DE102004034807A1 - Lichtquelle und ein Verfahren zur mechanischen Stabilisierung des Filaments oder der Elektrode einer Lichtquelle - Google Patents

Lichtquelle und ein Verfahren zur mechanischen Stabilisierung des Filaments oder der Elektrode einer Lichtquelle Download PDF

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Abstract

Eine Lichtquelle mit einem beheizbaren Filament (1) oder einer Elektrode, wobei das Filament (1) oder die Elektrode in einem Kolben (2) oder in einer Röhre angeordnet ist, ist im Hinblick auf einen weitreichenden Einsatz der Lichtquelle auch bei rauhen Einsatzbedingungen derart ausgestaltet, dass das Filament (1) oder die Elektrode zumindest bereichsweise eine mechanische Stabilisierung aufweist. Des Weiteren ist ein Verfahren zur mechanischen Stabilisierung des Filaments (1) oder der Elektrode einer Lichtquelle angegeben, wobei die Stabiliserung dadurch erzeugt wird, dass das Filament (1) oder die Elektrode während einer Erwärmung einer kurzzeitigen pulsartigen Gasdruckerhöhung mittels eines Edelgases ausgesetzt wird oder dass die Stabilisierung durch eine Beschichtung oder Abscheidung (4) gebildet wird.

Description

  • Die vorliegende Erfindung betrifft eine Lichtquelle mit einem beheizbaren Filament oder einer Elektrode, wobei das Filament oder die Elektrode in einem Kolben oder in einer Röhre angeordnet ist. Des Weiteren betrifft die vorliegende Erfindung ein Verfahren zur mechanischen Stabilisierung des Filaments oder der Elektrode einer Lichtquelle.
  • Lichtquellen der in Rede stehenden Art sind seit langem aus der Praxis bekannt und existieren in den unterschiedlichsten Ausführungsformen. Dabei sind insbesondere elektrische Glühlampen, elektrische Halogenglühlampen und elektrische Entladungslampen in Niederdruck- oder Hochdruckausführungen sowie elektrische Leuchtdioden bekannt. Die Lichtquellen basieren auf der Glühemission, der Stoßanregung von Gasen oder einer Lumineszenzwirkung, beispielsweise bei Lumineszenzröhren.
  • Des Weiteren ist es heutzutage üblich, für verschiedene Anwendungsbereiche jeweils spezielle, für den jeweiligen Anwendungsfall besonders geeignete individuelle Lichtquellentypen herzustellen. Beispielsweise wurden in seltenen Fällen spezielle Filamente wie beispielsweise Tantalkarbidfilamente bei Lichtquellen eingesetzt, bei denen eine hohe Lichtleistung erforderlich ist.
  • Bei vielen speziellen Filament- oder Elektrodenmaterialien ist nachteilig, dass diese Materialien zwar die gewünschten Anforderungen hinsichtlich der Lichtleistung erfüllen, aber andererseits häufig im Hinblick auf Erschütterungen und Vibrationen empfindlich sind, wobei häufig ein Brechen der Filamente oder Elektroden zu beobachten ist. Derartige Filamente oder Elektroden eignen sich daher nur für Einsätze mit höchster Sorgfalt. Für eine Serienproduktion und einen weitreichenden Einsatz sind die mit den bekannten Filamenten oder Elektroden ausgestatteten Lichtquellen nicht geeignet.
  • Der vorliegenden Erfindung liegt daher die Aufgabe zugrunde, eine Lichtquelle der eingangs genannten Art sowie ein Verfahren anzugeben, wonach ein weitreichender Einsatz der Lichtquelle auch bei rauhen Einsatzbedingungen ermöglicht ist.
  • Erfindungsgemäß wird die voranstehende Aufgabe durch eine Lichtquelle mit den Merkmalen des Patentanspruchs 1 sowie durch ein Verfahren mit den Merkmalen des Patentanspruchs 18 gelöst. Danach ist die Lichtquelle der eingangs genannten Art derart ausgestaltet und weitergebildet, dass das Filament oder die Elektrode zumindest bereichsweise eine mechanische Stabilisierung aufweist.
  • In erfindungsgemäßer Weise ist zunächst erkannt worden, dass zur Reduzierung der Empfindlichkeit der bekannten Lichtquelle eine gezielte Einflussnahme auf das vorliegende Filament- oder Elektrodenmaterial möglich ist. Es ist also nicht erforderlich, ein anderes, weniger empfindliches Filament- oder Elektrodenmaterial zu verwenden. Im Konkreten ist das Filament oder die Elektrode zur Lösung der voranstehenden Aufgabe zumindest bereichsweise mit einer mechanischen Stabilisierung versehen. Hierdurch kann insbesondere an Stellen des Filaments oder der Elektrode, die sich als besonders empfindlich gezeigt haben, eine zumindest bereichsweise mechanische Stabilisierung erzeugt werden. Die Empfindlichkeit der Lichtquelle auf Erschütterungen und Vibrationen ist dabei wesentlich reduziert.
  • Folglich ist mit der erfindungsgemäßen Lichtquelle eine Lichtquelle angegeben, wonach ein weitreichender Einsatz der Lichtquelle auch bei rauhen Einsatzbedingungen mit starken Vibrationen und Erschütterungen ermöglicht ist.
  • In der Praxis hat sich gezeigt, dass ein Bruch des Filaments oder einer Elektrode insbesondere im Bereich des Austritts des Filaments oder der Elektrode aus beispielsweise einem Glaskolben erfolgt. Daher kann die Stabilisierung in besonders vorteilhafter Weise im Bereich des Austritts des Filaments oder der Elektrode aus dem Kolben oder der Röhre erzeugt sein. Eine Stabilisierung lediglich in diesem speziellen Bereich ist meistens ausreichend.
  • Im Konkreten kann die Stabilisierung im Bereich einer elektrischen Zuführung des Filaments oder der Elektrode erzeugt sein. Dabei ist zu berücksichtigen, dass der im Betrieb glühende Teil beispielsweise eines Filaments häufig durch eine Glühwendel gebildet wird. In diesem Fall kann die Stabilisierung außerhalb dieses Glühwendelbereichs, nämlich im Bereich der elektrischen Zuführung des Filaments oder der Elektrode vorliegen.
  • Im Hinblick auf eine besonders sichere und dauerhafte Stabilisierung kann die Stabilisierung durch eine Beschichtung oder Abscheidung auf dem Filament oder der Elektrode gebildet sein. Hierzu können mehrere Techniken eingesetzt werden, die allesamt eine hohe mechanische Stabilisierung gewährleisten.
  • Zum einen kann die Beschichtung oder Abscheidung galvanisch erzeugt sein. Dabei kann ein Elektrolyttropfen auf den zu stabilisierenden Bereich des Filaments oder der Elektrode aufgebracht werden, wobei das Filament als Kathode dient. Beispielsweise kann dann ein dünner eingebrachter Metalldraht als Anode dieser galvanischen Minianordnung dienen. Bei geeigneter Abscheidespannung lassen sich beispielsweise Kupfer oder Nickel als lokaler Überzeug abscheiden. Bei einer weiteren Ausgestaltung kann jedoch auch Eisen, Molybdän, Wolfram oder Legierungen der vorgenannten Metalle oder ein anderes Metall für die Beschichtung oder Abscheidung verwendet werden. Auch W/Ni-Legierungen können abgeschieden werden. Nach der Entfernung des Elektrolyten und einer Trocknung zeigt sich nach der galvanischen Beschichtung oder Abscheidung eine merkbar höhere Stabilität der Filament- oder Elektrodenanordnung gegen eine Schlagbeanspruchung.
  • Als weitere Beschichtungstechnik kann eine Chemical Vapour Deposition – CVD – erfolgen. Dabei kann beispielsweise Kohlenstoff auf das Filament oder die Elektrode aufgebracht werden. Da der zu stabilisierende Bereich des Filaments oder der Elektrode beim Brennen der Lichtquelle eine niedrigere Temperatur aufweist als der meist darüber liegende glühende Teil, lässt sich bei optimierter Temperaturverteilung und Gasführung eine Kohlenwasserstoffverbindung im heißeren Bereich zersetzen und als Kohlenstoff im kälteren, einer Glühwendel abgewandten Bereich abscheiden. Eine derart ausgebildete Lichtquelle ist im Vergleich mit herkömmlichen Lichtquellen noch bei den doppelten g-Werten oder Beschleunigungswerten bei einer Schlagbeanspruchung des Filaments oder der Elektrode stabil.
  • Bei einer weiteren Technik könnte die Beschichtung oder Abscheidung mittels anorganisch kovalenter oder metallorganischer Chemical Vapour Deposition – MO-CVD – erzeugt sein. Alternativ zu einer Kohlenstoffabscheidung mittels CVD kann nach dem gleichen Prinzip auch eine Metallabscheidung erzeugt werden. Als Prozessgas, welches der thermischen Zersetzung unterworfen wird, können dabei entweder anorganische kovalente Verbindungen, beispielsweise Metallchloride oder Metallfluoride, oder metallorganische Verbindungen wie beispielsweise Titantetrachlorid für eine Titanabscheidung, Metallhexacarbonyl für eine Chrom-, Molybdän- oder Wolfram-Abscheidung und Ferrocene für eine Eisenabscheidung eingesetzt werden. Es sind hier auch andere Metalle oder deren metallorganische Verbindungen als Beschichtungs- oder Abscheidungsmaterial denkbar.
  • Bei einer weiteren, besonders vorteilhaften Technik kann die Stabilisierung dadurch erzeugt werden, dass das Filament oder die Elektrode während einer Erwärmung einer kurzzeitigen einmaligen oder mehrmaligen pulsartigen Gasdruckerhöhung mittels eines Edelgases ausgesetzt wird.
  • Eine derartige Behandlung des Filaments oder der Elektrode mit einem kurzzeitigen Edelgaspuls kann insbesondere während oder unmittelbar nach einer Synthese oder Herstellung des Filaments oder der Elektrode erfolgen, bei der das Filament oder die Elektrode bereits in dem Kolben oder in der Röhre angeordnet ist. Bei einem derartigen Herstellungs- oder Syntheseaufbau ist es besonders einfach, die Gasatmosphäre um das Filament oder die Elektrode herum durch selektive Gaszufuhr einzustellen.
  • Bei der Synthese beispielsweise eines Tantalkarbidfilaments wird als Ausgangsmaterial Tantal verwendet. Dieses Ausgangsmaterial wird dann einer Karburierung bei 3.000 bis 3.300 K ausgesetzt. Ausgehend von Ta wird dabei Ta2C und anschließend TaC erzeugt. In der das Ausgangsmaterial umgebenden Gasatmosphäre werden als Gase CH4 + eine geringe Menge H2 bei einem Gasdruck von etwa 0,1 bis 10 mbar verwendet. Die Synthese dauert etwa fünf bis sechs Minuten. Bei der Kohlenstoffabscheidung liegt ein Druck von etwa 10 bis 50 mbar vor. Die Edelgaspulsbehandlung wird bei etwa 3.000 bis 3.150 K durchgeführt. Der Druck bei der Edelgasbehandlung liegt vorzugsweise bei etwa 20 mbar.
  • Nach der Behandlung des Filaments oder der Elektrode mit einem kurzzeitigen Edelgaspuls zeigt sich eine erhebliche Zunahme der Festigkeit und Stabilität des Filaments oder der Elektrode insbesondere im Bereich des Austritts des Filaments oder der Elektrode aus dem Kolben oder der Röhre. Genauer gesagt lassen sich die üblichen Festigkeitswerte, nach denen eine Stabilität noch bis zu einer Belastung mit 100 g bis 200 g vorliegt, auf über 2000 g steigern. Mit anderen Worten bleibt die erfindungsgemäß stabilisierte Lichtquelle auch bei einer Schlagbeanspruchung mit mehr als 2000 g noch unversehrt.
  • In der Praxis hat sich gezeigt, dass es günstig ist, das Filament oder die Elektrode nach einer oder mehreren kurzzeitigen pulsartigen Gasdruckerhöhungen einem konstanten Edelgasdruck bis Syntheseende auszusetzen. Hierdurch kann eine erhöhte Stabilität erreicht werden.
  • Im Konkreten kann die pulsartige Gasdruckerhöhung etwa 10 bis 20 Sekunden andauern. Hierbei zeigt sich eine bestmögliche Stabilisierung des Filaments oder der Elektrode.
  • Als geeigneter Gasdruck im Rahmen der Gasdruckerhöhung ist ein Gasdruck von etwa 15 bis 25 mbar vorteilhaft. Vorzugsweise kann der Gasdruck bei etwa 20 mbar liegen.
  • Zur Stabilisierung besonders geeignete Edelgase sind Helium und Argon. Es ist jedoch auch die Verwendung anderer Edelgase denkbar, bspw. Neon oder Krypton oder Xenon.
  • Bei einer konkreten Ausführung der erfindungsgemäßen Lichtquelle kann das Filament oder die Elektrode Tantalkarbid aufweisen oder aus Tantalkarbid bestehen.
  • Im Hinblick auf das beanspruchte erfindungsgemäße Verfahren ist die obige Aufgabe durch ein Verfahren zur mechanischen Stabilisierung des Filaments oder der Elektrode einer Lichtquelle mit den Merkmalen des Patentanspruchs 18 gelöst. Danach wird die Stabilisierung dadurch erzeugt, dass das Filament oder die Elektrode während einer Erwärmung einer einmaligen oder mehrmaligen kurzzeitigen pulsartigen Gasdruckerhöhung mittels eines Edelgases ausgesetzt wird oder dass die Stabilisierung durch eine Beschichtung oder Abscheidung gebildet wird.
  • Die Stabilisierung kann während oder nach einer Synthese des Filaments oder der Elektrode erfolgen. In vorteilhafter Weise kann das Filament oder die Elektrode nach der kurzzeitigen ein- oder mehrmaligen pulsartigen Gasdruckerhöhung einem konstanten Edelgas-Fluss oder -Druck ausgesetzt werden. Die Gasdruckerhöhung kann etwa 10 bis 20 Sekunden andauern. Die Gasdruckerhöhung kann mittels eines Gasdrucks von etwa 15 bis 25 mbar, vorzugsweise etwa 20 mbar, erfolgen. Als Edelgas kann Helium oder Argon verwendet werden, wobei auch andere Edelgase wie bspw. Neon, Krypton oder Xenon denkbar sind.
  • Die Erwärmung während der kurzzeitigen pulsartigen Gasdruckerhöhung kann über einen ohmschen Heizprozess erfolgen, wobei Strom durch das Filament oder die Elektrode fließt.
  • Zur Stabilisierung der Lichtquelle kann in besonders vorteilhafter Weise sowohl eine kurzzeitige pulsartige Gasdruckerhöhung erfolgen, der das Filament oder die Elektrode während einer Erwärmung ausgesetzt wird, als auch eine Beschichtung oder Abscheidung auf dem Filament oder der Elektrode vorgenommen werden. Hierdurch kann ein kombinierter Effekt zur Stabilisierung der Lichtquelle erreicht werden.
  • Der Effekt der Stabilitätserhöhung durch die Behandlung des Filaments oder der Elektrode mit einer kurzzeitigen pulsartigen Gasdruckerhöhung könnte durch eine Verringerung einer Wasserstoffversprödung in den Zuleitungen des Filaments oder der Elektrode durch Verdünnung der Gasatmosphäre erklärt werden. Alternativ hierzu könnte der Effekt auch durch eine marginale oberflächliche Entkohlung in den Zuführungen erklärt werden, die einen sehr dünnen, äußeren und mechanisch stabilisierenden Tantal-Mantel bei einem Tantalkarbidfilament ergeben könnte. Als weitere Erklärung könnte die Pulsung einen starken dynamischen Temperaturgradienten in den Zuführungen des Filaments oder der Elektrode erzeugen, was eine Verschiebung der Sollbruchstelle in den Glaskörper oder Glassockel eines Kolbens oder einer Röhre zur Folge haben könnte.
  • Neben der mechanischen Stabilisierung können Metallabscheidungen auch zum Einbringen katalytisch wirksamer Metalle in den Lichtquellenkolben oder in die Lichtquellenröhre dienen. Dies erlaubt eine gezielte Beeinflussung der Gasphasenchemie in der brennenden Lichtquelle in eine gewünschte Richtung.
  • Es gibt nun verschiedene Möglichkeiten, die Lehre der vorliegenden Erfindung in vorteilhafter Weise auszugestalten und weiterzubilden. Dazu ist einerseits auf die den Patentansprüchen 1 und 18 nachgeordneten Ansprüche, andererseits auf die nachfolgende Erläuterung eines bevorzugten Ausführungsbeispiels der Erfindung anhand der Zeichnung zu verweisen. In Verbindung mit der Erläuterung des bevorzugten Ausführungsbeispiels der Erfindung anhand der Zeichnung werden auch im Allgemeinen bevorzugte Ausgestaltungen und Weiterbildungen der Lehre erläutert.
  • In der Zeichnung zeigt die einzige
  • Fig. in einer schematischen Seitenansicht ein Ausführungsbeispiel einer erfindungsgemäßen Lichtquelle.
  • Die einzige Fig. zeigt in einer schematischen Seitenansicht ein Ausführungsbeispiel einer erfindungsgemäßen Lichtquelle. Die Lichtquelle weist ein beheizbares Filament 1 auf, das in einem Kolben 2 angeordnet ist. Im Hinblick auf einen weitreichenden Einsatz der Lichtquelle auch bei rauhen und vibrationsreichen Einsatzbedingungen weist das Filament 1 bereichsweise eine mechanische Stabilisierung auf. Die Stabilisierung ist im Bereich einer elektrischen Zuführung 3 des Filaments 1 durch eine galvanische Abscheidung 4 gebildet.
  • Zur Stabilisierung des Filaments 1 könnte jedoch auch eine Beschichtung mittels Chemical Vapour Deposition – CVD – erzeugt sein. Die Abscheidung 4 ist im Bereich des Austritts des Filaments 1 aus einem Glassockel 5 des Kolbens 2 ausgebildet. Dieser Bereich des Filaments 1 ist während der Handhabung der Lichtquelle am empfindlichsten im Hinblick auf einen Bruch des Filaments 1.
  • Das Filament 1 besteht bei dem hier vorliegenden Ausführungsbeispiel aus Tantalkarbid. Die elektrische Kontaktierung des Filaments 1 erfolgt über elektrische Kontakte 6 und 7.
  • Zur Stabilisierung des Filaments 1 ist es alternativ oder zusätzlich möglich, das Filament 1 während einer Erwärmung einer kurzzeitigen pulsartigen Gasdruckerhöhung mittels eines Edelgases auszusetzen. Auch hierdurch wird eine deutlich höhere mechanische Stabilität des Filaments 1 insbesondere im Bereich des Austritts des Filaments 1 aus dem Glassockel 5 erreicht.
  • Als Edelgas kann hier vorzugsweise Helium oder Argon verwendet werden.
  • Hinsichtlich weiterer vorteilhafter Ausgestaltungen und Weiterbildungen der erfindungsgemäßen Lehre wird zur Vermeidung von Wiederholungen einerseits auf den allgemeinen Teil der Beschreibung und andererseits auf die beigefügten Patentansprüche verwiesen.
  • Abschließend sei ganz besonders hervorgehoben, dass das zuvor rein willkürlich gewählte Ausführungsbeispiel lediglich zur Erörterung der erfindungsgemäßen Lehre dient, diese jedoch nicht auf dieses Ausführungsbeispiel einschränkt.

Claims (23)

  1. Lichtquelle mit einem beheizbaren Filament (1) oder einer Elektrode, wobei das Filament (1) oder die Elektrode in einem Kolben (2) oder in einer Röhre angeordnet ist, dadurch gekennzeichnet, dass das Filament (1) oder die Elektrode zumindest bereichsweise eine mechanische Stabilisierung aufweist.
  2. Lichtquelle nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die Stabilisierung im Bereich des Austritts des Filaments (1) oder der Elektrode aus dem Kolben (2) oder der Röhre erzeugt ist.
  3. Lichtquelle nach einem der Ansprüche 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, dass die Stabilisierung im Bereich einer elektrischen Zuführung (3) des Filaments (1) oder der Elektrode erzeugt ist.
  4. Lichtquelle nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, dass die Stabilisierung durch eine Beschichtung oder Abscheidung (4) gebildet ist.
  5. Lichtquelle nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, dass die Beschichtung oder Abscheidung (4) galvanisch erzeugt ist.
  6. Lichtquelle nach Anspruch 4 oder 5, dadurch gekennzeichnet, dass die Beschichtung oder Abscheidung (4) ein Metall, vorzugsweise Kupfer, Eisen, Nickel, Molybdän, Wolfram oder deren Legierungen, aufweist.
  7. Lichtquelle nach einem der Ansprüche 4 bis 6, dadurch gekennzeichnet, dass die Beschichtung oder Abscheidung mittels Chemical Vapour Deposition – CVD – erzeugt ist.
  8. Lichtquelle nach einem der Ansprüche 4 bis 7, dadurch gekennzeichnet, dass die Beschichtung oder Abscheidung Kohlenstoff aufweist.
  9. Lichtquelle nach einem der Ansprüche 4 bis 8, dadurch gekennzeichnet, dass die Beschichtung oder Abscheidung mittels anorganisch kovalenter oder metallorganischer Chemical Vapour Deposition – MO-CVD – erzeugt ist.
  10. Lichtquelle nach einem der Ansprüche 7 bis 9, dadurch gekennzeichnet, dass die Beschichtung oder Abscheidung ein Metall, vorzugsweise Titan, Chrom, Molybdän, Wolfram oder Eisen, oder deren metallorganische Verbindungen aufweist.
  11. Lichtquelle nach einem der Ansprüche 1 bis 10, dadurch gekennzeichnet, dass die Stabilisierung dadurch erzeugt ist, dass das Filament (1) oder die Elektrode während einer Erwärmung einer kurzzeitigen einmaligen oder mehrmaligen pulsartigen Gasdruckerhöhung mittels eines Edelgases ausgesetzt wird.
  12. Lichtquelle nach Anspruch 11, dadurch gekennzeichnet, dass die Stabilisierung während oder nach einer Synthese des Filaments (1) oder der Elektrode erfolgt.
  13. Lichtquelle nach Anspruch 11 oder 12, dadurch gekennzeichnet, dass das Filament (1) oder die Elektrode nach der einmaligen oder mehrmaligen kurzzeitigen pulsartigen Gasdruckerhöhung einem konstanten Edelgas-Fluss oder -Druck ausgesetzt wird.
  14. Lichtquelle nach einem der Ansprüche 11 bis 13, dadurch gekennzeichnet, dass die Gasdruckerhöhung etwa 10 bis 20 s andauert.
  15. Lichtquelle nach einem der Ansprüche 11 bis 14, dadurch gekennzeichnet, dass die Gasdruckerhöhung mittels eines Gasdrucks von etwa 15 bis 25 mbar, vorzugsweise etwa 20 mbar, erfolgt.
  16. Lichtquelle nach einem der Ansprüche 11 bis 15, dadurch gekennzeichnet, dass das Edelgas Helium, Argon, Neon, Krypton oder Xenon ist.
  17. Lichtquelle nach einem der Ansprüche 1 bis 16, dadurch gekennzeichnet, dass das Filament (1) oder die Elektrode Tantalkarbid aufweist.
  18. Verfahren zur mechanischen Stabilisierung des Filaments (1) oder der Elektrode einer Lichtquelle, insbesondere einer Lichtquelle nach einem der Ansprüche 1 bis 17, wobei die Stabilisierung dadurch erzeugt wird, dass das Filament (1) oder die Elektrode während einer Erwärmung einer einmaligen oder mehrmaligen kurzzeitigen pulsartigen Gasdruckerhöhung mittels eines Edelgases ausgesetzt wird oder dass die Stabilisierung durch eine Beschichtung oder Abscheidung (4) gebildet wird.
  19. Verfahren nach Anspruch 18, dadurch gekennzeichnet, dass die Stabilisierung während oder nach einer Synthese des Filaments (1) oder der Elektrode erfolgt.
  20. Verfahren nach Anspruch 18 oder 19, dadurch gekennzeichnet, dass das Filament (1) oder die Elektrode nach der einmaligen oder mehrmaligen kurzzeitigen pulsartigen Gasdruckerhöhung einem konstanten Edelgas-Fluss oder -Druck ausgesetzt wird.
  21. Verfahren nach einem der Ansprüche 18 bis 20, dadurch gekennzeichnet, dass die Gasdruckerhöhung etwa 10 bis 20 s andauert.
  22. Verfahren nach einem der Ansprüche 18 bis 21, dadurch gekennzeichnet, dass die Gasdruckerhöhung mittels eines Gasdrucks von etwa 15 bis 25 mbar, vorzugsweise etwa 20 mbar, erfolgt.
  23. Verfahren nach einem der Ansprüche 18 bis 22, dadurch gekennzeichnet, dass das Edelgas Helium, Argon, Neon, Krypton oder Xenon ist.
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