DE10142614A1 - Leistungselektronikeinheit - Google Patents

Leistungselektronikeinheit

Info

Publication number
DE10142614A1
DE10142614A1 DE10142614A DE10142614A DE10142614A1 DE 10142614 A1 DE10142614 A1 DE 10142614A1 DE 10142614 A DE10142614 A DE 10142614A DE 10142614 A DE10142614 A DE 10142614A DE 10142614 A1 DE10142614 A1 DE 10142614A1
Authority
DE
Germany
Prior art keywords
power electronics
carrier element
electronics unit
unit according
thick
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Ceased
Application number
DE10142614A
Other languages
English (en)
Inventor
Olaf Lucke
Bernhard Thyzel
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Continental Automotive GmbH
Original Assignee
Siemens AG
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Siemens AG filed Critical Siemens AG
Priority to DE10142614A priority Critical patent/DE10142614A1/de
Priority to JP2003529525A priority patent/JP4383866B2/ja
Priority to DE50204892T priority patent/DE50204892D1/de
Priority to PCT/DE2002/003177 priority patent/WO2003026008A2/de
Priority to US10/487,769 priority patent/US6846987B2/en
Priority to EP02798677A priority patent/EP1421617B1/de
Publication of DE10142614A1 publication Critical patent/DE10142614A1/de
Ceased legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • HELECTRICITY
    • H05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05KPRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
    • H05K1/00Printed circuits
    • H05K1/02Details
    • H05K1/03Use of materials for the substrate
    • H05K1/05Insulated conductive substrates, e.g. insulated metal substrate
    • H05K1/053Insulated conductive substrates, e.g. insulated metal substrate the metal substrate being covered by an inorganic insulating layer
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L23/00Details of semiconductor or other solid state devices
    • H01L23/12Mountings, e.g. non-detachable insulating substrates
    • H01L23/14Mountings, e.g. non-detachable insulating substrates characterised by the material or its electrical properties
    • H01L23/15Ceramic or glass substrates
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L23/00Details of semiconductor or other solid state devices
    • H01L23/34Arrangements for cooling, heating, ventilating or temperature compensation ; Temperature sensing arrangements
    • H01L23/36Selection of materials, or shaping, to facilitate cooling or heating, e.g. heatsinks
    • H01L23/373Cooling facilitated by selection of materials for the device or materials for thermal expansion adaptation, e.g. carbon
    • H01L23/3733Cooling facilitated by selection of materials for the device or materials for thermal expansion adaptation, e.g. carbon having a heterogeneous or anisotropic structure, e.g. powder or fibres in a matrix, wire mesh, porous structures
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L25/00Assemblies consisting of a plurality of individual semiconductor or other solid state devices ; Multistep manufacturing processes thereof
    • H01L25/03Assemblies consisting of a plurality of individual semiconductor or other solid state devices ; Multistep manufacturing processes thereof all the devices being of a type provided for in the same subgroup of groups H01L27/00 - H01L33/00, or in a single subclass of H10K, H10N, e.g. assemblies of rectifier diodes
    • H01L25/04Assemblies consisting of a plurality of individual semiconductor or other solid state devices ; Multistep manufacturing processes thereof all the devices being of a type provided for in the same subgroup of groups H01L27/00 - H01L33/00, or in a single subclass of H10K, H10N, e.g. assemblies of rectifier diodes the devices not having separate containers
    • H01L25/07Assemblies consisting of a plurality of individual semiconductor or other solid state devices ; Multistep manufacturing processes thereof all the devices being of a type provided for in the same subgroup of groups H01L27/00 - H01L33/00, or in a single subclass of H10K, H10N, e.g. assemblies of rectifier diodes the devices not having separate containers the devices being of a type provided for in group H01L29/00
    • H01L25/072Assemblies consisting of a plurality of individual semiconductor or other solid state devices ; Multistep manufacturing processes thereof all the devices being of a type provided for in the same subgroup of groups H01L27/00 - H01L33/00, or in a single subclass of H10K, H10N, e.g. assemblies of rectifier diodes the devices not having separate containers the devices being of a type provided for in group H01L29/00 the devices being arranged next to each other
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2224/00Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/01Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/02Bonding areas; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/04Structure, shape, material or disposition of the bonding areas prior to the connecting process
    • H01L2224/05Structure, shape, material or disposition of the bonding areas prior to the connecting process of an individual bonding area
    • H01L2224/0554External layer
    • H01L2224/05599Material
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2224/00Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/01Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/42Wire connectors; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/44Structure, shape, material or disposition of the wire connectors prior to the connecting process
    • H01L2224/45Structure, shape, material or disposition of the wire connectors prior to the connecting process of an individual wire connector
    • H01L2224/45001Core members of the connector
    • H01L2224/45099Material
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2224/00Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/01Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/42Wire connectors; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/47Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process
    • H01L2224/48Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process of an individual wire connector
    • H01L2224/4805Shape
    • H01L2224/4809Loop shape
    • H01L2224/48091Arched
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2224/00Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/01Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/42Wire connectors; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/47Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process
    • H01L2224/48Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process of an individual wire connector
    • H01L2224/481Disposition
    • H01L2224/48151Connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive
    • H01L2224/48221Connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked
    • H01L2224/48225Connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked the item being non-metallic, e.g. insulating substrate with or without metallisation
    • H01L2224/48227Connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked the item being non-metallic, e.g. insulating substrate with or without metallisation connecting the wire to a bond pad of the item
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2224/00Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/80Methods for connecting semiconductor or other solid state bodies using means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected
    • H01L2224/85Methods for connecting semiconductor or other solid state bodies using means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected using a wire connector
    • H01L2224/8538Bonding interfaces outside the semiconductor or solid-state body
    • H01L2224/85399Material
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L24/00Arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies; Methods or apparatus related thereto
    • H01L24/01Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
    • H01L24/42Wire connectors; Manufacturing methods related thereto
    • H01L24/47Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process
    • H01L24/48Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process of an individual wire connector
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2924/00Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
    • H01L2924/0001Technical content checked by a classifier
    • H01L2924/00014Technical content checked by a classifier the subject-matter covered by the group, the symbol of which is combined with the symbol of this group, being disclosed without further technical details
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2924/00Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
    • H01L2924/01Chemical elements
    • H01L2924/01004Beryllium [Be]
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2924/00Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
    • H01L2924/095Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00 with a principal constituent of the material being a combination of two or more materials provided in the groups H01L2924/013 - H01L2924/0715
    • H01L2924/097Glass-ceramics, e.g. devitrified glass
    • H01L2924/09701Low temperature co-fired ceramic [LTCC]

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Materials Engineering (AREA)
  • Inorganic Chemistry (AREA)
  • Ceramic Engineering (AREA)
  • Cooling Or The Like Of Semiconductors Or Solid State Devices (AREA)
  • Cooling Or The Like Of Electrical Apparatus (AREA)
  • Power Conversion In General (AREA)

Abstract

Die Erfindung bezieht sich auf eine Leistungselektronikeinheit, mit einem Trägerelement, auf dem Leiterbahnen 5 zur elektrischen Verbindung von ebenfalls auf dem Trägerelement befindlichen elektrischen Leistungsbauelementen 7 und Steuerbauelementen einer Schaltung angeordnet sind. Dabei ist das Trägerelement wärmeleitend mit einem wärmeleitenden Gehäusebauteil eines des Trägerelement aufnehmenden Gehäuses verbunden. Das Trägerelement besteht aus einem porösen, keramischen Bauteil, dessen Poren mit Metall gefüllt sind und das mit einem Dickschicht-Dielektrikum bedeckt ist, auf dem die Leiterbahnen 5 als Dickschichtleiterbahnen und die Leistungsbauelemente 7 aufgebracht und die Leiterbahnen 5 durch Löten mit den elektrischen Leistungsbauelementen 7 elektrisch leitend verbunden sind. Dabei ist das Trägerelement an dem Gehäusebauteil anliegend angeordnet.

Description

  • Die Erfindung bezieht sich auf eine Leistungselektronikeinheit, insbesondere für ein Steuergerät in einem Kraftfahrzeug, mit einem Trägerelement, auf dem Leiterbahnen zur elektrischen Verbindung von ebenfalls auf dem Trägerelement befindlichen elektrischen Leistungsbauelementen und Steuerbauelementen einer Schaltung angeordnet sind, wobei das Trägerelement wärmeleitend mit einem wärmeleitenden Gehäusebauteil eines das Trägerelement aufnehmenden Gehäuses verbunden ist.
  • Bei Leistungselektronikeinheiten besteht das Problem, daß die elektrischen Leistungsbauelemente Wärme erzeugen, die abgeführt werden muß. Dazu ist es bekannt das Trägerelement als isolierende Leiterplatte auszubilden, auf der Kupferleiterbahnen z. B. durch Kaschieren aufgebracht sind und die elektrischen Leistungsbauelemente und ggf. auch Steuerbauelemente durch Löten mit den Kupferleiterbahnen verbunden sind. Mittels Wärmeleitkleber sind diese Leiterplatten auf die Gehäusebauteile aufgeklebt, wobei das Gehäusebauteil damit sowohl als Wärmespreizer dient, als auch die Wärme an die Umgebung abgibt.
  • Dabei ist von Nachteil, daß der Wärmewiderstand zwischen den elektrischen Leistungsbauelementen und dem Gehäusebauteil relativ groß und insbesondere bei einer größeren Dichte von elektrischen Leistungsbauelementen auf der Leiterplatte die Wärmeabfuhr ungenügend ist.
  • Aufgabe der Erfindung ist es daher, eine Leistungselektronikeinheit der eingangs genannten Art zu schaffen, bei der bei einfachem Aufbau trotz elektrischer Isolation der elektrischen Leistungsbauelemente ein geringer Wärmewiderstand zwischen den elektrischen Leistungsbauelementen und dem Gehäusebauteil vorhanden ist.
  • Diese Aufgabe wird erfindungsgemäß dadurch gelöst, daß das Trägerelement aus einem porösen, keramischen Bauteil besteht, dessen Poren mit Metall oder mit Metallen gefüllt sind und das mit einem Dickschicht- Dielektrikum bedeckt ist, auf dem die Leiterbahnen als Dickschichtleiterbahnen und die Leistungsbauelemente aufgebracht und die Leiterbahnen durch Löten mit den elektrischen Leistungsbauelementen elektrisch leitend verbunden sind, wobei das Trägerelement an dem Gehäusebauteil anliegend angeordnet ist.
  • Ein derartig ausgebildetes metallisches Trägerelement hat den Vorteil, daß es durch die sehr gute Wärmeleitfähigkeit bereits als Wärmespreizer dient und sehr unmittelbar die von den elektrischen Leistungsbauelementen erzeugte Wärme auf eine große Fläche verteilt. Gleichzeitig verhindert aber der geringe Ausdehnungskoeffizient bei den hohen Temperatur- Wechselbeanspruchungen, denen die Leistungselektronikeinheit insbesondere in einem Kraftfahrzeug unterworfen ist, ein Abreißen der elektrischen Leistungsbauelemente von den Leiterbahnen. Von der bereits großen Fläche des Trägerelements kann dann eine gute Wärmeabfuhr zum üblicher Weise aus Aluminium bestehenden Gehäusebauteil und von dort an die Umgebung erfolgen.
  • Die elektrische Isolation erfolgt über das Dickschicht-Dielektrikum, das sehr dünn ausgebildet sein kann und den guten Wärmeübergang von den elektrischen Leistungsbauelementen zum Trägerelement nur unwesentlich beeinflußt, aufgrund des dehnungsangepaßten Schichtensystems aber eine sichere Verbindung der darauf aufgebrachten Dickschichtleiterbahnen sicher stellt.
  • Durch die gute Wärmeableitung lassen sich kleinere und damit preiswertere und geringeren Bauraum erfordernde elektrische Leistungsbauelemente einsetzen.
  • Bevorzugte Ausbildungen des Trägerelements bestehen darin, daß das Trägerelement aus einer Siliziumcarbidmatrix besteht, deren Poren mit Aluminium gefüllt sind oder daß das Trägerelement aus einer gesinterten Kupfermatrix besteht, deren Poren mit Molybdän gefüllt sind oder daß das Trägerelement aus einer gesinterten Kupfermatrix besteht, deren Poren mit Wolfram gefüllt sind. Diese Ausbildungen verbinden die Vorteile der gute Wärmeleitfähigkeit mit Ausdehnungskoeffizienten, die weit unter denen von Kupfer oder Aluminium liegen und etwa gleich denen der elektrischen Leistungsbauelemente sind.
  • Ist das Trägerelement eine Trägerplatte mit einer Dicke größer 0,5 mm, insbesondere einer Dicke zwischen etwa 0,5 mm und 4,0 mm, so ist das separat mit Schaltung und elektrischen Leistungsbauelementen fertig herstellbare Bauteil als stabiles, bruchsicheres Bauteil einfach an dem Gehäusebauteil anordenbar.
  • Das Dickschicht-Dielektrikum kann eine Glasschicht sein, die in einfacher Weise auf das Trägerelement aufgedruckt und durch einen Temperaturprozeß an das Trägerelement angebunden sein kann.
  • Eine andere Möglichkeit besteht darin, daß das Dickschicht-Dielektrikum eine Plasmaschicht ist, die vorzugsweise eine in einem Plasmasprühprozeß aufgebrachte Al2O3-Schicht ist. Dabei kann das Dickschicht- Dielektrikum eine Dicke zwischen etwa 5 µm und 40 µm aufweisen und somit den Wärmedurchgang weitestgehend unbeeinflußt lassen.
  • Es besteht aber auch die Möglichkeit, zunächst eine Plasmaschicht auf das Trägerelement und auf die Plasmaschicht die Glasschicht aufzubringen, wodurch die elektrische Isolierung besonders sicher ist und die Plasmaschicht als Haftvermittler der Glasschicht dient.
  • Zur Vereinfachung des Herstellungsprozesses können die Leiterbahnen auf einer LTTC-Folie (low temperatur fired ceramic) aufgedruckt auf das Dickschicht-Dielektrikum aufgebracht und durch einen Temperaturprozeß an das Dickschicht-Dielektrikum angebunden sein.
  • Dabei kann die LTTC-Folie eine Dicke von etwa 0,1 mm aufweisen. Eine besondere Reduzierung des Herstellungsaufwandes ergibt sich, wenn Dickschicht-Dielektrikum und mit den Leiterbahnen versehene LTTC-Folie nach ihrem Aufbringen auf das Trägerelement in einem gemeinsamen Temperaturprozeß temperaturbeaufschlagt sind, da damit die Anzahl der Temperaturprozesse reduziert werden kann.
  • Zur sicheren Verbindung der elektrischen Leistungsbauelemente dient es, wenn die Leiterbahnen Anschlußpads zur Verbindung der elektrischen Leistungsbauelemente und/oder der Steuerbauelemente aufweisen.
  • Ist das Trägerelement flächig an dem Gehäusebauteil anliegend angeordnet, so wird eine besonders gute Abfuhr der von den elektrischen Leistungsbauelementen erzeugten Wärme erreicht.
  • Eine sowohl sichere als auch einfach durchzuführende Anordnung des Trägerelements am Gehäusebauteil wird dadurch erreicht, daß das Trägerelement mittels Befestigungselementen an dem Gehäusebauteil angeordnet ist, wobei in einfacher Weise das Trägerelement mittels Schrauben an dem Gehäusebauteil befestigt ist und somit die Verbindung beliebig fest ausgelegt werden kann.
  • Zusätzlich kann zwischen Trägerelement und Gehäusebauteil eine Schicht Wärmeleitpaste angeordnet sein.
  • Um eine besonders gute Wärmeabfuhr an die Umgebung zu erreichen, kann das Gehäusebauteil eine Außenwand des Gehäuses sein.
  • Ist die von den elektrischen Leistungsbauelementen erzeugte und abzuführende Wärme besonders hoch, so kann das Gehäusebauteil eine von einem Kühlmittel beaufschlagbare Wand des Gehäuses sein.
  • Ein Ausführungsbeispiel der Erfindung ist in der Zeichnung dargestellt und wird im folgenden näher beschrieben. Die einzige Figur der Zeichnung zeigt eine Leistungselektronikeinheit im Querschnitt.
  • Die dargestellte Leistungselektronikeinheit besitzt eine Trägerplatte 1, die aus einer Siliziumcarbidmatrix besteht, deren Poren mit Aluminium gefüllt sind (AlSiC). Diese Trägerplatte 1, die eine Dicke von 1,5 mm aufweist, ist mittels Schrauben auf einer Außenwand 3 eines Gehäuses aus Aluminium flächig aufliegend befestigt, wobei zwischen der Trägerplatte 1 und der Außenwand 3 des Gehäuses eine dünne Schicht Wärmeleitpaste 8 angeordnet ist.
  • Auf der der Außenwand 3 abgewandten Seite ist auf der Trägerplatte 1 eine Glasschicht 4 (Al2O3) aufgedruckt.
  • Darauf wurde eine LTTC-Folie aufgebracht, auf der das Muster der Leiterbahnen 5 einer Schaltung in Dickschichttechnik aufgedruckt waren.
  • In einem anschließenden Temperaturprozeß wurden die Glasschicht 4 und die Leiterbahnen 5 fest mit der Trägerplatte 1 verbunden.
  • Neben der Leiterbahn 5 wurde auf der Glasschicht 4 ein elektrisches Leistungsbauelement 7 (Leistungshalbleiterelement) aufgebracht und der Anschluß 9 des Leistungsbauelements 7 durch Löten mittels Weichlot 6 elektrisch leitend mit einem Anschlußpad 10 der Leiterbahn 5 verbunden. Bezugszeichenliste 1 Trägerplatte
    2 Schrauben
    3 Außenwand
    4 Glasschicht
    5 Leiterbahn
    6 Weichlot
    7 Leistungsbauelement
    8 Wärmeleitpaste
    9 Anschluß
    10 Anschlußpad

Claims (21)

1. Leistungselektronikeinheit, insbesondere für ein Steuergerät in einem Kraftfahrzeug, mit einem Trägerelement, auf dem Leiterbahnen zur elektrischen Verbindung von ebenfalls auf dem Trägerelement befindlichen elektrischen Leistungsbauelementen und Steuerbauelementen einer Schaltung angeordnet sind, wobei das Trägerelement wärmeleitend mit einem wärmeleitenden Gehäusebauteil eines das Trägerelement aufnehmenden Gehäuses verbunden ist, dadurch gekennzeichnet, daß das Trägerelement aus einem porösen, keramischen Bauteil besteht, dessen Poren mit Metall oder mit Metallen gefüllt sind und das mit einem Dickschicht-Dielektrikum bedeckt ist, auf dem die Leiterbahnen (5) als Dickschichtleiterbahnen und die Leistungsbauelemente (7) aufgebracht und die Leiterbahnen (5) durch Löten mit den elektrischen Leistungsbauelementen (7) elektrisch leitend verbunden sind, wobei das Trägerelement an dem Gehäusebauteil anliegend angeordnet ist.
2. Leistungselektronikeinheit nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß das Trägerelement aus einer Siliziumcarbidmatrix besteht, deren Poren mit Aluminium gefüllt sind.
3. Leistungselektronikeinheit nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß das Trägerelement aus einer gesinterten Kupfermatrix besteht, deren Poren mit Molybdän gefüllt sind.
4. Leistungselektronikeinheit nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß das Trägerelement aus einer gesinterten Kupfermatrix besteht, deren Poren mit Wolfram gefüllt sind.
5. Leistungselektronikeinheit nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß das Trägerelement eine Trägerplatte (1) mit einer Dicke größer 0,5 mm ist.
6. Leistungselektronik nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, daß die Trägerplatte (1) eine Dicke zwischen etwa 0,5 mm und 4,0 mm aufweist.
7. Leistungselektronik nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß das Dickschicht-Dielektrikum eine Glasschicht (4) ist.
8. Leistungselektronik nach Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet, daß die Glasschicht (4) auf das Trägerelement aufgedruckt und durch einen Temperaturprozeß an das Trägerelement angebunden ist.
9. Leistungselektronikeinheit nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß das Dickschicht- Dielektrikum eine Plasmaschicht ist.
10. Leistungselektronikeinheit nach Anspruch 9, dadurch gekennzeichnet, daß die Plasmaschicht eine in einem Plasmasprühprozeß aufgebrachte Al2O3-Schicht ist.
11. Leistungselektronikeinheit nach einem der Ansprüche 7 bis 10, dadurch gekennzeichnet, daß das Dickschicht-Dielektrikum eine Dicke zwischen etwa 5 µm und 40 µm aufweist.
12. Leistungselektronikeinheit nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die Leiterbahnen (5) auf einer LTTC-Folie aufgedruckt auf das Dickschicht-Dielektrikum aufgebracht und durch einen Temperaturprozeß an das Dickschicht- Dielektrikum angebunden sind.
13. Leistungselektronikeinheit nach Anspruch 12, dadurch gekennzeichnet, daß die LTTC-Folie eine Dicke von etwa 0,1 mm aufweist.
14. Leistungselektronikeinheit nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß Dickschicht- Dielektrikum und mit den Leiterbahnen versehene LTTC-Folie nach ihrem Aufbringen auf das Trägerelement in einem gemeinsamen Temperaturprozeß temperaturbeaufschlagt sind.
15. Leistungselektronikeinheit nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die Leiterbahnen (5) Anschlußpads (10) zur Verbindung der elektrischen Leistungsbauelemente (7) und/oder der Steuerbauelemente aufweisen.
16. Leistungselektronik nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß das Trägerelement flächig an dem Gehäuseteil anliegend angeordnet ist.
17. Leistungselektronikeinheit nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß das Trägerelement mittels Befestigungselementen an dem Gehäuseteil angeordnet ist.
18. Leistungselektronikeinheit nach Anspruch 17, dadurch gekennzeichnet, daß das Trägerelement mittels Schrauben (2) an dem Gehäuseteil befestigt ist.
19. Leistungselektronikeinheit nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß zwischen Trägerelement und Gehäuseteil eine Schicht Wärmeleitpaste (8) angeordnet ist.
20. Leistungselektronikeinheit nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß das Gehäuseteil eine Außenwand (3) des Gehäuses ist.
21. Leistungselektronikeinheit nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß das Gehäuseteil eine von einem Kühlmittel beaufschlagbare Wand des Gehäuses ist.
DE10142614A 2001-08-31 2001-08-31 Leistungselektronikeinheit Ceased DE10142614A1 (de)

Priority Applications (6)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE10142614A DE10142614A1 (de) 2001-08-31 2001-08-31 Leistungselektronikeinheit
JP2003529525A JP4383866B2 (ja) 2001-08-31 2002-08-29 パワー電子ユニット
DE50204892T DE50204892D1 (de) 2001-08-31 2002-08-29 Leistungselektronikeinheit
PCT/DE2002/003177 WO2003026008A2 (de) 2001-08-31 2002-08-29 Leistungselektronikeinheit
US10/487,769 US6846987B2 (en) 2001-08-31 2002-08-29 Power electronics component
EP02798677A EP1421617B1 (de) 2001-08-31 2002-08-29 Leistungselektronikeinheit

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE10142614A DE10142614A1 (de) 2001-08-31 2001-08-31 Leistungselektronikeinheit

Publications (1)

Publication Number Publication Date
DE10142614A1 true DE10142614A1 (de) 2003-04-03

Family

ID=7697196

Family Applications (2)

Application Number Title Priority Date Filing Date
DE10142614A Ceased DE10142614A1 (de) 2001-08-31 2001-08-31 Leistungselektronikeinheit
DE50204892T Expired - Lifetime DE50204892D1 (de) 2001-08-31 2002-08-29 Leistungselektronikeinheit

Family Applications After (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
DE50204892T Expired - Lifetime DE50204892D1 (de) 2001-08-31 2002-08-29 Leistungselektronikeinheit

Country Status (5)

Country Link
US (1) US6846987B2 (de)
EP (1) EP1421617B1 (de)
JP (1) JP4383866B2 (de)
DE (2) DE10142614A1 (de)
WO (1) WO2003026008A2 (de)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE102011080299A1 (de) * 2011-08-02 2013-02-07 Infineon Technologies Ag Schaltungsträger, Schaltungsträgeranordnung und Verfahren zur Herstellung eines Schaltungsträgers

Families Citing this family (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP4014528B2 (ja) * 2003-03-28 2007-11-28 日本碍子株式会社 ヒートスプレッダモジュールの製造方法及びヒートスプレッダモジュール
JP2005197688A (ja) * 2003-12-29 2005-07-21 Siemens Ag 電子ユニット
JP4378334B2 (ja) * 2005-09-09 2009-12-02 日本碍子株式会社 ヒートスプレッダモジュール及びその製造方法
US8861214B1 (en) * 2006-11-22 2014-10-14 Marvell International Ltd. High resistivity substrate for integrated passive device (IPD) applications
DE102013104949B3 (de) * 2013-05-14 2014-04-24 Semikron Elektronik Gmbh & Co. Kg Leistungselektronische Schalteinrichtung und Anordnung hiermit

Citations (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE3837975A1 (de) * 1988-11-09 1990-05-10 Telefunken Electronic Gmbh Elektronisches steuergeraet
DE8914493U1 (de) * 1989-12-08 1990-05-17 Siemens AG, 1000 Berlin und 8000 München Leistungsbaugruppe
DE8908678U1 (de) * 1989-07-17 1990-11-15 Siemens AG, 1000 Berlin und 8000 München Leistungsbaugruppe
DE4100145A1 (de) * 1990-01-10 1991-07-11 Murata Manufacturing Co Substrat fuer die montage von integrierten schaltkreisen und es umfassendes elektronisches bauteil
DE3643288C2 (de) * 1986-12-18 1993-04-22 Semikron Elektronik Gmbh, 8500 Nuernberg, De
DE4330975A1 (de) * 1993-09-13 1995-03-16 Bosch Gmbh Robert Verfahren zum Aufbringen eines Leistungsbauelements auf einer Leiterplatte
DE19510988A1 (de) * 1994-03-30 1995-10-05 Electrovac Schaltungsträger
DE29714730U1 (de) * 1997-08-20 1997-10-23 Baxmann, Frank, 40667 Meerbusch Kühlkörper, insbesondere für elektronische Bauelemente
DE19625756A1 (de) * 1996-06-27 1998-01-02 Bosch Gmbh Robert Modul für ein elektrisches Gerät
DE19807718A1 (de) * 1998-02-24 1999-09-09 Ut Loewe Automotive Electronic Elektronikbaugruppe

Family Cites Families (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE3247985C2 (de) * 1982-12-24 1992-04-16 W.C. Heraeus Gmbh, 6450 Hanau Keramischer Träger
DE3831148C1 (de) 1988-09-13 1990-03-29 Robert Bosch Gmbh, 7000 Stuttgart, De
US5981085A (en) * 1996-03-21 1999-11-09 The Furukawa Electric Co., Inc. Composite substrate for heat-generating semiconductor device and semiconductor apparatus using the same
JP3007868B2 (ja) 1997-03-11 2000-02-07 マツダ株式会社 金属多孔体および軽合金複合部材並びにこれらの製造方法
US6245442B1 (en) * 1997-05-28 2001-06-12 Kabushiki Kaisha Toyota Chuo Metal matrix composite casting and manufacturing method thereof
DE19740330A1 (de) * 1997-09-13 1999-03-25 Bosch Gmbh Robert Trägerplatte für Mikrohybridschaltungen
JP2001148451A (ja) * 1999-03-24 2001-05-29 Mitsubishi Materials Corp パワーモジュール用基板

Patent Citations (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE3643288C2 (de) * 1986-12-18 1993-04-22 Semikron Elektronik Gmbh, 8500 Nuernberg, De
DE3837975A1 (de) * 1988-11-09 1990-05-10 Telefunken Electronic Gmbh Elektronisches steuergeraet
DE8908678U1 (de) * 1989-07-17 1990-11-15 Siemens AG, 1000 Berlin und 8000 München Leistungsbaugruppe
DE8914493U1 (de) * 1989-12-08 1990-05-17 Siemens AG, 1000 Berlin und 8000 München Leistungsbaugruppe
DE4100145A1 (de) * 1990-01-10 1991-07-11 Murata Manufacturing Co Substrat fuer die montage von integrierten schaltkreisen und es umfassendes elektronisches bauteil
DE4330975A1 (de) * 1993-09-13 1995-03-16 Bosch Gmbh Robert Verfahren zum Aufbringen eines Leistungsbauelements auf einer Leiterplatte
DE19510988A1 (de) * 1994-03-30 1995-10-05 Electrovac Schaltungsträger
DE19625756A1 (de) * 1996-06-27 1998-01-02 Bosch Gmbh Robert Modul für ein elektrisches Gerät
DE29714730U1 (de) * 1997-08-20 1997-10-23 Baxmann, Frank, 40667 Meerbusch Kühlkörper, insbesondere für elektronische Bauelemente
DE19807718A1 (de) * 1998-02-24 1999-09-09 Ut Loewe Automotive Electronic Elektronikbaugruppe

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE102011080299A1 (de) * 2011-08-02 2013-02-07 Infineon Technologies Ag Schaltungsträger, Schaltungsträgeranordnung und Verfahren zur Herstellung eines Schaltungsträgers
DE102011080299B4 (de) * 2011-08-02 2016-02-11 Infineon Technologies Ag Verfahren, mit dem ein Schaltungsträger hergestellt wird, und Verfahren zur Herstellung einer Halbleiteranordnung

Also Published As

Publication number Publication date
US6846987B2 (en) 2005-01-25
US20040206534A1 (en) 2004-10-21
WO2003026008A2 (de) 2003-03-27
JP4383866B2 (ja) 2009-12-16
EP1421617A2 (de) 2004-05-26
WO2003026008A3 (de) 2003-08-21
DE50204892D1 (de) 2005-12-15
JP2005503038A (ja) 2005-01-27
EP1421617B1 (de) 2005-11-09

Similar Documents

Publication Publication Date Title
DE69632003T2 (de) Starre-flexible Leiterplatte mit einer Öffnung für einen isolierten Montierungsbereich
EP1772902B1 (de) Leistungshalbleitermodul mit Isolationszwischenlage und Verfahren zu seiner Herstellung
EP0494153B1 (de) Verbundanordnung mit leiterplatte
WO2017182159A1 (de) Vielschicht-trägersystem, verfahren zur herstellung eines vielschicht-trägersystems und verwendung eines vielschicht-trägersystems
EP1421617B1 (de) Leistungselektronikeinheit
EP0535414A2 (de) Elektronische Schaltungsanordnung
EP0459283B1 (de) Halbleiterbauelement, befestigt an einem keramischen Substrat
DE102011076773A1 (de) Verfahren zur Herstellung einer integrierten Schaltung
EP2033219A1 (de) Leistungsgehäuse für halbleiterchips und deren anordnung zur wärmeabfuhr
EP0555668B1 (de) Leiterkarte für eine Leistungshalbleiter aufweisende Leistungselektronikschaltung
DE102004055534B4 (de) Leistungshalbleitermodul mit einer elektrisch isolierenden und thermisch gut leitenden Schicht
EP1421618B1 (de) Leistungselektronikeinheit
DE19730865C2 (de) Anordnung mit einem Kühlkörper aus einem Aluminiumwerkstoff und zu kühlende Elemente
DE102020212773A1 (de) Leistungsmodul
EP2665092B1 (de) Verfahren zur Herstellung eines Halbleiterelementes auf einem Kupfersubstrat mit dazwischenliegender Isolationsschicht
DE102004041417B4 (de) Elektrische Anordnung und Verfahren zum Herstellen einer elektrischen Anordnung
DE10148751A1 (de) Verfahren zur Herstellung einer Elektronikeinheit sowie Elektronikeinheit
DE102008030346A1 (de) Anordnung und Verfahren zum Reduzieren von Wärmeausdehnungseffekten
DE102004054996B4 (de) Elektronisches Gerät
DE10155347A1 (de) Verfahren zur Herstellung einer Elektronikeinheit sowie Elektronikeinheit
DE9213849U1 (de) Anordnung zur Kühlung in der Elektronik einsetzbarer Bauelemente
DE29510336U1 (de) Leistungshybridschaltung
DE10230712A1 (de) Elektronikeinheit
DE19640650A1 (de) Wärmeerzeugende Baugruppe mit wärmeleitender Verbindungsschicht zwischen Wärmequelle und Wärmesenke
EP3154081A2 (de) Verfahren zum herstellen von elektronischen modulen mit anbindung eines metallischen bauteils zu keramischer oberfläche eines substrats mittels metallpulverbasierter paste

Legal Events

Date Code Title Description
OP8 Request for examination as to paragraph 44 patent law
8127 New person/name/address of the applicant

Owner name: CONTINENTAL AUTOMOTIVE GMBH, 30165 HANNOVER, DE

8131 Rejection