DE102006017382A1 - Verfahren und Vorrichtung zum Beschichten und/oder zur Behandlung von Oberflächen - Google Patents

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Abstract

Ein Verfahren zum Beschichten und/oder Behandeln von Oberflächen mittels High Power Impuls Magnetron Sputtering (HIPIMS), ist im Hinblick auf ein möglichst effektives Durchführen eines Sputter-Prozesses bei niedrigen Kosten derart ausgebildet, dass mindestens zwei Kathoden simultan oder sequenziell gepulst werden, wobei die Kathoden über eine Schaltvorrichtung mit einer gemeinsamen Energieversorgung verbunden werden. Eine entsprechende Vorrichtung insbesondere zur Anwendung des erfindungsgemäßen Verfahrens ist angegeben.
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