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HINTERGRUND DER ERFINDUNG
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(Technischer Bereich)
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Die vorliegende Erfindung betrifft einen Mikrokreiselsensor vom Oszillationstyp der mit zwei Vibratoren ausgerüstet ist.
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(Stand der Technik)
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Im allgemeinen wurde ein Kreiselsensor in verschiedenen Anwendungen wie z. B. einem Lageregelsystem verwendet. Der Kreiselsensor wird in viele Typen einschließlich einem Mikrokreiselsensor vom Oszillationstyp, der mit einem Vibrator ausgerüstet ist, klassifiziert.
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Zum Ansteuern des Kreiselsensors vom Oszillationstyp wird der Vibrator im allgemeinen gezwungen, mit einer Resonanzfrequenz zu vibrieren bzw. oszillieren. Der Grund liegt darin, die Empfindlichkeit zur Erfassung einer Winkelgeschwindigkeit zu verbessern. Wenn der Vibrator mit der Resonanzfrequenz vibriert wird, zeigt er eine mit einem Q-Wert des Vibrators multiplizierte Vibrationsamplitude, womit eine Vibrationsgeschwindigkeit des Vibrators in Abhängigkeit vom Q-Wert angehoben wird. Diese Anhebung der Vibrationsgeschwindigkeit wird die Empfindlichkeit für die Winkelgeschwindigkeit verbessern.
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Ein linearer Mikrokreiselsensor vom Oszillationstyp fällt unter den Mikrokreiselsensor vom Oszillationstyp. In einem derartigen linearen Sensor werden im allgemeinen zwei Vibratoren verwendet. Im Speziellen werden die beiden Vibratoren angesteuert, um in zueinander entgegengesetzten Phasen zu vibrieren, um eine Antibeschleunigungsempfindlichkeit zu verringern, und es werden zwei Beschleunigungssignale der beiden Vibratoren einer gemeinsamen Subtraktion zwischen diesen beiden Beschleunigungssignalen unterzogen, womit eine Beschleunigungskomponente ausgelöscht wird. Um diesen Auslöschungseffekt zu erzielen, sollten die beiden Vibratoren mit derselben Oszillationsfrequenz oszillieren.
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In 1 ist beispielhaft ein herkömmlicher Mikrokreiselsensor vom Typ mit zwei Vibratoren 1 gezeigt, der als linearer Mikrokreiselsensor vom Oszillationstyp kategorisiert wird. Der in 1 gezeigte Kreiselsensor 1 enthält zwei Vibratoren 11 und 21, die jeweils durch Ansteuerträger 12 (22) unterstützt werden, so daß jeder Vibrator leicht in einer X-Achsenrichtung, wie sie in 1 definiert ist, vibrieren bzw. oszillieren kann. Für jeden Vibrator 11 (21) sind Überwachungselektroden 13 (23) ausgebildet, um die Vibration des Vibrators 11 (21) zu überwachen, und bewegliche Elektroden 11a (21a) sind einander gegenüberliegend zur Ansteuerung von Elektroden 14 und 15 (24 und 25) in einer kammförmigen Gestalt ausgebildet. Die Bezugszeichen 16a, 16b und 26a und 26b, die in 1 gezeigt sind, sind Erfassungselektroden zum Erfassen eines Signals vom Sensor 1.
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An die Ansteuerelektroden 14 des einen Vibrators 11 und die Ansteuerelektroden 25 des anderen Vibrators 21 wird ein Ansteuersignal, dessen Frequenz gleich der Resonanzfrequenz ist, durch einen selbsterregenden Oszillator 30 angelegt. Zusätzlich wird an die Ansteuerelektroden 15 des einen Vibrators 11 und die Ansteuerelektroden 24 des anderen Vibrators 21 ein Ansteuersignal der entgegengesetzten Phase zu derjenigen des obigen Ansteuersignals durch einen Inverter 31 durch den selbsterregenden Oszillator 30 angelegt.
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Wenn jeder der Vibratoren 11 und 21 in der X-Achsenrichtung vibriert, verändert sich ein Gegenüberliegungsbereich S, der zwischen den Elektroden eines jeweiligen Vibrators 11 (21) ausgebildet ist, wodurch sich daraufhin eine Kapazität C zwischen den Elektroden auf der Grundlage der Beziehung C∝ε·S/d (ε; dielektrische Konstante, d; Abstand zwischen den Elektroden) ändert. Die Vibrationen der Vibratoren 11 und 21 werden jeweils durch die Überwachungselektroden 13 und 23 überwacht, um überwachte Signale durch einen Differenzverstärker 32 voneinander zu subtrahieren. Ein resultierendes subtrahiertes Signal wird in den selbsterregenden Oszillator 30 zurückgeführt, um die Vibratoren 11 und 21 mit demselben Frequenzsignal anzusteuern (aber die an beide Vibratoren 11 und 12 angelegten Signale besitzen, aufgrund des Inverters 31, der auf dem Pfad zum anderen Vibrator 21 liegt, zueinander entgegengesetzte Phasen).
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Der obige Mikrokreiselsensor vom Typ mit zwei Vibratoren besitzt jedoch eine nicht zufriedenstellende Leistungsfähigkeit. Die Herstellung eines derartigen Sensors führt häufig Unregelmäßigkeiten hinsichtlich der Größe und Anderem mit sich. Derartige Unregelmäßigkeiten, die eine Massenmenge der Vibratoren und Größen der Ansteuerträger beinhalten, verursachen häufig eine Differenz zwischen den Resonanzfrequenzen der Vibratoren 11 und 21. Wenn eine derartige Differenz verursacht wird, wird das Anlegen des Signals an die Vibratoren 11 und 21, das aus der Addition der Überwachungssignale von den beiden Vibratoren 11 und 21 herrührt, dazu führen, dass die beiden Vibratoren 11 und 21 gezwungen werden, mit einem Signal selbst zu oszillieren, dessen Frequenz zwischen den beiden Resonanzfrequenzen, die den beiden Vibratoren 11 und 21 gegeben sind, liegt.
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Obendrein werden in einer Situation, in der der Q-Wert eines jeweiligen Vibrators hoch ist, um die Differenz zwischen den beiden Resonanzfrequenzen zu vergrößern, die beiden Vibratoren 11 und 21 gewaltsam mit einer kleineren Amplitude angesteuert, wenn das Ansteuersignal, dessen Frequenz zwischen den beiden Resonanzfrequenzen liegt, empfangen wird. Demzufolge können die beiden Vibratoren in derartigen Fällen nicht selbst oszillierend sein.
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Die
DE 199 10 415 A1 beschreibt eine Vorrichtung zum Abstimmen eines ersten Oszillators mit einem zweiten Oszillator. Die beiden Oszillatoren können als Drehratensensor verwendet werden, sind unabhängig voneinander angeordnet und oszillieren unabhängig voneinander. Die von dem zweiten Oszillator erhaltene Oszillationsfrequenz wird zum Abstimmen bzw. Ansteuern des ersten Oszillators verwendet. Außerdem wird noch auf die
US 5 600 064 A ,
US 5 747 961 A ,
US 6 311 555 B1 ,
EP 1 009 971 B1 und
DE 198 28 606 A1 verwiesen.
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Die vorliegende Erfindung entstand unter Berücksichtigung der vorhergehenden Schwierigkeit, und es ist eine Aufgabe der vorliegenden Erfindung, einen Mikrokreiselsensor vom Oszillationstyp anzugeben, der in der Lage ist, eine Selbstoszillation sogar dann stabil zu errichten, wenn eine beachtlich große Differenz zwischen den Resonanzfrequenzen der beiden Vibratoren vorhanden ist.
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Die Aufgabe wird mit den Merkmalen des Anspruchs 1 gelöst. Die abhängigen Ansprüche sind auf bevorzugte Ausführungsformen der Erfindung gerichtet.
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Erfindungsgemäß kann ein Überwachungssignal zur Ansteuerung beider Vibratoren von einem der beiden Vibratoren erlangt werden. Unter Verwendung des erlangten Überwachungssignals werden zwei Ansteuersignale mit zueinander entgegengesetzten Phasen erzeugt, um beide Vibratoren anzusteuern, wodurch eine Resonanzfrequenz von nur einem der Vibratoren in den beiden Ansteuersignalen reflektiert wird. Eine Ansteuerung beider Vibratoren mit diesen beiden Ansteuersignalen bewirkt, dass beide Vibratoren so vibrieren, dass sie unterschiedliche Oszillationsamplituden zeigen. Es besteht jedoch kein Problem, da eine Empfindlichkeit hinsichtlich einer auf diesen Sensor einwirkenden Beschleunigung nicht von Pegeln einer Oszillationsamplitude abhängt. Sogar wenn eine beachtlich große Differenz zwischen den Resonanzfrequenzen der beiden Vibratoren vorhanden ist, kann die Selbstoszillation bei beiden Vibratoren in einem stabilen Zustand errichtet werden.
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KURZE BESCHREIBUNG DER ZEICHNUNGEN
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Andere Aufgaben und Aspekte der vorliegenden Erfindung werden anhand der folgenden Beschreibung und Ausführungsformen mit Bezug auf die zugehörigen Zeichnungen deutlich werden. Es zeigen:
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1 ein Diagramm, das den Aufbau eines herkömmlichen Mikrokreiselsensors vom Typ mit zwei Vibratoren darstellt,
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2 ein Diagramm, das den Aufbau eines Mikrokreiselsensors vom Typ mit zwei Vibratoren gemäß einer Ausführungsform der vorliegenden Erfindung darstellt,
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3 eine Frequenzkennlinie eines in dem Mikrokreiselsensor vom Typ mit zwei Vibratoren zu verwendenden gewöhnlichen Vibrators,
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4 eine Frequenzkennlinie einer Amplitude des herkömmlichen Mikrokreiselsensors vom Typ mit zwei Vibratoren, die zur Erläuterung des Vorteils der vorliegenden Erfindung eingeführt wird, und
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5 eine Frequenzkennlinie einer Phase des herkömmlichen Mikrokreiselsensors vom Typ mit zwei Vibratoren, die zur Erläuterung des Vorteils der vorliegenden Erfindung eingeführt ist.
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GENAUE BESCHREIBUNG DER BEVORZUGTEN AUSFÜHRUNGSFORM
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Mit Bezug auf die zugehörigen Zeichnungen wird im folgenden eine bevorzugte Ausführungsform der vorliegenden Erfindung beschrieben.
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2 zeigt einen skizzierten Aufbau eines Mikrokreiselsensors vom Typ mit zwei Vibratoren 2 gemäß der vorliegenden Ausführungsform.
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Der vorliegende Mikrokreiselsensor vom Typ mit zwei Vibratoren 2 ist fast auf dieselbe Weise wie der in 1 gezeigte ausgebildet, mit Ausnahme der Verdrahtung zur Überwachung von Verschiebungen, die in diesem Kreiselsensor verursacht werden. Nebenbei gesagt sind zum besseren Verständnis der Unterschiede zum herkömmlichen Sensor 1 der 1 auf vergleichende Weise die den Komponenten dieses Sensors 2 gegebenen Bezugszeichen dieselben wie diejenigen der 1.
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Der vorliegende Mikrokreiselsensor 2 ist wie der herkömmliche mit einer Erfassungseinheit 2A ausgerüstet, die zwei Vibratoren 11 und 21 aufweist. Jeder der beiden Vibratoren 11 und 21 ist so ausgebildet, dass er mehrere bewegliche Elektroden 11a (21a) aufweist. Die beweglichen Elektroden 11a (21a) sind in einer Richtung, die als X-Achsenrichtung bezeichnet wird, länger als der Vibratorkörper ausgedehnt, wodurch beide Enden der Elektroden 11a (21a) in der X-Achsenrichtung in der Form eines Kammzahnes vorstehen. Die Vibratoren 11 und 21 sind zwischen festen Elementen FU und FL aufgehängt, die jeweilige Ansteuerträger 12 und 22 verwenden, um Vibrationen in der X-Achsenrichtung zu ermöglichen.
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An beiden X-Richtungsseiten eines jeweiligen der beiden Vibratoren 11 und 21 sind zwei Überwachungselektroden 13A und 13B (23A und 23B) angeordnet. In der Praxis sind Elektrodenplatten einer jeweiligen Überwachungselektrode (z. B. 13A) so angeordnet, dass sie in einer alternierend geschachtelten Weise in X-Richtung einseitigen Enden von beiden oder mehreren der vorstehenden beweglichen Elektroden 11a (21a) mit einem vorbestimmten Spalt zwischen den Elektrodenplatten und den beweglichen Elektroden gegenüberliegen. Somit wird eine Kapazität zwischen einer jeweiligen Überwachungselektrode (z. B. 13A) und einem jeweiligen Ende einer beweglichen Elektrode 11a (21a) ausgebildet.
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Auf eine ähnliche Weise wie oben angeführt sind an beiden X-Richtungsseiten eines jeweiligen der beiden Vibratoren 11 und 21 zwei Ansteuerelektroden 14A und 14B (24A und 24B) angeordnet. Praktisch sind Elektrodenplatten einer jeweiligen Ansteuerelektrode (z. B. 14A) so angeordnet, dass sie in einer alternierend verschachtelten Weise in X-Richtung einseitigen Enden von den verbleibenden der vorstehender beweglichen Elektroden 11a (21a) mit einem vorbestimmten Spalt zwischen den Elektrodenplatten und den beweglichen Elektroden gegenüberliegen.
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Der vorliegende Mikrokreiselsensor vorn Typ mit zwei Vibratoren 2 ist außerdem mit einer Steuereinheit 2B ausgerüstet, die einen Differenzverstärker 32, der aus einem Operationsverstärker besteht, einen selbsterregenden Oszillator 30 und einen Inverter 31 aufweist.
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Nur die beiden Überwachungselektroden 13A und 13B sind mit zwei Eingangsanschlüssen des Differenzverstärkers 32 verbunden. Der Ausgangsanschluss des Differenzverstärkers 32 ist mit einem Eingangsanschluss des selbsterregenden Oszillators 30 verbunden, dessen Ausgang sich in zwei Wege verzweigt. Ein Weg wird durch den Inverter 31 zu den einseitigen Ansteuerelektroden 14B eines Vibrators 11 und den einseitigen Ansteuerelektroden 24A des anderen Vibrators 21 geführt. Im Gegensatz dazu wird der andere Weg vom selbsterregenden Oszillator 30 direkt zu den verbleibenden Ansteuerelektroden 14A des einen Vibrators 11 und den verbleibenden Ansteuerelektroden 24B des anderen Vibrators 21 geführt. Es bestehen keine elektrischen Verbindungen zu den Überwachungselektroden 23A und 23B, die am Vibrator 21 angebracht sind.
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Zwei Erfassungselektroden 16a und 16b (26a und 26b) sind fest angeordnet, um jeweilige Kapazitäten bzw. Kondensatoren zu bilden, die zwischen den Erfassungselektroden 16a und 16b (26a und 26b) und einem jeweiligen der Vibratoren 11 und 21 liegen.
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Somit werden in dem Mikrokreiselsensor vom Typ mit zwei Vibratoren 2 gemäß der vorliegenden Ausführungsform Signale von einem Vibrator 11 durch die Überwachungselektroden 13A und 13B erfasst und danach zum selbsterregenden Oszillator 30 zurückgeführt. Somit legt der selbsterregende Oszillator 30 als ein erstes Ansteuersignal dasselbe Ansteuersignal (in Form eines Spannungssignals erzeugt) an die Ansteuerelektroden 14A eines Vibrators 11 und die Ansteuerelektroden 24B des anderen Vibrators 21 an. Gleichzeitig erzeugt der Inverter 31 das Ansteuersignal, das direkt vom selbsterregenden Oszillator 30 zur Verfügung gestellt wird, als ein zweites Ansteuersignal, dessen Phase zu derjenigen des ersten Ansteuersignals entgegengesetzt ist, d. h. sich um 180°C von demjenigen des ersten Ansteuersignals unterscheidet. Dieses zweite Ansteuersignal wird den Ansteuerelektroden 14B des einen Vibrators 11 und den Ansteuerelektroden 24A des anderen Vibrators 21 zugeführt.
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Der Vibrator 21, der die zweiten Ansteuersignale empfängt, ist in der Lage, mit seiner eigenen Resonanzfrequenz zu vibrieren. Wenn auf den vorliegenden Sensor 2 eine Beschleunigung einwirkt, sind die an beiden Vibratoren 11 und 21 verursachten Corioliskräfte zueinander entgegengesetzt, da die beiden Vibratoren 11 und 21 in zueinander entgegengesetzten Phasen vibrieren, obwohl sich beide Vibratoren 11 und 21 in der derselben Richtung verschieben. Somit ermöglicht es die Durchführung einer Subtraktion zwischen den Ausgängen der Überwachungselektroden 13A und 13B durch den Operationsverstärker, nur eine Beschleunigungskomponente von den Ausgangssignalen der Überwachungselektroden 13A und 13B auszulöschen.
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Änderungen der Kapazitäten der Kondensatoren, die mit den Erfassungselektroden 16a und 16b (und 26a und 26b) ausgebildet sind, die von Vibrationen der Corioliskräfte abhängen, werden jeweils durch die Erfassungselektroden 16a und 16b (und 26a und 26b) erfasst. Die erfassten Signale, die die Änderungen zeigen, werden durch Signalprozessoren (nicht gezeigt) in entsprechende Spannungswerte gewandelt. Diese Spannungssignale werden in eine gewünschte Art von Erfassungssignal verarbeitet, beispielsweise ein Winkelbeschleunigungssignal.
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Die Betriebsabläufe und Vorteile des vorliegenden Mikrokreiselsensors vom Typ mit zwei Vibratoren 2 werden im folgenden im Vergleich zu denjenigen des herkömmlichen Kreiselsensors 1 beschrieben, der in 1 gezeigt ist.
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In dem in 1 gezeigten herkömmlichen Sensor 1 sollten, wenn die beiden Vibratoren 11 und 21 zueinander unterschiedliche Resonanzfrequenzen aufweisen, die beiden Vibratoren 11 und 21 mit einer Zwischenfrequenz zwischen den beiden Resonanzfrequenzen vibrieren. Im allgemeinen ist zur Verbesserung der Empfindlichkeit hinsichtlich der Winkelgeschwindigkeit (d. h. zum Erzielen einer so großen Vibrationsamplitude wie möglich) der Q-Wert eines jeweiligen Vibrators 11 und 12 so ausgelegt, dass er einen größeren Betrag aufweist. In Fällen, in denen aufgrund unterschiedlicher Genauigkeitsgrade bei der Herstellung oder verschiedener anderer Faktoren eine Differenz zwischen den beiden Resonanzfrequenzen besteht, werden die beiden Vibratoren 11 und 12 jedoch gezwungen, mit der Zwischenfrequenz zu vibrieren, um eine kleinere Vibrationsamplitude zu zeigen. Demzufolge werden Änderungen der Kapazitäten, die durch die Überwachungselektroden 13 und 23, die in 1 gezeigt sind, ausgebildet sind, kleiner, so dass keine ausreichende Signalamplitude erreicht werden kann. Einige derartige Fälle führen zu einem Ausfall des Betriebes der selbsterregenden Schaltung 30 der 1.
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Im Gegensatz dazu kann in dem vorliegenden Mikrokreiselsensor vom Typ mit zwei Vibratoren 2 gemäß der vorliegenden Erfindung, der in 2 gezeigt ist, die selbsterregende Oszillation gewährleistet werden. Zur Verwirklichung werden Überwachungssignale von nur einem der Vibratoren 11 und 21, wie es in 1 gezeigt ist, erlangt. In der vorliegenden Ausführungsform stellt nur der eine Vibrator 11 die Überwachungssignale von seinen Überwachungselektroden 13A und 13B bereit. Eine Alternative besteht darin, dass nur der andere Vibrator 21 die Überwachungssignale von seinen Überwachungselektroden 23A und 23B bereitstellt. Die Überwachungssignale von nur dem einen Vibrator 11 werden für die selbsterregende Oszillation zur Vibration beider Vibratoren 11 und 21 verwendet.
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In diesem Fall ist der eine Vibrator 11, der seine eigenen Überwachungssignale empfängt, in der Lage, mit einer großen Amplitude zu vibrieren, da es dem Vibrator 11 durch die Ansteuersignale auf der Grundlage der selbstüberwachenden Signale ermöglicht wird, mit seiner eigenen Resonanzfrequenz zu vibrieren, wodurch dem selbsterregenden Oszillator 30 ein Überwachungsausgang mit ausreichender Amplitude bereitgestellt wird.
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Zusätzlich werden dieselben Ansteuersignale wie diejenigen, die dem einen Vibrator 11 zugeführt werden, auch dem verbleibenden Vibrator 21 zugeführt. Da sich eine Erfassungsempfindlichkeit hinsichtlich der Beschleunigung nicht auf die Vibrationsamplitude verläßt, besitzt die Tatsache, dass beide Vibratoren 11 und 21 mit unterschiedlichen Vibrationsamplituden vibrieren, keinen Einfluss auf den Auslöschungseffekt für die Beschleunigungsempfindlichkeiten.
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Die obige vergleichende Erläuterung wird nun mit Bezug auf die 3 bis 5 genauer ausgeführt.
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Wie beschrieben erzeugt der selbsterregende Oszillator 30 ein Ansteuersignal für die Vibratoren 11 und 21 mit einer Frequenz, die verwirklicht wird, wenn eine Phasendifferenz von 90 Grad zwischen dem Ansteuersignal und den Vibrationen der Vibratoren 11 und 21 vorhanden ist. Es ist daher notwendig, dass die Phasendifferenz der Überwachungssignale zu den Vibrationen der Vibratoren 90 Grad beträgt.
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3 stellt die Vibrationskennlinie eines gewöhnlichen Vibrators dar, wobei zwei Kurven gezeigt sind. Eine Kurve CA zeigt die Vibrationsamplitude des Vibrators, während die andere Kurve CP eine Phasendifferenz von einem Ansteuersignal zur Ansteuerung des Vibrators zeigt. Der selbsterregende Oszillator 30 muss so oszillieren, dass er ein Ansteuersignal mit einer Amplitude bereitstellt, die so groß wie möglich ist, damit die Vibratoren mit einer Frequenz von ”fa [Hz]” vibrieren, d. h. einer Resonanzfrequenz des Vibrators. Die Phasendifferenz beträgt bei der Frequenz ”fa” 90 Grad. Somit arbeitet der selbsterregende Oszillator 30 so, dass er auf die Frequenz ”fa” festgelegt ist, bei der der Oszillator das Ansteuersignal erzeugt.
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Der Vibrationszustand eines Vibrators wird auf der Grundlage von Signalen von Überwachungselektroden, die am Vibrator angebracht sind, gemessen. in dem herkömmlichen Mikrokreiselsensor vom Typ mit zwei Vibratoren 1 werden die Überwachungssignale von den beiden Vibratoren 11 und 21 gemeinsam kombiniert, um die Ansteuersignale für die selbsterregende Oszillation zu erzeugen. Wenn die jeweiligen Resonanzfrequenzen der beiden Vibratoren 11 und 21 vollständig dieselben sind, wird die Frequenzkennlinie eines jeweiligen der Vibratoren 11 und 21 gleich der in 3 gezeigten.
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In Fällen, in denen Unregelmäßigkeiten in den Frequenzkennlinien der beiden Vibratoren 11 und 21 vorhanden sind, unterscheiden sich die Resonanzfrequenzen ”fb und fc” jedoch voneinander, wie es in 4 gezeigt ist. In diesem Fall werden die jeweiligen Frequenzkennlinien CFa und CFb beider Vibratoren 11 und 21 miteinander kombiniert, um eine kombinierte Frequenzkennlinie CFc zu bilden. Die kombinierte Frequenzkennlinie wird in den Überwachungssignalen, die von den Vibratoren 11 und 21 erlangt werden, reflektiert. Auf ähnliche Weise können Phasenkennlinien des herkömmlichen Sensoraufbaus der 1 in 5 gezeigt werden, in der Kurven CPa und CPb die Phasenkennlinie eines jeweiligen Vibrators 11 und 21 bezeichnen, und eine Kurve CPc bezeichnet eine aus beiden Phasenkennlinien CPa und CPb kombinierte Phasenkennlinie. Somit arbeitet der gesamte Sensor 1 auch auf der kombinierten Phasenkennlinie.
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Wie es anhand der 3 bis 5 zu sehen ist, erscheinen klar zwei Resonanzspitzen, bei denen die Phasendifferenz 90 Grad wird, da sich die jeweiligen Resonanzfrequenzen der beiden Vibratoren 11 und 21 voneinander unterscheiden. Diese getrennten beiden Resonanzspitzen verwirren den selbsterregenden Oszillator 30 dahingehend, bei welcher Frequenz der Oszillator 30 resonieren sollte, was zu einem Ausfall des Resonanzbetriebes führt.
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Im Gegensatz dazu ist der vorliegende Mikrokreiselsensor vom Typ mit zwei Vibratoren 2 gemäß der vorliegenden Erfindung in der Lage, die obige Schwierigkeit zu beseitigen. Zur Durchführung einer derartigen Beseitigung ist der Sensor 2 so aufgebaut, dass er zu jeder Zeit die Überwachungssignale von dem Vibrator einer Seite (in der vorhergehenden Ausführungsform der Vibrator 11) empfängt und beide Vibratoren 11 und 21 auf der Grundlage einer einzigen Antwortfrequenz der erfassten Überwachungssignale von dem Vibrator der einen Seite ansteuert. Daher ist die Anzahl der dem selbsterregenden Oszillator gegebenen Resonanzfrequenzen immer eins, so dass dieser einseitige Überwachungsaufbau verhindert, dass die Selbstoszillation des Oszillators 30 ausfällt.
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Nebenbei gesagt wird die Vibrationsamplitude des verbleibenden Vibrators (in der Ausführungsform der Vibrator 21), der nicht überwacht wird, verringert, da der Vibrator gezwungen ist, mit einer sich von der Resonanzfrequenz unterscheidenden Frequenz zu vibrieren. Dieses hat jedoch keinen Einfluss auf die Auslöschung einer Beschleunigungsempfindlichkeit, die aus dem Kombinieren der beiden Vibratoren 11 und 21 entsteht.
