DE102004010083B4 - Tastkopf vom messenden Typ für ein Koordinatenmessgerät - Google Patents

Tastkopf vom messenden Typ für ein Koordinatenmessgerät Download PDF

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Abstract

Tastkopf vom messenden Typ für ein Koordinatenmessgerät mit einem festen Teil (4') und mindestens einem in vertikaler Richtung dagegen verschieblichen Teil (4''), wobei das verschiebliche Teil (4'') mit einer Positionsmessvorrichtung (11), einer mechanischen Schnittstelle (8) zur Aufnahme von Tasterkonfigurationen unterschiedlichen Gewichts und einer motorisch betriebenen Einrichtung (12 bis 17) zum mechanischen Ausgleich der durch die unterschiedlichen Tasterkombinationsgewichte hervorgerufenen unterschiedlichen Ruhelagen des mindestens einen vertikal beweglichen Teiles (4'') relativ zum festen Teil (4') und einer Regeleinrichtung ausgerüstet ist, die die motorisch betriebene Einrichtung zum mechanischen Ausgleich unterschiedlicher Tasterkombinationsgewichte zum Ausgleich der unterschiedlichen Ruhelagen derart regelt, dass unabhängig vom Tasterkombinationsgewicht immer dieselbe, durch den Nullpunkt des Positionsmesssystems des mindestens einen vertikal beweglichen Teiles definierte Ruhelage erreicht wird, wobei die Regeleinrichtung eine nichtlineare Reglerstruktur aufweist, dadurch gekennzeichnet, dass Zustandsgrößen des Tastkopfes vom messenden Typ einen Phasenraum des Systems mit einer Schalt-Trajektorie bilden und dass die Schalt-Trajektorie entsprechend einem Schwingungszustand des Tastkopfes veränderbar...

Description

  • Die Erfindung betrifft einen Tastkopf vom messenden Typ für ein Koordinatenmessgerät gemäß dem Oberbegriff des Anspruches 1.
  • In der Koordinatenmesstechnik sind Tastköpfe bekannt, die sich im Wesentlichen in zwei Kategorien beschreiben lassen, die das Verfahren kennzeichnen, mit dem die Berührung (Antastung) des Antastkörpers, üblicherweise ein Taststift mit Antastkugel, am Werkstück erkannt wird.
  • Tastköpfe vom schaltenden Typ erkennen die Antastung beispielsweise durch Auswerten eines Körperschallimpulses, der bei der Berührung mit dem Werkstück entsteht oder durch Öffnen beziehungsweise Schließen eines Stromkreises, wenn durch die Antastkräfte ein kinematisches Lager aus seiner Ruhelage gebracht wird. Diese schaltenden Tastköpfe sind mit einer Einrichtung verbunden, die es ermöglicht, sie in drei Raumrichtungen frei zu bewegen mit dem Ziel, die Antastkugel an jeder beliebigen Stelle mit dem Werkstück in Kontakt zu bringen. Diese Tastköpfe haben den Vorteil, dass sie mechanisch einfach und damit kostengünstig realisierbar sind. Sie haben allerdings den Nachteil, dass mit ihnen ein kontinuierliches Abtasten (Scannen) des Werkstückes nicht möglich ist.
  • Hierzu benötigt man Tastköpfe vom messenden Typ. Sie bestehen aus einem festen Teil, das mit einer Einrichtung verbunden ist, die den Tastkopf in drei Raumdimensionen innerhalb eines definierten Messvolumens frei bewegen und positionieren kann, sowie aus drei üblicherweise orthogonalen, gegenüber dem festen Teil beweglichen Teilen. Die beweglichen Teile sind häufig als Schaukeln mit Parallelfederblechführung ausgebildet, die eine exakte Führung in jeweils einer Raumrichtung ermöglicht. Die drei Schaukeln bauen kinematisch so aufeinander auf, dass die letzte Schaukel der kinematischen Kette innerhalb eines Bewegungsspielraumes in Form eines Würfels von typisch einigen Millimetern Kantenlänge frei beweglich ist. Weiter sind Rückstellelemente vorgesehen, die die Tastkopfschaukeln in eine Ruhestellung bringen, die etwa in der Mitte des Bewegungsspielraumes liegt, wenn keine äußeren Kräfte auf die Schaukeln wirken. Weiter sind Positionsmesseinrichtungen vorgesehen, die die Abweichung von der Ruhelage der einzelnen Schaukeln messen und damit einen Auslenkvektor der kinematisch letzten Schaukel definieren. Die Nullpunkte dieser Positionsmesseinrichtungen definieren üblicherweise die genannte Ruhelage.
  • An der letzten Schaukel ist üblicherweise eine mechanische Schnittstelle vorgesehen, die ein automatisches Wechseln von sogenannten Tasterkombinationen ermöglicht. Diese Schnittstelle besteht aus einer kinematisch definierten Lagerung, die genau alle sechs kinematischen Freiheitsgrade festlegt, damit beim wiederholten Einwechseln derselben Tasterkombination die Relativlage zwischen der Tastkopfschaukel und dieser Tasterkombination möglichst exakt reproduziert wird.
  • Beim Einwechseln von unterschiedlich schweren Tasterkombinationen wird diejenige Tastkopfschaukel, die die vertikale Achse definiert, durch das unterschiedliche Gewicht der verschiedenen Tasterkombinationen unterschiedlich vorausgelenkt und befindet sich im kräftefreien Zustand in einer Lage, die nicht mit dem Nullpunkt der Positionsmesseinrichtung übereinstimmt. Da dies unerwünscht ist, sind die messenden Tastköpfe üblicherweise mit einer Tariervorrichtung (Gewichtsausgleich) versehen, die die vertikale Schaukel so in ihre Ruhelage bringt, dass die Positionsmesseinrichtung sich im Nullpunkt befindet und sie sich trotzdem noch frei bewegen kann.
  • Zum Stand der Technik (WO 02/073123 A1) gehört ein Tastkopf mit einem gegenüber dem festen Teil des Tastkopfes in wenigstens einer Messrichtung beweglichen Taststift und einer zugeordneten Tarierung, die das bewegliche, den Taststift tragende Teil in wenigstens einer Messrichtung in einer Solllage tarieren kann.
  • Dieser zum Stand der Technik gehörende Tastkopf mit Regeleinrichtung hat den Nachteil, dass Tasterwechselzeiten aufgrund von auftretenden Schwingungen sehr lang sind.
  • Zum Stand der Technik ( DE 38 42 151 A1 ) gehört ein Tastkopf vom schaltenden Typ. Die Steuerung dieses Tastkopfes führt nach jedem Wechseln des Taststiftes einen Tariervorgang durch, bei dem durch eine entsprechende Druckerhöhung beziehungsweise Druckerniedrigung im Druckzylinder die Gewichtsdifferenz zwischen verschiedenen Taststiften in der Weise kompensiert wird, dass die Kraft, mit der das bewegliche Teil des Tastkopfes in seinem Lager liegt, konstant bleibt. Eine Justierung einer Ruhelage, wie bei einem messenden Tastkopf, ist hier nicht vorgesehen.
  • Diese zum Stand der Technik gehörende Steuerung betrifft einen Tastkopf vom schaltenden Typ. Der Begriff "Tarieren" wird gemäß dieser Druckschrift so verstanden, dass die Andruckkraft von Lager und Gegenlager konstant gehalten wird.
  • Zum Stand der Technik ( DE 37 25 207 A1 ) gehört ein Tastkopf für Koordinatenmessgeräte, bei dem für jede der drei Raumachsen einem zugeordneten Federsystem eine Tariereinrichtung zuschaltbar ist, die in jeder Raumlage des Tastkopfes die Nullposition des Federsystems automatisch einstellt.
  • Dieser zum Stand der Technik gehörende Tastkopf hat wieder den Nachteil, dass Tasterwechselzeiten aufgrund von auftretenden Schwingungen sehr lang sind.
    •
  • Das der Erfindung zugrunde liegende technische Problem besteht darin, die Tasterwechselzeiten bei einem Koordinatenmessgerät mit einem Tastkopf vom messenden Typ zu verkürzen, insbesondere hohe Gewichte in der Z-Achse sehr schnell zu positionieren bei einer geringen Schwingungsanregung und ein sehr schnelles Abbremsen im Zielpunkt zu erreichen.
  • Dieses technische Problem wird durch einen Tastkopf mit den Merkmalen des Anspruches 1 gelöst.
  • Dadurch, dass die Regeleinrichtung als nichtlinearer Regler ausgebildet ist, werden die Tasterwechselzeiten erheblich verkürzt. Der dazu notwendige regelungstechnische Aufwand in Bezug auf die Sicherheit der Einhaltung von Stabilitätskriterien und damit Kosten für Serviceeinsätze bei Nichteinhaltung der Stabilitätskriterien aufgrund von gewollten oder ungewollten Systemveränderungen kann gering gehalten werden im Gegensatz zu einer aufwändigen linearen Lösung unter den Randbedingungen einer immer größer werdenden Bandbreite an Tastergewichten bei gleichzeitiger Forderung nach geringen Antastkräften.
  • Die Positionsregelung der Messkopfauslenkung erfolgt auf der Grundlage der nichtlinearen Regelung, zum Beispiel nach Kriterien von Ljapunow, harmonische Balance oder einer schnelligkeitsoptimierten Regelung.
  • Nach der Initialisierung und der Bildung von Messkopfzustandsgrößen wird eine maximale Messkopfauslenkschwelle überwacht, die möglichst klein ist (nahe am Zielpunkt der Positionierung), aber gleichzeitig so groß, dass entsprechend der Eigenfrequenz des Messkopfes und damit der Abklingzeit von Messkopfschwingungen der Messkopf möglichst zur Ruhe kommt, wenn der Zielpunkt erreicht ist. Oberhalb der Schwelle wird das Messkopfstellelement vorteilhaft mit konstanter hoher Geschwindigkeit unterhalb mit variabler Geschwindigkeit bewegt.
  • Die Stellgröße für die motorisch betriebene Einrichtung zum mechanischen Ausgleich unterschiedlicher Taster kombinationsgewichte bildet vorteilhafterweise ein Modulator, der von einem Positionsregler angesteuert wird und die Geschwindigkeit zwischen einem positiven Maximum und einem negativen Minimum und Null umschaltet. Der Vorteil liegt darin, dass die Ansteuerung sehr einfach und kostengünstig ist, und die Reibung der motorisch betriebenen Einrichtung zum mechanischen Ausgleich unterschiedlicher Tasterkombinationsgewichte keine Rolle spielt. Die Umschaltfrequenz wird so hoch gewählt, dass Messkopfschwingungen nicht zusätzlich angeregt werden, gleichzeitig aber so niedrig, dass die betriebene Einrichtung unabhängig von ihrer mechanischen Trägheit schnell reagiert. Die Modulatorkennlinie ist nichtlinear, derart, dass der Einlauf in den Zielpunkt der Positionierung möglichst schwingungsarm und trotzdem schnell erfolgt.
  • Die Positionsregelung der Messkopfauslenkung erfolgt auf der Grundlage der nichtlinearen Regelung mit Hilfe einer nichtlinearen Schalt-Trajektorie. In Verbindung mit einer nichtlinearen Modulatorkennlinie kann die Schalt-Trajektorie auch linear sein.
  • Die Zustandsgrößen des Messkopfes bilden den Phasenraum des Systems mit der Schalt-Trajektorie. Sie werden bei optimaler Auslegung der Schalt-Trajektorie entlang dieser geführt bis zu einem definierten Zielgebiet im Phasenraum mit möglichst wenigen Umschaltungen bei idealerweise nicht schwingendem Messkopf. Gleichzeitig werden die aber real vorhandenen Schwingungen des Messkopfes überwacht. Entsprechend dem Schwingungszustand wird die Schalt-Trajektorie in geeigneter Weise verändert, beispielsweise im einfachsten Fall nur verschoben, um zusätzliche Umschaltungen zu erzwingen, die den Messkopfschwingungen entgegenwirken. Al ternativ zu den zusätzlichen Umschaltungen kann auch mindestens eine Zustandsgröße des Systems in geeigneter Weise der Modulatorkennlinie (Pulsbreitenmodulation) oder der Stellgröße für die motorisch betriebene Einrichtung zum mechanischen Ausgleich unterschiedlicher Tasterkombinationsgewichte (Amplitudenmodulation) überlagert werden.
  • Ist das Zielgebiet im Phasenraum erreicht, werden mit Hilfe der sich verändernden Schalt-Trajektorie eventuell noch vorhandene Restschwingungen über ein retriggerbares Zeitintervall, das sich aus der Messkopfeigenfrequenz ableitet, reduziert, oder der oben beschriebene Algorithmus wird vollständig abgeschaltet.
  • Wird der Gewichtsausgleich im Zielgebiet des Phasenraumes gestartet, wird der oben beschriebene Algorithmus nicht aktiviert.
  • Wird der Gewichtsausgleich oberhalb der überwachten maximalen Messkopfauslenkschwelle gestartet und schwingt der Messkopf aufgrund einer Stossanregung, zum Beispiel ausgelöst bei einem Tasterwechselvorgang, so dass an der sich nicht verändernden Schalt-Trajektorie eine festgesetzte Anzahl von Umschaltungen stattfindet, wird der oben beschriebene Algorithmus so lange ausgesetzt, bis ein festgesetztes konstantes Zeitintervall abgelaufen ist, in dem keine Umschaltungen mehr stattgefunden haben. Bei der Festlegung der Anzahl der Umschaltungen und dem Zeitintervall wird die Messkopfeigenfrequenz und der Verlauf der Schalt-Trajektorie zugrunde gelegt.
  • Mit der erfindungsgemäßen Regeleinrichtung ist es möglich, einen Gewichtsunterschied von beispielsweise einem Kilogramm in weniger als drei Sekunden auszuregeln, wobei ein Fenster um die Solllage von weniger als zwei Mikrometern erreicht wird.
    •
  • Weitere Merkmale und Vorteile der Erfindung ergeben sich anhand der zugehörigen Zeichnung, in der ein Ausführungsbeispiel eines Tastkopfes vom messenden Typ nur beispielhaft dargestellt ist. In der Zeichnung zeigen:
  • 1 einen Tastkopf vom messenden Typ in perspektivischer Ansicht;
  • 2 eine schematische Ansicht der Module des Gewichtsausgleich-Regelkreises;
  • 3 einen möglichen Verlauf der Zustandsgröße Z1 des Messkopfes;
  • 4 eine Darstellung der Beeinflussung einer Zweipunkt-Kennlinie durch den Modulator;
  • 5 eine nichtlineare Kennlinie zur Ansteuerung des Modulators;
  • 6 den Phasenraum des Systems mit einer möglichen Schalt-Trajektorie;
  • 7 eine Darstellung der Wirkungsweise der Schalt-Trajektorie im Phasenraum des Systems;
  • 8 einen Phasenraum des Systems mit einer veränderbaren Schalt-Trajektorie;
  • 9 Alternativen zu 8.
  • 1 zeigt einen messenden Tastkopf (1) wie er gemäß dem Stand der Technik bekannt ist. Der Tastkopf (1) weist drei Tastkopf schaukeln (2, 3, 4) auf. Die Tastkopf schaukeln (2, 3, 4) erlauben eine Auslenkung des Tastkopfes in X-, Y- und Z-Richtung. Hierzu weisen die Tastkopfschaukeln jeweils einen ortsfesten (2', 3', 4') und einen relativ dazu beweglichen Teil (2'', 3'', 4'') auf. Die ortsfesten Teile (2', 3', 4') und die beweglichen Teile (2'', 3'', 4'') sind über Federbleche (5, 6, 7) jeweils relativ zueinander verschiebbar miteinander verbunden.
  • An einer Tasteraufnahme (8) wird ein Taststift (nicht dargestellt) befestigt. Jede Tastkopfschaukel weist jeweils ein Wegmesssystem (9, 10, 11) auf. Der Tastkopf (1) weist Gewichtsausgleichsfedern (12, 13, 14) auf, die mit einer Spindelmutter (15) verbunden sind. Eine Spindel (16) wird zum Bewegen der Spindelmutter von einem Motor (17) angetrieben.
  • 2 zeigt einzelne Module M1 bis M5 des Gewichtsausgleich-Regelkreises (20). In M1 werden die Messkopfzustandsgrößen online ermittelt und der weiteren Verarbeitung nachfolgender Komponenten zur Verfügung gestellt. In M2 findet online die mathematische Berechnung der Schalt-Trajektorie und ihrer Veränderung statt. Hier wird ermittelt, ob sich die Zustandsgrößen unterhalb oder oberhalb der Schalt-Trajektorie befinden. Dies ist der eigentliche Positionsregler. Das Modul M3 stellt den Modulator dar. Dieser beeinflusst unter Berücksichtigung der Eingangswerte U1 und U2 eine Zweipunkt-Kennlinie, derart, dass eine geeignete Ansteuerung U3 der motorisch betriebenen Einrichtung zum mechanischen Ausgleich unterschiedlicher Tasterkombinationsgewichte erfolgt. Das Modul M4 ist die motorisch betriebene Einrichtung zum mechanischen Ausgleich unterschiedlicher Tasterkombinationsgewichte, beschrieben durch das lineare oder nichtlineare Übertragungsglied L1. Die motorisch betriebene Einrichtung zum mechanischen Ausgleich unterschiedlicher Tasterkombinationsgewichte arbeitet elektromechanisch oder pneumatisch. Die gesamte Regelstrecke "Messkopf" ist als Übertragungsglied L2 in M5 dargestellt.
  • 3 zeigt einen möglichen Verlauf der Zustandsgröße Z1 über die Zeit t. Die Zustandsgröße Z1 gibt die Position und die Zustandsgröße Z2 die Geschwindigkeit an. Dem idealen Verlauf V ist eine reale Schwingung überlagert, die weitgehend abgeklungen sein sollte, wenn das Zielgebiet ZZG1 bei ZZG erreicht wird. Der Verlauf endet zum Zeitpunkt tEnde möglichst nahe am Zielpunkt ZZP. Die Zustandsgröße Z2, die diesen Verlauf erzwingt, wird oberhalb einer maximalen Auslenkschwelle ZM konstant, unterhalb in geeigneter Weise variabel gehalten.
  • 4 zeigt die Beeinflussung der Zweipunkt-Kennlinie durch den Modulator M3 über die Zeit t. Außer der Einstellung eines positiven Maximums "max" am Umschaltzeitpunkt tU wird die Stellgröße U3 zu geeigneten Zeitpunkten tN auf "Null" beziehungsweise bei tM wieder zurück auf "max" geschaltet. Entsprechendes gilt auch für die Einstellung eines negativen Minimums "min".
  • 5 zeigt eine nichtlineare Kennlinie zur Ansteuerung des Modulators M3 über den Eingang U2 in Abhängigkeit der Zustandsgröße Z1 mit exemplarisch dargestellten Stellgrößen U3. Oberhalb von ZM wird dauerhaft das positive Maximum "max" eingestellt (U31 im Punkt P1 der Kennlinie). Unterhalb von ZM wird zwischen "max" und "Null" umgeschaltet entsprechend der Darstellung U32 und U33 in den Punkten P2 und P3 der Kennlinie. Entsprechendes gilt auch für den Fall, dass ZM kleiner ZZP ist, indem die Kennlinie an einer Achse durch ZZP parallel zur U2-Achse gespiegelt wird.
  • 6 zeigt den Phasenraum des Systems mit einer möglichen Schalt-Trajektorie ST. Ausgehend von einer Startauslenkung ZSA des Messkopfes verändern sich seine Zustandsgrößen Z1 und Z2 derart, dass sich die Trajektorie des Systems TS idealerweise entlang der Schalt-Trajektorie dem Zielgebiet ZG nähert. Es finden dabei möglichst wenige Umschaltungen UP statt. Das Zielgebiet ZG selbst wird gebildet aus der Schnittfläche der beiden Zielgebiete ZZG1 und ZZG2 für die einzelnen Zustandsgrößen Z1 und Z2.
  • 7 zeigt im Phasenraum des Systems die Wirkungsweise der Schalt-Trajektorie ST. Ausgehend von einer Startauslenkung ZSA des Messkopfes finden mit einer Schalt-Trajektorie ST Umschaltungen in den Punkten UP1 und UP2 statt. Ohne eine Schalt-Trajektorie ST finden die Umschaltungen in den Punkten UP3 und UP4 statt. Im ersten Fall nähert sich die Trajektorie des Systems TS1 sehr viel schneller dem Minimum der Zustandsgrößen Z1 und Z2 als im zweiten Fall die Trajektorie TS2. Die geeignete Wahl der Schalt-Trajektorie ST führt zu einer schnelligkeitsoptimalen Regelung.
  • 8 zeigt den Phasenraum des Systems mit einer veränderbaren Trajektorie ST. Ausgehend von einer Startauslenkung ZSA des Messkopfes kann der Zeitpunkt der Umschaltung UPB vorverlegt werden nach UPA beziehungsweise verzögert werden nach UPC. Die Trajektorie ST wird entsprechend der Phasenlage der Messkopfschwingungen so verändert, dass die Schwingungen möglichst schnell abklingen.
  • 9 zeigt Alternativen zu 7. Messkopfschwingungen werden minimiert, indem in geeigneter Weise die Stellgröße U3 in ihrer Amplitude AM oder in der Pulsbreite PM verändert wird.
    • 1
    Tastkopf
    2, 3, 4
    Tastkopfschaukel
    2', 3', 4'
    fester Teil der Tastkopfschaukel
    2'', 3'', 4''
    beweglicher Teil der Tastkopfschaukel
    5, 6, 7
    Federbleche
    8
    Tasteraufnahme
    9, 10, 11
    Wegmesssysteme
    12, 13, 14
    Gewichtsausgleichsfedern
    15
    Spindelmutter
    16
    Spindel
    17
    Motor
    20
    Gewichtsausgleichsregelkreis

Claims (10)

  1. Tastkopf vom messenden Typ für ein Koordinatenmessgerät mit einem festen Teil (4') und mindestens einem in vertikaler Richtung dagegen verschieblichen Teil (4''), wobei das verschiebliche Teil (4'') mit einer Positionsmessvorrichtung (11), einer mechanischen Schnittstelle (8) zur Aufnahme von Tasterkonfigurationen unterschiedlichen Gewichts und einer motorisch betriebenen Einrichtung (12 bis 17) zum mechanischen Ausgleich der durch die unterschiedlichen Tasterkombinationsgewichte hervorgerufenen unterschiedlichen Ruhelagen des mindestens einen vertikal beweglichen Teiles (4'') relativ zum festen Teil (4') und einer Regeleinrichtung ausgerüstet ist, die die motorisch betriebene Einrichtung zum mechanischen Ausgleich unterschiedlicher Tasterkombinationsgewichte zum Ausgleich der unterschiedlichen Ruhelagen derart regelt, dass unabhängig vom Tasterkombinationsgewicht immer dieselbe, durch den Nullpunkt des Positionsmesssystems des mindestens einen vertikal beweglichen Teiles definierte Ruhelage erreicht wird, wobei die Regeleinrichtung eine nichtlineare Reglerstruktur aufweist, dadurch gekennzeichnet, dass Zustandsgrößen des Tastkopfes vom messenden Typ einen Phasenraum des Systems mit einer Schalt-Trajektorie bilden und dass die Schalt-Trajektorie entsprechend einem Schwingungszustand des Tastkopfes veränderbar ist.
  2. Tastkopf nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die Regeleinrichtung als eine auf der Grundlage der nichtlinearen Regelung nach Kriterien von Ljapunow oder nach dem Verfahren der harmonischen Balance arbeitende Re geleinrichtung oder als schnelligkeitsoptimierte Regeleinrichtung ausgebildet ist.
  3. Tastkopf nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die Regeleinrichtung ein Schaltregler mit einer Schalt-Trajektorie im Geschwindigkeits-/Positionsphasenraum ist.
  4. Tastkopf nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die motorisch betriebene Einrichtung zum mechanischen Ausgleich unterschiedlicher Tasterkombinationsgewichte als eine durch einen Pulsbreitenmodulator angesteuerte Einrichtung ausgebildet ist, wobei der Pulsbreitenmodulator als ein lediglich zwischen den Zuständen "positive Maximalgeschwindigkeit", "negative Maximalgeschwindigkeit" und "Geschwindigkeit Null" umschaltender Pulsbreitenmodulator ausgebildet ist.
  5. Tastkopf nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, dass der Pulsbreitenmodulator eine nichtlineare Kennlinie in Bezug auf die Geschwindigkeit oder die Position aufweist.
  6. Tastkopf nach einem der Ansprüche 1 bis 5, dadurch gekennzeichnet, dass zur Dämpfung von Schwingungen während des Regelvorganges die Lage der Schalt-Trajektorie im Phasenraum veränderbar ist.
  7. Tastkopf nach einem der Ansprüche 1 bis 6, dadurch gekennzeichnet, dass die Dämpfung auftretender Schwingungen durch Amplituden- oder Pulsbreitenmodulation der Ansteuersignale der motorisch betriebenen Einrichtung zum mechani schen Ausgleich unterschiedlicher Tasterkombinationsgewichte erfolgt.
  8. Tastkopf nach einem der Ansprüche 1 bis 7, dadurch gekennzeichnet, dass die Regeleinrichtung abgeschaltet ist, wenn das den Taststift tragende Teil sich in einem vorbestimmten Zielgebiet endlicher Ausdehnung im Phasenraum befindet.
  9. Tastkopf nach einem der Ansprüche 1 bis 8, dadurch gekennzeichnet, dass die wenigstens eine motorisch betriebene Einrichtung zum mechanischen Ausgleich unterschiedlicher Tasterkombinationsgewichte als eine mit ununterbrochener Maximalgeschwindigkeit fahrende Einrichtung ausgebildet ist, solange die Auslenkung des den Taststift tragenden Teils einen vorbestimmten Wert übersteigt.
  10. Tastkopf nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass eine erste Zustandsgröße (Z1) die Position und eine zweite Zustandsgröße (Z2) die Geschwindigkeit angibt, und dass die zweite Zustandsgröße (Z2) oberhalb einer maximalen Auslenkschwelle (ZM) konstant und unterhalb der maximalen Auslenkschwelle (ZM) in geeigneter Weise variabel gehalten ist.
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