu ermöglichen. Wird nur eine Lichtquelle verwendet, sind dementsprechend Elemente zur flexiblen Lichtstrahlführung wie Umlenkspiegel, Strahlteiler, optische Linsen und ähnliches einzusetzen. Diese Anzahl an optischen Elementen im Aufbau der Vorrichtung erhöht die Kosten, die zur Bereitstellung einer entsprechenden Vorrichtung aufzuwenden sind.
  • Eine hohe Anzahl an optischen Elementen erhöht jedoch auch den Wartungsbedarf der Vorrichtung, da eine korrekte Ausrichtung der Umlenkspiegel, Strahlteiler und dergleichen im Wesentlichen zu jedem Zeitpunkt der Inspektion einer großen Anzahl an optischen Datenträgern zu gewährleisten ist. Damit ergibt sich auch ein erhöhter personeller sowie zeitlicher Aufwand zum Betrieb der Vorrichtung.
  • Der zeitliche Aufwand des Betriebs einer solchen Vorrichtung wird außerdem dadurch erhöht, dass bei der Prüfung des Aufdrucks auf der Oberfläche des optischen Datenträgers zwei Aufnahmen der CCD-Kamera einzeln für sich und in Kombination miteinander auszuwerten sind.
  • Der vorliegenden Erfindung liegt somit das technische Problem zu Grunde, eine Vorrichtung anzugeben, mit der die Inspektion von Oberflächen von optischen Datenträgern verbessert und insbesondere zeitlich und räumlich effizienter vorgenommen werden kann.
  • Das technische Problem wird durch eine Vorrichtung zur Inspektion von Oberflächen von optischen Datenträgern gelöst, mit einem elektronischen Lichtempfänger, mit einem an dem elektronischen Lichtempfänger angeordneten Objektiv, mit einer Lichtquelle und mit einer von dem Objektiv beabstandet angeordneten Halterung für einen optischen Datenträger, wobei die Lichtquelle benachbart zu dem Objektiv angeordnet ist, wobei zumindest ein Teil des von der Lichtquelle ausgesendeten Lichts auf eine Oberfläche des in der Halterung angeordneten optischen Datenträgers auftrifft und wobei der elektronische Lichtempfänger, das Objektiv, die Lichtquelle und die Halterung so angeordnet sind, dass das Sichtfeld des Objektivs im Wesentlichen keine direkten Reflexe und Beugungsreflexe des von der Oberfläche des optischen Datenträgers reflektierten Lichts erfasst.
  • Die Erfindung hat somit erkannt, dass es nicht notwendig ist, eine Oberfläche eines optischen Datenträgers aus zwei Winkeln zu beleuchten und somit zwei gesonderte Aufnahmen zu machen, um eine Inspektion der Oberfläche vorzunehmen. Vielmehr ist es möglich, durch die geeignete Anordnung der Halterung, der Lichtquelle, des Objektivs und des elektronischen Lichtempfängers Beugungserscheinungen aus dem Sichtfeld des Objektivs fernzuhalten und somit die Inspektion der Oberfläche des optischen Datenträgers mit einer einzigen Aufnahme des elektronischen Lichtempfängers durchzuführen. Dadurch wird der für die Vorrichtung bereitzustellende Montageraum gering gehalten. Weiterhin entfällt der Einsatz zusätzlicher Komponenten zur Lichtstrahlführung wie Umlenkspiegel oder Strahlteiler, und der Wartungsbedarf der Vorrichtung wird reduziert. Ferner wird der zeitliche Aufwand zur Inspektion der Oberfläche eines optischen Datenträgers verringert, weil nur noch eine Aufnahme des elektronischen Lichtempfängers pro Oberfläche des optischen Datenträgers auszuwerten ist.
  • Die Anordnung der Lichtquelle, des elektronischen Lichtempfängers, des Objektivs und der Halterung in der Vorrichtung ist insbesondere unter Berücksichtigung der folgenden Formel vorteilhaft vorzunehmen:
    Figure 00050001
    In der Formel bezeichnet λ die Wellenlänge des Lichts, D den Abstand der Spurrillen des optischen Datenträgers, n die Beugungsordnung des Lichts, h den Abstand des an dem elektronischen Lichtempfänger angeordneten Objektivs von dem Zentrum des optischen Datenträgers, wobei das Objektiv und der elektronische Lichtempfänger vorzugsweise auf der von der dem Zentrum entspringenden Flächennormale des optischen Datenträgers gebildeten Achse angeordnet sind, R den Abstand vom Zentrum des optischen Datenträgers zu dem Punkt auf der Oberfläche des optischen Datenträgers, bei dem der Beugungseffekt berechnet wird, und schließlich r den senkrechten Abstand der Lichtquelle zu der von der dem Zentrum entspringenden Flächennormale des optischen Datenträgers gebildeten Achse. Die beiden Terme in der eckigen Klammer berücksichtigen jeweils vorwärts gebeugtes und rückwärts gebeugtes Licht.
  • Mit dieser Formel ist es möglich, die Abstände h und r zu berechnen, bei denen in dem Sichtfeld des Objektivs keine Beugungserscheinungen auftreten und die die Inspektion der Oberfläche des optischen Datenträgers stören. Als nicht störend können im Wesentlichen Beugungserscheinungen angesehen werden, deren Lichtwellenlänge entweder nicht im Spektrum des von der Lichtquelle ausgesendeten Lichts enthalten ist oder deren Lichtwellenlänge von dem elektronischen Lichtempfänger nicht wahrnehmbar ist. Die Berücksichtigung des Abstands der Spurrillen D erlaubt die Anwendung der Formel und damit die Ausgestaltung der Vorrichtung für eine Vielzahl unterschiedlicher optischer Datenträger, beispielsweise CDs, DVDs, HD-DVDs oder BDs.
  • Vorzugsweise ist die Lichtquelle in dem gleichen Abstand von dem optischen Datenträger angeordnet wie das Objektiv des elektronischen Lichtempfängers. Um zu vermeiden, dass von den nicht bedruckten Bereichen der Oberfläche des optischen Datenträgers direkt reflektiertes Licht von dem Objektiv und damit auch von dem elektronischen Lichtempfänger aufgenommen wird, ist eine Anordnung der Lichtquelle in unmittelbarer Nähe zu dem Objektiv besonders bevorzugt.
  • Im Rahmen der vorliegenden Erfindung ist der Begriff Halterung sehr weit zu verstehen. Als Halterung kann alles angesehen werden, was geeignet ist, einen optischen Datenträger zu stützen und den optischen Datenträger in eine definierte Position relativ zu dem elektronischen Lichtempfänger, dem Objektiv und/oder der Lichtquelle zu bringen. Beispielsweise kann die Halterung eine ebene Fläche sein, auf der der optische Datenträger abgelegt wird. Die Halterung kann auch Mittel zum Arretieren eines optischen Datenträgers umfassen, beispielsweise eine Klemme oder eine Ausnehmung, deren Maße an die Maße des optischen Datenträgers so angepasst sind, dass der optische Datenträger reibschlüssig in die Ausnehmung einsetzbar ist. Die Halterung ist aber nicht auf derartige Ausgestaltungen beschränkt. Vielmehr kann die Halterung auch ein Teil einer anderen Vorrichtung sein, beispielsweise eine zu einer Druckvorrichtung gehörenden Halterung, wobei mit der Druckvorrichtung die Oberfläche des optischen Datenträgers bedruckt wird. Die Halterung kann beispielsweise auch als Fließband ausgebildet sein, mittels dessen optische Datenträger zwischen verschiedenen Vorrichtungen oder verschiedenen Positionen bewegt werden können.
  • In einer weiteren bevorzugten Ausgestaltung der Vorrichtung sind der elektronische Lichtempfänger, das Objektiv, die Lichtquelle und die Halterung in einem Gehäuse angeordnet. Das Gehäuse schafft vorzugsweise eine lichtdichte Umhüllung des elektronischen Lichtempfängers, des Objektivs, der Lichtquelle und der Halterung. Dadurch wird gewährleistet, dass Licht, das nicht von der zu der Vorrichtung gehörenden Lichtquelle stammt, in das Sichtfeld des Objektivs gelangt und damit den Inspektionsvorgang beeinflusst oder beeinträchtigt. Insbesondere sind ferner die Innenwände des Gehäuses im Wesentlichen lichtabsorbierend ausgebildet, beispielsweise indem sie mit einem schwarzen Lack beschichtet sind. Dadurch wird Streulicht, das von dem von der Lichtquelle ausgesendeten Licht erzeugt wird und das den Inspektionsvorgang beeinträchtigen könnte, verringert.
  • Es ist weiterhin bevorzugt, an der Vorrichtung eine Objektivblende vorzusehen. Die Objektivblende ist so ausgestaltet und angeordnet, dass sie den Bereich der Oberfläche des optischen Datenträgers, auf den das von der Lichtquelle ausgesendete Licht auftrifft, beschränkt. Die Objektivblende sorgt insbesondere dafür, dass das von der Lichtquelle ausgesendete Licht nicht auf Bereiche der Oberfläche des optischen Datenträgers auftrifft, die relativ zu der Lichtquelle auf der anderen Seite der von der dem Zentrum entspringenden Flächennormale des optischen Datenträgers gebildeten Achse angeordnet sind. Demnach wird durch das Vorsehen der Objektivblende rückwärts gebeugtes Licht in dem Sichtfeld des Objektivs weitgehend, insbesondere überwiegend, vermieden.
  • In einer weiteren bevorzugten Ausgestaltung der Vorrichtung ist die Halterung für den optischen Datenträger drehbar. Es ist besonders bevorzugt, wenn die Drehachse der Halterung im Wesentlichen parallel zu der von der dem Zentrum entspringenden Flächennormale des optischen Datenträgers gebildeten Achse verläuft. Durch eine Drehung der Halterung kann der in der Halterung angeordnete optische Datenträger jederzeit in flexibler Weise in eine bestimmte, für die Inspektion einer Oberfläche zweckmäßige Position gebracht werden.
  • Weiterhin ist vorzugsweise die Lichtquelle ringförmig um das Objektiv herum angeordnet. Insbesondere ist die Lichtquelle koaxial ringförmig um das Objektiv herum angeordnet. Die ringförmige Ausgestaltung der Lichtquelle ist bevorzugt, da die zu prüfenden optischen Datenträger vorzugsweise eine runde Form aufweisen. Durch diese Ausgestaltung wird eine gleichmäßige Beleuchtung der Oberfläche des optischen Datenträgers sichergestellt. Die Ausgestaltung der Lichtquelle kann viele verschiedene Formen annehmen. So ist es möglich, die Lichtquelle in der Art einer Leuchtstoffröhre auszubilden, wobei eine ringförmige Röhre das Objektiv umgibt. Es ist jedoch auch möglich, dass die Lichtquelle viele einzelne Lichtquellen, beispielsweise Glühlampen, aufweist, die ringförmig um das Objektiv herum angeordnet sind. Es ist ferner besonders bevorzugt, dass die Lichtquelle mindestens eine lichtemittierende Diode aufweist. Die mindestens eine lichtemittierende Diode kann weißes Licht und/oder Licht beliebiger Farbkombinationen aussenden.
  • In einer weiteren bevorzugten Ausgestaltung der Vorrichtung ist an der Lichtquelle ein Diffusor angeordnet. Der Diffusor ist insbesondere dafür geeignet, die Beleuchtung der Oberfläche des optischen Datenträgers weitgehend homogen auszugestalten. Damit wird vorzugsweise die Bildverarbeitung der von dem elektronischen Lichtempfänger gemachten Aufnahmen erleichtert.
  • Weiterhin ist an der Objektivblende vorzugsweise eine Kragenblende angeordnet. Die Kragenblende ist insbesondere so ausgebildet und angeordnet, dass sie das Auftreffen des von der Lichtquelle ausgesendeten Lichts auf den das Zentrum des optischen Datenträgers umgebenden Innenbereich weitgehend verhindert. Licht, das auf diesen Innenbereich aufträfe, könnte anderenfalls Streulicht verursachen, das die Inspektion der Oberfläche des optischen Datenträgers beeinträchtigen würde.
  • In einer weiteren bevorzugten Ausgestaltung der Vorrichtung ist eine Gehäuseblende vorgesehen. Die Gehäuseblende ist insbesondere dafür geeignet, den Anteil des insbesondere an den Innenwänden des Gehäuses gebildeten Streulichts, das auf die Oberfläche des optischen Datenträgers auftrifft, zu vermindern. Somit wird die Bearbeitung von den von dem elektronischen Lichtempfänger gemachten Aufnahmen weiter erleichtert und das Auftreten unerwünschter Beugungseffekte durch das Streulicht weiter unterdrückt.
  • Vorzugsweise umfasst der Spektralbereich des von der Lichtquelle ausgesendeten Lichts keine Wellenlängen kleiner als 400 nm. Durch die Beschränkung des Spektralbereichs der Lichtquelle auf Wellenlängen größer als oder gleich 400 nm wird die Inspektion der Oberfläche des optischen Datenträgers besonders effizient vorgenommen. Die auf den Oberflächen der optischen Datenträger vorgesehenen Aufdrucke sind vorzugsweise zur Ansicht von Menschen mit bloßem Auge bestimmt. Da das menschliche Auge Licht mit einer Wellenlänge im Wesentlichen kleiner als 400 nm im Allgemeinen nicht mehr wahrnehmen kann, ist es bevorzugt, den zu prüfenden Spektralbereich entsprechend zu beschränken.
  • Weiterhin werden so die Intensitätsmaxima des gebeugten Lichts mit einer Wellenlänge kleiner als 400 nm, die zu einer Beeinträchtigung der Aufnahmen des elektronischen Lichtempfängers führen könnten, wirksam aus dem Sichtfeld des Objektivs ferngehalten. Um den Spektralbereich des von der Lichtquelle ausgesendeten Lichts auf Wellenlängen größer als oder gleich 400 nm zu beschränken, kann eine Lichtquelle in die Vorrichtung aufgenommen werden, die kein Licht mit einer Wellenlänge unter 400 nm aussendet. Es ist jedoch auch möglich, an der Lichtquelle zusätzliche Elemente vorzusehen, beispielsweise einen entsprechend ausgebildeten Kantenfilter, durch die der Spektralbereich beschränkt wird.
  • In einer weiteren bevorzugten Ausgestaltung der Vorrichtung sind mindestens zwei Polarisationsfilter vorgesehen, deren Polarisationsrichtungen senkrecht zueinander einstellbar sind, wobei der erste Polarisationsfilter benachbart zu dem Diffusor bzw. zu der Lichtquelle angeordnet ist, und wobei der zweite Polarisationsfilter benachbart zu der Objektivblende bzw. zu dem Objektiv angeordnet ist.
  • Vorzugsweise sind die beiden Polarisationsrichtungen senkrecht zueinander eingestellt. Das von der Lichtquelle ausgesendete Licht ist nach dem Durchlaufen des ersten Polarisationsfilters linear polarisiert. Trifft das linear polarisierte Licht auf die Oberfläche des optischen Datenträgers auf, ändert sich sein Polarisationszustand nicht, wenn es direkt von den bedruckten oder nicht bedruckten Bereichen der Oberfläche reflektiert wird. Das diffus von den bedruckten Bereichen gestreute Licht kann dagegen seine Polarisation ändern. Der Anteil des direkt an der Oberfläche reflektierten Lichts kann so groß werden, insbesondere wenn in den bedruckten Bereichen für den Aufdruck glänzende Lacke verwendet werden, dass er zumindest bereichsweise eine Überbelichtung in den Aufnahmen des elektronischen Lichtempfängers bewirkt. Diese Überbelichtungen beeinträchtigen allerdings die Inspektion der Oberfläche des optischen Datenträgers. Durch den zweiten Polarisationsfilter jedoch wird das von der Oberfläche, in den bedruckten oder nicht bedruckten Bereichen, direkt reflektierte Licht, das noch im Wesentlichen linear polarisiert ist, weitgehend ausgeblendet und so eine Überbelichtung vermieden.
  • Die Erfindung wird im Folgenden an Hand spezieller Ausführungsbeispiele und der beigefügten Zeichnung näher erläutert. In der Zeichnung zeigen:
  • 1 bis 3 jeweils einen beispielhaften Graphen mit einer Auftragung der Wellenlänge gegen den radialen Abstand eines Punktes auf der Oberfläche eines optischen Datenträgers zu dessen Zentrum bei drei unterschiedlichen Abständen zwischen dem Objektiv und dem optischen Datenträger gemäß der vorstehend beschriebenen Formel,
  • 4 ein schematisches Ausführungsbeispiel der erfindungsgemäßen Vorrichtung und
  • 5 bis 9 weitere bevorzugte Ausgestaltungen der erfindungsgemäßen Vorrichtung.
  • 1 zeigt das Ergebnis einer beispielhaften Rechnung, bei der die vorstehend beschriebene Formel verwendet wurde. Als Abstand der Spurrille D wurden 1600 nm eingesetzt, was im Wesentlichen dem Spurrillenabstand einer handelsüblichen CD-R entspricht. Die Beugungsordnung n wurde auf 1 gesetzt. Weiterhin liegt der Rechnung das Auftreten von vorwärts gebeugtem Licht, bei positiven Radien R, und von rückwärts gebeugtem Licht, bei negativen Radien R, zu Grunde. Mit einer das Objektiv ringförmig umgebenen Lichtquelle würden sich die Beugungsmaxima unterschiedlicher Wellenlänge in der Realität überlagern. Als senkrechter Abstand r von der Lichtquelle zu der von der dem Zentrum entspringenden Flächennormale der CD-R gebildeten Achse wurden 25 mm eingesetzt. Der Radius R wurde, entsprechend der radialen Ausdehnung einer handelsüblichen CD-R, von –60 mm bis +60 mm variiert, wobei der den Innenbereich der CD-R repräsentierende Bereich von –15 mm bis +15 mm ausgelassen wurde. In diesem Innenbereich können weder Beugungseffekte noch direkte Reflexe entstehen.
  • Bei einem Abstand h von 560 mm weisen die Beugungsreflexe ausnahmslos Wellenlängen auf, die sowohl bei der Vorwärtsbeugung als auch bei der Rückwärtsbeugung unterhalb von im Wesentlichen 400 nm liegen. Der Beugungsreflex mit der höchsten Wellenlänge tritt dabei am äußersten Rand der CD-R auf und wird von dem rückwärts gebeugten Licht verursacht. Diese Ausgestaltung der Vorrichtung mit dem Abstand h von 560 mm ist demnach geeignet, um eine Inspektion der Oberflächen von CD-Rs frei von störenden Beugungseffekten durchzuführen.
  • 2 zeigt das Ergebnis einer Rechnung, bei der der Abstand h auf 360 mm verringert wurde. Die anderen Parameter wurden nicht geändert. Das vorwärts gebeugte Licht bei positiven Radien R erzeugt keine Beugungsreflexe mit Wellenlängen im Wesentlichen über 400 nm. Allerdings treten Beugungsreflexe des rückwärts gebeugten Lichts auf, die über die radiale Abmessung der CD-R bis zu einer Wellenlänge von etwas mehr als 600 nm reichen. Diese Beugungsreflexe würden die Inspektion der Oberfläche der CD-R beeinträchtigen. Um diese störenden Beugungseffekte zu vermeiden, muss das Auftreffen des von der Lichtquelle ausgesendeten Lichts auf Bereiche der Oberfläche der CD-R, die relativ zu der Lichtquelle auf der anderen Seite der von der dem Zentrum entspringenden Flächennormale der CD-R gebildeten Achse angeordnet sind, verhindert werden. Dies ist beispielsweise durch das Vorsehen einer Objektivblende erreichbar. Durch diese Maßnahme kann die räumliche Ausdehnung der Vorrichtung reduziert werden.
  • 3 zeigt abschließend das Ergebnis einer Rechnung, bei der der Abstand h 260 mm beträgt. Die anderen Parameter wurden gegenüber den in den 1 und 2 gezeigten Beispielen nicht geändert. In diesem Beispiel erzeugen sowohl das vorwärts gebeugte Licht als auch das rückwärts gebeugte Licht Beugungsreflexe mit einer Wellenlänge größer als 400 nm und damit störend für die Inspektion der Oberfläche der CD-R. Das Auftreffen des von der Lichtquelle ausgesendeten Lichts auf Bereiche der Oberfläche der CD-R, die relativ zu der Lichtquelle auf der gleichen Seite der von der dem Zentrum entspringenden Flächennormale der CD-R gebildeten Achse angeordnet sind, erzeugt hier Beugungseffekte. Demnach ist diese Ausgestaltung der Vorrichtung mit dem Abstand h von 260 mm nicht geeignet, um eine Inspektion der Oberflächen von CD-Rs frei von störenden Beugungseffekten gemäß der vorliegenden Erfindung durchzuführen.
  • Aus den vorstehend beschriebenen Berechnungen ergibt sich weiterhin, dass der Abstand h, nach dem die erfindungsgemäße Vorrichtung ausgestaltet werden kann, sich verringern würde, wenn der Spurrillenabstand von 1600 nm einen geringeren Wert, beispielsweise 740 nm, 400 nm oder 320 nm, annähme, die für andere optische Datenträger verwendet werden. Eine ähnliche Überlegung gilt natürlich, wenn der zu prüfende optische Datenträger eine runde Form mit einem Radius kleiner als 60 mm aufweisen würde.
  • 4 zeigt in einer perspektivisch leicht verzerrten Darstellung ein schematisches Ausführungsbeispiel der erfindungsgemäßen Vorrichtung 1 in einem Querschnitt. Ein runder optischer Datenträger 10 ist in einer nicht dargestellten Halterung angeordnet. Ein elektronischer Lichtempfänger 4 mit vorgelagertem Objektiv 6 ist dem optischen Datenträger 10 gegenüber beabstandet auf der von der dem Zentrum 24 entspringenden Flächennormale des optischen Datenträgers 10 gebildeten Achse angeordnet. Eine Lichtquelle 8 ist bei dem im Wesentlichen gleichen Abstand zu dem optischen Datenträger 10 angeordnet wie das Objektiv 6 und umgibt das Objektiv 6 ringförmig. Die Elektrizitätsversorgungsleitungen für die Lichtquelle 8 und den elektronischen Lichtempfänger 4 sowie die Datenübertragungsleitungen des elektronischen Lichtempfängers 4 sind in dieser Darstellung nicht gezeigt.
  • Das von der Lichtquelle 8 ausgesendete Licht 12 trifft auf die dem Objektiv 6 zugewandte Oberfläche des optischen Datenträgers 10 auf und wird dort im Wesentlichen reflektiert oder gestreut. Das Sichtfeld des Objektivs (gestrichelte Linie) erfasst das von der Oberfläche des optischen Datenträgers 10 reflektierte und gestreute Licht. Die Halterung für den optischen Datenträger 10, die Lichtquelle 8 und der elektronische Lichtempfänger 4 mit Objektiv 6 sind innerhalb eines im Wesentlichen lichtdichten Gehäuses 2 angeordnet, das den Einfluss von externem Streulicht verringert. In diesem Ausführungsbeispiel wurden der Abstand des Objektivs 6 von dem optischen Datenträger 10 sowie der Abstand der Lichtquelle 8 von dem Objektiv 6 so gewählt, dass die Aufnahmen des elektronischen Lichtempfängers 4 weitgehend keine Beugungseffekte oder direkten Lichtreflexe von der Oberfläche des optischen Datenträgers erfassen. Somit kann die Inspektion der Oberfläche des optischen Datenträgers 10 mit einer Aufnahme des elektronischen Lichtempfängers 4 wirksam vorgenommen werden.
  • 5 zeigt schematisch eine Vorrichtung 1, die der in 4 gezeigten ähnlich ist. Zusätzlich wurde an dem Objektiv 6 eine Objektivblende 14 angeordnet. Die Objektivblende 14 beschränkt den Bereich auf der Oberfläche des optischen Datenträgers 10, auf den das von einem Abschnitt der ringförmigen Lichtquelle 8', 8'' ausgesendete Licht auftrifft, auf im Wesentlichen die Bereiche, die relativ zu den Abschnitten der ringförmigen Lichtquelle 8', 8'' auf der gleichen Seite der von der dem Zentrum 24 entspringenden Flächennormale des optischen Datenträgers 10 gebildeten Achse angeordnet sind. Somit werden Beugungsreflexe von rückwärts gebeugtem Licht vermieden und der Abstand des Objektivs 6 zu dem optischen Datenträger 10 kann verringert werden.
  • 6 zeigt schematisch eine Vorrichtung 1, die der in 5 gezeigten ähnlich ist. Zusätzlich wurde an der Lichtquelle 8 ein Diffusor 16 angeordnet. Der Diffusor 16 ist der ringförmigen Ausgestaltung der Lichtquelle 8 entsprechend angepasst. Durch den Diffusor 16 kann ein ungleichförmiges Lichtaussendungsverhalten der Lichtquelle 16 kompensiert werden.
  • 7 zeigt schematisch eine Vorrichtung 1, die der in 6 gezeigten ähnlich ist. Zusätzlich wurde an der Objektivblende 14 eine Kragenblende 18 angeordnet. Die Kragenblende 18 beschränkt den Bereich der Oberfläche des optischen Datenträgers 10, auf den das von der Lichtquelle 8 ausgesendete Licht 12 auftrifft, auf die Bereiche, die nicht im Zentrum 24 bzw. Innenbereich des optischen Datenträgers 10 angeordnet sind. Das Zentrum 24 bzw. der Innenbereich weist vorzugsweise keine reflektierende Oberfläche auf. Daher könnte Licht, das auf das Zentrum 24 bzw. den Innenbereich auftrifft, unerwünschtes Streulicht verursachen, was durch die Kragenblende vermieden wird.
  • 8 zeigt schematisch eine Vorrichtung 1, die der in 7 gezeigten ähnlich ist. Zusätzlich wurde an den Innenwänden des Gehäuses 2 eine Gehäuseblende 20 angeordnet. Die Gehäuseblende 20 ist so ausgebildet und angeordnet, dass sie die vollflächige Ausleuchtung der Oberfläche des optischen Datenträgers 10 nicht behindert, dass sie aber Streulicht, das beispielsweise durch streifende Reflexion an den Innenwänden des Gehäuses 2 gebildet wurde, weitgehend aus dem Sichtfeld des Objektivs 6 fernhält.
  • 9 zeigt schematisch eine Vorrichtung 1, die der in 8 gezeigten ähnlich ist. Zusätzlich wurden an dem Diffusor 16 und an der Objektivblende 14 Polarisationsfilter 22a, 22b angeordnet. Würde die Vorrichtung 1 ohne Diffusor 16 und/oder ohne Objektivblende 14 ausgestaltet, wären die Polarisationsfilter 22a, 22b direkt an der Lichtquelle 8 oder an dem Objektiv 6 anzuordnen. Der erste Polarisationsfilter 22a ist, genau wie der Diffusor 16, der Ausgestaltung der Lichtquelle 8 angepasst.
  • Das von der Lichtquelle 8 ausgesendete Licht 12, das in diesem Beispiel den Diffusor 16 und den ersten Polarisationsfilter 22a durchlaufen hat, ist linear polarisiert. Das linear polarisierte Licht trifft auf die Oberfläche des optischen Datenträgers 10 auf und wird reflektiert oder gestreut. Je nach Art der Wechselwirkung mit der Oberfläche des optischen Datenträgers 10 kann sich die Polarisation des reflektierten oder gestreuten Lichts ändern. Bevor das Licht dann von dem elektronischen Lichtempfänger 4 aufgenommen wird, durchläuft es den zweiten Polarisationsfilter 22b, dessen Polarisationsrichtung im Wesentlichen senkrecht zu der Polarisationsrichtung des ersten Polarisationsfilters 22a eingestellt ist. Somit wird in der Aufnahme des elektronischen Lichtempfängers 4 das Licht ausgeblendet, dessen Polarisationszustand sich während der Wechselwirkung mit der Oberfläche des optischen Datenträgers 10 nicht geändert hat. Dadurch werden insbesondere Überbelichtungen, die durch aus glänzenden Lacken bestehende Aufdrucke auf der Oberfläche des optischen Datenträgers 10 verursacht werden, vermieden.

Claims (11)

  1. Vorrichtung (1) zur Inspektion von Oberflächen von optischen Datenträgern (10), – mit einem elektronischen Lichtempfänger (4), – mit einem an dem elektronischen Lichtempfänger (4) angeordneten Objektiv (6), – mit einer Lichtquelle (8, 8', 8') und – mit einer von dem Objektiv (6) beabstandet angeordneten Halterung für einen optischen Datenträger (10), – wobei die Lichtquelle (8, 8', 8'') benachbart zu dem Objektiv (6) angeordnet ist, – wobei zumindest ein Teil des von der Lichtquelle (8, 8', 8'') ausgesendeten Lichts (12) auf eine Oberfläche des in der Halterung angeordneten optischen Datenträgers (10) auftrifft und – wobei der elektronische Lichtempfänger (4), das Objektiv (6), die Lichtquelle (8, 8', 8'') und die Halterung so angeordnet sind, dass das Sichtfeld des Objektivs (6) im Wesentlichen keine direkten Reflexe und Beugungsreflexe des von der Oberfläche des optischen Datenträgers (10) reflektierten Lichts erfasst.
  2. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass der elektronische Lichtempfänger (4), das Objektiv (6), die Lichtquelle (8, 8', 8'') und die Halterung in einem Gehäuse (2) angeordnet sind.
  3. Vorrichtung nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, dass eine Objektivblende (14) vorgesehen ist.
  4. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, dass die Halterung drehbar ist.
  5. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet, dass die Lichtquelle (8, 8', 8'') ringförmig um das Objektiv (6) herum angeordnet ist.
  6. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 5, dadurch gekennzeichnet, dass die Lichtquelle (8, 8', 8'') mindestens eine lichtemittierende Diode aufweist.
  7. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 6, dadurch gekennzeichnet, dass an der Lichtquelle (8, 8', 8'') ein Diffusor (16) angeordnet ist.
  8. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 3 bis 7, dadurch gekennzeichnet, dass an der Objektivblende (14) eine Kragenblende (18) angeordnet ist.
  9. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 8, dadurch gekennzeichnet, dass eine Gehäuseblende (20) vorgesehen ist.
  10. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 9, dadurch gekennzeichnet, dass der Spektralbereich des von der Lichtquelle (8, 8', 8'') ausgesendeten Lichts (12) keine Wellenlängen kleiner als 400 nm umfasst.
  11. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 10, dadurch gekennzeichnet, – dass mindestens zwei Polarisationsfilter (22a, 22b) vorgesehen sind, deren Polarisationsrichtungen senkrecht zueinander einstellbar sind, – wobei der erste Polarisationsfilter (22a) benachbart zu dem Diffusor (16) bzw. zu der Lichtquelle (8, 8', 8'') angeordnet ist und wobei der zweite Polarisationsfilter (22b) benachbart zu der Objektivblende (14) bzw. zu dem Objektiv (6) angeordnet ist.
DE200710035198 2007-07-25 2007-07-25 Vorrichtung zur Inspektion von optischen Datenträgern Ceased DE102007035198A1 (de)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE200710035198 DE102007035198A1 (de) 2007-07-25 2007-07-25 Vorrichtung zur Inspektion von optischen Datenträgern

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE200710035198 DE102007035198A1 (de) 2007-07-25 2007-07-25 Vorrichtung zur Inspektion von optischen Datenträgern

Publications (1)

Publication Number Publication Date
DE102007035198A1 true DE102007035198A1 (de) 2009-01-29

Family

ID=40157291

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
DE200710035198 Ceased DE102007035198A1 (de) 2007-07-25 2007-07-25 Vorrichtung zur Inspektion von optischen Datenträgern

Country Status (1)

Country Link
DE (1) DE102007035198A1 (de)

Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE69107882T2 (de) * 1990-04-18 1995-11-02 Hitachi Ltd Verfahren und Gerät zur Untersuchung eines Oberflächenmusters eines Objektes.
EP1072884A2 (de) * 1999-07-28 2001-01-31 KELLY, William, M. Verbesserungen an oder bezüglich der ringförmigen Beleuchtung
DE60303328T2 (de) * 2002-05-17 2006-07-27 Mitutoyo Corp., Kawasaki Ringförmige Lichtquelle

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE69107882T2 (de) * 1990-04-18 1995-11-02 Hitachi Ltd Verfahren und Gerät zur Untersuchung eines Oberflächenmusters eines Objektes.
EP1072884A2 (de) * 1999-07-28 2001-01-31 KELLY, William, M. Verbesserungen an oder bezüglich der ringförmigen Beleuchtung
DE60303328T2 (de) * 2002-05-17 2006-07-27 Mitutoyo Corp., Kawasaki Ringförmige Lichtquelle

Similar Documents

Publication Publication Date Title
DE3343145C2 (de)
DE102009044151B4 (de) Vorrichtung zur optischen Waferinspektion
WO2001027591A2 (de) Verfahren und vorrichtung zur charakterisierung einer kulturflüssigkeit
DE102005061834A1 (de) Vorrichtung und Verfahren zum optischen Prüfen einer Oberfläche
DE102014017552A1 (de) Vorrichtung und Verfahren zur Bestimmung der Partikelgröße und/oder der Partikelform von Partikeln in einem Partikelstrom
EP2551663B1 (de) Vorrichtung und Verfahren zur Untersuchung von Beschichtungen mit Effektpigmenten
DE102004034160A1 (de) Vorrichtung zur Untersuchung optischer Oberflächeneigenschaften
DE102004034167A1 (de) Vorrichtung zur goniometrischen Untersuchung optischer Oberflächeneigenschaften
EP2710806A1 (de) Prüfvorrichtung für eine kamera sowie ein verfahren zur prüfung einer kamera
DE202004011811U1 (de) Vorrichtung zur goniometrischen Untersuchung optischer Oberflächeneigenschaften
DE4243144B4 (de) Objektiv für ein FT-Raman-Mikroskop
DE1472084A1 (de) Mikroskop mit wanderndem Beleuchtungspunkt
DE19511197C2 (de) Verfahren und Vorrichtung zum optischen Prüfen einer Oberfläche, insbesondere einer Compact-Disc
DE69404643T2 (de) Goniophotometer
EP0031155B1 (de) Anordnung zur punkt- und zeilenweisen Aufzeichnung von Bildinformationen
DE2242644A1 (de) Abtastvorrichtung
DE102007035198A1 (de) Vorrichtung zur Inspektion von optischen Datenträgern
DE10244767A1 (de) Verfahren und Vorrichtung zum Bestimmen des Abstands zwischen einer Referenzebene und einer inneren oder äußeren optischen Grenzfläche eines Objekts sowie Verwendung derselben zum Bestimmen eines Oberflächenprofils eines, inbesondere metallischen, Objekts, Autofokus-Modul, Mikroskop und Verfahren zum Autofokussieren eines Mikroskops
DE202014009443U1 (de) Vorrichtung zur Bestimmung der Partikelgröße und/oder der Partikelform von Partikeln in einem Partikelstrom
DE102005003690A1 (de) Vorrichtung zur Untersuchung optischer Oberflächeneigenschaften
DE102021107115A1 (de) Vorrichtung zur Untersuchung einer Oberfläche eines Bauteils
DE102013103522A1 (de) Bildaufnahmesystem zur Bildaufnahme eines Merkmals eines Identifikationsdokumentes
DE102018210019B4 (de) Vorrichtung und Verfahren zur Erkennung und/oder Bewertung von Erzeugnissen oder Produkten
DE4322609B4 (de) Verfahren sowie Vorrichtung zur Prüfung von Fokussieroptiken
DE19511195A1 (de) Verfahren und Vorrichtung zum Prüfen einer Oberfläche

Legal Events

Date Code Title Description
OP8 Request for examination as to paragraph 44 patent law
8131 Rejection