DE102007012780A1 - Vorrichtung zum optischen Erfassen von Umriss und Oberflächeneigenschaften flächiger Werkstücke in einer Breitbandschleifmaschine - Google Patents

Vorrichtung zum optischen Erfassen von Umriss und Oberflächeneigenschaften flächiger Werkstücke in einer Breitbandschleifmaschine Download PDF

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Abstract

Vorrichtung zum optischen Erfassen der Flächenkontur flächiger Werkstücke (12) in einer Breitbandschleifmaschine, umfassend ein längliches, balkenförmiges Gehäuse (28), das eine optische Abtastvorrichtung mit mindestens einer Lichtquelle (34) zur Erzeugung eines Taststrahles (40) und einer Ablenkvorrichtung (36, 38) enthält, welche den Taststrahl zwischen den Längsenden des Gehäuses (28) hin und her bewegt, und das in einer seiner Wände ein sich in Längsrichtung des Gehäuses (28) erstreckendes Austrittsfenster (50) für den Taststrahl und ein hierzu paralleles Eintrittsfenster (56) für einen von einem Werkstück (12) oder seiner Unterlage (10) reflektierten Taststrahl hat, wobei in dem Gehäuse (28) hinter dem Eintrittsfenster (56) eine zeilenförmige Lichtempfangsanordnung (62) mit einer Vielzahl von optischen Sensoren (64) angeordnet ist, deren Ausgangssignale einer Auswerteeinheit (66) zuführbar sind.

Description

  • Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung zum optischen Erfassen von Umriss und/oder Oberflächeneigenschaften flächiger Werkstücke in einer Breitbandschleifmaschine.
  • Aus der DE 34 02 104 A1 ist eine Bandschleifmaschine bekannt, die einen eine Vielzahl von nebeneinander angeordneten Druckschuhen aufweisenden, quer zur Förderrichtung eines Werkstückes ausgerichteten Druckbalken zum Andruck des Schleifbandes an die Werkstückoberfläche hat. Die Andruckkraft jedes Druckschuhes ist dabei einzeln steuerbar in Abhängigkeit der Kontur des auf einem Transportband unter dem Schleifband durchlaufenden Werkstückes. Hierzu werden die Werkstücke mit Detektoren, beispielsweise Laser-Lichtschranken berührungslos ab getastet. Die Detektoren sind quer zur Transportrichtung des Werkstückes nebeneinander angeordnet, wobei jedem Druckschuh des Druckbalkens mehrere mit ihm fluchtende Detektoren zugeordnet sind.
  • Die optischen Detektoren ermöglichen eine bessere Auflösung als mechanische Tastelemente, sind jedoch in ihrer Vielzahl aufwendig und unter den Betriebsbedingungen einer Schleifmaschine mit dem anfallenden Schleifstaub störanfällig.
  • Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, eine Vorrichtung der eingangs genannten Art anzugeben, die bei hoher räumlicher Auflösung einen geringeren Aufwand erfordert und weniger störanfällig ist.
  • Diese Aufgabe wird erfindungsgemäß gelöst durch ein längliches balkenförmiges Gehäuse, das eine optische Abtastvorrichtung mit mindestens einer Lichtquelle zur Erzeugung eines Taststrahles und einer Ablenkvorrichtung enthält, welche den Taststrahl zwischen den Längsenden des Gehäuses hin- und herbewegt, und das in einer seiner Wände ein sich in Längsrichtung des Gehäuses erstreckendes Austrittsfenster für den Taststrahl und ein hierzu paralleles Eintrittsfenster für den von einem Werkstück oder seiner Unterlage reflektierten Taststrahl hat, wobei in dem Gehäuse hinter dem Eintrittsfenster eine zeilenförmige Lichtempfangsanordnung mit einer Vielzahl von optischen Sensoren angeordnet ist, sowie eine mit der Lichtempfangsanordnung verbundene Auswerteeinheit, der die Ausgangssignale der Lichtempfangsanordnung zuführbar sind.
  • Bei der erfindungsgemäßen Lösung sind die empfindlichen optischen Elemente in dem Gehäuse geschützt untergebracht und damit gegen die Umgebungseinflüsse innerhalb der Schleifmaschine, insbesondere das Eindringen und Ablagern von Schleifstaub geschützt. An den glatten Fenstern des Gehäuses kann sich der Schleifstaub schlechter halten. Außerdem können die Fenster leicht gereinigt werden. Gleichzeitig kann mit dem wandernden Taststrahl die gesamte Arbeitsbreite der Schleifmaschine kontinuierlich abgetastet werden, so dass eine hohe räumliche Auf lösung möglich ist, die im wesentlichen nur durch die Anordnung der optischen Sensoren begrenzt wird.
  • In der Praxis kann die Genauigkeit der Abtastung durch die Aufweitung des Taststrahles auf seinem Weg von der Ablenkvorrichtung zu dem Werkstück, die Streuung des Lichtes des Taststrahles und Lichtreflexe beeinträchtigt werden.
  • Diese Probleme können bei einer ersten Ausführungsform dadurch behoben werden, dass die Ablenkvorrichtung einen Positionsgeber umfasst, dessen Ausgangssignal eine Information zum Ermitteln der Ablenkrichtung des Taststrahles enthält. Ist die Ablenkvorrichtung beispielsweise von einem Drehspiegel gebildet, so kann dieser oder sein Antrieb mit einem Winkelgeber gekoppelt sein.
  • Gemäß einer zweiten Ausführungsform ist dem Taststrahl ein Referenzstrahl zugeordnet, der innerhalb des Gehäuses auf eine zweite zeilenförmige Lichtempfangsanordnung mit einer Vielzahl optischer Sensoren gerichtet und entlang derselben mittels einer Ablenkvorrichtung synchron zu dem Taststrahl ablenkbar ist, wobei die Ausgangssignale beider Lichtempfangsanordnungen einer gemeinsamen Auswerteeinheit zuführbar sind. Die Auswertung erfolgt nun in der Weise, dass das Signal der ersten Lichtempfangsanordnung, die von dem Taststrahl getroffen wird, nur dahingehend ausgewertet wird, dass überhaupt ein Werkstück vorhanden ist. Die zweite Lichtempfangsanordnung, die von dem synchron mit dem Taststrahl abgelenkten Referenzstrahl getroffen wird, liefert die Ortsinformation, d.h. wo ein Werkstück auf der Unterlage erfasst wurde. Da der Referenzstrahl nur innerhalb des balkenförmigen Gehäuses verläuft und vorzugsweise direkt von der Ablenkvorrichtung auf die zweite Lichtempfangsanordnung gerichtet ist, ist dieser Referenzstrahl unbeeinflusst von Streuung und anderen Störungen, so dass sein Auftreffort auf der zweiten Lichtempfangsanordnung wesentlich präziser lokalisiert werden kann als dies bei dem Taststrahl auf der ersten Lichtempfangsanordnung möglicherweise der Fall ist. Durch die Verknüpfung beider Signale in der gemeinsamen Auswerteeinheit kann damit eine von den äußeren Umgebungseinflüssen völlig unbeeinflusste, präzise Lokalisierung eines Werkstückes auf der Unterlage erfolgen.
  • Der Taststrahl und der Referenzstrahl können von einer gemeinsamen Lichtquelle abgeleitet werden. Einfacher und störungsfreier ist es aber, zur Erzeugung des Taststrahles und des Referenzstrahles jeweils eine eigene Lichtquelle vorzusehen.
  • Um den Taststrahl und den Referenzstrahl synchron abzulenken, ist es zweckmäßig, wenn der Taststrahl und der Referenzstrahl durch dieselbe Ablenkvorrichtung, beispielsweise einen beiden Strahlen zugeordneten Drehspiegel, abgelenkt werden.
  • Vorzugsweise ist zwischen dem Drehspiegel und dem Austrittsfenster zumindest ein stationärer Spiegel derart angeordnet, dass der abgelenkte Taststrahl unter einem vorgegebenen Winkel aus dem Austrittsfenster des Gehäuses austritt. Damit erhält man eine größere Freiheit für die Anordnung der Lichtquelle und der Ablenkvorrichtung innerhalb des Gehäuses. Der Stationäre Spiegel oder einer der stationären Spiegel ist vorzugsweise verstellbar, um die Austrittsrichtung des Taststrahles aus dem Austrittsfenster justieren zu können.
  • Die Lichtempfangsanordnungen sind zweckmäßigerweise jeweils von einer Leiste photoelektrischer Elemente gebildet, die eine sehr hohe räumliche Auflösung ermöglichen.
  • Die Erfindung betrifft ferner eine Schleifmaschine, insbesondere eine Breitbandschleifmaschine mit einer Werkstückauflagefläche, auf der flächige Werkstücke in einer Transportrichtung durch die Schleifmaschine transportierbar sind, mit einem parallel zur Transportrichtung umlaufenden Schleifband und einem sich quer zur Transportrichtung über die Breite des Schleifbandes erstreckenden Druckbalken mit einer Vielzahl von Andruckelementen, die über eine Steuereinrichtung unabhängig voneinander ansteuerbar sind. Eine solche Breitbandschleifmaschine ist an sich bekannt und braucht daher nicht näher erläutert werden. Erfindungsgemäß umfasst die Schleifmaschine eine vorstehend beschriebene Vorrichtung zum optischen Erfassen der Flächenkontur flächiger Werkstücke, wobei sich das balkenförmige Gehäuse stromaufwärts des Schleifbandes quer zur Transportrichtung über die Werkstückauflagefläche erstreckt, so dass das Austrittsfenster und das Eintrittsfenster der Werkstückauflagefläche zugewandt sind, und wobei die Auswerteeinheit mit der Steuereinrichtung verbunden ist, so dass die erfasste Flächenkontur in Steuersignalen zum Ansteuern der Andruckelemente des Druckbalkens genutzt werden kann.
  • Die Erfindung betrifft ferner ein Verfahren zum Überprüfen der Werkstückoberfläche beim Schleifen flächiger Werkstücke in Schleifmaschinen, insbesondere Breitbandschleifmaschinen, bei dem die Werkstückoberfläche mit mindestens einem Lichtstrahl abgetastet und die Intensität des von der Werkstückoberfläche reflektierten Lichtstrahles erfasst wird, und bei dem die erfassten Intensitätswerte mit Referenzwerten verglichen werden. Dabei kann die Überprüfung der Werkstückoberfläche vor dem schleifen erfolgen, um die Schleifparameter in Abhängigkeit der Oberflächeneigenschaften des Werkstückes einzustellen. Mit der Abtastung der Werkstückoberfläche nach dem Schleifvorgang kann das Schleifergebnis kontrolliert werden, indem man die ermittelten Werte entweder mit vorgegebenen Sollwerten oder mit den vor dem schleifen ermittelten Werten vergleicht.
  • Die folgende Beschreibung erläutert in Verbindung mit den beigefügten Figuren die Erfindung anhand von Ausführungsbeispielen. Es zeigen
  • 1 eine schematische Darstellung einer Breitbandschleifmaschine mit einer Vorrichtung zum optischen Erfassen der Flächenkontur flächiger Werkstücke,
  • 2 einen schematischen Querschnitt durch die Erfassungsvorrichtung gemäß einer ersten Ausführungsform der Erfindung,
  • 3 einen schematischen Querschnitt durch die Erfassungsvorrichtung gemäß einer zweiten Ausführungsform der Erfindung, und
  • 4 einen der 3 entsprechenden Schnitt durch die Erfassungsvorrichtung gemäß einer dritten Ausführungsform der Erfindung.
  • Die in der 1 schematisch dargestellte Breitbandschleifmaschine umfasst ein die Werkstückauflagefläche bildendes Transportband 10, auf dem ein Werkstück 12 in Richtung des Pfeiles A transportiert werden kann. Oberhalb des Transportbandes 10 ist ein Schleifaggregat 14 angeordnet mit einem Schleifband 16, das über eine Antriebswalze 21, eine Umlenkrolle 20 und eine Spannrolle 18 geführt ist und sich in Blickrichtung auf die 1 quer über die Breite des Transportbandes 10 erstreckt. Das Schleifaggregat 16 umfasst auch einen Druckbalken 22, der in bekannter Weise aus einer Vielzahl von Andruckelementen oder Druckschuhen besteht, die quer zur Transportrichtung A nebeneinander angeordnet sind und über eine Steuereinrichtung 24 einzeln und unabhängig voneinander ansteuerbar sind, um das Schleifband 16 entsprechend der Kontur des Werkstückes 12 an dessen Oberfläche anzudrücken.
  • Um die Kontur des Werkstückes und dessen Lage auf dem Transportband 10 zu erfassen, ist stromaufwärts des Schleifaggregates 14 ein Scannerbalken 26 angeordnet, der sich ebenfalls quer über die Breite des Transportbandes 10 erstreckt und dessen Aufbau und Funktion nun anhand der 2 näher erläutert werden sollen.
  • 2 zeigt den Scannerbalken 26 in einem senkrecht zum Transportband 10 gerichteten und die Transportrichtung A einschließenden Schnitt. Der Scannerbalken 26 hat ein annähernd quaderförmiges Gehäuse 28 mit einer Bodenplatte 30 und einer Abdeckhaube 32. Nahe der Deckfläche der Haube 32 innerhalb des Gehäuses 26 und in dessen Längsmitte befindet sich die von einem Laser gebildete Lichtquelle 34. Der Lichtquelle 34 ist ein Drehspiegel 36 zugeordnet, der über einen Antrieb 38 angetrieben wird, um so den von der Lichtquelle 34 ausgehenden Taststrahl 40 mit einer von der Anzahl der Facetten des Drehspiegel 36 und der Drehgeschwindigkeit des Antriebes 38 abhängenden Frequenz über die Länge des Gehäuses 26 hin abzulenken. Dem Drehspiegel 36 sind wiederum zwei zueinander parallele und sich über die Länge des Gehäuses 26 erstreckende stationäre Spiegel 42 und 44 zugeordnet, die einander zugewandt sind und einen Abstand voneinander haben, so dass sie den auf den Drehspiegeln 36 einfallenden Taststrahl 40 in mehreren Schritten hin und her reflektieren, wie dies in 2 durch den zickzackförmigen Strahlengang angedeutet ist. Nahe der Bodenplatte 30 ist ein justierbarer Spiegel 46 angeordnet, der sich ebenfalls über die gesamte Länge des Gehäuses 26 erstreckt und um eine Achse 48 geneigt werden kann. Er lenkt den Taststrahl 40 durch ein Austrittsfenster 50 in der Bodenplatte 30. Das Austrittsfenster ist von einem sich über die Länge der Bodenplatte erstreckenden Spalt 52 gebildet, der durch eine transparente Platte 54 abgedeckt ist, die an die Bodenplatte 30 angeschraubt ist.
  • Nahe dem anderen Längsrand der Bodenplatte 30 ist ein Eintrittsfenster 56 für den reflektierten Taststrahl vorgesehen, das in der gleichen Weise wie das Austrittsfenster 50 von einem länglichen Spalt 58 in der Bodenplatte gebildet ist, der durch eine an diese angeschraubte transparente Platte 60 abgedeckt wird. Hinter dem Eintrittsfenster ist eine die Lichtempfangsanordnung bildende Fotodiodenleiste 62 angeordnet.
  • Der Taststrahl 40 wird mit Hilfe des Justierspiegels 46 so durch das Austrittsfenster 50 gelenkt, dass er beim Auftreffen auf ein Werkstück 12 durch das Eintrittsfenster 56 hindurch auf die Fotodioden 64 der Fotodiodenleiste 62 trifft, sofern die Dicke des Werkstückes 12 einen vorgegebenen Wert mit einer gewissen Toleranz nicht über- oder unterschreitet. Trifft der Taststrahl dagegen auf das Transportband 10, d.h. die Werkstückauflagefläche, so erreicht der von dieser reflektierte Strahl nicht den Spalt 58 und somit auch nicht die Fotodiodenleiste 62, wie dies durch die gestrichelten Linien angedeutet ist. Somit können die Flächenkonturen des Werkstückes 12 und seine Lage auf dem Transportband 10 erfasst werden. Die Fotodiodenzeile 62 ist über eine Auswerteeinheit 66 mit der Steuervorrichtung 24 verbunden, die dann aufgrund der von der Fotodiodenzeile 62 bzw. der Auswerteeinheit 66 gelieferten Signa le bestimmt, welche Segmente des Druckbalkens 22 angesteuert werden müssen, um das Schleifband in der gewünschten Weise an die Oberfläche des Werkstückes 12 anzudrücken. Hierzu werden die von der Auswerteeinheit 66 erhaltenen Signale in der Steuervorrichtung verstärkt, um Steuersignale zum Ansteuern der Segmente des Druckbalkens zu erhalten.
  • Die von dem Scannerbalken gelieferten Signale können in der Auswerteeinheit 66 auch bezüglich ihrer Intensität ausgewertet werden. Dies liefert eine Information über die lokale Beschaffenheit der Werkstückoberfläche, z.B. die Rauhigkeit, die Struktur und Farbe derselben. Diese Information kann dann genutzt werden, um die Schleifparameter wie Schleifdruck und Schleifgeschwindigkeit gezielt zu verändern, um ein optimales Schleifergebnis zu erhalten.
  • Ein weiterer Scannerbalken 26 der vorstehend beschriebenen Art kann auch in Transportrichtung des Werkstückes hinter dem Schleifaggregat 14 angeordnet sein. Auch hier können die von der Auswerteeinheit 66 erhaltenen Signale vor ihrer Verstärkung bezüglich ihrer Intensität ausgewertet werden. Dies liefert eine Information über das Reflektionsvermögen der Werkstückoberfläche und erlaubt durch Vergleich mit Referenzwerten eine Aussage über die Qualität der Werkstückoberfläche nach dem Schleifvorgang und damit über das Schleifergebnis beziehungsweise über die Abnutzung der Schleifmittel.
  • 3 zeigt eine abgewandelte Ausführungsform der Erfindung, wobei die mit der Ausführungsform gemäß 2 übereinstimmenden Teile mit gleichen Bezugszeichen versehen sind.
  • Der Taststrahl 40 erfährt bei seinem Weg von dem Drehspiegel 36 über die Spiegel 42, 44 und 46 eine gewisse Aufweitung. Ferner wird das Licht des Taststrahles an dem Werkstück noch gestreut und durch Lichtreflexe „verunreinigt". Dies führt dazu, dass der Lichtfleck, den das von dem Werkstück reflektierte Licht auf der Fotodiodenzeile 62 erzeugt, relativ breit ist, so dass die Ortsinformation nicht so präzise ist, wie sie aufgrund der Bauart der Fotodiodenzeile eigentlich sein könnte. Dieses Problem wird durch die Ausführungsform gemäß 3 dadurch gelöst, dass der Drehspiegel 36 bzw. sein Antrieb 38 mit einem Winkelgeber 65 gekoppelt ist, dessen Ausgangssignal der Auswerteschaltung 66 zugeführt wird und eine Information über die Richtung des Taststrahles 40 liefert.
  • Bei der Ausführungsvariante nach 4 ist anstelle des Winkelgebers neben der den Taststrahl erzeugenden Lichtquelle 34 ist eine weitere Lichtquelle 68 vorgesehen, die einen Referenzstrahl 70 erzeugt, der bei dem dargestellten Ausführungsbeispiel parallel zu dem von der Lichtquelle 34 erzeugten Taststrahl gerichtet ist und von dem Drehspiegel 36 synchron mit dem Taststrahl 40 abgelenkt wird. Der Referenzstrahl 70 fällt direkt oder gegebenenfalls über ein weiteres Umlenkelement auf eine zweite Lichtempfangsanordnung, die ebenfalls von einer Fotodiodenleiste 72 gebildet ist. Da der Referenzstrahl 70 keinerlei Störeinflüssen unterliegt und ohne Umwege von dem Drehspiegel 36 auf die Fotodiodenleiste 72 fällt, ist er noch schart gebündelt, so dass sein Auftreffort auf der Fotodiodenleiste 72 präzise bestimmt werden kann. Da der Referenzstrahl 70 synchron mit dem Taststrahl 40 abgelenkt wird, lässt sich damit präzise der Ort bestimmen, auf den der Taststrahl 40 auf der Fotodiodenleiste 62 auftreffen müsste, wenn er diese scharf gebündelt und ohne äußere Störungen erreichen würde. In der Auswerteschaltung 66 werden somit die Signale beider Fotodiodenzeilen 62 und 72 ausgewertet. Das Signal der Fotodiodenleiste 62 wird lediglich dahingehend ausgewertet, ob der Taststrahl ein Werkstück getroffen hat oder nicht. Der Ort, wo das Werkstück von dem Taststrahl getroffen wurde, d.h. wo sich das Werkstück auf dem Transportband 10 befindet, wird dagegen aus den Signalen der Fotodiodenzeile 72 ermittelt, die von dem Referenzstrahl 70 getroffen wird. Damit kann die Kontur und Lage des Werkstückes 12 auf dem Transportband 10 mit hoher örtlicher Auflösung und Genauigkeit völlig unbeeinflusst von äußeren Einflüssen bestimmt werden.
  • Es ist noch zu ergänzen, dass bei den Ausführungsformen gemäß den 3 und 4 die mit einzelnen Fenstern versehene Bodenplatte 30 durch eine transparente Bo denplatte 30 ersetzt wurde. Ferner ist an der Unterseite des Scannerbalkens 26 eine Rammschutzplatte 74 angeschraubt, welche den Scannerbalken vor Stößen durch die in der 3 von rechts einlaufenden Werkstücke schützen soll und eine Grenzdicke der Werkstücke definiert. Ferner dient dieser Rammschutz dazu, Reflexionen vom Transportband auszublenden. Der Rammschutz kann dabei in seiner Lage einstellbar sein, um gezielt bestimmte Strahlen auszublenden.

Claims (19)

  1. Vorrichtung zum optischen Erfassen der Flächenkontur flächiger Werkstücke (12) in einer Breitbandschleifmaschine, gekennzeichnet durch ein längliches, balkenförmiges Gehäuse (28), das eine optische Abtastvorrichtung mit mindestens einer Lichtquelle (34) zur Erzeugung eines Taststrahles (40) und einer Ablenkvorrichtung (36, 38) enthält, welche den Taststrahl zwischen den Längsenden des Gehäuses (28) hin und her bewegt, und das in einer seiner Wände ein sich in Längsrichtung des Gehäuses (28) erstreckendes Austrittsfenster (50) für den Taststrahl und ein hierzu paralleles Eintrittsfenster (56) für einen von einem Werkstück (12) oder seiner Unterlage (10) reflektierten Taststrahl hat, wobei in dem Gehäuse (28) hinter dem Eintrittsfenster (56) eine zeilenförmige Lichtempfangsanordnung (62) mit einer Vielzahl von optischen Sensoren (64) angeordnet ist, deren Ausgangssignale einer Auswerteeinheit (66) zuführbar sind.
  2. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die Ablenkvorrichtung (36, 38) einen Positionsgeber (65) umfasst, dessen Ausgangssignal eine Information zum Ermitteln der Ablenkrichtung des Taststrahls (40) enthält.
  3. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass dem Taststrahl (40) ein Referenzstrahl (70) zugeordnet ist, der innerhalb des Gehäuses (28) auf eine zweite zeilenförmige Lichtempfangsanordnung (72) mit einer Vielzahl optischer Sensoren gerichtet und entlang derselben mittels einer Ablenkvorrichtung (36, 38) synchron zu dem Taststrahl (40) ablenkbar ist, wobei die Ausgangssignale beider Lichtempfangsanordnungen (62, 72) einer gemeinsamen Auswerteeinheit (66) zuführbar sind.
  4. Vorrichtung nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, dass der Taststrahl (40) und der Referenzstrahl (70) von einer gemeinsamen Lichtquelle abgeleitet sind.
  5. Vorrichtung nach Anspruch 1 oder 3, dadurch gekennzeichnet, dass für die Erzeugung des Taststrahles (40) und des Referenzstrahles (70) jeweils eine eigene Lichtquelle (34, 68) vorhanden ist.
  6. Vorrichtung nach Anspruch 3 oder 4, dadurch gekennzeichnet, dass die Licht quelle (34, 68) jeweils ein Laser ist.
  7. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 3 bis 6, dadurch gekennzeichnet, dass der Taststrahl (40) und der Referenzstrahl (70) durch dieselbe Ablenkvorrichtung (36, 38) ablenkbar sind.
  8. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 7, dadurch gekennzeichnet, dass die Ablenkvorrichtung jeweils einen Drehspiegel (36) umfasst.
  9. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 3 bis 8, dadurch gekennzeichnet, dass der Referenzstrahl (70) direkt von der Ablenkvorrichtung (36, 38) auf die zweite Lichtempfangsanordnung (72) gerichtet ist.
  10. Vorrichtung nach den Ansprüchen 2 und 8, dadurch gekennzeichnet, dass der Drehspiegel (36) oder sein Antrieb (38) mit einem Winkelgeber (65) gekoppelt ist.
  11. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 10, dadurch gekennzeichnet, dass zwischen der Ablenkvorrichtung (36, 38) und dem Austrittsfenster (50) mindestens ein stationärer Spiegel (46) derart angeordnet ist, dass er den ab gelenkten Taststrahl unter einem vorgegebenen Winkel aus dem Austrittsfenster (50) lenkt.
  12. Vorrichtung nach Anspruch 11, dadurch gekennzeichnet, dass der stationäre Spiegel (46) zur Veränderung des Austrittswinkels des Taststrahles (40) justierbar ist.
  13. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 12, dadurch gekennzeichnet, dass die Lichtempfangsanordnungen (62, 72) jeweils von einer Leiste fotoelektrischer Elemente gebildet sind.
  14. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 13, dadurch gekennzeichnet, dass die Auswerteeinheit (66) zum Erfassen und Auswerten der Intensität der von der Werkstückoberfläche reflektierten Taststrahlen ausgebildet ist.
  15. Schleifmaschine mit einer Werkstückauflagefläche (10), auf der flächige Werkstücke (12) in einer Transportrichtung (A) durch die Schleifmaschine transportierbar sind, einem parallel zur Transportrichtung (A) umlaufenden Schleifband (16) und einem sich quer zur Transportrichtung über die Breite des Schleifbandes (16) erstreckenden Druckbalken (22) mit einer Vielzahl von Andruckelementen, die über eine Steuereinrichtung (24) unabhängig voneinander ansteuerbar sind, gekennzeichnet durch eine Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 13, wobei sich das balkenförmige Gehäuse (28) stromaufwärts des Schleifbandes (16) quer zur Transportrichtung über die Werkstückauflagefläche (10) erstreckt, so dass das Austrittsfenster (50) und das Eintrittsfenster (56) der Werkstückauflagefläche (10) zugewandt sind, und wo bei die Auswerteeinheit mit der Steuereinrichtung (24) verbunden ist.
  16. Schleifmaschine nach Anspruch 15, dadurch gekennzeichnet, dass eine weitere Vorrichtung (26) nach einem der Ansprüche 1 bis 14 stromabwärts des Schleifbandes (16) angeordnet ist.
  17. Verfahren zum Überprüfen der Werkstückoberfläche beim Schleifen flächiger Werkstücke in Schleifmaschinen, insbesondere Breitbandschleifmaschinen, bei dem die Werkstückoberfläche mit mindestens einem Lichtstrahl abgetastet und die Intensität des von der Werkstückoberfläche reflektierten Lichtstrahles erfasst wird, und bei dem die erfassten Intensitätswerte mit Referenzwerten verglichen werden.
  18. Verfahren nach Anspruch 17, dadurch gekennzeichnet, dass die Oberfläche eines zu schleifenden Werkstückes abgetastet wird und dass die Schleifparameter der Schleifmaschine in Abhängigkeit der ermittelten Intensitätswerte an der Schleifmaschine eingestellt werden.
  19. Verfahren nach Anspruch 17 oder 18, dadurch gekennzeichnet, dass die Oberfläche eines geschliffenen Werkstückes abgetastet wird, um das Schleifergebnis zu bewerten.
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