DE102007034171A1 - Thermische Analysevorrichtung - Google Patents

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DE102007034171A1
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Kanji Chiba Nagasawa
Rintaro Chiba Nakatani
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Hitachi High Tech Science Corp
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    • G01N25/20Investigating or analyzing materials by the use of thermal means by investigating the development of heat, i.e. calorimetry, e.g. by measuring specific heat, by measuring thermal conductivity

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Abstract

Eine Wärmeanalyseeinrichtung enthält einen Temperatursensor, welcher eine Temperatur eines Innenbereiches eines Wärmeofens misst, einen Temperaturprogramm-Einsteller, welcher ein Temperaturprogramm einstellen kann und ein Temperaturprogramm-Signal ausgibt, eine Temperatursteuersektion, welche eine elektrische Versorgungsenergie an den Erwärmer in Übereinstimmung mit einer Differenz zwischen dem Temperaturprogramm-Signal und einem Erfassungssignal von dem Temperatursensor einstellt, eine Prozessorsektion, welche eine Luftflussrate entsprechend einer Programmtemperatur berechnet, und eine Massenfluss-Steuerung, welche eine Luftflussrate, welche dem Innenbereich des Wärmeofens zugeführt wird, in Übereinstimmung mit einem Signal von der Luftflussrate einstellt, welche durch die Prozessorsektion berechnet ist. In der Prozessorsektion sind Betriebsausdrücke, welche die Luftflussrate berechnen, derart eingestellt, dass sie sich jeweils in einer höheren Temperaturseite und einer niedrigeren Temperaturseite als eine vorbestimmte Grenztemperatur unterscheiden.

Description

  • Die vorliegende Erfindung bezieht sich auf eine Wärmeanalyseeinrichtung, bei welcher ein Wärmeofen durch eine Zuführung von einem Kühlgas gekühlt wird.
  • Bisher wird in der Wärmeanalyseeinrichtung, wie beispielsweise ein Differenzial-Abtast-Kalorimeter, eine Analyse durch Inbesitznahme des Wärmeofens durchgeführt, welcher in seinem Innenbereich eine Probe (Probestück) unterbringt und einen Ausgang und einen Eingang von der Wärme der Probe mit seiner Wärmemenge misst, indem eine Temperatur von der Probe geändert wird, indem sie unter Verwendung von Wärme- und Kühleinrichtungen erhöht oder verringert wird. In der Wärmeanalyseeinrichtung wie dieser gibt es eine, bei welcher der Wärmeofen temperaturgesteuert ist, beispielsweise durch Kühlen des Wärmeofens durch ein Zuführen eines Gases, welches durch ein Flüssigkühlmittel gekühlt wird, an den Wärmeofen und ein Erwärmen des Wärmeofens durch einen Erwärmer, welcher im Wärmeofen bereitgestellt ist, oder dergleichen. In einem Fall, bei welchem die Kühlung durchgeführt wird, gibt es einen, bei welchem eine Steuerung zum Fließen des Kühlgases durch Öffnen/Schließen, in Übereinstimmung mit einer Notwendigkeit, eines elektromagnetischen Ventils durchgeführt wird, welches zwischen einer Flüssigkühlmittel-Zuführvorrichtung und dem Wärmeofen bereitgestellt ist (s. beispielsweise Japanisches Patent No. 3066687 Gazette und JP-B-7-122619 Gazette).
  • Das Patentdokument 1 ist eines, bei welchem die Kühlung des Wärmeofens nach einem Messende in der Wärmeanalyseeinrichtung automatisiert ist, um dadurch eine Laboreinsparung in einer Messung und eine Verbesserung in einer Effizienz zu erlangen, und ist eine, welche derart erstellt ist, dass, wenn eine Messung beendet ist, die Kühlung des Wärmeofens automatisch gestartet wird, indem das elektromagnetische Ventil auf EIN gestellt wird, damit somit das Kühlgas einer konstanten Menge fließt, und die Kühlung automatisch beendet wird, wenn der Wärmeofen auf eine zuvor eingestellte Kühlbeendigungs-Temperatur abgekühlt ist, und in einem Fall, bei welchem eine Temperatur des Wärmeofens abermals durch eine Wärmeträgheit oder dergleichen ansteigt, wird er auf oder unterhalb einer eingestellten Temperatur innerhalb einer kurzen Zeit durch eine automatische Durchführung einer Neukühlung gekühlt.
  • Das Patentdokument 2 ist eines, bei welchem ein Aufbau einer vollautomatischen Gaskühlung durch Flüssigstickstoff offenbart ist, und zwar einer, welcher derart erstellt ist, dass dort zuvor ein Temperaturprogramm eingestellt ist, in welchem eine Temperaturänderung hinsichtlich eines Verstreichens einer Zeit programmiert ist, wobei dort, um diesem Temperaturprogramm zu folgen, eine Kühlsteuerung von einer Probenkammer (Wärmeofen) durch einen elektrischen Energieversorger-Regler zusammen mit dem Verstreichen der Zeit, und eine Temperatursteuerung von der Probenkammer durch eine Wärme des Erwärmers durchgeführt werden, und einer, bei welchem eine Temperatur von der Probenkammer von einer Temperatur, welche niedriger als eine Kammertemperatur ist, welche eine Flüssigkühlmittel-Temperatur erreicht, auf eine hohe Temperatur von ungefähr 700°C genau gesteuert wird.
  • Jedoch gibt es bei der Wärmeanalyseeinrichtung, welche in den Patentdokumenten 1 und 2 verwendet wird, Probleme wie die Folgenden:
    In den Patentdokumenten 1 und 2 gibt es, wenn gekühlt wird, indem das Kühlgas an den Wärmeofen eine derart hohe Temperatur wird, dass sie beispielsweise 700°C übersteigt, ein Problem, dass der Wärmeofen, welcher Keramik enthält, durch einen Wärmeeinfluss, welcher auf den Wärmeofen ausgeübt wird, zerbrochen und beschädigt wird. Daher wird sie im Allgemeinen durch ein natürliches Kühlen auf ungefähr 700°C verringert, bei welcher angenommen wird, dass sie eine Temperatur ist, bei welcher der Wärmeofen nicht zerbricht, und zwar von einer solch hohen Temperatur, welche die obige 700°C übersteigt, und nachdem der Wärmeofen auf 700°C oder niedriger kommt, wird das Kühlgas dem Wärmeofen zugeführt. Jedoch gibt es in Abhängigkeit von der Messung eine Anforderung, dass es gewünscht ist, zu messen, indem die Temperatur schneller als die natürliche Kühlung in einem höheren Temperaturbereich als die obigen 700°C verringert wird, so dass ein geeignetes Kühlverfahren erforderlich ist.
  • Ferner, in einem Fall, bei welchem lediglich durch ein EIN/AUS des elektromagnetischen Ventils, wie in Patentdokumenten 1 und 2, gesteuert wird, wird, wie oben erwähnt, wenn durch Öffnen des elektromagnetischen Ventils zu einem Zeitpunkt, bei welchem 700°C oder weniger erlangt werden, folgen, dass die Temperatur des Wärmeofens sich rapide verringert, und es gibt einen Nachteil darin, dass eine schnelle Änderung in der Temperatur eine Rückführsteuerung des Erwärmers schwierig gestaltet, so dass es einen Nachteil darin gibt, dass eine präzise Temperatursteuerung des Wärmeofens unmöglich ist. Daher gibt es ein Problem darin, dass ein genaues Messergebnis nicht erlangt wird.
  • Die vorliegende Erfindung wurde angesichts der oben erwähnten Probleme erstellt, und es ist ihre Aufgabe, eine Wärmeanalyseeinrichtung bereitzustellen, welche derart erstellt ist, dass sie die Temperatur des Wärmeofens ohne ein Beschädigen des Wärmeofens kühlt, indem das Kühlgas von einer geeigneten Flussrate zugeführt wird.
  • UMRISS DER ERFINDUNG
  • Um die obige Aufgabe zu lösen, in einer Wärmeanalyseeinrichtung bezogen auf die vorliegende Erfindung, ist sie eine Wärmeanalyseeinrichtung, welche einen Wärmeofen, und einen Erwärmer, welcher einen Innenbereich des Wärmeofens erwärmt, enthält, und ist dadurch gekennzeichnet, dass sie einen Temperaturerfasser, welcher eine Temperatur innerhalb des Wärmeofens misst, einen Wärmeprogramm-Einsteller, welcher ein Temperaturprogramm einstellen kann, welches eine Temperaturänderung innerhalb des Wärmeofens in Übereinstimmung mit einem Verstreichen von einer Zeit vornimmt und ein Temperaturprogrammsignal ausgibt, eine Temperatursteuersektion, welche eine elektrische Versorgungsenergie an den Erwärmer in Übereinstimmung mit einer Differenz zwischen dem Temperaturprogrammsignal und einem Erfassungssignal von dem Temperaturerfasser einstellt, eine Prozessorsektion, welche eine Kühlgas-Flussrate in Übereinstimmung mit einer Programmtemperatur von dem Temperaturprogramm berechnet, und eine Kühlgas-Flussraten-Einstellsektion, welche mit dem Temperaturprogramm-Einsteller über die Prozessorsektion verbunden ist und eine Kühlgas-Flussrate, welche innerhalb des Wärmeofens zugeführt wird, in Übereinstimmung mit einem Signal von der Kühlgas-Flussrate, welche durch die Prozessorsektion berechnet wird, einstellt, enthält, und wobei in der Prozessorsektion Betriebsausdrücke, welche die Kühlgas-Flussrate berechnen, derart eingestellt sind, dass sie sich jeweils in einer höheren Temperaturseite und einer niedrigeren Temperaturseite als eine vorbestimmte Grenztemperatur unterscheiden, und die Kühlgas-Flussrate, welche durch den Betriebsausdruck in der höheren Temperaturseite berechnet ist, auf einen Grad erstellt ist, bei welchem der Wärmeofen nicht beschädigt wird.
  • In der vorliegenden Erfindung wird eine geeignete Kühlgas-Flussrate gemäß dem Verstreichen einer Zeit des Temperaturprogramms gefunden, ein Signal wird der Kühlgas- Flussrate-Einstellsektion ausgegeben, die Kühlgas-Flussrate-Einstellsektion wird eingestellt, und ein Kühlgas einer vorbestimmten Menge wird dem Wärmeofen zugeführt und somit kann dieser gekühlt werden. Zusätzlich, wenn die Programmtemperatur ein höherer Temperaturbereich als eine vorbestimmte Grenztemperatur wird, indem die Kühlgas-Flussrate von einer geringen Menge des Grades, bei welchem der Wärmeofen nicht beschädigt wird, dem Wärmeofen zugeführt wird, ist es möglich, ihn schneller als die natürliche Kühlung zu kühlen. Ferner, wenn sie in einem niedrigeren Temperaturbereich als die vorbestimmte Grenztemperatur ist, ist es möglich, die Kühlgas-Flussrate von einer hohen Menge dem Wärmeofen zuzuführen.
  • Ferner ist es in einer Wärmeanalyseeinrichtung, bezogen auf die vorliegende Erfindung, wünschenswert, dass an der Programmtemperatur der Betriebsausdruck in der höheren Temperaturseite als die Grenztemperatur einen ersten Betriebsausdruck erstellt und der Betriebsausdruck in der niedrigeren Temperaturseite einen zweiten Betriebsausdruck erstellt, und dass Kühlgas-Flussraten-Kurvenverläufe, welche von jedem aus dem ersten Betriebsausdruck und dem zweiten Betriebsausdruck gefunden werden, durch einen Kühlgas-Flussraten-Kurvenverlauf verbunden werden, welcher von einem dritten Betriebsausdruck gefunden wird, welcher eine unterschiedliche Kontinuität erstellt.
  • In der vorliegenden Erfindung, da die Kühlgas-Flussraten-Kurvenverläufe, welche von jedem aus dem ersten Betriebsausdruck und dem zweiten Betriebsausdruck gefunden werden, verbunden werden, während behutsam durch den Kühlgas-Flussraten-Kurvenverlauf, basierend auf dem dritten Betriebsausdruck, welcher die unterschiedliche Kontinuität hat, fortgefahren wird, kann anhand der Tatsache, dass es möglich ist, eine Kühlung zu realisieren, welche keine schnelle Temperaturänderung hat, eine Temperatursteuerung des Erwärmers in der Temperatursteuersektion genau durchgeführt werden, so dass es möglich ist, genaue Messdaten zu erlangen.
  • Ferner ist es in einer Wärmeanalyseeinrichtung, bezogen auf die vorliegende Erfindung, vorteilhaft, wenn die Grenztemperatur 600–800°C beträgt.
  • In der vorliegenden Erfindung ist ein Temperaturbereich von 600–800°C als der Grad eingestellt, bei welchem der Wärmeofen nicht beschädigt wird, und kann dem Wärmeofen mit der Kühlgas-Flussrate zugeführt werden, welche in einem Fall der höheren Temperaturseite als diese Grenztemperatur und einem Fall der niedrigeren Temperaturseite als derselbigen geändert wird.
  • Ferner ist es in einer Wärmeanalyseeinrichtung, bezogen auf die vorliegende Erfindung, vorteilhaft, wenn die Grenztemperatur 700°C beträgt.
  • In der vorliegenden Erfindung ist 700°C als der Grad eingestellt, bei welchem der Wärmeofen nicht beschädigt wird, und sie kann dem Wärmeofen mit der Kühlgas-Flussrate zugeführt werden, welche in dem Fall von der höheren Temperaturseite als diese Grenztemperatur und dem Fall der niedrigeren Temperaturseite als derselbigen geändert wird.
  • Gemäß der Wärmeanalyseeinrichtung von der vorliegenden Erfindung ist es möglich, sie dem Wärmeofen mit der Kühlgas-Flussrate von einer kleinen Größe zuzufließen, wenn die Programmtemperatur der höhere Temperaturbereich als die Grenztemperatur ist, und sie mit der Kühlgas-Flussrate von einer hohen Größe zuzufließen, wenn sie der niedrigere Temperaturbereich als die Grenztemperatur ist. Demgemäß, in dem höheren Temperaturbereich als die Grenztemperatur, indem das Kühlgas des Grades, bei welchem der Wärmeofen nicht beschädigt wird, dem Wärmeofen zugeführt wird, ist es möglich, schneller als bei der natürlichen Kühlung zu kühlen. Daher wird der Temperaturbereich des Wärmeofens, welchem das Kühlgas zugeführt wird, umfangreich, so dass ein derartiger Vorteil erbracht wird, dass es möglich ist, eine Messung in einem umfangreicheren Bereich durchzuführen.
  • Ferner, in der höheren Temperaturseite als die Grenztemperatur, da die Kühlgas-Flussrate des Grades, in welchem der Wärmeofen nicht durch die Kühlung beschädigt wird, durch die Prozessorsektion berechnet wird, ist es möglich, eine solche Tatsache wie im Stand der Technik aufzuheben, dass der Wärmeofen beschädigt wird, indem er schnell gekühlt wird.
  • Darüber hinaus, anhand der Tatsache, dass eine geeignete Kühlgas-Flussrate dem Wärmeofen auf der Basis des Temperaturprogramms zugeführt werden kann, ist es möglich, eine genaue Temperatursteuerung durchzuführen.
  • KURZE BESCHREIBUNG DER ZEICHNUNGEN
  • 1 ist ein Blockdiagramm, welches einen gesamten Auszug von einer Wärmeanalyseeinrichtung durch eine Ausführungsform von der vorliegenden Erfindung erläutert.
  • 2 ist ein Diagramm, welches ein Temperaturprogramm zeigt, welches durch einen Temperaturprogramm-Einsteller eingestellt ist.
  • 3 ist ein Kurvenverlauf, welcher eine Beziehung zwischen einer Programmtemperatur und einer Luftflussrate zeigt.
  • GENAUE BESCHREIBUNG DER BEVORZUGTEN AUSFÜHRUNGSFORM
  • Im Folgenden wird eine Wärmeanalyseeinrichtung durch eine Ausführungsform von der vorliegenden Erfindung auf der Basis von 1 bis 3 erläutert.
  • 1 ist ein Blockdiagramm, welches einen gesamten Auszug von der Wärmeanalyseeinrichtung durch die Ausführungsform von der vorliegenden Erfindung erläutert, 2 ist ein Diagramm, welches ein Temperaturprogramm zeigt, welches durch einen Temperaturprogramm-Einsteller eingestellt ist, und 3 ist ein Kurvenverlauf, welcher eine Beziehung zwischen einer Programmtemperatur und einer Luftflussrate zeigt.
  • Wie in 1 gezeigt, ist die Wärmeanalyseeinrichtung durch die vorliegende Erfindung jene, welche in einer Wärmeanalyseeinrichtung 1 adaptiert ist, wie beispielsweise ein Differenzial-Abtast-Kalorimeter, welches dazu in der Lage ist, eine Größe eines Ausganges und eines Einganges von einer Wärme zu messen, indem eine Wärmeanalyse durchgeführt wird, um eine physikalische Eigenschaftsänderung (struktureller Phasenübergang, thermische Denaturierung, Fusion, Kristallisation oder dergleichen), welche auf eine Weise durch eine Temperaturänderung auftritt, eine Thermobalance, welche eine Gewichtsänderung von der Sache erfasst, und dergleichen zu erfassen.
  • Zunächst wird ein schematischer Aufbau der Wärmeanalyseeinrichtung 1 durch die vorliegende Ausführungsform auf der Basis von der Zeichnung erläutert.
  • Wie in 1 gezeigt, enthält die Wärmeanalyseeinrichtung 1 der vorliegenden Ausführungsform einen Wärmeofen 2, welcher eine Probe M (Probenexemplar), welche ein Messobjekt wird, und eine Referenzprobe (eine diagrammartige Darstellung ist ausgelassen), welche eine thermisch träge Referenzsache ausmacht, unterbringt, und einen Erwärmer 3 zum Erhöhen einer Temperatur des Wärmeofens 2. Zusätzlich wird eine Wärmeflussrate gemessen, welche einen Eingang und einen Ausgang zu und von der Probe M pro Zeiteinheit erstellt, indem eine Temperaturdifferenz zwischen der Probe M und der Referenzprobe erfasst wird, während die Temperatur des Wärmeofens 2 durch eine Temperatursteuerung des Erwärmers 3 erhöht oder verringert wird.
  • Zusätzlich ist die Wärmeanalyseeinrichtung 1 schematisch durch einen Temperatursensor 4 (Temperaturerfasser), welcher die Temperatur innerhalb des Wärmeofens 2 misst, einen Temperaturprogramm-Einsteller 5, welcher dazu in der Lage ist, ein Temperaturprogramm P (s. 2) einzustellen und ein Temperaturprogrammsignal auszugeben, eine Temperatursteuersektion 6, welche mit dem Temperaturprogramm-Einsteller 5, dem Temperatursensor 4 und dem Erwärmer 3 verbunden ist und eine elektrische Energieversorgung an den Erwärmer 3 in Übereinstimmung mit einer Differenz zwischen dem Temperaturprogrammsignal und einem Erfassungssignal des Temperatursensors 4 einstellt, eine Prozessorsektion 7, welche eine Luftflussrate (Kühlgas-Flussrate) entsprechend einer Programmtemperatur des Temperaturprogramms P berechnet, und eine Massenfluss-Steuerung 8 (Kühlgas-Flussrate-Einstellsektion), welche mit dem Temperaturprogramm-Einsteller 5 über die Prozessorsektion 7 verbunden ist und die Luftflussrate, welche innerhalb des Wärmeofens 2 zugeführt wird, in Übereinstimmung mit einem Signal von der Prozessorsektion 7 einstellt, gebildet.
  • Der in 1 gezeigte Wärmeofen 2 erstellt einen Ofenkörper für hohe Temperaturen und kann eine Erwärmungstemperatur auf beispielsweise maximal etwa 2000°C erhöhen. Ferner ist der Erwärmer 3 ein Wärmemittel zum Erwärmen des Wärmeofens 2 auf eine solche Weise wie oben erwähnt, und es ist möglich, beispielsweise einen elektrisch erwärmten Erwärmer zu adaptieren, welcher wie eine Spule angeordnet wird, um somit eine Seitenflächen-Peripherie des Wärmeofens 2 zu umgeben, oder dergleichen.
  • Zusätzlich sind der Erwärmer 3 und der Temperatursensor 4 des Wärmeofen 2 Innenbereiches mit dem Temperaturprogramm-Einsteller 5 über die Temperatursteuersektion 6 verbunden. Die Temperatursteuersektion 6 steuert derart, um die elektrische Energieversorgung an den Erwärmer 3 in Übereinstimmung mit einer Differenz (Temperatur-Differenzsignal) zwischen einem Ausgangssignal des Temperaturprogramms P des Temperaturprogramm-Einstellers 5 und einem Ausgangssignal des Temperatursensors 4 einzustellen.
  • Zusätzlich wird eine Wirkung der Temperatursteuersektion 6 detaillierter erläutert. Die in 1 gezeigte Temperatursteuersektion 6 steuert die Temperatur genau bezogen auf das Temperatur-Differenzsignal zwischen dem Temperaturprogramm-Einsteller 5 und dem Temperatursensor 4, wobei der Wärmeofen 2 dem Temperaturprogramm P folgt, welches im Temperaturprogramm-Einsteller 5 eingestellt ist, indem ein elektrischer Leistungswert, welcher resultierend aus einem bekannten PID (Proportion/Integration/Differenzial) Steuerbetrieb erlangt wird, an den Erwärmer 3 zurückgeführt wird. Mit anderen Worten, wenn die Temperatur des Wärmeofens 2 niedriger als eine durch das Temperaturprogramm P eingestellte Temperatur wird, wird eine Wärmemenge durch den Erwärmer 3 erhöht, und wenn die Temperatur des Wärmeofens 2 zu hoch ist, wird die Wärmemenge verringert. Zusätzlich, in einem Fall, bei welchem diese Temperatur des Wärmeofens 2 auf eine Temperatur verringert wird, welche niedriger als eine Raumtemperatur ist, oder die Temperatur schnell verringert wird, ist es möglich, mit Luft zu kühlen, indem die Luft denn Wärmeofen 2 Innenbereich unter Verwendung der Massenfluss-Steuerung 8 (später detaillierter erwähnt) zugeführt wird.
  • Ferner wird die Temperatursteuerung des Wärmeofens 2 durch die Temperatursteuersektion 6 stets unabhängig von einem Vorliegen/Nicht-Vorliegen eines Betriebes der Massenfluss-Steuerung 8 durchgeführt, und die Temperatursteuerung wird in einem umfangreichen Bereich von einer niedrigen Temperatur zu einer hohen Temperatur (beispielsweise in der vorliegenden Ausführungsform maximal etwa 2000°C) durchgeführt.
  • Der in 1 gezeigte Temperaturprogramm-Einsteller 5 kann ein Temperaturmuster (das heißt, das in 2 gezeigte „Temperaturprogramm P") einstellen, wobei die Temperatur des Wärmeofens 2 Innenbereiches zusammen mit dem Verstreichen der Zeit geändert wird (erhöht oder verringert), und gibt vom Temperaturprogramm-Einsteller 5 ein Temperatursignal aus, welches durch das Programm eingestellt ist.
  • Hier ist das in 2 gezeigte Temperaturprogramm P durch eine Zeit S in der Abszissenachse und eine Programmtemperatur T (°C) in der Ordinatenachse gebildet, wobei es eine Temperaturänderung zeigt, welche hinsichtlich der Zeit bestimmt ist, und einen Zielwert zum Messen der Probe M erstellt. Das heißt, dass in der vorliegenden Wärmeanalyseeinrichtung 1 folgt, dass die Temperatursteuersektion 6 und die Massenfluss-Steuerung 8 derart gesteuert sind, um dem Temperaturprogramm P zu folgen. Im Übrigen ist das in 2 gezeigte Temperaturprogramm P ein Beispiel von einem Temperatur-Anstieg/Abfall in Bezug auf die Messung von der Probe M und kann willkürlich durch eine Messeinrichtungs-Person eingestellt werden, während es von Messbedingungen und dergleichen abhängt.
  • Wie in 1 gezeigt, ist die Massenfluss-Steuerung 8 mit dem Temperaturprogramm-Einsteller 5 verbunden, und es wird eine Luftflussrate, welche von einer Gas-Zuführsektion 9 zugeführt wird, in Übereinstimmung mit einem Ausgangssignal von dem Temperaturprogramm-Einsteller 5 (genauer gesagt, die Prozessor-Sektion 7) eingestellt, wodurch sie dem Wärmeofen 2 Innenbereich zugeführt wird. Hier ist in der Wärmeanalyseeinrichtung 1 eine Gaspipeline 10 bereitgestellt, um das Gas dem Wärmeofen 2 Innenbereich von der Gas-Zuführsektion 9 über die Massenfluss-Steuerung 8 zuzuführen.
  • Im Übrigen ist die Gas-Zuführsektion 9 beispielsweise ein Luftkompressor oder dergleichen, und eine komprimierte Luft, welche von der Gas-Zuführsektion 9 ausgesendet wird, wird an den Wärmeofen 2 Innenbereich gesendet, während sie durch die Gaspipeline 10 passiert. Zusätzlich ist im Wärmeofen 2 ein Luft-Entladeanschluss 2a bereitgestellt.
  • Ähnlich, indem der Luftkompressor in der Gas-Zuführsektion 9 adaptiert wird, und in einer Kühlquelle die komprimierte Luft durch den Kompressor verwendet wird, welche lediglich durch eine elektrische Leistung zugeführt werden kann, wird es unnötig, ein Kühlmittel, wie beispielsweise Flüssigstickstoff, in einem Tank nachzufüllen. Zusätzlich, obwohl später detailliert erwähnt, ist es in einem Fall der Luftkühlung, anhand der Tatsache, dass sie eine gewöhnliche Temperatur in Vergleich mit dem Niedrigtemperatur-Kühlmittel wird, möglich, eine Kühlung durchzuführen, bei welcher ein solcher thermischer Einfluss, um den Wärmeofen zu beschädigen, gering erstellt wird, und zwar sogar dann, wenn sie in einem hohen Temperaturbereich (beispielsweise eine Temperatur höher als 700°C) ist. Darüber hinaus, da die Kühlsteuerung durch die Luftkühlung in ihrer Temperaturdifferenz nicht so hoch ist wie beim Kühlmittel, wird ein derartiger Vorteil erbracht, dass die Temperatursteuerung einfach durchzuführen ist.
  • Ferner hat die Massenfluss-Steuerung 8 ein Flussraten-Steuerventil (eine schaubildartige Darstellung ist ausgelassen), bei welchem eine Steuerung bei einer hohen Genauigkeit durch eine digitale Steuerung möglich ist, später detailliert erwähnt, wobei sie einen Aufbau erhält, bei welchem das Flussraten-Steuerventil gemäß einem Ausgangssignal von einer Luftflussrate entsprechend der Programmtemperatur T (°C) von dem Temperaturprogramm P, welches durch die Prozessorsektion 7 eingestellt ist, eingestellt wird.
  • Im Übrigen sind die Steuerungen des Temperaturprogramm-Einstellers 5, der Prozessorsektion 7 und der Massenfluss-Steuerung 8 auf Leerlauf-Steuerungen erstellt, und nicht auf jene, bei welchen die Temperatur des Wärmeofen 2 Innenbereiches durch eine Rückführung an die Prozessorsektion 7 und die Massenfluss-Steuerung 8 gesteuert wird.
  • Als Nächstes wird ein Aufbau von der Prozessorsektion 7 und dergleichen auf der Basis von den Zeichnungen erläutert.
  • Wie in 1 gezeigt, ist die Prozessorsektion 7 mit dem Temperaturprogramm-Einsteller 5 verbunden, und eine Steuervorrichtung führt die Steuerung durch, indem die Luftflussrate berechnet wird, welche von der Gas-Zuführsektion 9 ausgesendet wird, welche der Programmtemperatur T (°C) von dem Temperaturprogramm P (s. 2) ent spricht, und überträgt ein Ausgangssignal von der berechneten Luftflussrate an die Massenfluss-Steuerung 8.
  • Genauer gesagt, ist in der Prozessorsektion 7 ein Betriebsausdruck (Funktion) zum Berechnen einer Luftflussrate Q entsprechend der Programmtemperatur T eingestellt, welche von dem Temperaturprogramm-Einsteller 5 eingegeben ist, das heißt ein Betriebsausdruck, bei welchem die Temperatur und eine Kühlgeschwindigkeit zu Parametern erstellt sind. 3 ist eine, bei welcher auf der Basis von diesem Betriebsausdruck eine Beziehung zwischen der Programmtemperatur T (°C) und der Luftflussrate Q zu einem Kurvenverlauf erstellt ist. Hier ist dieser Kurvenverlauf zu einem Luftflussraten-Kurvenverlauf erstellt, welcher mit R gekennzeichnet ist.
  • Dieser Luftflussraten-Kurvenverlauf R dient zum Berechnen einer geeigneten Luftflussrate gemäß der Programmtemperatur des Temperaturprogramms P, um den Wärmeofen 2 mit Luft zu kühlen, und, indem 700°C zu einer Grenztemperatur T0 erstellt ist, sind ein Temperaturbereich in einer höheren Temperaturseite als diese Grenztemperatur T0 und ein Temperaturbereich in einer niedrigeren Temperaturseite als die Grenztemperatur T0 durch unterschiedliche Betriebsausdrücke eingestellt.
  • Mit anderen Worten, in einem Fall, bei welchem eine Temperatur höher als die Grenztemperatur T0 ist, wird sie durch einen ersten Betriebsausdruck R1 gekennzeichnet, bei welchem sie eine leichte Flussrate eines Grades wird, bei welchem der Wärmeofen 2 nicht zerbrochen und beschädigt wird, und in einem Fall, bei welchem eine Temperatur niedriger als die Grenztemperatur T0 ist, wird sie durch einen zweiten Betriebsausdruck R2 gekennzeichnet, welches einen derartigen quadratischen Kurvenverlauf erstellt, dass die Luftflussrate zusammen mit beispielsweise einem Abfall von der Programmtemperatur ansteigt. Zusätzlich werden die Luftflussraten-Kurvenverläufe, welche von jedem aus dem ersten Betriebsausdruck R1 und dem zweiten Betriebsausdruck R2 gefunden werden, gegenseitig, und zwar in der Nähe von der Grenztemperatur T0 oder von Änderungspunkten von beiden Luftflussraten-Kurvenverläufen, mit einem sanften Kurvenverlauf, welcher eine Kontinuität hat, durch einen Luftflussraten-Kurvenverlauf verbunden, welcher von einem dritten Betriebsausdruck R3 gefunden wird, welches eine Funktion erstellt, welche eine unterschiedliche Kontinuität hat.
  • Hier wird die Grenztemperatur T0 (etwa 700°C) als eine Temperatur erachtet, welche den thermischen Einfluss auf einen keramischen Ofenkern von dem Wärmeofen 2 übersteigt.
  • Dadurch, wenn die Programmtemperatur in einem höheren Temperaturbereich (beispielsweise eine in 3 gezeigte Temperatur T1) als die Grenztemperatur T0 ist, kann sie an den Wärmeofen 2 mit einer Luftflussrate (Q1) einer kleinen Menge geflossen werden, und wenn sie in einem niedrigeren Temperaturbereich (beispielsweise eine in 3 gezeigte Temperatur T2) als die Grenztemperatur T0 ist, kann sie an den Wärmeofen 2 mit einer Luftflussrate (Q2) einer hohen Menge geflossen werden. Demgemäß ist es in der vorliegenden Wärmeanalyseeinrichtung 1 möglich, den Wärmeofen 2, welcher in denn Temperaturbereich von der Temperatur höher als 700°C ist, auf 700°C zu kühlen, und zwar schneller als die natürliche Kühlung, und es ist möglich, die Temperatursteuerung durchzuführen, indem eine geeignete Luftflussrate an den Wärmeofen 2 auf der Basis von dem Temperaturprogramm P zugeführt wird.
  • Zusätzlich, in der Nähe von der Grenztemperatur T0, da die Luftflussraten-Kurvenverläufe, welche von jedem aus den ersten Betriebsausdruck R1 und dem zweiten Betriebsausdruck R2 gefunden werden, verbunden werden, während sie sanft durch den Luftflussraten-Kurvenverlauf, basierend auf dem dritten Betriebsausdruck R3, fortgeführt werden, welcher die unterschiedliche Kontinuität hat, ist es anhand der Tatsache, dass eine Kühlung, welche keine schnelle Temperaturänderung hat, realisiert werden kann, möglich, eine Temperatursteuerung des Erwärmers 3 in der Temperatursteuersektion 6 präzise durchzuführen, so dass es möglich wird, akkurate Messdaten zu erlangen.
  • Ebenso werden, indem der Luftflussraten-Kurvenverlauf R entsprechend der Programmtemperatur eingestellt wird, wobei die geeignete Luftflussrate Q gefunden wird, welche nach dem Verstreichen von der Zeit des Temperaturprogramms P folgt, ein Signal an die Massenfluss-Steuerung 8 ausgegeben, die Massenfluss-Steuerung 8 eingestellt, und die komprimierte Luft von einer vorbestimmten Menge dem Wärmeofen 2 zugeführt, und wird dieser dadurch luftgekühlt.
  • Als Nächstes werden Betriebe der Wärmeanalyseeinrichtung 1 durch die vorliegende Ausführungsform auf Basis von 1 bis 3 erläutert.
  • Zunächst wird das in 2 gezeigte gewünschte Temperaturprogramm P zuvor in dem Temperaturprogramm-Einsteller 5 (s. 1) eingestellt. Wenn der Temperaturprogramm-Einsteller 5 betrieben wird, wird ein Temperatursignal vom Temperaturprogramm-Einsteller 5 ausgegeben. In einem Fall, bei welchem das Temperatursignal durch das Temperaturprogramm P einen Temperaturanstieg (Bezugszeichen P1, wie in 2 gezeigt) erfährt, wird die Temperatur des Wärmeofens 2 eine Temperatur T3 von 700°C bei einer Zeit S1 durch den Betrieb des Erwärmers 3.
  • Zusätzlich, in einem Fall, bei welchem eine bestimmte vorbestimmte Zeit verstreicht und das Temperatursignal durch das Temperaturprogramm P einen Temperaturabfall (Bezugszeichen P2, wie in 2 gezeigt) erfährt, wird eine Temperaturverwaltung des Wärmeofens 2 mit dem Erwärmer 3, welcher seinen Betriebszustand beibehält, durchgeführt, und ein Temperatursignal des Temperaturprogramm-Einstellers 5 wird der Prozessorsektion 7 eingegeben. Zusätzlich wird zu dieser Zeit an die Massenfluss-Steuerung 8 ein Signal der Luftflussrate ausgegeben, welche in einem Temperaturbereich von der Temperatur T3 bis 700°C in der Prozessorsektion 7 auf der Basis von dem ersten Betriebsausdruck R1, wie in 3 gezeigt, oder in einem Temperaturbereich von 700°C zu einer Temperatur T4, ähnlich auf der Basis von dem zweiten Betriebsausdruck R2 berechnet wird, und es folgt, dass die Luft von einer vorbestimmten Menge dem Wärmeofen 2 zugeführt wird, und dieser somit luftgekühlt wird. Zusätzlich wird um den Temperatur-Anstieg/Abfall des Temperaturprogramms P nach der Temperatur T4 zu einer Zeit S2 die Massenfluss-Steuerung 8 durch Betriebe ähnlich jenen wie oben erwähnt gesteuert.
  • Wie oben erwähnt, ist es in der Wärmeanalyseeinrichtung durch die vorliegende Ausführungsform möglich, an den Wärmeofen eine Luftflussrate von einer kleinen Menge zu fließen, wenn die Programmtemperatur T im höheren Temperaturbereich als die Grenztemperatur T0 ist, und an ihn die Luftflussrate einer hohen Menge zufließen, wenn sie der niedrigere Temperaturbereich als die Grenztemperatur T0 ist. Demgemäß, im höheren Temperaturbereich als die Grenztemperatur T0, indem die Luft des Grades, bei welchem der Wärmeofen 2 nicht beschädigt wird, an den Wärmeofen 2 zugeführt wird, ist es möglich, schneller als bei der natürlichen Kühlung zu kühlen. Daher wird der Temperaturbereich des Wärmeofens 2 zum Zuführen der Luft umfangreich, so dass ein derartiger Vorteil erbracht wird, dass es möglich ist, eine Messung in einem umfangreichen Bereich durchzuführen.
  • Ferner ist es in der höheren Temperaturseite als die Grenztemperatur T0, da eine Luftflussrate des Grades, bei welchem der Wärmeofen 2 nicht durch die Kühlung beschädigt wird, durch die Prozessorsektion 7 berechnet wird, möglich, eine solche Tatsache wie im Stand der Technik aufzuheben, dass der Wärmeofen beschädigt wird, indem er schnell gekühlt wird.
  • Darüber hinaus, anhand der Tatsache, dass eine geeignete Luftflussrate dem Wärmeofen 2 auf der Basis von dem Temperaturprogramm P zugeführt werden kann, ist es möglich, die genaue Temperatursteuerung durchzuführen.
  • In dem Obigen, obwohl dort der Modus von der Wärmeanalyseeinrichtung durch die vorliegende Erfindung erläutert ist, ist die vorliegende Erfindung nicht auf die obige Ausführungsform beschränkt, und sie kann geeigneterweise in einem Umfang modifiziert werden, welcher nicht von seinem Hauptinhalt abweicht.
  • Beispielsweise, obwohl in der vorliegenden Ausführungsform 700°C als die Grenztemperatur T0 erstellt ist, ist sie numerisch nicht auf diese 700°C beschränkt, und es ist möglich, zu bewirken, dass ihr Temperaturbereich von der Grenztemperatur T0 einen vorbestimmten Bereich hat. Beispielsweise ist es erachtet, dass es keine Rolle spielt, wenn die Grenztemperatur T0 in einem Bereich von 600–800°C ist.
  • Ferner, obwohl in der vorliegenden Ausführungsform die Luftflussrate unter Verwendung der Massenfluss-Steuerung 8 gesteuert wird, bei welcher die digitale Steuerung möglich ist, kann sie derart erstellt werden, dass, indem ein bekanntes Flussraten-Steuerventil verwendet wird, seine Öffnungs-/Schließmenge gesteuert wird.
  • Zusätzlich, obwohl in der vorliegenden Ausführungsform als das Kühlverfahren ein Luftkühlsystem durch die komprimierte Luft adaptiert ist, ist sie nicht darauf beschränkt, und es spielt keine Rolle, wenn es derart erstellt ist, dass ein Kühlgas, wie beispielsweise Flüssigstickstoff, verwendet wird.

Claims (5)

  1. Wärmeanalyseeinrichtung, welche enthält: einen Wärmeofen; einen Erwärmer, welcher einen Innenbereich des Wärmeofens erwärmt; einen Temperaturerfasser, welcher eine Temperatur des Innenbereiches des Wärmeofens misst; einen Temperaturprogramm-Einsteller, welcher ein Temperaturprogramm einstellen kann, welches eine Temperaturänderung des Innenbereiches des Wärmeofens in Übereinstimmung mit einem Verstreichen von einer Zeit vornimmt und ein Temperaturprogramm-Signal ausgibt; eine Temperatursteuersektion, welche eine elektrische Versorgungsenergie an den Erwärmer in Übereinstimmung mit einer Differenz zwischen dem Temperaturprogramm-Signal und einem Erfassungssignal des Temperaturerfassers einstellt; eine Prozessorsektion, welche eine Kühlgas-Flussrate entsprechend einer Programmtemperatur von dem Temperaturprogramm berechnet; und eine Kühlgas-Flussraten-Einstellsektion, welche mit dem Temperaturprogramm-Einsteller über die Prozessorsektion verbunden ist und eine Kühlgas-Flussrate, welche dem Innen bereich des Wärmeofens zugeführt wird, in Übereinstimmung mit einem Signal von der Kühlgas-Flussrate, welche durch die Prozessorsektion berechnet ist, einstellt, wobei in der Prozessorsektion Betriebsausdrücke, welche die Kühlgas-Flussrate berechnen, derart eingestellt sind, dass sie sich jeweils in einer höheren Temperaturseite und einer niedrigeren Temperaturseite als eine vorbestimmte Grenztemperatur unterscheiden, und die Kühlgas-Flussrate, welche durch den Betriebsausdruck in der höheren Temperaturseite berechnet ist, auf einen Grad erstellt ist, bei welchem der Wärmeofen nicht beschädigt wird.
  2. Wärmeanalyseeinrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass: an der Programmtemperatur der Betriebsausdruck in der höheren Temperaturseite als die Grenztemperatur einen ersten Betriebsausdruck erstellt und der Betriebsausdruck in der niedrigeren Temperaturseite einen zweiten Betriebsausdruck erstellt, und Kühlgas-Flussraten-Kurvenverläufe, welche von jedem von dem ersten Betriebsausdruck und dem zweiten Betriebsausdruck gefunden werden, durch einen Kühlgas-Flussraten-Kurvenverlauf verbunden werden, welcher von einem dritten Betriebsausdruck gefunden wird, welcher eine unterschiedliche Kontinuität hat.
  3. Wärmeanalyseeinrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die Grenztemperatur gleich 600–800°C ist.
  4. Wärmeanalyseeinrichtung nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, dass die Grenztemperatur gleich 600–800°C ist.
  5. Wärmeanalyseeinrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die Grenztemperatur gleich 700°C ist.
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