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Gebiet der Erfindung
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Die
Erfindung betrifft ein Verfahren zur Herstellung eines optischen
Bauelements, insbesondere einer OLED sowie das optische Bauelement
bzw. die OLED im Allgemeinen und ein Verfahren zur hermetischen
Kapselung eines optischen Qualitätsbereichs,
z.B. einer lichtemittierenden Schichtenanordnung bzw. eine derartige
Einrichtung im Speziellen.
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Hintergrund der Erfindung
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Elektro-optische
Bauelemente, insbesondere organische elektrolumineszente lichtemittierende Dioden
(OLED) sind von großem
Interesse für
Displayanwendungen und im Bereich der Lichttechnik, da sie gegenüber anderen
Leucht- und Anzeigemitteln vielseitige Vorzüge besitzen. So können OLEDs sehr
dünn und
sogar flexibel hergestellt werden. Gegenüber Flüssigkristallanzeigen besitzen
OLEDs den Vorzug, selbst leuchtend zu sein. OLEDs sind daher Gegenstand
intensiver Entwicklungsarbeiten.
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Problematisch
bei OLEDs ist jedoch vor allem deren bisher sehr begrenzte Lebensdauer.
Es ist kaum gelungen, die produktrelevante Betriebsdauer von OLEDs
auf mehr als 10000 Betriebsstunden auszudehnen. Dies liegt unter
anderem daran, dass sich die eingesetzten elektrolumineszenten Materialien leicht
unter dem Einfluss von Wasser oder Sauerstoff verändern, was
bis hin zu signifikanten Zerstörungen führen kann.
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Zusätzlich werden
in diesen optischen Bauelementen reaktive Metalle als Kathoden eingesetzt, die
ebenfalls unter Sauerstoff- und Wassereinfluss durch Oxidation zerstört werden.
OLED-Bauteile benötigen
daher eine extrem gute Verkapselung mit geringen Permeationsraten
für Feuchtigkeit
und Sauerstoff.
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Technisch
relevante OLED-Bauteile mit langer Lebensdauer werden typischer
Weise auf Glassubstraten abgeschieden. Die Permeation von Wasserdampf
und Sauerstoff durch Glas ist ausreichend gering. Weiter werden
in der Regel die Bauteile zum rückseitigen
Schutz der OLED-Beschichtung mittels eines massiven Deckels verkapselt.
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Der
Deckel besteht in der Regel aus Glas oder Metall und kann als Platte
oder Gehäuse
ausgeführt
sein. Mit dem Trägersubstrat
wird der Deckel durch Kleber, zum BEispiel auf Epoxidharzbasis verbunden
und gedichtet (vgl. Appl. Phys. Lett. 65, 2922 (1994)).
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Die
Dichtigkeit von Substrat und Deckelmaterial ist in der Regel für OLED-Anwendungen
hinreichend hoch. Jedoch lässt
die Klebenaht zwischen diesen beiden Elementen noch zuviel Sauerstoff
und Wasser durchdiffundieren, so dass für die zur Zeit bekannten Klebematerialien
die Dauerhaftigkeit der Verkapselung nicht hinreichend ist.
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Zur
Erhöhung
der Standzeiten von OLED-Bauteilen werden daher Getterstoffe, die
Sauerstoff und hauptsächlich
Wasser chemisch binden, mit in das gekapselte Volumen eingeschlossen.
Es sind unterschiedliche Stoffgruppen als Gettermaterialien bekannt.
So werden Festkörper,
wie z.B. CaO eingesetzt (
EP 776147 ),
Flüssigkeiten
(
US 5962962 ,
US 5821692 ,
JP 7211456 ) bzw. Gase (WO 99/03122)
eingesetzt.
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Die
Aushärtung
der Epoxidharzstoffe (Polyaddition) erfolgt teilweise bei höheren Temperaturen, die
auch für
die OLED-Materialien
kritisch sein können.
Weiter hat die Verwendung von flüssigen
Klebern für
die Verkapselung von OLED-Bauteilen
signifikante Nachteile, wie z.B. die Ausbildung von relativ dicken
und breiten Kleberauben im Randbereich oder über die Fläche der Materialien mit entsprechenden
dicken Klebefugen. Dies ist mit einem erhöhten Eindringrisiko für Sauerstoff
und Wasser oder entsprechend stärkeren
Sauerstoff- oder Wasser-Kontaminationen des Klebematerials verbunden.
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Weiter
nachteilig führen
bekannte Klebstoffe zu einer Freigabe von Reaktionsprodukten beim
Aushärten
was eine unerwünschte
Wechselwirkung der Kleberkomponenten mit den OLED-Materialien nach sich
zieht.
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Zudem
lässt sich
eine sehr dünne
Klebenaht oder kleine Querschnittsfläche mit entsprechend geringer
Sauerstoff- bzw.
Wasserdiffusion nur mit hohem technischen Aufwand reproduzierbar
erreichen.
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Daher
wird intensiv an alternativen Verfahren zur Epoxidharzverkapselung
geforscht.
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Aus
dem Dokument WO 00/36665 ist ein Verfahren bekannt, das auf dem
Aufbringen einer Barrierebeschichtung beruht. Hierzu werden alternierend
dünne Polymerschichten
und Keramikschichten, z.B. SiO2, Al2O3 aufgebracht.
Nachteilig ist wiederum ein kostenintensiver Herstellungsprozess.
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Weiter
ist auch die Tauglichkeit dieser Verkapselung für OLED-Bauteile langer Lebensdauer noch
fraglich.
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Aus
dem Dokument
US 5895228 sind
Kapselungsbeschichtungen mit Siloxan bzw. Siloxanderivaten bekannt.
Diese Einzelschichten sind zwar weniger aufwendig aufzubringen,
besitzen jedoch nicht eine hinreichende Verkapselungswirkung, so
dass weitere zusätzliche
Verkapselungstechnologien notwendig sind.
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Aus
dem Dokument
US 5952778 ist
ein Verfahren mit einer Drei-Lagen-Beschichtung, bestehend aus einem
metallischen Film, einer dünnen Schicht
eines dielektrischen Materials und einem Polymerfilm zum Abschluss
des Beschichtungsstacks bekannt.
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Jedoch
sind auch hier aufwendige und kostenintensive Vakuumbeschichtungsprozesse
notwendig.
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Analoge
Ansätze
zur Mehrfachbeschichtung sind auch aus dem Dokument WO 99/02277
bekannt. Hier besteht die Kapselungsbeschichtung aus einer metallischen
und die elektrischen Schicht, die mittels Vakuumprozessen aufgebracht
werden.
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Die
Verklebung von Glassubstraten mit metallischen Deckelsubstraten,
wie sie in dem Dokument
US 6080031 vorgeschlagen
wird, hat den Nachteil, dass die hier eingesetzten Materialien in
der Regel stark unterschiedliche Ausdehnungskoeffizienten aufweisen,
so dass der Verbund bei Temperaturwechselbelastung unter stark ändernden
mechanischen Spannungen stehen kann. Hierdurch können Risse in der Verkapselung
entstehen, die zu erhöhter Diffusion
von Sauerstoff und Wasser beitragen können.
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In
dem Dokument
US 4784872 wird
ein Verkapselungsverfahren beschrieben, bei dem ein Schichtsystem
bestehend aus einer Polymerschicht, über die ein weiterer Film aus
einem Polymer-Metallgemisch abgeschieden wird. Zusätzlich wird
zur Abdichtung das Bauteil noch in synthetisches Harz eingegossen.
Da hier typische Prozesstemperaturen > 200°C
eingesetzt werden müssen,
ist dieses Verfahren für
organische lichtemittierenden Dioden nicht einsetzbar.
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In
der
US 6,614,057 wird
eine organische optoelektronische Vorrichtung vorgeschlagen, welche eine
erste und zweite Barriereschicht aufweist, wobei ein Abdichtungsabschnitt
zwischen den beiden Schichten vorgesehen wird, wobei im Abdichtungsabschnitt
ein Material vorhanden ist, welches schädlich für die optoelektronische Einrichtung
ist. Um eine Schädigung
zu vermeiden, ist ein zusätzlicher
innerer Sperrabschnitt vorhanden, welche das Eindringen schädigender
Substanzen in die optoelektronische Einrichtung verhindert. Für den Abdichtungsabschnitt wird
beispielsweise ein Lot oder ein dünnflüssiges Epoxidharz vorgeschlagen.
Eine derartige doppelte Abschirmung mit verschiedenen Materialien
ist jedoch vergleichsweise aufwendig. Zudem müssen die Barriereschichten
beim Zusammenfügen
genau übereinander
gelegt werden, damit nicht ein Teil des äußeren Abdichtungsabschnitts
in den abgeschlossenen Bereich mit der optoelektronischen Einrichtung
kommt.
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Eine ähnliche
zweistufige Abdichtung wird auch in der WO 03/065470 und der WO
03/030272 vorgeschlagen. Gemäß der WO
03/065470 enthält eine
innere Abdichtung eines Verkapselungsdeckels enthält ein adsorbierendes
Material, wie etwa einen Getter oder ein Trockenmittel. Die WO 03/030272
offenbart eine Abdichtung mit einem inneren, vorgeformten Abdichtungsdamm.
Auch bei diesen aus der WO 03/065470 und WO 03/030272 bekannten
optoelektronischen Elemente ergeben sich dementsprechend ähnliche
Probleme wie bei der aus der
US 6,614,057 bekannten
Vorrichtung.
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Zusammenfassend
bleibt festzuhalten, dass keines der bisher bekannten Verfahren
eine befriedigende Lebensdauer der OLEDs gewährleistet, so dass eine effiziente
Massenfertigung bzw. deren Durchbruch im Massengeschäft noch
nicht erreicht werden konnte.
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Allgemeine Beschreibung
der Erfindung
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Die
Erfindung hat sich daher die Aufgabe gestellt, ein Verfahren zur
Herstellung eines optischen Bauelements und ein optisches Bauelement
bereit zu stellen, welches bzw. welche eine verlängerte Lebensdauer gewährleistet.
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Eine
weitere Aufgabe der Erfindung ist es, ein derartiges Verfahren und
ein derartiges Bauelement mit einer geringen Diffusion in den Qualitätsbereich,
einer geringen Kontamination des Qualitätsbereichs und mit geringer
Freigabe von Verunreinigungen aus den verwendeten Materialien bereit
zu stellen.
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Noch
eine Aufgabe der Erfindung ist es, ein derartiges Verfahren bereit
zu stellen, welches reproduzierbare Ergebnisse liefert und für eine kosteneffektive
Massenproduktion geeignet ist.
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Noch
eine weitere Aufgabe der Erfindung ist es, ein derartiges Verfahren
und eine derartiges Bauelement bereit zu stellen, welches bzw. welche
die Nachteile bekannter Verfahren meidet oder zumindest mindert.
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Die
Aufgabe der Erfindung wird in überraschend
einfacher Weise bereits durch den Gegenstand der unabhängigen Ansprüche gelöst. Vorteilhafte
Weiterbildungen der Erfindung sind in den Unteransprüchen definiert.
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Es
wird ein Verfahren zur Herstellung eines optischen Bauelements,
insbesondere einer lichtemittierenden Einrichtung, z.B. einer organischen
lichtemittierenden Einrichtung, genauer Diode (organic light emitting
device oder diode, OLED) sowie das optische Bauelement selbst verfügbar gemacht.
Erfindungsgemäß werden
zunächst
ein Basissubstrat oder eine Unterlage und ein Deckel oder Decksubstrat
bereitgestellt und anschließend
ein optischer Qualitätsbereich
auf dem Basissubstrat erzeugt oder auf dieses aufgebracht. Der optische
Qualitätsbereich
ist dabei insbesondere ein lichtemittierender Bereich, vorzugsweise
gebildet durch eine lichtemittierende Schichtenanordnung oder eine OLED-Schichtenanordnung.
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Unter
dem "Aufbringen" auf ein Substrat
oder ein anderes Element ist im Sinne dieser Beschreibung, soweit
nicht ausdrücklich
anders verwendet, ein unmittelbares Aufbringen oder ein mittelbares Aufbringen
unter Zwischenschaltung weiterer Schichten zu verstehen.
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Der
Aufbau einer OLED-Schichtenanordnung ist dem Fachmann grundsätzlich bekannt,
er umfasst insbesondere zumindest eine erste und zweite leitfähige Elektrodenschicht
und eine dazwischen liegende Schicht mit einem organischen, elektrolumineszenten
Material. Es können
jedoch auch noch weitere Schichten, z.B. eine Widerstandsschicht
zur Herstellung einer strukturierten OLED vorgesehen sein.
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Weiter
erfindungsgemäß wird ein
erstes Verbindungselement, z.B. ein Rahmen aus einem Verbindungs-
oder Verkapselungsmaterial auf das Basissubstrat und/oder auf das
Decksubstrat aufgebracht. Anschließend werden das Basissubstrat
und das Decksubstrat mittels des ersten Verbindungselements derart
zu einer Anordnung verbunden, dass, die lichtemittierende Schichtenanordnung
innen liegend zwischen dem Basissubstrat und dem Decksubstrat und
innerhalb des Rahmens gekapselt ist. Der Rahmen ist z.B. geschlossen
rechteckig und wird durch begrenzende Seiten oder Rahmenstege gebildet.
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Ein
Vorteil des rahmenförmigen
Verbindungselements ist, dass das Licht, zumindest bei Verwendung
von transparenten Elektroden in beiden Richtungen durch das Basissubstrat
und das Decksubstrat emittiert werden kann, da der Qualitätsbereich
nach beiden Seiten frei gelassen wird.
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Das
Verbindungselement enthält
dabei zumindest eines der folgenden Materialien: Ein Thermoplast,
ein polymerisierbares Duroplast, ein Lotmittel, ein Glas und/oder
einen Toner.
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Die
Erfinder haben herausgefunden, dass die vorgenannten Materialien
sich durch einen gemeinsamen Vorteil gegenüber den herkömmlich verwendeten
Materialien auszeichnen, nämlich
durch eine geringe Durchlässigkeit
für Verunreinigungen, insbesondere
Sauerstoff und Wasser, welche die Lebensdauer der OLED herabsetzen
können.
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Ein
weiterer Vorteil der vorgeschlagenen Verbindungsmaterialien ist
deren leichte Handhabarkeit und Verarbeitung. Sie können z.B.
zumindest teilweise sehr präzise
und kostengünstig
aufgedruckt werden, was insbesondere die Massenproduktion von OLEDs
ermöglicht.
Die Anwendungsvielfalt und damit das Marktpotenzial für preiswerte
und haltbare, insbesondere strukturierte OLEDs ist gewaltig. Die Verbindungsmaterialien
erfüllen
gleichzeitig zwei Funktionen: Sie bewerkstelligen eine feste und/oder dauerhafte
Verbindung der beiden Substrate und wirken als Dichtmaterial gegen
Diffusion.
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Mit
anderen Worten werden die beiden Substrate mittels des Verbindungselements
gegeneinander abgedichtet.
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Als
besonders geeignetes Material für
das erste Verbindungselement oder Verbindungsmaterial haben sich
thermisch, genauer mittels Erwärmung und
andererseits mittels elektromagnetischer, genauer mittels UV-Bestrahlung
polymerisierbare Duroplaste oder Thermodure, z.B. UV-Lacke erwiesen. Diese
sind einfach zu Verarbeiten und langzeitstabil. Alternativ eignen
sich aber auch Metall- oder
Glaslote analog zu den Keramikfarben als Material für das erste
Verbindungselement, d.h. als Verbindungsmaterial.
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Die
vorgeschlagenen Verbindungsmaterialien zeichnen sich durch chemische
Inertheit und Resistenz gegen Reinigung und Lösungsmittel aus. Sie geben
ferner hinreichend wenig Sauerstoff, Wasser und Polymerisationsprodukte
ab. Insbesondere die Duroplaste und Lote zeichnen sich durch thermische Stabilität aus, was
bei Prozessen mit höheren
Temperaturen besonders vorteilhaft ist.
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Darüber hinaus
ist die Verbindung mechanisch ausreichend stabil, z.B. gegen Reinigungsprozesse
mit Bürsten
oder in Vakuumprozessen. Auch die Haftung auf den Substraten oder
zwischengeschalteten Schichten ist vorteilhaft hoch. Aber auch die
gute und schnelle Fügbarkeit,
bei moderaten Temperaturen ist von Vorteil.
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Gemäß einer
besonderen Ausführungsform der
Erfindung wird das erste Verbindungselement als flächige Schicht über der lichtemittierenden
Schichtenanordnung, ggf. unter Zwischenschaltung weiterer Schichten
aufgebracht. Dies hat den Vorteil, dass ein großflächiger Verbund zwischen den
beiden Substraten geschaffen werden kann und dass das Verbindungselement
gleichzeitig als Passivierung dienen kann.
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Insbesondere
bei einer flächigen
Aufbringung kann es vorteilhaft sein, ein transluzentes oder transparentes
Verbindungselement einzusetzen, so dass das emittierte Licht durch
die Verbindungselementschicht transmittiert werden kann.
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Besonders
bevorzugt ist ein Material für
das erste Verbindungselement, welches sich vor dem Auftragen und/oder
während
des Auftragens in einem festen Aggregatzustand, insbesondere in
einem pulverförmigen
Zustand befindet.
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Das
Aufbringen eines festen oder pulverförmigen Verbindungsmaterials
entweder unmittelbar auf die herzustellende OLED oder mittelbar
unter Zwischenschaltung eines Transferelements ist besonders vorteilhaft,
weil etablierte Drucktechniken angewendet werden können und
mit diesen ein präzises
strukturiertes Auftragen ermöglicht
ist. Es kann also ein Verschmieren oder Verunreinigen der hochsensiblen
lichtemittierenden Schichtenanordnung weitgehend vermieden werden.
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Gemäß einer
beispielhaften Ausführungsform
wird ein Toner oder ein thermoplastisches oder unter Wärmebehandlung
schmelzendes Verbindungsmaterial mittels eines elektrofotografischen Verfahrens,
wie bei einem Laserdrucker, auf eine Transferrolle mit einer elastischen
Oberfläche
pulverförmig
und strukturiert aufgetragen und von der Transferrolle auf die herzustellende
OLED übertragen.
Bei diesem Übertragen
wird das Verbindungsmaterial aufgeschmolzen und damit fixiert (sogenanntes
computer-to-glass, CTG-Verfahren). Bei diesem Verfahren wird also
das erste Verbindungselement strukturiert aufgedruckt.
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Aber
auch andere Druckverfahren, z.B. Siebdruck, Tiefdruck, Offsetdruck,
Tampondruck, Thermotransferdruck und Düsenstrahldruck eignen sich in
Kombination mit dem erfindungsgemäßen Verfahren.
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Gemäß einer
bevorzugten Ausführungsform der
Erfindung ist das Aufbringen der lichtemittierenden Schichtenanordnung
in zumindest zwei Teilschritte unterteilt, wobei in jedem Teilschritt
zumindest eine Schicht der Schichtenanordnung aufgebracht wird.
Das Aufbringen des ersten Verbindungselements wird zwischen den
beiden Teilschritten durchgeführt.
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Dies
kann z.B. gemäß folgender
Reihenfolge der Schichtaufbringung durchgeführt werden. Zunächst wird
in einem ersten der beiden Teilschritte die erste Elektrode oder
Elektrodenschicht, z.B. eine leitfähige transparente ITO-Anode
und ggf. weitere funktionelle Schichten auf das Basissubstrat aufgebracht. Die
funktionellen Schichten können
z.B. Barriereschichten oder Aufdampfglas sein und können mit Getterschichten
kombiniert werden.
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Nach
dem Aufbringen der vorgenannten Schichten, aber vor dem Aufbringen
der lichtemittierenden Schicht mit dem elektrolumineszenten Material
wird das Verbindungselement, insbesondere in Form eines Rahmens
um die bislang aufgebrachten Schichten auf das Basissubstrat aufgebracht.
Erst anschließend
werden in einem zweiten der beiden Teilschritte die lichtemittierende
Schicht mit dem elektrolumineszenten Material und die zweite Elektrode
oder Elektrodenschicht aufgebracht.
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Der
große
Vorteil bei dieser Verfahrensreihenfolge ist es, dass eine Kontamination
der lichtemittierenden Schicht und der zweiten Elektrodenschicht
mit dem Verbindungsmaterial wirkungsvoll vermieden werden kann.
Die vorbeschriebene Reihenfolge ist insbesondere in Verbindung mit
dem Aufdrucken des Verbindungselements vorteilhaft, da die lichtemittierende
Schicht beim Aufdrucken nicht beschädigt werden kann.
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Zwar
wird die Schichtenaufbringung vorzugsweise unter Schutzatmosphäre durchgeführt, dennoch
ist es wünschenswert,
das elektrolumineszente Material möglichst kurz ungeschützt zu lassen. Daher
ist es ein weiterer Vorteil, dass die Zeit zwischen dem Aufbringen
der lichtemittierenden Schicht und der Aufbringung der zweiten Elektrodenschicht darüber bzw.
der Verkapselung der Schichtenanordnung erfindungsgemäß sehr kurz
gehalten werden kann.
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Insbesondere
beträgt
die Zeitdauer zwischen dem Auftragen der lichtemittierenden oder elektrolumineszenten
Schicht und dem Verbinden des Basissubstrats und des Decksubstrats
erfindungsgemäß weniger
als 10 min, vorzugsweise weniger als 1 min und am meisten bevorzugt
sogar weniger als 40 sec. Dies ist mit herkömmlichen Verfahren, bei welchen
abschließend
ein Klebstoff aufgetragen wird, kaum möglich.
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Alternativ
oder ergänzend
kann das Verbindungselement auch auf das Decksubstrat aufgetragen
werden. Dies hat den Vorteil, dass ebenfalls eine Kontamination
der lichtemittierenden Schichtenanordnung mit Verbindungsmaterial
vermieden werden kann.
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Als
besonders vorteilhaft hat es sich erwiesen, jeweils ein oder mehrere
Verbindungselemente, z.B. in Form von Verbindungsrahmen auf beide
Substrate, das Bassissubstrat und das Decksubstrat aufzubringen
oder zu -drucken.
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Gemäß noch einer
Ausführungsform
der Erfindung wird der optische Qualitätsbereich vor dem Verbinden
des Basissubstrats mit dem Deckel mit einer Vorverkapselungsbeschichtung,
insbesondere einer Einzelschicht aus Aufdampfglas, einer Mehrfachschicht
mit unterschiedlichen Materialien oder eine Gradientenschicht, abgedeckt.
Mit einer derartigen Vorverkapselungsschicht werden die Funktionalschichten
des optischen Qualitätsbereichs
zusätzlich geschützt, insbesondere
auch vor Beschädigungen durch
den Fügeprozess.
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Die
Verbindungsrahmen auf den beiden Substraten sind entweder gleich
groß,
so dass sie beim Verbinden aufeinander gedrückt werden oder sind ineinander
verschachtelt, so dass die Ränder der
Rahmen oder die Rahmen zumindest abschnittsweise lateral versetzt
zueinander zu liegen kommen. Dies erhöht weiter die Dichtigkeit der
Verkapselung.
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Gemäß einer
besonders bevorzugten Ausführungsform
der Erfindung werden zumindest ein erstes und ein zweites Verbindungselement,
z.B. zwei ineinander geschachtelte Verbindungsrahmen, welche um
die lichtemittierende Schichtenanordnung herum angeordnet sind,
aufgebracht. Dabei enthalten die beiden Verbindungselemente insbesondere unterschiedliche
Materialien mit unterschiedlichem Aushärteverhalten.
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Beispielsweise
wird ein Rahmen aus Duroplast und ein zweiter Rahmen aus Thermoplast
aufgebracht. Im laufenden Herstellungsprozess ("inline"), z.B. auf einem Fließband wird
zunächst
das erste Verbindungselement aktiviert und damit die beiden Substrate
zunächst
mit dem Thermoplast provisorisch aber schnell verbunden und nachfolgend
die so provisorisch gekapselte Einrichtung vom Fließband entnommen,
um zeitversetzt oder genauer nachfolgend in einem zweiten Schritt
das zweite Verbindungselement langsam, z.B. unter Wärmeeinwirkung zu
aktivieren oder auszuhärten.
Der zweite Schritt kann dann z.B. unter kontrollierten Bedingungen
in einem Wärmeschrank
ausgeführt
werden. Ferner kann ein Verbindungselement die Dichtungsfunktion und
ein anderes Verbindungselement die Verbindungsfunktion erfüllen.
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Mit
dieser Vorgehensweise lässt
sich einerseits ein qualitativ hochwertiges aber langsam aushärtendes
Verbindungsmaterial verwenden und dennoch eine schnelle hermetische,
im wesentlichen fluiddichte Verkapselung des elektrolumineszenten
Materials oder des lichtemittierenden Bereichs erreichen.
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Weiter
vorzugsweise besitzt eines der beiden Substrate, insbesondere das
Decksubstrat eine umlaufende Vertiefung oder rahmenförmige Nut
in welche das Verbindungselement oder
-material beim Verbinden
eingepresst wird. Somit kann ein verringerter Abstand der beiden
Substrate erzielt werden, so dass die Angriffsfläche für Diffusion von Verunreinigungen
reduziert ist.
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Vorzugsweise
weist das erste Verbindungselement in dem verbundenen Bauelement
eine Dicke von 1 μm
bis 50 μm
auf. Der Abstand der beiden Substrate, bevorzugt Glassubstrate liegt
ebenfalls bevorzugt im Bereich von 1 μm bis 50 μm. Falls zusätzlich Gettermaterial eingebracht
wird, kann der Abstand auch größer gewählt werden,
z.B. 300 bis 500 μm.
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Obwohl
das erfindungsgemäße elektro-optische
Bauelement bereits eine erhöhte
Dichtigkeit gegen Diffusion aufweist, kann es vorteilhaft sein,
zusätzlich
einen Getter oder Gettermaterial vorzusehen. Das Gettermaterial
kann gasförmig
innerhalb des Verbindungsrahmens oder innerhalb des durch die Substratverbindung
entstandenen verkapselten Bereiches sein und/oder zwischen den Verbindungsrahmen
angeordnet sein. Alternativ oder ergänzend kann ein Gettermaterial,
welches z.B. Sauerstoff und/oder Wasser absorbiert dem Material
des oder der Verbindungselemente beigemischt werden. Weiter alternativ
oder ergänzend
kann die lichtemittierende Schichtenanordnung eine Getterschicht
umfassen. Das Gettermaterial kann anstatt gasförmig auch flüssig, pulverförmig oder
kompakt, z.B. in Tabletten-, Kissen-, Plättchen- oder Scheibenform bzw.
als Klebepads sein.
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Das
erste und ggf. weitere Verbindungselemente enthalten vorzugsweise
ein chemisch inertes und/oder lösungsmittelresistentes
Material, welche insbesondere Sauerstoff- und/oder Wasser-undurchlässig ist,
um die Lebensdauer weiter zu erhöhen.
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Es
ist ferner vorteilhaft und daher bevorzugt, elektrische Anschlüsse zum
externen Kontaktieren des lichtemittierenden Bereiches zwischen
dem ersten Verbindungselement und dem ersten oder zweiten Substrat
aus dem lichtemittierenden Bereich herauszuführen, wobei das erste Verbindungselement ein
elektrisch isolierendes oder dielektrisches Material enthält oder
aus einem solchen besteht.
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Vorzugsweise
werden zumindest ein Teil der vorstehend beschriebenen Verfahrensschritte,
insbesondere einschließlich
der Verbindung der beiden Substrate in effizienter Weise auf Substratebene durchgeführt. Nach
dem Aktivieren oder Aushärten des
Verbindungsmaterials werden die Bauelemente bzw. OLEDs dann vereinzelt.
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Die
Erfindung eröffnet
durch ihre Einfachheit eine Vielzahl von Anwendungsfeldern, diese
sind z.B.:
- – Leucht- und/oder Beleuchtungsanwendungen der
Displaytechnik bzw. Lumineszenztechnologie, insbesondere OLEDs,
- – Backlights
von Mobiltelefonen, PDAs oder LCD displays in der Dispalytechnologie,
- – Hinweis-
und Leuchttafeln, z.B. für
die Werbung,
- – Hinweis-
und Leuchttafeln, insbesondere variable Anzeigen für Signage,
- – Schalter-
und Sensorbeleuchtung im Haushalt, z.B. für ein Kochfeld, Leuchtböden, Spezialbeleuchtung
etc.,
- – Lichtflächen
- – Hinweis-
und Leuchttafeln, Schalter- und Sensorbeleuchtung in der Automobiltechnik
oder Avionik,
- – Notbeleuchtung,
transportable batteriebetriebene Leuchten für Outdooranwendungen,
- – elektronische
Anwendungen,
- – biotechnische
Anwendungen,
- – optoelektronische
Anwendungen und
- – Photovoltaik.
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Im
Folgenden wird die Erfindung anhand von Ausführungsbeispielen und unter
Bezugnahme auf die Zeichnungen näher
erläutert,
wobei gleiche und ähnliche
Elemente mit gleichen Bezugszeichen versehen sind und die Merkmale
der verschiedenen Ausführungsbeispiele
miteinander kombiniert werden können.
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Kurzbeschreibung der Figuren
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Es
zeigen:
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1-3 Draufsichten
auf Substrate mit jeweils einem Verbindungselement gemäß verschiedener
Ausführungsformen
der Erfindung,
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4 eine
Draufsicht auf ein Substrat mit einer Vielzahl von Verbindungselementen,
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5-7 Querschnitte
durch Substrate mit jeweils einem Verbindungselement gemäß verschiedener
Ausführungsformen
der Erfindung,
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8-10 Querschnitte
durch jeweils zwei zu verbindende Substrate gemäß verschiedener Ausführungsformen
der Erfindung,
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11 einen
Querschnitt durch eine Anordnung aus zwei zu verbindenden Substraten,
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12 einen
Querschnitt durch die Anordnung aus 11 nach
dem Verbinden,
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13 einen
Querschnitt durch eine weitere Anordnung aus zwei zu verbindenden
Substraten,
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14 einen
Querschnitt durch die Anordnung aus 13 nach
dem Verbinden,
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15 einen
Querschnitt durch eine weitere Anordnung aus zwei zu verbindenden
Substraten,
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16 einen
Querschnitt durch die Anordnung aus 15 nach
dem Verbinden,
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17 einen
Querschnitt durch eine zu verbindende Anordnung unter definierter
Atmosphäre,
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18 einen
Querschnitt durch die Anordnung aus 17 nach
dem Verbinden,
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19-21 Querschnitte
durch jeweils zwei zu verbindende Substrate gemäß verschiedener Ausführungsformen
der Erfindung,
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22 einen
Querschnitt durch eine zu verbindende Anordnung mit Getterelement,
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23 einen
Querschnitt durch die Anordnung aus 22 nach
dem Verbinden,
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24 einen
Querschnitt durch eine zu verbindende Anordnung mit einem strukturierten
Decksubstrat,
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25 einen
Querschnitt durch eine zu verbindende Anordnung mit verschiedenen
Verbindungselementen und
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26 einen
Querschnitt durch eine weitere zu verbindende Anordnung mit verschiedenen
Verbindungselementen.
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Detaillierte Beschreibung
der Erfindung
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1 zeigt
ein festes Substrat 10 mit einem ersten Verbindungselement 12 in
Form eines Verbindungsrahmens aus einem Verbindungsmaterial, z.B. aus
einem Thermoplast. Der Verbindungsrahmen ist vom Rand des Substrats
oder Basissubstrats 10 beabstandet, aber in Kantennähe unmittelbar
auf das Substrat 10 aufgebracht. Der Rahmen 12 ist
im Wesentlichen quadratisch geformt. Es hat sich gezeigt, dass mit
einer Breite des Rahmens 12 von etwa 0.1 mm bis 5 mm, vorzugsweise
ca. 1 mm und einer Dicke von etwa 3 μm bis 15 μm eine zufriedenstellend geringe
Diffusion erzielt werden kann.
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Besonders
bevorzugt wird das Substrat 10 vorbehandelt, um eine gute
und dichte Haftung des Rahmens 12 bzw. des Verbindungsmaterials
auf dem Substraten zu erreichen. Ferner kann durch eine geeignete
Vorbehandlung die Benetzung des Substrats 10 durch das
Verbindungsmaterial verbessert werden. Die Vorbehandlung kann ein
Waschen, eine Plasmabehandlung, eine UV- und/oder Ozon- Behandlung
und/oder eine mechanische Vorbehandlung, wie z.B. Reiben oder Aufrauhen
umfassen.
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Für eine sichere
Haftung des Verbindungsmaterials auf dem Substrat kann auch eine
separate Vorbeschichtung, z.B. eine Haftvermittlerschicht, vor dem
Aufbringen des Verbindungsmaterials bzw. zwischen diesem und dem
Substrat vorteilhaft sein.
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Das
Verbindungsmaterial bzw. der Rahmen 12 wird z.B. mittels
Siebdruck, Tiefdruck, Offsetdruck, Flexodruck oder Tampondruck aufgedruckt. Insbesondere
Duroplaste werden so ausgewählt, dass
möglichst
wenig Zusätze
oder Lösungsmittel freigegeben
werden. Die vorstehend genannten Druckverfahren eignen sich besonders
gut für
saugende und poröse
Substrate.
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Alternativ
wird das Verbindungsmaterial mittels eines Düsenstrahlverfahrens oder einer
Sprühbeschichtung,
z.B. Elektrosprühverfahren,
aufgedruckt. Dieses Verfahren wird auch für Tintelstrahldrucker verwendet
und ist daher dem Fachmann grundsätzlich bekannt. Auch die Sprühbeschichtung eignet
sich aufgrund der guten Antrocknung des Sprühmediums bzw. Verbindungsmaterials
besonders für
saugende und poröse
Substrate. Ferner vorteilhaft ist der geringe Materialverbrauch.
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Weiter
alternativ wird ein Digitaldruckverfahren, z.B. Elektrophotographie
eingesetzt und z.B. ein Toner aufgedruckt.
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Ein
Vorteil des CTG-Verfahrens ist, dass Lösungsmittel, die bei der Verkapselung
des Bauteils stören
können,
nicht oder nur wenig vorhanden sind. Ferner lassen sich uniforme
homogene und lateral begrenzte Beschichtungen herstellen.
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Weiter
alternativ kann die Struktur des Verbindungselements 12 durch
Belichtungsprozesse z.B. mittels eines Lasers aus Flüssigbeschichtung oder
mittels Abschmelzen von Folien hergestellt werden.
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Die
Folien werden derart ausgewählt,
dass möglichst
wenig Zuschlagstoffe, z.B. Weichmacher, welche zu Kontaminationen
führen
und die Bauteile schädigen
können
enthalten sind.
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Weiter
alternativ wird der Rahmen mittels Zwischenträger, z.B. als Abziehbild mit
Nass- oder Thermotransfer übertragen.
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Die
Verwendung von digitalen Techniken weist den Vorteil auf, dass auf
die Erstellung von individuellen und teuren Werkstücken verzichtet
werden kann, so dass hohe Werkzeugkosten vermieden werden.
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Das
erfindungsgemäße Verfahren
weist noch eine Reihe weiterer Vorteile auf. Insbesondere bei elektrophotographishcer
Beschichtung ist eine großflächige schnelle
Aufbringung der Plaste oder Lote ermöglicht. Mit dem von den Erfindern
eingesetzten Verfahren wurde bei einer Breite von 600 mm ein Vorschub
von bis zu 10 m/min erreicht. Dies entspricht einer Leistung von
6 m2/min. Aber bereits Beschichtungsleistungen
in Bezug auf das Verbindungsmaterial von 0,1 m2/min
oder 1 m2/min können bereits als vorteilhaft
betrachtet werden.
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Ferner
lassen sich individuelle Strukturen oder Einzelstücke problemlos
und kostengünstig
realisieren.
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Darüber hinaus
ist die Aufbringung auch komplexer Strukturen, definiert in Lage
und Breite mit einer lateralen Auflösung kleiner als 200 μm, bevorzugt
von bis zu etwa 60 μm
möglich.
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Die
Dicke des Verbindungselements 22 ist vordefiniert über die
ganze Fläche
zumindest im Bereich von 3 μm
bis 15 μm
einstellbar. Dadurch ist der Einsatz definierter Materialmengen
ohne Überschuss gewährleistet,
so dass Probleme mit der Abführung von überschüssigem Material
vermieden werden.
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Ferner
ist das erfindungsgemäße Verfahren auf
einegroße
Spannweite der genannten Verbindungsmaterialien anwendbar. Darüber hinaus
ist der Einsatz moderater Temperaturen ermöglicht, was aufgrund der Empfindlichkeit
der OLED-Materialien von
besonderem Vorteil ist.
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2 zeigt
eine weitere Ausführungsform der
Erfindung, bei welcher der Rahmen 12 bündig mit dem Rand 14 des
Substrats 10 abschließt,
wobei der Rahmen 12 außerhalb
des Qualitätsbereichs
oder des optisch aktiven Bereichs 36 des Bauteils angeordnet
ist. Die Außenabmessungen
des Rahmens 12 sind also gleich denen des Basissubstrats 10.
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3 zeigt
eine weitere Ausführungsform der
Erfindung mit einem flächig
auf das Substrat 10 aufgetragenen Verbindungselement 22.
Das Verbindungselement 22 bildet eine homogene Fläche auf dem
Decksubstrat und/oder über
dem fertig beschichteten Basissubstrat der lichtemittierenden Einrichtung
oder des optischen Bauelements 1. Es ist also kavitätsfrei unter
dem transparenten Verbindungselement eine lichtemittierende Schichtenanordnung
befindlich (in dieser Darstellung nicht gezeigt).
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Optional
ist das Verbindungsmaterial gefärbt,
um die Lichtfärbung
zu beeinflussen. Dies kann z.B. je nach Fügetechnik durch Beimischen
von Zusatz-, Farb- oder Absorptionsstoffen zu dem Verbindungsmaterial
zur lokalen und gezielten Energieaufnahme erzielt werden.
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4 zeigt
eine Anordnung mit zwölf
Rahmen auf einem großen
einheitlichen Substrat 10 zur Parallelprozessierung mehrerer
optischer Bauelemente oder OLEDs 1. Abschließend oder
nach dem Verbinden der beiden Substrate werden die Bauteile vereinzelt.
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5 zeigt
ein Glassubstrat 10 mit einem unmittelbar auf das unbeschichtete
Substrat 10 aufgebrachten Verbindungsrahmen 12.
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Das
Aufbringen des Verbindungselements zu Beginn der Prozessierung oder
vor dem Aufbringen der lichtemittierenden Schichtenanordnung bzw. auf
das unbeschichtete Basis- und/oder Decksubstrat hat den Vorteil,
dass die Hafteigenschaften auf den Trägern gut sind und die weitere
Prozessierung der Substrate nicht oder nur wenig beeinflusst wird.
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6 zeigt
ein Glassubstrat 10 mit einer unmittelbar darauf aufgebrachten
Elektrodenschicht 16 in Form einer Anode aus transparenten
leitfähigen Material.
Für sichtbares
Licht sind als Anodenmaterial transparente leitfähige Oxide (TCO), wie beispielsweise
Zinnoxid oder Indium-Zinn-Oxid (ITO) geeignet. Aber auch an sich
nicht transparente Materialien, wie Metalle, beispielsweise Gold
oder Silber können bei
-hinreichend kleiner Schichtdicke oder durch geeignete Strukturierung,
zum Beispiel nach Art einer Lochmaske transparent oder teilweise
transparent für
das emittierte Licht sein, so dass dieses nach unten durch das Glassubstrat 10 emittiert
werden kann.
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Nach
dem Beschichten des Substrats 10 mit der Elektrodenschicht 16 wird
der Verbindungsrahmen 12 auf die Elektrodenschicht 16 also
mittelbar auf das zumindest vor- oder
teilbeschichtete Substrat 12 aufgetragen.
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Der
Verbindungsrahmen 12 kann sogar auf das endgültig beschichtete
Basissubstrat 10 aufgebracht werden, sofern hinreichende
Haftung gewährleistet
ist.
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Wieder
Bezug nehmend auf 6 weisen die Stege 12a, 12b des
Verbindungsrahmens 12 einen im Wesentlichen kreissegmentförmigen Querschnitt
mit einem Böschungswinkel α von 5° bis 75°, vorzugsweise
10° bis
60° und
am meisten bevorzugt von weniger als 45° auf. Der flache Böschungswinkel hat
den Vorteil, dass Ablaufspuren bei Flüssigbeschichtung wirkungsvoll
vermieden werden können. Dadurch
ist der potenziell negative Einfluss des Verbindungsmaterials auf
die lichtemittierende Schichtenanordnung reduziert, was sich besonders
dann vorteilhaft bemerkbar macht, wenn die im Folgenden gezeigt
vor zumindest der elektrolumineszenten Schicht auf das Substrat,
mittelbar oder unmittelbar aufgebracht wird. Ferner wird ein Verkleben
der Beschichtung bei Temperprozessen vermieden.
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7 zeigt
die Anordnung aus 6 mit einer nachfolgend aufgebrachten
Schicht der lichtemittierenden Schichtenanordnung, z.B. eine Schicht
aus elektrolumineszentem Material 18. Es werden also nach
dem Aufbringen des Verbindungsrahmens 12 noch weitere Schichten
der lichtemittierenden Schichtenanordnung aufgebracht. Vorteilhafter
Weise kann nun sofort die Kathodenschicht 17 und das feste,
in diesem Beispiel im Wesentlichen ebene Decksubstrat 20 aufgebracht
werden, so dass die elektrolumineszente Schicht 18 nur
für eine
kurze Zeit offenliegt. Wird aufgrund des für die Funktionalschicht eingesetzten
Beschichtungsprozesses auch der Verbindungsrahmen 12 überdeckt,
so kann es von Vorteil sein, die Funktionalschicht auf dem Verbindungsrahmen
vor der Verbindung wieder zu entfernen, um eine feste Verbindung
zu erreichen. Eine derartige Überdeckung
des Verbindungsrahmens kann beispielsweise bei einer Tauchbeschichtung entstehen,
wenn der Verbindungsrahmen dabei nicht abgedeckt wird. Weiter besteht
aber auch die Möglichkeit,
dass die Überdeckung
mit der Funktionalschicht während
des Fügeprozesses
zerstört
oder entfernt wird und die Verbindung dadurch nicht behindert. Dies
kann beispielsweise durch eine Temperaturbeaufschlagung und/oder
Aufschmelzen des Verbindungsmaterials mit Cracken/Zerstören der
Funktionalschichtüberdeckung
geschehen, so daß ohne Entfernung
der Funktionalschicht eine gute Verbindung erreicht wird.
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8 zeigt
das ebene Basissubstrat 10 mit der lichtemittierenden Schichtenanordnung 30,
umfassend die Anodenschicht 16, eine Kathodenschicht 17 und
die dazwischen liegende elektrolumineszente Schicht 18 sowie
ggf. weitere funktionelle Schichten. Es ist lediglich ein Verbindungsrahmen 24 an
dem in diesem Beispiel unbeschichteten Decksubstrat 20 angebracht.
Die beiden festen und in diesem Beispiel im Wesentlichen ebenen
Substrate 10, 20 werden nun aufeinander zubewegt
und unter Aktivierung des Verbindungsmaterials gegeneinander gefügt, um eine
dauerhafte Verbindung einzugehen.
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9 zeigt
eine Ausführungsform,
bei welcher lediglich ein Verbindungsrahmen 12 auf der
lichtemittierenden Schichtenanordnung 30 aufgebracht ist.
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10 zeigt
eine besonders bevorzugte Ausführungsform
der Erfindung, bei welcher jeweils ein Verbindungsrahmen 12, 24 auf
dem Basissubstrat bzw. der lichtemittierenden Schichtenanordnung und
dem unbeschichteten Decksubstrat befestigt sind. Die beiden Verbindungsrahmen 12 und 24 liegen
sich derart gegenüber,
dass sie beim Zusammenfügen
in Kontakt treten und so eine besonders sichere Verbindung herstellen.
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Ggf.
findet vor dem Zusammenfügen
der beiden dielektrischen Substrate 10, 20 noch
eine Nachbearbeitung der Verbindungselemente 12 und/oder 24 statt.
Die Nachbearbeitung, insbesondere zur Reinigung von Rückständen des
Verbindungsmaterials folgende Schritte umfassen:
- – Lokales
Abwaschen des Verbindungsmaterials,
- – mechanisches
Entfernen von überhöhten Abschnitten
des Verbindungselemente 12, 24,
- – thermische
Behandlung des Bautelements und/oder
- – Inkorporation
von Beschichtungsrückständen in das
Verbindungsmaterial während
des Fügeprozesses,
z.B. bei Thermoplasten.
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11 zeigt
schematisch eine besondere Ausführungsform
des Zusammenfügens.
Der Fügeprozess
kann hierzu an normaler Atmosphäre
aber auch, je nach Anforderung des Bauelements, unter Inergasatmosphäre (trockene
Luft, Schutzgas) durchgeführt
werden. Die beiden Substrate werden zunächst justiert und nachfolgend
unter Kraftbeaufschlagung, welche durch die Pfeile F verdeutlicht
ist, zusammengefügt
oder -gepresst. Dies hat, insbesondere gegenüber flüssigen Klebern, den Vorteil,
dass das Verbindungsmaterial bzw. die Verbindungsrahmen 12, 24 verdichtet
werden. Nach dem Fügen
wird die Kraftbeaufschlagung wieder reduziert.
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Zumindest
zeitweise während
des Verbindens oder Fügens
wird das Verbindungsmaterial 12, 24 von oben oder
durch das Decksubstrat 20 durch Energieeintrag lokal aktiviert,
insbesondere im Falle eines Thermoplasts mittels eines lokalen Wärmeeintrags
erwärmt.
Der Wärmeeintrag
ist durch die Pfeile L repräsentiert.
Alternativ kann auch von Seiten des Basissubstrats 10 oder
beidseitig aktiviert werden.
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Der
lokale Wärmeeintrag
wird z.B. mit einem Laser, einer Mikrowelle, Ultraschall, elektromagnetisch,
inkohärentem
Licht, Infrarotstrahlung oder einem Heizkontakt erzielt. Hierdurch
kann eine homogene Verbindung des gesamten Bauteils erreicht werden.
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Alternativ
wird im Falle eines Duroplasts dieses mittels UV-Licht ausgehärtet oder
es wird kaltverschweißt.
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Um
die lichtemittierende Schichtenanordnung zu schützen, werden zumindest zeitweise
während
des Fügens
die beiden Substrate mittels jeweils eines Kühlelements 32, 34 im
Bereich der Qualitätsfläche oder
des optischen Qualitätsbereichs 36 gekühlt. Die
Kühlelemente
arbeiten konduktiv wärmeabführend als
Metallblöcke
und/oder sind aktiv, z.B. durch Peltier-Elemente oder im Kontakt
zu Kühlmitteln
gekühlt.
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12 zeigt
das verbundene optische Bauelement oder die lichtemittierende Einrichtung,
genauer eine OLED 1 umfassend die im wesentlichen parallelen
und mittels Verbindungsrahmen 12 und 24 verbundenen
Substrate 10, 20.
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13 zeigt
ein zu verbindendes Bauelement 1 mit einem ähnlichen
Aufbau wie in 11. Zusätzlich ist innerhalb der Verbindungsrahmen 12, 24 eine
Schicht 38 aus Gettermaterial auf die lichtemittierende
Schichtenanordnung 30 aufgebracht. Das Gettermaterial ist
z.B. Calzium-Metall. 14 zeigt das verbundene Bauelement 1 aus 13.
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Bezug
nehmend auf 15 kann die Getterschicht 38 auch,
insbesondere unmittelbar, auf dem Decksubstrat aufgebracht sein. 16 zeigt
das verbundene Bauelement aus 15.
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Bezug
nehmend auf 17 wird das zu verbindende Bauelement
unter einer kontrollierten Atmosphäre aus gasförmigem Gettermaterial 40 zusammen
gefügt.
Bezug nehmend auf 18 ist das Gettergas 40 in
einer Kavität,
welche durch die beiden Substrate 10, 20 und die
verbundenen Verbindungselemente oder Rahmen 12, 24 gebildet
wird, hermetisch eingeschlossen.
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Alternativ
oder ergänzend
werden folgende Prozesse zum Einsatz eines Gettermittels vorgeschlagen:
- – Es
wird ein Gettermittel in das Verbindungsmaterial eingebracht oder
eingemischt.
- – Es
werden metallische, kristalline, organische oder anorganische Pulver
aus Gettermaterialien, wie z.B. CaO, Ca, Phosphorpentoxid aufgestaubt.
- – Es
wird eine Getterflüssigkeit
aufgebracht.
- – Es
werden Klebepads, enthaltend Gettermittel, z.B. CaO-Klebepads auf die
lichtemittierende Schichtenanordnung innerhalb des Verbindungsrahmens
aufgebracht.
- – Es
werden Plättchen
aus Gettermitteln auf auf die lichtemittierende Schichtenanordnung
innerhalb des Verbindungsrahmens, z.B. CaO-Plättchen eingelegt.
- – Es
werden Getterschichten oder -filme auf das Basissubstrat 10 und
das Decksubstrat 20 aufgebracht.
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Bezug
nehmend auf 19 weisen das Basissubstrat 10 und
das Decksubstrat 20 im noch nicht verbundenen Zustand jeweils
einen separates Verbindungsrahmen 12 bzw. 24 auf.
Der Verbindungsrahmen 12 ist kleiner als der Verbindungsrahmen 24, so
dass ein Versatz entsteht. Durch den Versatz ist im verbundenen
Zustand die Diffusionsstrecke verlängert.
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Bezug
nehmend auf 20 wird dieser Vorteil dadurch
noch verstärkt,
dass das Decksubstrat einen weiteren Verbindungsrahmen 42 aufweist,
welcher innerhalb des äußeren Verbindungsrahmens 24 angeordnet
ist. Beim Verbinden verschmelzen die drei Verbindungsrahmen zu einem
einheitlichen Verbindungselement.
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Eine
weitere Ausführungsform
ist in 21 dargestellt, bei welcher
auf dem Basissubstrat 10 und dem Decksubstrat 20 jeweils
zwei ineinander geschachtelte Verbindungsrahmen 12, 44, 24, 42 aufgebracht
sind. Jeweils zwei der Rahmen, nämlich
der Rahmen 12 und 24 einerseits und 44 und 42 andererseits
liegen sich gegenüber,
so dass diese beim Zusammenfügen
eine Verbindung eingehen und im zusammengefügten Zustand zwei ineinander
geschachtelte und lateral beabstandete Verbindungsrahmen gebildet
werden.
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Bezug
nehmend auf 22 ist eine weitere Ausführungsform
der Erfindung mit einem Getterelement 46 auf dem Bassissubstrat 10 gezeigt.
Das Getterelement befindet sich zwischen den Verbindungsrahmen 12 und 44.
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23 zeigt
die Anordnung aus 22 in zusammengefügtem oder
verbundenem Zustand, in welchem das Getterelement 46 in
Form eines Rahmens lateral zwischen den Verbindungsrahmen 48 und 50,
welche aus den Rahmen 12 und 24 bzw. 44 und 42 entstanden
sind, angeordnet oder eingeschlossen ist. Vorteilhafter Weise befindet
sich dadurch auf der Diffusionsstrecke von außen nach innen, repräsentiert
durch den Pfeil D, eine wirkungsvoll diffusionssperrende Abfolge
Verbindungselement-Getter-Verbindungselement.
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Bezug
nehmend auf 24 weist das Decksubstrat 20 eine
rahmenförmige
Vertiefung oder Nut 52 auf, welche dem Verbindungsrahmen 12 gegenüber liegt.
Dadurch tragt in verbundenem Zustand der Verbindungsrahmen 12 nicht
so stark auf, was mit einem verringerten und damit diffusionsreduzierten
Abstand zwischen den beiden Substraten 10, 20 einhergeht.
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In
Bezug auf 25 sind ähnlich 21 auf jedem
Substrat je zwei paarweise gegenüber
liegende und sich zugewandte Verbindungselemente 52, 54 und 42, 44,
zur Erzeugung einer Doppelstruktur im verbundenen Zustand aufgebracht.
Dabei enthalten die Verbindungselemente 42 und 44 in
diesem Beispiel ein thermoplastisches Material, um im laufenden
Prozess eine schnelle Verbindung herzustellen. Die Verbindungselemente 52 und 54 enthalten
ein anderes Material als die Verbindungselemente 42 und 44,
in diesem Beispiel einen langsam aushärtenden Epoxidklebstoff oder
drucksensitiven Klebstoff. Der Epoxidklebstoff wird nach Entnahme
aus dem laufenden Produktionsprozess in einem Wärmeschrank ausgehärtet. Durch
die schnelle Fixierung der Substrate oder Bauteilhälften mit
dem Plast oder Lot im laufenden Prozess und der langsamen Aushärtung des
Klebers im Schrank ist das Verfahren "inline"-tauglich. Das erfindungsgemäße Verfahren kann
auch mit weiteren Randkaspelungsprozessen z.B. Low Temperature Bonding
(LTB) kombiniert werden.
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In
vorteilhafter Weise ist das Bauelement 1 also bereits hermetisch
verschlossen, bevor der Klebstoff ausgehärtet wird. Ferner werden durch
das Verbindungselement 42, 44 Klebstoff-Verunreinigungen
der lichemittierenden Schichtenanordnung im Innenbereich verhindert.
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Wie
in 26 dargestellt ist, können die Verbindungselemente 42 und 44 einerseits
und 52 und 54 andererseits auch gegeneinander
vertauscht angeordnet sein.
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Ferner
können
auch ein Verbindungsrahmen mit einer flächigen Verbindungsschicht oder
flächiger Verklebung
kombiniert werden, so dass hohe Kräfte aufgenommen werden können und
dennoch der Produktionsablauf wie vorstehend beschrieben vereinfacht
wird.
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Es
ist dem Fachmann ersichtlich, dass die vorstehend beschriebenen
Ausführungsformen
beispielhaft zu verstehen sind, und die Erfindung nicht auf diese
beschränkt
ist, sondern in vielfältiger
Weise variiert werden kann, ohne den Geist der Erfindung zu verlassen.