DE102004010403A1 - Reversierender Linearantrieb mit Mitteln zur Erfassung einer Ankerposition - Google Patents
Reversierender Linearantrieb mit Mitteln zur Erfassung einer Ankerposition Download PDFInfo
- Publication number
- DE102004010403A1 DE102004010403A1 DE102004010403A DE102004010403A DE102004010403A1 DE 102004010403 A1 DE102004010403 A1 DE 102004010403A1 DE 102004010403 A DE102004010403 A DE 102004010403A DE 102004010403 A DE102004010403 A DE 102004010403A DE 102004010403 A1 DE102004010403 A1 DE 102004010403A1
- Authority
- DE
- Germany
- Prior art keywords
- light
- drive according
- strips
- translucent
- armature
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Withdrawn
Links
- 230000004888 barrier function Effects 0.000 claims abstract description 43
- 238000004804 winding Methods 0.000 claims abstract description 9
- 230000005284 excitation Effects 0.000 claims description 3
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 20
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 6
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 5
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 5
- 239000000463 material Substances 0.000 description 4
- 238000000034 method Methods 0.000 description 4
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 4
- 230000010355 oscillation Effects 0.000 description 4
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 3
- 230000008901 benefit Effects 0.000 description 2
- 238000011156 evaluation Methods 0.000 description 2
- 230000002441 reversible effect Effects 0.000 description 2
- 230000036962 time dependent Effects 0.000 description 2
- 102100040287 GTP cyclohydrolase 1 feedback regulatory protein Human genes 0.000 description 1
- 101710185324 GTP cyclohydrolase 1 feedback regulatory protein Proteins 0.000 description 1
- 230000002745 absorbent Effects 0.000 description 1
- 239000002250 absorbent Substances 0.000 description 1
- 238000005056 compaction Methods 0.000 description 1
- 230000001419 dependent effect Effects 0.000 description 1
- 230000004069 differentiation Effects 0.000 description 1
- 238000010017 direct printing Methods 0.000 description 1
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 description 1
- 238000011990 functional testing Methods 0.000 description 1
- 230000005415 magnetization Effects 0.000 description 1
- 238000007639 printing Methods 0.000 description 1
- 230000008569 process Effects 0.000 description 1
- 238000005086 pumping Methods 0.000 description 1
- 238000007430 reference method Methods 0.000 description 1
- 230000001360 synchronised effect Effects 0.000 description 1
- 230000002123 temporal effect Effects 0.000 description 1
- 238000012549 training Methods 0.000 description 1
- 230000001052 transient effect Effects 0.000 description 1
- 230000007704 transition Effects 0.000 description 1
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01D—MEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVERED IN A SINGLE OTHER SUBCLASS; TARIFF METERING APPARATUS; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- G01D5/00—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable
- G01D5/26—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light
- G01D5/32—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light with attenuation or whole or partial obturation of beams of light
- G01D5/34—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light with attenuation or whole or partial obturation of beams of light the beams of light being detected by photocells
- G01D5/347—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light with attenuation or whole or partial obturation of beams of light the beams of light being detected by photocells using displacement encoding scales
- G01D5/34746—Linear encoders
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16F—SPRINGS; SHOCK-ABSORBERS; MEANS FOR DAMPING VIBRATION
- F16F9/00—Springs, vibration-dampers, shock-absorbers, or similarly-constructed movement-dampers using a fluid or the equivalent as damping medium
- F16F9/32—Details
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16F—SPRINGS; SHOCK-ABSORBERS; MEANS FOR DAMPING VIBRATION
- F16F9/00—Springs, vibration-dampers, shock-absorbers, or similarly-constructed movement-dampers using a fluid or the equivalent as damping medium
- F16F9/32—Details
- F16F9/3292—Sensor arrangements
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01D—MEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVERED IN A SINGLE OTHER SUBCLASS; TARIFF METERING APPARATUS; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- G01D5/00—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable
- G01D5/26—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01D—MEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVERED IN A SINGLE OTHER SUBCLASS; TARIFF METERING APPARATUS; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- G01D5/00—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable
- G01D5/26—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light
- G01D5/32—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light with attenuation or whole or partial obturation of beams of light
- G01D5/34—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light with attenuation or whole or partial obturation of beams of light the beams of light being detected by photocells
- G01D5/347—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light with attenuation or whole or partial obturation of beams of light the beams of light being detected by photocells using displacement encoding scales
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01D—MEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVERED IN A SINGLE OTHER SUBCLASS; TARIFF METERING APPARATUS; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- G01D5/00—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable
- G01D5/26—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light
- G01D5/32—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light with attenuation or whole or partial obturation of beams of light
- G01D5/34—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light with attenuation or whole or partial obturation of beams of light the beams of light being detected by photocells
- G01D5/347—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light with attenuation or whole or partial obturation of beams of light the beams of light being detected by photocells using displacement encoding scales
- G01D5/34707—Scales; Discs, e.g. fixation, fabrication, compensation
-
- H—ELECTRICITY
- H02—GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
- H02K—DYNAMO-ELECTRIC MACHINES
- H02K11/00—Structural association of dynamo-electric machines with electric components or with devices for shielding, monitoring or protection
- H02K11/20—Structural association of dynamo-electric machines with electric components or with devices for shielding, monitoring or protection for measuring, monitoring, testing, protecting or switching
- H02K11/21—Devices for sensing speed or position, or actuated thereby
- H02K11/22—Optical devices
-
- H—ELECTRICITY
- H02—GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
- H02K—DYNAMO-ELECTRIC MACHINES
- H02K33/00—Motors with reciprocating, oscillating or vibrating magnet, armature or coil system
-
- H—ELECTRICITY
- H02—GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
- H02K—DYNAMO-ELECTRIC MACHINES
- H02K33/00—Motors with reciprocating, oscillating or vibrating magnet, armature or coil system
- H02K33/16—Motors with reciprocating, oscillating or vibrating magnet, armature or coil system with polarised armatures moving in alternate directions by reversal or energisation of a single coil system
-
- H—ELECTRICITY
- H02—GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
- H02K—DYNAMO-ELECTRIC MACHINES
- H02K41/00—Propulsion systems in which a rigid body is moved along a path due to dynamo-electric interaction between the body and a magnetic field travelling along the path
- H02K41/02—Linear motors; Sectional motors
- H02K41/03—Synchronous motors; Motors moving step by step; Reluctance motors
- H02K41/031—Synchronous motors; Motors moving step by step; Reluctance motors of the permanent magnet type
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Combustion & Propulsion (AREA)
- Electromagnetism (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Linear Motors (AREA)
- Control Of Linear Motors (AREA)
- Measurement Of Length, Angles, Or The Like Using Electric Or Magnetic Means (AREA)
- Optical Transform (AREA)
- Reciprocating, Oscillating Or Vibrating Motors (AREA)
Abstract
Der reversierende Linearantrieb enthält eine Erregerwicklung und einen magnetischen Anker (8), der von dem Magnetfeld der Erregerwicklung in eine lineare, axial oszillierende Bewegung zu versetzen ist. Zur Erfassung der Ankerposition sollen ein sich zumindest über den gesamten axialen Ankerhub erstreckendes Streifenmusterelement (10) mit alternierender Anordnung von lichtdurchlässigen und nicht-lichtdurchlässigen Streifen (12 bzw. 11i) oder von lichtreflektierenden Streifen und nicht-lichtreflektierenden Streifen sowie eine Lichtschranke (14) mit senkrecht bezüglich der axialen Richtung lichtaussendenden und lichtempfangenden Teilen vorgesehen sein.
Description
- Die Erfindung bezieht sich auf einen reversierenden Linearantrieb
- – mit mindestens einer mit einem veränderlichen Strom zu beaufschlagenden Erregerwicklung,
- – mit einem magnetischen Anker, der von dem Magnetfeld der Erregerwicklung in eine lineare, in einer axialen Richtung mit einem Ankerhub oszillierende Bewegung zu versetzen ist, sowie
- – mit Mitteln zur Erfassung der Ankerposition.
- Ein solcher Linearantrieb geht aus der JP 2002-031054 A hervor.
- Entsprechende Linearantriebe werden insbesondere dafür eingesetzt, Pumpkolben von Verdichtern in eine lineare, oszillierende Schwingung zu versetzen. Das System aus einem derartigen Verdichter und Linearantrieb wird deshalb auch als Linearverdichter bzw. -kompressor bezeichnet (vgl. die eingangs genannte JP-A-Schrift). Bei entsprechenden bekannten Linearverdichtern bildet der z.B. über wenigstens ein Federelement schwingungsfähig aufgehängte Anker ein Feder-Masse-System, das für eine bestimmte Schwingungsfrequenz ausgelegt ist. Dabei wirkt der Verdichter mit seiner Kraft-Weg-Kennlinie in gewisser Weise auch wie eine Feder, die zu der verwendeten Feder quasi parallelgeschaltet ist und somit die Eigenfrequenz des Systems mitbestimmt.
- Zu einer Steuerung des Ankerposition solcher reversierender Linearantriebe ist vielfach eine möglichst genaue Erfassung der aktuellen, d.h. tatsächlichen Ankerposition wünschenswert. Hierzu wird bisher entweder die Ankerposition nicht-kontinuierlich erfasst, z.B. diskontinuierlich durch Schlie ßen eines elektrischen Kontaktes, wenn der Anker eine bestimmte Position erreicht hat. Auch eine kontinuierliche Positionsmessung ist bekannt, z.B. über die in der Erregerwicklung induzierte Spannung. Entsprechende Erfassungen der Ankerposition sind jedoch verhältnismäßig ungenau.
- Aufgabe der vorliegenden Erfindung ist es deshalb, den reversierenden Linearantrieb mit den eingangs genannten Merkmalen dahingehend auszubilden, dass eine hochauflösende Positionsbestimmung der jeweiligen Ankerposition ermöglicht wird.
- Diese Aufgabe wird mit den in Anspruch 1 angegebenen Maßnahmen gelöst. Demgemäss soll der reversierende Linearantrieb mit den eingangs genannten Merkmalen dahingehend ausgebildet sein, dass seine zumindest zur Erfassung der Ankerposition vorgesehenen Mittel ein sich zumindest über den gesamten axialen Ankerhub erstreckendes Streifenmusterelement mit alternierender Anordnung von lichtdurchlässigen und nicht-lichtdurchlässigen Streifen oder von lichtreflektierenden und nicht-lichtreflektierenden Streifen sowie wenigstens eine Lichtschranke mit lichtaussendenden und lichtempfangenden Teilen, deren Lichtstrahlen zumindest annähernd senkrecht bezüglich der axialen Richtung und des Streifenmusterelementes ausgerichtet sind, aufweisen.
- Die mit dieser Ausgestaltung des Linearantriebs verbundenen Vorteile sind insbesondere darin zu sehen, dass eine Positionsmessung und/oder einer aus der Positionsmessung und einer Zeitmessung ableitbaren Geschwindigkeitsmessung des Ankers sehr genau und sehr preiswert unter Verwendung bekannter Lichtschranken ermöglicht wird. Auch eine z.B. drucktechnische Herstellung des Streifenmusterelementes, beispielsweise nach Art eines „Bar-Codes", ist ebenfalls kostengünstig und mit ausreichender Präzision möglich. Die genaue und kontinuierliche Ankerpositionsmessung erlaubt dann eine genauere Regelung der Ankerposition insbesondere eines Linearverdichters und trägt so zu einem besseren Wirkungsgrad dieses Verdich ters bei. Außerdem gestattet die Positionsmessung zusätzlich größere Toleranzen in der Fertigung, da die absolute Position eines oberen Totpunktes des Ankerhubs relativ zu einer Referenzmarke mit minimalem Zusatzaufwand gemessen und z.B. in einer Motorsteuerung hinterlegt werden kann.
- Vorteilhafte Ausgestaltungen des erfindungsgemäßen reversierenden Linearantriebs gehen aus den abhängigen Ansprüchen hervor. Dabei kann die Ausführungsform nach Anspruch 1 mit den Merkmalen eines der Unteransprüche oder vorzugsweise auch mit denen aus mehreren Unteransprüchen kombiniert werden. Demgemäss können für den Linearantrieb zusätzlich noch folgende Merkmale vorgesehen werden:
- – Das Streifenmusterelement kann zweckmäßig mit dem Anker starr verbunden sein. Gegebenenfalls ist aber auch möglich, dass die mindestens eine Lichtschranke mit dem Anker beweglich angeordnet wird.
- – Außerdem kann die Lichtschranke vorteilhaft als eine Doppellichtschranke ausgebildet sein. Eine solche Lichtschranke ermöglicht eine doppelt genaue Ortsauflösung und eine einfache Erfassung der Richtungsumkehr in der Ankerbewegung.
- – Ferner können die lichtdurchlässigen Streifen und die nicht-lichtdurchlässigen Streifen oder die lichtreflektierenden Streifen und die nicht-lichtreflektierenden Streifen jeweils die gleiche axiale Ausdehnung aufweisen. Gegebenenfalls sind aber auch ungleiche, sich sogar in Abhängigkeit von der axialen Position ändernde axiale Ausdehnungen der einzelnen Streifen möglich.
- – Außerdem oder dabei kann die axiale Ausdehnung der lichtdurchlässigen und/oder nicht-lichtdurchlässigen bzw. der lichtreflektierenden und/oder der nicht-lichtreflektierenden Streifen jeweils unter 0,25 mm liegen.
- – Das Streifenmusterelement kann insbesondere kammartig ausgebildet sein.
- – Besonders vorteilhaft kann das Streifenmuster des Streifenmusterelementes zusätzlich mindestens einen gesondert auswertbaren Triggerstreifen aufweisen. Entweder kann dieser Triggerstreifen von der vorhandenen Lichtschranke mit erfasst werden; stattdessen ist es auch möglich, das hierzu auch eine weitere (Einfach-)Lichtschranke vorgesehen ist. Mit einem solchen Triggerstreifen kann insbesondere eine Kalibrierung der Absolutposition des Ankers vorgenommen werden.
- – Selbstverständlich können neben den Mitteln zur Positionserfassung des Ankers zusätzlich noch weitere Mittel zu einer Erfassung seiner Geschwindigkeit und/oder der Bewegungsrichtung vorgesehen sein.
- Weitere vorteilhafte Ausgestaltungen des erfindungsgemäßen reversiblen Linearantriebs gehen aus den vorstehend nicht angesprochenen Unteransprüchen und der Zeichnung hervor.
- Die Erfindung wird nachfolgend an Hand bevorzugter Ausführungsbeispiele unter Bezugnahme auf die Zeichnung noch weiter erläutert. Von deren Figuren zeigen
-
1 im Querschnitt einen Teil durch einen erfindungsgemäßen reversierenden Linearantrieb, - deren
2 und3 zwei Ausbildungsmöglichkeiten einer Doppellichtschranke für eine solche Antrieb, - deren
4 ein simuliertes Messdiagramm einer zeitabhängigen Ankerpositionsmessung unter Verwendung einer entsprechenden Doppellichtschranke
und
deren Figur ein simuliertes Messdiagramm einer zeitabhängigen Ankergeschwindigkeitsmessung mit einer solchen Doppellichtschranke. - In den Figuren sind sich entsprechende Teile jeweils mit denselben Bezugszeichen versehen.
- Bei dem in
1 angedeuteten reversiblen Linearantrieb nach der Erfindung wird von an sich bekannten Ausführungsfor men ausgegangen, wie sie für Linearverdichter vorgesehen werden (vgl. die eingangs genannte JP-A-Schrift). Die Figur zeigt schematisch im Wesentlichen nur den oberen Teil eines Querschnitts durch einen solchen Linearantrieb2 ; d.h., in der Figur sind nur die Einzelheiten dargestellt, die sich auf einer Seite einer Achse oder Ebene A, welche sich in einer axialen Schwingungsrichtung erstreckt, befinden. Weitere, nicht dargestellte Teile sind an sich bekannt. Der Linearantrieb2 umfasst mindestens eine Erregerwicklung4 , der wenigstens ein magnetflussführender Jochkörper5 zugeordnet ist. In einer kanalartigen oder schlitzartigen Bereich7 unterhalb dieses Jochkörpers befindet sich ein magnetischer Anker oder Ankerteil8 mit beispielsweise zwei axial hintereinander angeordneten Permanentmagneten. Deren Magnetisierungsrichtungen sind durch gepfeilte Linien m1 und m2 angedeutet sind. Der auch als „Ankerschlitten" bezeichnete Anker weist axial seitliche, nicht näher ausgeführte Verlängerungsteile auf. Er kann in dem veränderlichen Magnetfeld der Wicklung4 in axialer Richtung eine oszillierende Bewegung z.B. um eine Position (smarke) P ausführen. Für die Darstellung in der Figur wurde vereinfachend davon ausgegangen, dass die Oszillation bzgl. der Position P so erfolgt, dass die maximale Auslenkung aus dieser Position in axialer Richtung x, d.h. die Schwingungsamplitude, mit den Werten +L bzw. -L zu bezeichnen ist. Der Ankerhub H wäre folglich |2·L|. Dabei ist jedoch zu berücksichtigen, dass diese Position P nicht ortfest sein muss. Insbesondere beim einem Einschwingvorgang kann die Position P deutlich von der für eine Ankerbewegung unter Normalbedingungen angenommenen abweichen. D.h., die Ankerschwingung ist im Allgemeinen nicht andauernd symmetrisch zur Position P. Sähe man die Position P als ortsfest an, so wären die diesbezüglich positiven und negativen Hubanteile vielfach nicht gleich groß. - Wie ferner in der Figur angedeutet ist, können bei dem gewählten Ausführungsbeispiel zwei ortsfest eingespannte Blattfedern
9 und9' zu beiden Seiten der Position P an verlänger ten Teilen des Ankers8 angreifen. Ferner kann vorteilhaft an zumindest einer Seite des Verlängerungsteils des Ankers8 dieser starr mit einem Pumpkolben eines in der Figur nicht näher dargestellten Verdichters V verbunden sein. -
2 zeigt den Anker8 eines erfindungsgemäßen Linearantriebs mit zwei Permanentmagneten PM1 und PM2. Auf dem Anker befindet sich quasi als ein „Reiter" ein Streifenmusterelement10 in Form eines Lichtschrankenkamms, wie er z.B. von linearen optischen Sensoren her bekannt ist (vgl. das Buch „Linear Synchronous Motors : Transportation and Automation Systems" von J.F.Gieras & Z.J.Piech, CRC Press, USA, 2000, Seiten 149 bis 167). Das Streifenmusterelement10 weist in axialer Richtung alternierend hintereinander angeordnete lichtundurchlässige, linienartige Streifen11i und entsprechende lichtdurchlässige, linienartige Streifen12i auf, die vorzugsweise alle eine gleiche axiale Ausdehnung bzw. Breite von insbesondere unter 0,25 mm besitzen. Zur Verdeutlichung sind in der Figur die Streifen11i durch schwarze Linien und die dazwischen liegenden lichtdurchlässigen Streifen12i durch hell gelassene Zwischenräume veranschaulicht. Vorzugsweise deckt die Anordnung aus lichtdurchlässigen und lichtundurchlässigen Streifen zumindest den gesamten axialen tatsächlichen Hub H des Ankers8 ab. - Der Lichtschrankenkamm kann aus lichtundurchlässigem Material bestehen und mechanisch zackenförmig ausgebildet sein. Alternativ besteht er aus lichtdurchlässigem Material und ist mit einem lichtundurchlässigen Streifenmuster bedruckt. Wenn der Ankerschlitten selbst aus lichtdurchlässigem Material besteht (z.B. GFK, das IR-durchlässig ist), so kann der Lichtschrankenkamm auch durch direktes Bedrucken des Schlittenmaterials erzeugt werden.
- Der Lichtschrankenkamm
10 , der sich mit dem Anker8 bewegt, durchfährt eine unbewegliche, ortsfest installierte Transmissions-Lichtschranke14 , deren alternierendes Signal über die bekannte Periodenlänge (= Breite zweier benachbarter Streifen, von denen einer lichtdurchlässig und der andere lichtundurchlässig ist) des Lichtschrankenkamms eine Positionsmessung zulässt. Für das Ausführungsbeispiel sei eine Doppellichtschranke ausgewählt, obwohl auch eine Einfach-Lichtschranke geeignet ist. Eine Doppellichtschranke ermöglicht eine doppelt genaue Ortsauflösung und eine Erfassung der Richtungsumkehr der Ankerbewegung. Aber auch mit einer Einfach-Lichtschranke sind entsprechende Werte zu erreichen, z.B. durch eine Verfeinerung des Streifenmusters und eine Messung der von der Ankerbewegung in der Erregerwicklung induzierten Spannung, die bei einer Ankerumkehr null ist. Die beide Lichtstrahlen der gewählten Transmissions-Doppellichtschranke14 sind senkrecht bezüglich der axialen Richtung und des Streifenmusterelementes10 ausgerichtet sind. Deren beide Lichtschrankenelemente16a und16b sind dabei vorteilhaft so axial positioniert, dass sie nicht dasselbe Rastermaß wie benachbarte lichtdurchlässige Streifen12i haben, sondern ihre Mitten weiter beabstandet sind als die Mitten benachbarter Streifen. Die örtliche Auflösung der Doppellichtschranke14 liegt bei ca. 1/4 der Periodenlänge des Lichtschrankenkamms. Außerdem ermöglicht die Doppellichtschranke die Erkennung der Bewegungsrichtung des Ankers. - In dem Übergang zwischen hell und dunkel ist weitere Information enthalten. Durch Subtraktion oder Addition der beiden Lichtschrankensignale entstehen neben den 90°-Signalen noch 45°-Signale, wodurch die Auflösung auf 1/8 der Periodenlänge erhöht werden kann. Hierzu und auch sonst sollte die Periodenlänge des Streifenmusters auf den axialen Abstand der beiden Lichtschrankenkollektoren des Doppellichtschranke abgestimmt sein.
- Der als Ausführungsform des Streifenmusterelements
10 vorgesehenen Lichtschrankenkamm enthält vorteilhaft zusätzlich noch mindestens einen Triggersignalstreifen17 z.B. in Form eines längeren Striches. Dieser Streifen ist vorzugsweise an einer Stelle angeordnet, wo die Ankergeschwindigkeit nahe ihres Maximums ist. Das Triggersignal, das einer bekannten Position entspricht, dient in erster Linie der Kalibrierung der Ortsmessung, die vorteilhaft in jeder Halbwelle der Ankerbewegung durchgeführt wird. Des weiteren kann das Triggersignal als solches vorteilhaft in einem Algorithmus zur Regelung der Ankerposition verwendet werden. - Durch geeignete halbüberlappende Anordnung der Doppellichtschranke
14 gemäß2 kann die Doppellichtschranke direkt zur Auswertung des Triggersignals verwendet werden. Da beispielsweise LED-Fototransistorpaare der Transmissions-Doppellichtschranke14 geometrisch höher als breit gewählt werden und vertikal so anzuordnen sind, dass der normale Lichtschrankenkamm ohne Triggerstreifen17 nur etwa halb abgedeckt wird, kann so an der Signalamplitude, die die Doppellichtschranke liefert, auch das Überfahren des Triggersignalstreifens erkannt werden. - Das Triggersignal wird zwingend nur während des Motoranlaufes benötigt. Eine kostengünstige Variante nutzt daher zum Auswerten des Triggersignals einen Signaleingang z.B. AD-Wandler, der am Anfang des Anlaufes noch nicht zwingend benötigt wird. z.B. den AD-Eingang eines Stromsensors.
- Alternativ liegt die Referenzmarke außerhalb des Normarbeitsbereichs. Durch einmaliges Überschreiten des Normbereichs beim Anlauf kann so mit den selben Sensoren die absolute Ankerposition detektiert werden.
- Unabhängige Messverfahren wie z.B. eine elektrische Kontaktmessung bei Berührung einer Referenzmarke können ebenfalls als Referenzverfahren eingesetzt werden. Auf das vorbeschriebene optische Triggersignal könnte dann gegebenenfalls verzichtet werden. Wird eine entsprechende Referenzmarke zu einem oberen oder unteren Anschlag bzw. Totpunkt einer Last wie z.B. eines Kompressorkolbens justiert, so können die Koordi natensysteme der Last und somit des Antriebs kalibriert werden.
- Der Lichtschrankenkamm kann auch nicht-äquidistant ausgeprägt sein mit maximaler Ortsauflösung nahe der Ankerumkehrpunkte und verringerter Ortsauflösung im Bereich maximaler Ankergeschwindigkeit.
- Durch zeitliche Differentiation der mit der Lichtschranke gemessenen Position ergibt sich ein Messwert für die Ankergeschwindigkeit.
- Alternativ kann dieses transmissive Verfahren auch reflektiv aufgebaut sein. Hierzu muss das Streifenmusterelement mit spiegelnden und absorbierende Strichmustern versehen sein. Ein reflektives Verfahren hat den Vorteil, dass man auf gegenüberliegenden Seitenflächen des Ankers bzw. eines damit verbundenen Trägers Streifenmuster aufbringen kann, die gegebenenfalls sogar unterschiedlich hinsichtlich Streifenbreite und -anordnung sind. Hiermit lässt sich nicht nur die Messgenauigkeit erhöhen; es kann eine Seite auch zu einer Referenzmessung dienen.
- Während des Anlaufs bei Druckausgleich eines mit dem Linearantrieb mechanisch gekoppelten Verdichters können weiterhin durch eine spezielle Ansteuerung der Kolbenanschlag dieses Verdichters sowie ein weiterer Anschlag auf der kolbenabgewandten Seite „sanft" bestimmt werden. Die kolbenabgewandte Seite kann in allen Betriebszuständen vom Antrieb erreicht werden und kann somit als betriebszustandsunabhängiges Referenzsignal beim Anlaufen genutzt werden.
- Das Streifenmusterelement mit Auswertung kann weiterhin bei der Herstellung des Antriebes zur Vermessung der mechanischen Toleranzen in Bewegungsrichtung sowie der Funktionsprüfung eingesetzt werden z.B. Messen des Hubes, Messen der Anschläge, gegebenenfalls auch bei einer Fremdbewegung.
- Die Ausführungsform des Ankers
8 mit einem Streifenmusterelement und Doppellichtschranke nach3 unterscheidet sich von der nach2 im Wesentlichen dadurch, das eine Transmissions-Doppellichtschranke14 verwendet wird, die von dem normalen Lichtschrankenkamm eines Streifenmusterelementes20 ohne Triggerstreifen voll abgedeckt wird. Das durch einen Triggerstreifen21 hervorgerufene Triggersignal wird dann mit einer zusätzlichen Transmissions-Einfachlichtschranke22 erkannt. - Das Diagramm der
4 zeigt die Messung der Ankerposition x (in mm) in Abhängigkeit von der Zeit t (in s) für eine konkrete Ausführungsform einer linearen Linearantrieb. - In entsprechender Darstellung zeigt das Diagramm der
5 für diese konkrete Ausführungsform die Messung der Ankergeschwindigkeit vA (in m/s) in Abhängigkeit von der Zeit t (in s). In dem Diagramm sind bezeichnet
mit K1 die Kurve der realen Geschwindigkeit,
mit K2 die Kurve des geglätteten Lichtschrankenmesswertes,
mit K3 die Kurve des Lichtschranken-Geschwindigkeitsmesswertes
und
mit K4 der zum Triggerzeitpunkt ermittelte und danach gehaltene Geschwindigkeitswert. - Selbstverständlich sind neben den vorstehend angesprochenen Mitteln zu einer optischen Erfassung der Ankerposition und abgeleiteter Größen wie Geschwindigkeit und Bewegungsrichtung zusätzlich noch weitere, an sich bekannte, nicht-optische Mittel bei einem erfindungsgemäßen Linearantrieb zur Anwendung zu bringen. So kann beispielsweise eine -Kalibrierung der Absolutposition des Ankers über ein unabhängiges, anderweitiges Triggersignal wie z.B. mittels eines elektrischen Kontaktes erfolgen.
- Bei den in den Figuren angedeuteten Streifenmusterelementen wurde davon ausgegangen, dass diese starr mit dem Ankerschlitten verbunden sind und die Einfach- oder Doppellichtschranke ortsfest angeordnet ist. Da es aber nur auf die Relativbewegung zwischen diesen Teilen ankommt, könnte sich z.B. die Lichtschranke auch auf dem Ankerschlitten befinden bei ortsfestem Streifenmusterelement oder anderweitig beweglich befestigt sein.
Claims (13)
- Reversierender Linearantrieb – mit mindestens einer mit einem veränderlichen Strom zu beaufschlagenden Erregerwicklung, – mit einem magnetischen Anker, der von einem Magnetfeld der Erregerwicklung in eine lineare, in einer axialen Richtung mit einem Ankerhub oszillierende Bewegung zu versetzen ist, sowie – mit Mitteln zur Erfassung der Ankerposition, dadurch gekennzeichnet, dass die Mittel zur Erfassung zumindest der Ankerposition – ein sich zumindest über den gesamten axialen Ankerhub (H) erstreckendes Streifenmusterelement (
10 ,20 ) mit alternierender Anordnung von lichtdurchlässigen Streifen (12i ) und nicht-lichtdurchlässigen Streifen (11i ) oder von lichtreflektierenden Streifen und nicht-lichtreflektierenden Streifen sowie – wenigstens eine Lichtschranke (14 ) mit lichtaussendenden und lichtempfangenden Teilen, deren Lichtstrahlen zumindest annähernd senkrecht bezüglich der axialen Richtung und des Streifenmusterelementes (10 ,20 ) ausgerichtet sind, aufweisen. - Antrieb nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass das Streifenmusterelement (
10 ,20 ) mit dem Anker (8 ) starr verbunden ist. - Antrieb nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, dass die Lichtschranke (
14 ) als eine Doppellichtschranke ausgebildet ist. - Antrieb nach einem der vorangehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die lichtdurchlässigen und nicht- lichtdurchlässigen Streifen (
12i ,11i ) oder die lichtreflektierenden und nicht-lichtreflektierenden Streifen jeweils die gleiche axiale Ausdehnung aufweisen. - Antrieb nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, dass zumindest einige der lichtdurchlässigen Streifen (
12i ) und/oder der nicht-lichtdurchlässigen Streifen (11i ) bzw. der lichtreflektierenden Streifen und/oder nicht-lichtreflektierenden Streifen ungleiche axiale Ausdehnungen aufweisen. - Antrieb nach einem der vorangehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die axiale Ausdehnung der lichtdurchlässigen und/oder nicht-lichtdurchlässigen Streifen (
12i bzw.11i ) bzw. der lichtreflektierenden und/oder nicht-lichtreflektierenden Streifen jeweils unter 0,25 mm liegt. - Antrieb nach einem der vorangehenden Ansprüche, gekennzeichnet durch eine kammartige Ausbildung des Streifenmusterelementes (
10 ). - Antrieb nach einem der vorangehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass das Streifenmusterelement (
10 ) zusätzlich mindestens einen Triggerstreifen (17 ,21 ) aufweist. - Antrieb nach Anspruch 8, dadurch gekennzeichnet, dass der Triggerstreifen (
17 ,21 ) in einem Bereich nahe der maximalen Geschwindigkeit des schwingenden Ankerteils (8 ) angeordnet ist. - Antrieb nach Anspruch 8 oder 9, dadurch gekennzeichnet, dass der Triggerstreifen (
17 ) von der Lichtschranke (14 ) mit zu erfassen ist. - Antrieb nach Anspruch 8 oder 9, dadurch gekennzeichnet, dass dem Triggerstreifen (
21 ) eine gesonderte Lichtschranke (22 ) zugeordnet ist. - Antrieb nach einem der vorangehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass zusätzlich Mittel zu einer Erfassung der Geschwindigkeit des Ankers (
8 ) und/oder dessen Bewegungsrichtung vorgesehen sind. - Antrieb nach einem der vorangehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass der Anker (
8 ) mit einem Pumpkolben eines Verdichters (V) starr verbunden ist.
Priority Applications (7)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE102004010403A DE102004010403A1 (de) | 2004-03-03 | 2004-03-03 | Reversierender Linearantrieb mit Mitteln zur Erfassung einer Ankerposition |
KR1020067016814A KR20060127146A (ko) | 2004-03-03 | 2005-03-03 | 접극자 위치를 검출하는 수단을 포함하는 가역 선형드라이버 |
PCT/EP2005/050952 WO2005085765A1 (de) | 2004-03-03 | 2005-03-03 | Reversierender linearantrieb mit mitteln zur erfassung einer ankerposition |
RU2006130013/28A RU2372589C2 (ru) | 2004-03-03 | 2005-03-03 | Реверсивный линейный привод, содержащий средства для обнаружения местоположения якоря |
CNB2005800066949A CN100494908C (zh) | 2004-03-03 | 2005-03-03 | 具有电枢位置检测装置的可反向直线驱动装置 |
EP05729825A EP1723394A1 (de) | 2004-03-03 | 2005-03-03 | Reversierender linearantrieb mit mitteln zur erfassung einer ankerposition |
US10/591,090 US7631438B2 (en) | 2004-03-03 | 2005-03-03 | Reversing linear drive comprising means for detecting an armature position |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE102004010403A DE102004010403A1 (de) | 2004-03-03 | 2004-03-03 | Reversierender Linearantrieb mit Mitteln zur Erfassung einer Ankerposition |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
DE102004010403A1 true DE102004010403A1 (de) | 2005-09-22 |
Family
ID=34877311
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE102004010403A Withdrawn DE102004010403A1 (de) | 2004-03-03 | 2004-03-03 | Reversierender Linearantrieb mit Mitteln zur Erfassung einer Ankerposition |
Country Status (7)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US7631438B2 (de) |
EP (1) | EP1723394A1 (de) |
KR (1) | KR20060127146A (de) |
CN (1) | CN100494908C (de) |
DE (1) | DE102004010403A1 (de) |
RU (1) | RU2372589C2 (de) |
WO (1) | WO2005085765A1 (de) |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2008046849A1 (de) | 2006-10-19 | 2008-04-24 | BSH Bosch und Siemens Hausgeräte GmbH | Linearantrieb und linearverdichter |
WO2009153279A1 (de) | 2008-06-20 | 2009-12-23 | BSH Bosch und Siemens Hausgeräte GmbH | Linearverdichter |
DE102008061205A1 (de) | 2008-11-18 | 2010-05-20 | Institut für Luft- und Kältetechnik gemeinnützige Gesellschaft mbH | Elektrodynamischer Linearschwingmotor |
DE102013113351A8 (de) | 2013-12-03 | 2024-05-08 | Pfeiffer Vacuum Gmbh | Verfahren zur Kalibrierung einer Membranvakuumpumpe sowie Membranvakuumpumpe |
Families Citing this family (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP3252879B1 (de) * | 2016-05-31 | 2020-08-26 | TE Connectivity Germany GmbH | Aktuatormodul für ladungseingänge |
EP3833929B1 (de) * | 2018-08-09 | 2022-10-05 | Lisa Dräxlmaier GmbH | Taktiles erkennen einer position von komponenten eines fahrzeugbauteils |
CN112145400B (zh) * | 2019-06-28 | 2022-08-02 | 青岛海尔智能技术研发有限公司 | 用于压缩机的控制装置及制冷设备 |
CN112145399B (zh) * | 2019-06-28 | 2022-08-05 | 青岛海尔智能技术研发有限公司 | 压缩机及制冷设备 |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE29713979U1 (de) * | 1997-07-04 | 1997-10-16 | Textilma Ag, Hergiswil | Kettenwirkmaschine, insbesondere Häkelgalonmaschine |
DE10019226A1 (de) * | 2000-04-18 | 2001-10-25 | Physik Instr Pi Gmbh & Co | Elektromechanischer Linearantrieb mit Momentenkompensation |
JP2002031054A (ja) * | 2000-07-19 | 2002-01-31 | Sanyo Electric Co Ltd | リニアコンプレッサ |
Family Cites Families (18)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
GB1416347A (en) * | 1972-03-16 | 1975-12-03 | Nat Res Dev | Linear motors |
SU792499A1 (ru) | 1978-03-01 | 1980-12-30 | Предприятие П/Я В-2942 | Устройство дл преобразовани вращательного движени в поступательное |
US4463300A (en) * | 1981-09-17 | 1984-07-31 | Printronix, Inc. | Linear motor digital servo control |
SU1051662A1 (ru) | 1982-05-20 | 1983-10-30 | Завод-Втуз При Московском Автомобильном Заводе Им.Н.А.Лихачева | Линейный электродвигатель |
RU2025035C1 (ru) | 1991-06-25 | 1994-12-15 | Александр Андреевич Худяев | Электропривод |
JP2878955B2 (ja) * | 1993-04-08 | 1999-04-05 | 日立金属株式会社 | 高精度リニアモータ |
AU4503293A (en) | 1993-07-02 | 1995-01-24 | Partek Cargotec Oy | A hydraulic, pneumatic or another similar cylinder |
US5742136A (en) * | 1994-09-20 | 1998-04-21 | Yokogawa Electric Corporation | Linear motor drive system |
JP3382061B2 (ja) * | 1995-05-31 | 2003-03-04 | 松下電工株式会社 | リニア振動モータ |
US5980211A (en) * | 1996-04-22 | 1999-11-09 | Sanyo Electric Co., Ltd. | Circuit arrangement for driving a reciprocating piston in a cylinder of a linear compressor for generating compressed gas with a linear motor |
EP1121755A4 (de) * | 1998-09-16 | 2005-12-21 | Airxcel Inc | Frequenzsteuerung von linearmotoren |
US6441515B1 (en) * | 1999-09-10 | 2002-08-27 | Sankyo Seiki Mfg. Co., Ltd. | Linear motor |
JP3876611B2 (ja) * | 2000-11-02 | 2007-02-07 | 株式会社日立製作所 | 流体搬送装置 |
JP2003339188A (ja) * | 2002-05-21 | 2003-11-28 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | リニアモータの駆動装置 |
US7184254B2 (en) * | 2002-05-24 | 2007-02-27 | Airxcel, Inc. | Apparatus and method for controlling the maximum stroke for linear compressors |
DE102004010849A1 (de) * | 2004-03-05 | 2005-09-22 | BSH Bosch und Siemens Hausgeräte GmbH | Lineare Antriebseinheit mit Schwingungsankerteil und Feder |
DE102004010846A1 (de) * | 2004-03-05 | 2005-09-22 | BSH Bosch und Siemens Hausgeräte GmbH | Vorrichtung zur Regelung des Ankerhubs in einem reversierenden Linearantrieb |
DE102006009230A1 (de) * | 2006-02-28 | 2007-08-30 | BSH Bosch und Siemens Hausgeräte GmbH | Verfahren zum Justieren eines Kolbens in einem Linearverdichter |
-
2004
- 2004-03-03 DE DE102004010403A patent/DE102004010403A1/de not_active Withdrawn
-
2005
- 2005-03-03 KR KR1020067016814A patent/KR20060127146A/ko active IP Right Grant
- 2005-03-03 EP EP05729825A patent/EP1723394A1/de not_active Withdrawn
- 2005-03-03 US US10/591,090 patent/US7631438B2/en not_active Expired - Fee Related
- 2005-03-03 CN CNB2005800066949A patent/CN100494908C/zh not_active Expired - Fee Related
- 2005-03-03 WO PCT/EP2005/050952 patent/WO2005085765A1/de active Application Filing
- 2005-03-03 RU RU2006130013/28A patent/RU2372589C2/ru not_active IP Right Cessation
Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE29713979U1 (de) * | 1997-07-04 | 1997-10-16 | Textilma Ag, Hergiswil | Kettenwirkmaschine, insbesondere Häkelgalonmaschine |
DE10019226A1 (de) * | 2000-04-18 | 2001-10-25 | Physik Instr Pi Gmbh & Co | Elektromechanischer Linearantrieb mit Momentenkompensation |
JP2002031054A (ja) * | 2000-07-19 | 2002-01-31 | Sanyo Electric Co Ltd | リニアコンプレッサ |
Non-Patent Citations (2)
Title |
---|
Gieras/Piech: Linear Synchronouts Motors: Transportation and Automation Systems, CRC-Press, USA, 2000, S. 149-167 * |
JP 2002031054 A, engl. Abstr. aus PAJ * |
Cited By (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2008046849A1 (de) | 2006-10-19 | 2008-04-24 | BSH Bosch und Siemens Hausgeräte GmbH | Linearantrieb und linearverdichter |
WO2009153279A1 (de) | 2008-06-20 | 2009-12-23 | BSH Bosch und Siemens Hausgeräte GmbH | Linearverdichter |
DE102008029370A1 (de) | 2008-06-20 | 2009-12-24 | BSH Bosch und Siemens Hausgeräte GmbH | Linearverdichter |
CN102084131A (zh) * | 2008-06-20 | 2011-06-01 | Bsh博世和西门子家用器具有限公司 | 直线压缩机 |
DE102008061205A1 (de) | 2008-11-18 | 2010-05-20 | Institut für Luft- und Kältetechnik gemeinnützige Gesellschaft mbH | Elektrodynamischer Linearschwingmotor |
WO2010057460A2 (de) | 2008-11-18 | 2010-05-27 | Institut Für Luft- Und Kältetechnik Gemeinnützige Gmbh | Elektrodynamischer linearschwingmotor |
US8624448B2 (en) | 2008-11-18 | 2014-01-07 | Institute fuer Luft- und Kaeltetechnik gemeinnutzige GmbH | Electrodynamic linear oscillating motor |
DE102013113351A8 (de) | 2013-12-03 | 2024-05-08 | Pfeiffer Vacuum Gmbh | Verfahren zur Kalibrierung einer Membranvakuumpumpe sowie Membranvakuumpumpe |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US20080034603A1 (en) | 2008-02-14 |
RU2372589C2 (ru) | 2009-11-10 |
RU2006130013A (ru) | 2008-04-10 |
EP1723394A1 (de) | 2006-11-22 |
US7631438B2 (en) | 2009-12-15 |
WO2005085765A1 (de) | 2005-09-15 |
CN1926403A (zh) | 2007-03-07 |
KR20060127146A (ko) | 2006-12-11 |
CN100494908C (zh) | 2009-06-03 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
DE3821083C2 (de) | ||
DE3542042C1 (de) | Faseroptischer Sensor zur Erfassung der Bewegung oder Position eines Bauteils | |
WO2005085765A1 (de) | Reversierender linearantrieb mit mitteln zur erfassung einer ankerposition | |
EP1662232A1 (de) | Linearer Positionssensor | |
DE102005021300B4 (de) | Drehgeber | |
DE10060287A1 (de) | Vorrichtung zur Messung des Winkels und/oder der Winkelgeschwindigkeit eines drehbaren Körpers und/oder des auf ihn wirkenden Drehmoments | |
DE202005011361U1 (de) | Magnetfeldempfindlicher Sensor | |
DE2730715A1 (de) | Einrichtung zur laengenmessung | |
DE19805094A1 (de) | Linearantrieb und optische, diesen verwendende Ausrüstung | |
EP1752851A1 (de) | Linearführungssystem mit einer Einrichtung zum Messen | |
DE19504714B4 (de) | Verfahren und Vorrichtung zur Überwachung einer Zustandsgröße eines Leistungsschalters | |
DE4030229A1 (de) | Winkelgeber | |
DE3643290A1 (de) | Vorrichtung zur wegbestimmung eines kolbens | |
DE102005021350A1 (de) | Meßwerk | |
DE2315471A1 (de) | Stellungsgeber fuer elektrische nachfuehreinrichtungen bei registriersystemen | |
DE19530904B4 (de) | Vorrichtung zur Erfassung einer Position eines sich relativ zu einer Basis rotatorisch oder translatorisch bewegenden Objektes | |
EP1436633A1 (de) | Gekapseltes messgerät | |
CH626720A5 (de) | ||
DE19932965A1 (de) | Optischer Drehmomentsensor mit MoirE-Musterdetektion und Nullpunktabgleich | |
EP0699896A2 (de) | Schrittmotor mit Lagesensor | |
DE3151798C2 (de) | Verfahren und Vorrichtung zur Messung der Länge einer Strecke oder eines Bogens | |
DE10124760A1 (de) | Verfahren zur kontaktlosen, linearen Positionsmessung | |
EP1981156A2 (de) | Elektrische Linearantriebsvorrichtung | |
DE102009020076B4 (de) | Vorrichtung zur Positionsmessung mit Materialprüfung | |
DE102008014720A1 (de) | Messeinrichtung und Anordnung zur Erfassung von Lageänderungen |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
OP8 | Request for examination as to paragraph 44 patent law | ||
R119 | Application deemed withdrawn, or ip right lapsed, due to non-payment of renewal fee |
Effective date: 20131001 |