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HINTERGRUND
DER ERFINDUNG
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Gebiet der
Erfindung
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Die
vorliegende Erfindung betrifft allgemein einen Wärmeabstrahlkörper. Insbesondere
betrifft die Erfindung einen Wärmeabstrahlkörper, der
verwendet wird, um Wärme
von einem sich erhitzenden Element an ein darin fließendes Kühlmittel
abzustrahlen.
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Beschreibung
des Stands der Technik
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Bei
einem herkömmlichen
Metall/Keramik-Verbindungssubstrat, das als isolierendes Substrat
für Leistungsmodule
verwendet wird, wird eine Metallschaltungsplatte mit einer Seite
eines Keramiksubstrats verbunden, und eine abstrahlende Metallbasisplatte
wird mit der anderen Seite davon verbunden, wobei Halbleiterchips
usw. an der Metallschaltungsplatte montiert werden. Um Wärme von
sich erhitzenden Elementen, wie etwa Halbleiterchips, an die Umgebung
abzustrahlen, gibt es ein bekanntes Verfahren zur Montage einer
Abstrahlungsrippe an der Rückseite
einer Abstrahlungsbasisplatte mittels einer Abstrahlungspaste. Es
gibt außerdem
ein bekanntes Verfahren zum Verbinden einer Abstrahlungsrippe mit
einem Halbleiterbauelementmontagesubstrat mittels eines Hartlots
(vgl. z.B. japanische Patentoffenlegungsschrift Nr. 4-363052).
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Da
eine Luftkühlungsrippe
bei dem in der japanischen Patentoffenlegungsschrift Nr. 4-363052 offenbarten
Verfahren verwendet wird, gibt es allerdings Probleme dahingehend,
dass die Kühlleistung der
Luftkühlungsrippe
allgemein geringer ist als die einer Wasserkühlungseinrichtung, und dass
es schwierig ist, die Leistungsmerkmale der Luftkühlungsrippe
zu stabilisieren.
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Es
werden verschiedene Wasserkühlungswärmeabstrahlkörper zum
Abstrahlen von Wärme von
einem sich erhitzenden Element zu einem Kühlmittel, wie etwa Wasser,
vorgeschlagen (vgl. z.B. die japanischen Patentoffenlegungsschriften
Nr. 62-52945, 1-63142 und 2004-247684).
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In
den vergangenen Jahren haben allerdings die Heizwerte von isolierenden
Substraten für
Leistungsmodule durch die Zunahme der Leistung und Packungsdichte
von Halbleiterchips usw. zugenommen. Daher ist es, sogar wenn die
in den japanischen Patentoffenlegungsschriften Nr. 62-52945, 1-63142 und
2004-247684 vorgeschlagenen Wärmeabstrahlkörper verwendet
werden, nicht möglich
die Wärme von
Halbleiterchips usw. vollständig
abzustrahlen, es sei denn, die Struktur der Wasserkühlungswärmeabstrahlkörper ist
kompliziert, und/oder es sei denn, die Größe der Wasserkühlungswärmeabstrahlkörper wird
gesteigert.
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ZUSAMMENFASSUNG
DER ERFINDUNG
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Es
ist daher eine Aufgabe der vorliegenden Erfindung, die vorstehend
genannten Probleme zu eliminieren und einen Wärmeabstrahlkörper zu schaffen,
der eine hohe Kühlleistung
bei einer einfachen Struktur aufweist, ohne dass die Größe eines konventionellen
typischen Wärmeabstrahlkörpers gesteigert
wird.
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Um
die vorstehend genannte und andere Aufgaben zu erfüllen, haben
die Erfinder fleißig
geforscht und herausgefunden, dass es möglich ist, einen Wärmeabstrahlkörper herzustellen,
der eine hohe Kühlleistung
bei einer einfachen Struktur aufweist, ohne dass die Größe eines
herkömmlichen
typischen Wärmeabstrahlkörpers gesteigert
wird, wenn ein über
eine Durchgangsbohrung mit der Umgebung in Verbindung stehender
innerer Hohlraum in einem Metallkörper ausgebildet wird und wenn
eine große
Anzahl von voneinander beabstandeten pfeilerartigen Abschnitten
(oder säulenartigen
Abschnitten) vorgesehen ist, die sich zwischen den sich gegenüberliegenden
zwei Oberflächen
der Innenoberflächen
des inneren Hohlraums erstrecken. Auf diese Weise haben die Erfinder
die vorliegende Erfindung gemacht.
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Gemäß einem
Aspekt der vorliegenden Erfindung umfasst ein Wärmeabstrahlkörper: einen
Metallkörper,
der einen inneren Hohlraum aufweist, der darin ausgebildet ist,
und der zwei sich gegenüberliegende
Innenoberflächen
aufweist, wobei der Metallkörper
eine Durchgangsbohrung zur Herstellung einer Verbindung zwischen
dem inneren Hohlraum und der Umgebung aufweist; und eine große Anzahl
von pfeilerartigen Abschnitten, die sich zwischen den sich gegenüberliegenden
zwei Innenoberflächen
erstrecken und die beabstandet voneinander angeordnet sind. Bei
diesem Wärmeabstrahlkörper umfasst
der Metallkörper
vorzugsweise: ein erstes Bauteil, das eine große Anzahl von pfeilerartigen
Abschnitten aufweist, die darin integriert sind; und ein zweites
Bauteil, das an dem ersten Bauteil befestigt ist, um den inneren
Hohlraum zu definieren. Alternativ umfasst der Metallkörper vorzugsweise:
ein erstes Bauteil, das einen vertieften Abschnitt an einer seiner
Seiten aufweist, und das eine große Anzahl von pfeilerartigen
Abschnitten aufweist, die in eine untere Stirnfläche des vertieften Abschnitts
integriert sind; und ein zweites Bauteil, das mit einem Spitzenende
jedes Abschnitts der großen
Anzahl von pfeilerartigen Ab schnitten des ersten Bauteils in Kontakt
steht. Jeder der Abschnitte der großen Anzahl von pfeilerartigen Abschnitten
hat vorzugsweise eine Form eines im Wesentlichen kreisförmigen Kegelstumpfs,
eines im Wesentlichen kreisförmigen
Kegels oder eines im Wesentlichen rechteckigen Parallelepipeds.
Der Metallkörper
ist vorzugsweise aus Aluminium oder einer Aluminiumlegierung gefertigt.
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Gemäß einem
weiteren Aspekt der vorliegenden Erfindung ist ein Metall/Keramik-Verbindungssubstrat
mit einem Wärmeabstrahlkörper vorgesehen,
der umfasst: ein Keramiksubstrat; und eine Metallschaltungsplatte,
die mit einer Seite des Keramiksubstrats verbunden ist, wobei der
vorstehend beschriebene Wärmeabstrahlkörper mit
der anderen Seite des Keramiksubstrats verbunden ist.
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Gemäß der vorliegenden
Erfindung ist ein durch eine Durchgangsbohrung mit der Umgebung
in Verbindung stehender innerer Hohlraum in einem Metallkörper ausgebildet,
und es ist eine große
Anzahl von voneinander beabstandet angeordneten pfeilerartigen Abschnitten
(oder säulenartigen
Abschnitten) vorgesehen, die sich zwischen den sich gegenüberliegenden
Oberflächen
der Innenoberflächen
des inneren Hohlraums erstrecken, so dass es möglich ist, einen Wärmeabstrahlkörper herzustellen,
der eine hohe Kühlleistung
bei einer einfache Struktur aufweist, ohne die Größe eines
herkömmlichen
typischen Wärmeabstrahlkörpers zu
steigern.
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KURZBESCHREIBUNG
DER ZEICHNUNGEN
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Die
vorliegende Erfindung wird vollständiger durch die nachstehend
angegebene ausführliche
Beschreibung und durch die begleitenden Zeichnungen der bevorzugten
Ausführungsformen
der Erfindungen verstanden werden. Die Zeichnungen sind allerdings
nicht dazu bestimmt, auf eine Beschränkung der Erfindung auf eine
spezielle Ausführungsform schließen zu lassen,
sondern dienen lediglich der Erklärung und dem Verständnis.
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In
den Zeichnungen ist:
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1 eine
Draufsicht der ersten bevorzugten Ausführungsform eines Wärmeabstrahlkörpers gemäß der vorliegenden
Erfindung;
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2 eine
Ansicht von unten auf ein Abstrahlungsbauteil des Wärmeabstrahlkörpers von 1,
bevor ein Deckelbauteil an dem Abstrahlungsbauteil montiert ist;
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3 eine
Schnittansicht des Abstrahlungsbauteils des Wärmeabstrahlkörpers entlang
der Linie III-III von 1, bevor ein Deckelbauteil an
dem Abstrahlungsbauteil montiert ist;
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4 eine
Schnittansicht des Wärmeabstrahlkörpers von 1,
wenn ein Deckelbauteil an dem Abstrahlungsbauteil montiert ist;
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5 eine
Ansicht von unten auf ein Abstrahlungsbauteil der zweiten bevorzugten
Ausführungsform
eines Wärmeabstrahlkörpers gemäß der vorliegenden
Erfindung;
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6 eine
Ansicht von unten auf ein erstes abgewandeltes Beispiel des Abstrahlungsbauteils der
ersten bevorzug ten Ausführungsform
eines Wärmeabstrahlkörpers gemäß der vorliegenden
Erfindung;
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7 eine
Schnittansicht des Abstrahlungsbauteils von 6;
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8 eine
Ansicht von unten auf ein zweites abgewandeltes Beispiel eines Abstrahlungsbauteils der
ersten bevorzugten Ausführungsform
eines Wärmeabstrahlkörpers gemäß der vorliegenden
Erfindung;
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9 eine
Schnittansicht des Abstrahlungsbauteils von 8;
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10 eine
Schnittansicht eines dritten abgewandelten Beispiels der ersten
bevorzugten Ausführungsform
eines Wärmeabstrahlkörpers gemäß der vorliegenden
Erfindung;
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11 eine
Schnittansicht eines vierten abgewandelten Beispiels der ersten
bevorzugten Ausführungsform
eines Wärmeabstrahlkörpers gemäß der vorliegenden
Erfindung;
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12 eine
Draufsicht des Wärmeabstrahlkörpers von 11;
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13 eine
Schnittansicht eines fünften
abgewandelten Beispiels der ersten bevorzugten Ausführungsform
eines Wärmeabstrahlkörpers gemäß der vorliegenden
Erfindung;
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14 eine
Schnittansicht eines sechsten abgewandelten Beispiels der ersten
bevorzugten Ausführungsform
eines Wärmeabstrahlkörpers gemäß der vorliegenden
Erfindung;
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15 eine
Schnittansicht eines siebten abgewandelten Beispiels der ersten
bevorzugten Ausführungsform
eines Wärmeabstrahlkörpers gemäß der vorliegenden
Erfindung;
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16 eine
Schnittansicht einer Form, die zum Herstellen eines Abstrahlungsbauteils
des vierten bis siebten abgewandelten Beispiels der ersten bevorzugten
Ausführungsform
eines Wärmeabstrahlkörpers gemäß der vorliegenden
Erfindung verwendet wird; und
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17 eine
Schnittansicht einer Form, die zum Herstellen eines Deckelbauteils
des vierten abgewandelten Beispiels der ersten bevorzugten Ausführungsform
eines Wärmeabstrahlkörpers gemäß der vorliegenden
Erfindung verwendet wird.
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BESCHREIBUNG
DER BEVORZUGTEN AUSFÜHRUNGSFORMEN
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Bezug
nehmend nun auf die begleitenden Zeichnungen, werden die bevorzugten
Ausführungsformen
eines Wärmeabstrahlkörpers gemäß der vorliegenden
Erfindung nachstehend ausführlich
beschrieben.
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[Erste bevorzugte Ausführungsform]
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1 bis 4 zeigen
die erste bevorzugte Ausführungsform
eines Wärmeabstrahlkörpers gemäß der vorliegenden
Erfindung. 1 ist eine Draufsicht auf einen
Wärmeabstrahlkörper dieser
bevorzugten Ausführungsform,
und 2 ist eine Ansicht von unten auf das Abstrahlungsbauteil
des Wärmeabstrahlkörpers von 1,
bevor ein Deckelbauteil an dem Abstrahlungsbauteil montiert ist. 3 ist eine
Schnittansicht des Abstrahlungsbauteils des Wärmeabstrahlkörpers entlang
der Linie III-III von 1, bevor ein Deckelbauteil an
dem Abstrahlungsbauteil befestigt ist, und 4 ist eine
Schnittansicht des Wärmeabstrahlkörpers von 1,
wenn ein Deckelbauteil an dem Abstrahlungsbauteil montiert ist.
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Wie
in diesen Figuren gezeigt, umfasst der Wärmeabstrahlkörper 10 bei
dieser bevorzugten Ausführungsform:
ein plantellerförmiges
Abstrahlungsbauteil (erstes Bauteil) 12 aus einem Metall,
wie etwa Aluminium oder einer Aluminiumlegierung, wobei dessen planare
Form eine im Wesentlichen rechteckige Form aufweist; und ein plantellerförmiges Deckelbauteil
(zweites Bauteil) 14 aus einem. Metall, wie etwa Aluminium
oder einer Aluminiumlegierung, wobei dessen planare Form im Wesentlichen
eine rechteckige Form aufweist, wobei das Deckelbauteil 14 an
dem Abstrahlungsbauteil 12 montiert ist. Ein. Paar rohrförmiger Bauteile 16 steht
mit einem inneren Hohlraum in Verbindung, der in dem Wärmeabstrahlkörper 10 ausgebildet
ist, wenn das Deckelbauteil 14 an dem Abstrahlungsbauteil 12 montiert
ist.
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Wie
in 1 gezeigt, ist die obere Stirnfläche 12a des
Abstrahlungsbauteils 12 eben. Die obere Stirnfläche 12a ist
vorgesehen, um daran ein Bauelement zu montieren, das dazu benötigt wird,
um Wärme
von einem sich erhitzenden Element, wie etwa ein Metall/Keramik-Verbindungssubstrat
auf dem Halbleiterchips usw. montiert sind, an ein Kühlmittel
abzustrahlen. Wie in 2 und 3 gezeigt, ist
ein im Wesentlichen rechteckiger vertiefter Abschnitt 12c in
einem im Wesentlichen zentralen Abschnitt der Rückseite 12b des Abstrahlungsbauteils 12 ausgebildet.
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Die
untere Stirnfläche
des vertieften Abschnitts 12c weist eine große Anzahl
von vorstehenden Abschnitten (oder pfeilerartigen oder säulenartigen
vorstehenden Abschnitten) 12d auf, von denen jeder die
Form eines im Wesentlichen kreisförmigen Kegelstumpfs (eine Form,
die durch Abschneiden des oberen Endabschnitts eines im Wesentlichen kreisförmigen Kegels
in Richtungen im Wesentlichen parallel zu der unteren Stirnfläche erzeugt
wird). Die vorstehenden Abschnitte 12d erstrecken sich
bis zu der gleichen Höhe
wie die des Umfangsabschnitts, der den vertieften Abschnitt 12c der
Rückseite 12b in Richtungen
im Wesentlichen senkrecht zu der oberen Stirnfläche 12a und der Rückseite 12b des
Abstrahlungsbauteils 12 umgibt. Die vorstehenden Abschnitte 12d sind
in einer Mehrzahl von Reihen von vorstehenden Abschnitten 12d angeordnet.
In jeder Reihe sind die vorstehenden Abschnitte 12d in gleichmäßigen Abständen angeordnet.
Jede Reihe der vorstehenden Abschnitte 12d erstreckt sich
geradlinig, und die Reihen der vorstehenden Abschnitte 12d sind
parallel zueinander angeordnet. Zwei benachbarte Reihen der vorstehenden
Abschnitte 12d sind derart angeordnet, dass sie gegeneinander
um einen halben Einheitsabstand verschoben sind (um die Hälfte eines
Abstands zwischen den zentralen Linien (Achsen der vorstehenden
Abschnitte 12d) von zwei benachbarten Reihen der vorstehenden
Abschnitte 12d). Die größere Anzahl
der vorstehenden Abschnitte 12d sind derart angeordnet,
dass der Abstand zwischen den zwei benachbarten der vorstehenden
Abschnitte 12d sichergestellt ist. Bei dieser bevorzugten
Ausführungsform
weist beispielsweise jeder der vorstehenden Abschnitte 12d eine
Höhe von
ungefähr
2 bis 50 mm auf, und weist vorzugsweise eine Höhe von ungefähr 5 bis
15 mm auf. Die vorstehenden Abschnitte 12d sind in Abständen von
ungefähr
2 bis 10 mm und vorzugsweise in Abständen von ungefähr 3 bis
7 mm angeordnet. Jeder der vorstehenden Abschnitte 12d weist
einen Verjüngungswinkel
von 2 bis 15° und
vorzugsweise einen Verjüngungswinkel
von 5 bis 10° auf.
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Ein
Paar von im Wesentlichen zylindrischen Durchgangsbohrungen 12e durchtritt
den Umfangsabschnitt des Abstrahlungsbauteils 12 von der
Seitenfläche
des Abstrahlungsbauteils 12 zu der Seitenfläche des
vertieften Abschnitts 12c. Eines von dem Paar von Durchgangsbohrungen 12e ist
in longitudinaler Richtung nahe eines Eckabschnitts an einer Endseite
des Abstrahlungsbauteils 12 ausgebildet, und die andere
Durchgangsbohrung 12e ist in longitudinaler Richtung nahe
dem gegenüberliegenden Eckabschnitt
an der anderen Endseite des Abstrahlungsbauteils 12 ausgebildet.
Das Paar rohrförmiger Bauteile 16 zum
Zuführen
eines Kühlmittels
in den vertieften Abschnitt 12c und zum Ablassen des Kühlmittels
aus dem vertieften Abschnitt 12c ist vorgesehen, um in
die Durchgangsbohrungen 12e eingesetzt zu werden, um daran
montiert zu werden.
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In
dem Umfangsabschnitt der Rückseite 12b des
Abstrahlungsbauteils 12 sind sechs Gewindebohrungen 12f ausgebildet.
Zusätzlich
treten sechs Gewindebohrungen (nicht gezeigt) derart durch das Deckelbauteil 14,
dass sie mit den Gewindebohrungen 12f übereinstimmen. Wenn Schrauben
in die sechs Gewindebohrungen des Deckelbauteils 14 eingesetzt
werden, die den sechs Gewindebohrungen 12f des Abstrahlungsbauteils 12 gegenüberliegen,
kann das Deckelbauteil 14 an dem Abstrahlungsbauteil 12 befestigt
werden, wie in 4 gezeigt. Wenn das Deckelbauteil 14 dadurch
an dem Abstrahlungsbauteil 12 befestigt ist, ist ein innerer Hohlraum
zur Aufnahme eines Kühlmittels
darin in dem Wärmeabstrahlkörper 10 aus gebildet.
Dann werden die rohrförmigen
Bauteile 16 in den Durchgangsbohrungen 12e des
Abstrahlungsbauteils 12 montiert, um den Wärmeabstrahlkörper 10 zu
vervollständigen,
der fähig
ist, ein Kühlmittel
durch die rohrförmigen
Bauteile 16 zu fördern
und abzulassen. Außerdem
ist die große
Anzahl von vorstehenden Abschnitten 12d in dem inneren
Hohlraum ausgebildet, der in dem Wärmeabstrahlkörper 10 durch
das Befestigen des Deckelbauteils 14 an dem Abstrahlungsbauteil 12 ausgebildet
ist, und Durchflussöffnungen für das Kühlmittel
werden zwischen den rohrförmigen vorstehenden
Abschnitten 12d ausgebildet.
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Der
Wärmeabstrahlkörper 10 dieser
bevorzugten Ausführungsform
kann somit die Fläche
(abstrahlende Fläche)
der mit dem Kühlmittel
in Kontakt stehenden inneren Oberfläche des Wärmeabstrahlkörpers 10 in
bemerkenswerter Weise steigern, um die Kühlleistung des Wärmeabstrahlkörpers 10 stark zu
verbessern, indem die große
Anzahl von vorstehenden Abschnitten 12d in dem inneren
Hohlraum ausgebildet ist, in welchem das Kühlmittel strömt.
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[Zweite bevorzugte Ausführungsform]
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5 zeigt
die Rückseite
eines Abstrahlungsbauteils der zweiten bevorzugten Ausführungsform
eines Wärmeabstrahlkörpers gemäß der vorliegenden
Erfindung. Der Wärmeabstrahlkörper bei
dieser bevorzugten Ausführungsform
weist im Wesentlichen die gleiche Bauweise auf, wie der Wärmeabstrahlkörper 10 bei
der ersten bevorzugten Ausführungsform,
abgesehen davon, dass ein sich gewunden erstreckender (oder mäandrierender
oder schlangenförmiger)
vertiefter Abschnitt 112c durch das Verbinden von vier
vertieften Abschnitten ausgebildet ist, die sich anstelle des im
Wesentlichen rechteckigen vertieften Abschnitts 12c des
Abstrahlkörpers 10 bei
der ersten bevorzugten Ausführungsform in
longitudinaler Richtung parallel zueinander erstrecken, und dass
ein Paar von Durchgangsbohrungen 112e von beiden Enden
des vertieften Abschnitts 112c durch den Umfangsabschnitt
des Abstrahlungsbauteils 112 zu der Seitenfläche des
Abstrahlungsbauteils 112 treten. Daher sind die Bezugszeichen
in 5 durch die Addition von 100 zu den Bezugszeichen
gekennzeichnet, die den gleichen strukturellen Abschnitten des Wärmeabstrahlkörpers 10 bei
der ersten bevorzugten Ausführungsform
gegeben wurden, und redundante Beschreibungen wurden weggelassen.
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Somit
kann der Wärmeabstrahlkörper bei dieser
bevorzugten Ausführungsform
ebenfalls die Fläche
(abstrahlende Fläche)
der mit dem Kühlmittel in
Kontakt stehenden inneren Oberfläche
des Wärmeabstrahlkörpers in
bemerkenswerter Weise steigern, um die Kühlleistung des Wärmeabstrahlkörpers stark
zu verbessern, indem die große
Anzahl von vorstehenden Abschnitten 112d in dem inneren
Hohlraum ausgebildet ist, in welchem das Kühlmittel strömt. Zusätzlich kann
die Kühlleistung
des Wärmeabstrahlkörpers bei
dieser bevorzugten Ausführungsform
größer sein
als die des Wärmeabstrahlkörpers 10 bei
der ersten bevorzugten Ausführungsform,
da sich der vertiefte Abschnitt 112c gewunden erstreckt, um
den Strom eines Kühlmittels
zu ermöglichen.
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Obwohl
die Form jedes der Abschnitte der großen Anzahl von vorstehenden
Abschnitten 112d bei den vorstehend beschriebenen ersten
und zweiten bevorzugten Ausführungsformen
ein im Wesentlichen kreisförmiger
Kegelstumpf war, kann eine große
Anzahl von im Wesentlichen konischen vorstehenden Abschnitte 212 wie
in 6 und 7 gezeigt ausgebildet sein,
oder eine große
Anzahl von im Wesentlichen rechteckigen, parallelepipedförmigen vorstehenden
Abschnitten 312d kann wie in 8 und 9 gezeigt
ausgebildet sein. Außerdem
sind die Bezugszeichen in 6 und 7 durch
die Addition von 200 zu den Bezugszeichen gekennzeichnet,
die den glei chen strukturellen Abschnitten des Wärmeabstrahlkörpers 10 bei
der ersten bevorzugten Ausführungsform
gegeben wurden, und die Bezugszeichen in 8 und 9 sind
durch die Addition von 300 zu den Bezugszeichen gekennzeichnet, die
den gleichen strukturellen Abschnitten des Wärmeabstrahlkörpers 10 bei
der ersten bevorzugten Ausführungsform
gegeben wurden.
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Obwohl
die Höhe
jedes Abschnitts der großen
Anzahl von vorstehenden Abschnitten 12d, 112d gleich
der Höhe
des Umfangsabschnitts war, der den vertieften Abschnitt 12c, 112c der
Rückseite 12b, 112b bei
den vorstehend beschriebenen ersten und zweiten bevorzugten Ausführungsformen
umgibt, ist es nicht immer so, dass beide gleich groß sind.
Die Höhe
jedes Abschnitts der großen
Anzahl von vorstehenden Abschnitten 12d, 112d ist
vorzugsweise größer als
die Hälfte
der Tiefe der vertieften Abschnitte 12c, 112c.
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Obwohl
die Paare von Durchgangsbohrungen 12e, 112e in
dem Abstrahlungsbauteil 12, 112 bei den vorstehend
beschriebenen ersten und zweiten Ausführungsformen ausgebildet wurden,
ist es nicht immer erforderlich, dass die Anzahl der Durchgangsbohrungen 12e, 112e zwei
beträgt.
Das Abstrahlungsbauteil kann zumindest eine Durchgangsbohrung zur
Zufuhr eines Kühlmittels
in den Wärmeabstrahlkörper und
zumindest eine Durchgangsbohrung zum Ablassen des Kühlmittels
aus dem Wärmeabstrahlkörper aufweisen.
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Um
die Wärmesenkencharakteristik
des Wärmeabstrahlkörpers bei
den vorstehend beschriebenen ersten und zweiten bevorzugten Ausführungsformen
zu verbessern, können
die Oberfläche
des vertieften Abschnitts 12c, 112c der Rückseite 12b, 112b und
die Oberflächen
der großen
Anzahl von vorstehenden Abschnitten 12d, 112d aufgeraut
sein, um deren Oberflächeninhalt
zu vergrößern. Zusätzlich kann
das Material des Wärmeabstrahlkörpers in geeigneter
Weise aus Legierungen gewählt
werden, die eine hohe Korrosionsresistenz aufweisen, und die Oberflächen können durch
Aluminiumoxid- oder Nickel-Galvanisieren (alumite or nickel plating)
bearbeitet worden sein, um den Wärmeabstrahlkörper davor
zu bewahren, durch das Kühlmittel
korrodiert zu werden.
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Obwohl
das Deckelbauteil 14, 114 bei den vorstehend beschriebenen
ersten und zweiten bevorzugten Ausführungsformen an dem Abstrahlungsbauteil 12, 112 montiert
wurde, kann das Abstrahlungsbauteil 412 anstelle des Deckelbauteils 14, 114 mit
einem anderen Abstrahlungsbauteil 412 kombiniert werden,
wie in 10 gezeigt. Außerdem sind die
Bezugszeichen in 10 durch die Addition von 400 zu
den Bezugszeichen gekennzeichnet, die den gleichen strukturellen
Abschnitten des Wärmeabstrahlkörpers 10 bei
der ersten bevorzugten Ausführungsform
gegeben wurden.
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Der
Wärmeabstrahlkörper bei
den vorstehend beschriebenen ersten und zweiten bevorzugten Ausführungsformen
kann verbunden werden, um in ein Bauelement integriert zu werden,
das erforderlich ist, um Wärme
von einem sich erhitzenden Element, wie etwa ein Metall/Keramik-Verbindungssubstrat, auf
welchem Halbleiterchips usw. montiert sind, an ein Kühlmittel
abzustrahlen.
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Beispielsweise
können,
wie in 11 und 12 gezeigt,
Metall/Keramik-Verbindungssubstrate,
wobei eine Metallschaltungsplatte 520 mit jedem einer Mehrzahl
von Keramiksubstraten 518 verbunden ist (oder mit zumindest
einem Keramiksubstrat, obwohl drei Keramiksubstrate 518 gezeigt
sind), verbunden werden, um in einen Wärmeabstrahlkörper integriert
zu werden, indem das Keramiksubstrat 518 mit der oberen
Stirnflä che
des Abstrahlungsbauteils 512 verbunden wird und indem die
Metallschaltungsplatte 512 mit der oberen Stirnfläche jedes
der Keramiksubstrate 518 verbunden wird. Außerdem sind die
Bezugszeichen in 11 und 12 durch
die Addition von 500 zu den Bezugszeichen gekennzeichnet,
die den gleichen strukturellen Abschnitten des Wärmeabstrahlkörpers 10 bei
der ersten bevorzugten Ausführungsform
gegeben wurden.
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Wie
in 13 gezeigt, können
Metall/Keramik-Verbindungssubstrate, wobei eine Metallschaltungsplatte 620 mit
jedem einer Mehrzahl von Keramiksubstraten 618 verbunden
ist (oder mit zumindest einem Keramiksubstrat, obwohl drei Keramiksubstrate 618 gezeigt
sind), verbunden werden, um in einen Wärmeabstrahlkörper integriert
zu werden, indem die Keramiksubstrate 618 mit der oberen
Stirnfläche
des Abstrahlungsbauteils 612 und der unteren Stirnfläche des
Deckelbauteils 614 verbunden werden und indem die Metallschaltungsplatte 620 mit
jedem der Keramiksubstrate 618 verbunden wird. Außerdem sind
die Bezugszeichen in 13 durch die Addition von 600 zu
den Bezugszeichen gekennzeichnet, die den gleichen strukturellen
Abschnitten des Wärmeabstrahlkörpers 10 bei
der ersten bevorzugten Ausführungsform
gegeben wurden.
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Wie
in 14 gezeigt, können
Metall/Keramik-Verbindungssubstrate, wobei eine Metallschaltungsplatte 720 mit
jedem einer Mehrzahl von Keramiksubstraten 718 verbunden
ist (oder mit zumindest einem Keramiksubstrat, obwohl drei Keramiksubstrate 718 gezeigt
sind), verbunden werden, um in einen Wärmeabstrahlkörper integriert
zu werden, indem die Keramiksubstrate 718 mit der oberen
Stirnfläche
des oberen Abstrahlungsbauteils 712, das mit einem anderen
Abstrahlungsbauteil 712 kombiniert ist, verbunden werden
und indem die Metallschaltungsplatte 720 mit der oberen
Stirnfläche
jedes der Keramiksubstrate 718 verbunden wird. Außerdem sind
die Bezugszeichen in 14 durch die Addition von 700 zu
den Bezugszeichen gekennzeichnet, die den gleichen strukturellen
Abschnitten des Wärmeabstrahlkörpers 10 bei
der ersten bevorzugten Ausführungsform
gegeben wurden.
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Wie
in 15 gezeigt, können
Metall/Keramik-Verbindungssubstrate, wobei eine Metallschaltungsplatte 820 mit
jedem einer Mehrzahl von Keramiksubstraten 818 verbunden
ist (oder mit zumindest einem Keramiksubstrat, obwohl drei Keramiksubstrate 818 gezeigt
sind), verbunden werden, um in einen Wärmeabstrahlkörper integriert
zu werden, indem die Keramiksubstrate 818 mit der oberen
Stirnfläche
des oberen Abstrahlungsbauteils 812 und der unteren Stirnfläche des
unteren Abstrahlungsbauteils 812, das mit dem oberen Abstrahlungsbauteils 812 kombiniert
ist, verbunden werden und indem die Metallschaltungsplatte 820 mit
jedem der Keramiksubstrate 818 verbunden wird. Außerdem sind
die Bezugszeichen in 15 durch die Addition von 800 zu
den Bezugszeichen gekennzeichnet, die den gleichen strukturellen
Abschnitten des Wärmeabstrahlkörpers 10 bei
der ersten bevorzugen Ausführungsform
gegeben wurden.
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Bei
den vorstehend beschriebenen ersten und zweiten bevorzugten Ausführungsformen
können
das Abstrahlungsbauteil 12, 112 und das Deckelbauteil 14 durch
spanende Bearbeitung oder Gießen hergestellt
werden.
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Beispielsweise
können
die Abstrahlungsbauteile 512, 612, 712, 812,
mit welchen, wie in 11 bis 15 gezeigt,
Metall/Keramik-Verbindungssubstrate verbunden sind, durch ein Verfahren
(das so genannte Metallschmelzenverbindungsverfahren) zum Verfestigen
einer Metallschmelze von Aluminium oder einer Aluminiumlegierung
hergestellt werden, die in eine Form 900 injiziert wird,
in welcher ein Hohlraum 916, der eine einem Abstrahlungsbauteil entsprechende
Form aufweist, und ein Hohlraum 918, der eine einer Metallschaltungsplatte
entsprechende Form aufweist, an beiden Seiten eines Hohlraums 914,
um darin ein Keramiksubstrat aufzunehmen, ausgebildet sind, wie
in 16 gezeigt. Außerdem umfasst die Form 900 ein
unteres Formbauteil 910 und ein oberes Formbauteil 912,
welches einen Einlass 920 zum Injizieren einer Metallschmelze
in die Form aufweist.
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Das
Deckelbauteil 614, mit welchem, wie in 13 gezeigt,
die Metall/Keramik-Verbindungssubstrate verbunden sind, kann durch
ein Verfahren (das so genannte Metallschmelzenverbindungsverfahren) zum
Verfestigen einer Metallschmelze von Aluminium oder einer Aluminiumlegierung
hergestellt werden, die in eine Form 1000 injiziert wird,
in welcher ein Hohlraum 1016, der eine einem Deckelbauteil entsprechende
Form aufweist, und ein Hohlraum 1018, der eine einer Metallschaltungsplatte
entsprechende Form aufweist, an beiden Seiten eines Hohlraums 1014,
um darin ein Keramiksubstrat aufzunehmen, ausgebildet sind, wie
in 17 gezeigt. Außerdem umfasst die Form 1000 ein
unteres Formbauteil 1010 und ein oberes Formbauteil 1012,
welches einen Einlass 1020 zum Injizieren einer Metallschmelze
in die Form aufweist.
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Wenn
das Abstrahlungsbauteil, das wie das Abstrahlungsbauteil bei den
vorstehend beschriebenen ersten und zweiten Ausführungsformen eine große Anzahl
von vorstehenden Abschnitten aufweist, durch ein typisches Metallschmelzenverbindungsverfahren
hergestellt wird, dann gibt es einige Fälle, in denen es schwierig
ist, vorstehende Abschnitte auszubilden, die eine gewünschte Form
aufweisen. In derartigen Fällen
ist es möglich,
eine gewünschte Form
aufweisende vorstehende Abschnitte auszubilden, indem eine Metallschmelze
durch den Einlass der Form durch Gas oder ähnliches unter Druck gesetzt
wird, nachdem die Metallschmelze in die Form injiziert wurde.
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Obwohl
das Abstrahlungsbauteil 12, 112 und das Deckelbauteil 14 oder
das Abstrahlungsbauteil 12, 112 und ein anderes
Abstrahlungsbauteil 12, 112 bei den vorstehend
beschriebenen ersten und zweiten bevorzugten Ausführungsformen
mittels Schrauben aneinander befestigt wurden, können die Bauteile durch Löten oder
Klemmen aneinander befestigt werden. Außerdem sind diese Bauteile
vorzugsweise über
Dichtungsbauteile, wie etwa einen O-Ring oder eine Dichtung, aneinander
befestigt.
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Obwohl
die vorliegende Erfindung im Hinblick auf die bevorzugte Ausführungsform
offenbart wurde, um deren besseres Verständnis zu ermöglichen,
sollte eingesehen werden, dass die Erfindung auf verschiedene Arten
verkörpert
werden kann, ohne von dem Prinzip der Erfindung abzuweichen. Daher
sollte die Erfindung derart verstanden werden, dass alle möglichen
Ausführungsformen
und Abwandlungen der gezeigten Ausführungsformen umfasst sind,
die verkörpert
werden können,
ohne von dem Prinzip der Erfindung abzuweichen, das in den beigefügten Ansprüchen dargelegt
ist.