DE10138109A1 - Verfahren und Vorrichtung zum Herstellen von optischen Gläsern - Google Patents

Abstract

Die Erfindung betrifft ein Verfahren und eine Vorrichtung zum Herstellen von optischen Gläsern höchster Qualitätsanforderungen, insbesondere bezüglich der Lichttransmission, der Schlierenfreiheit, der Freiheit von Platinteilchen sowie des Gehaltes an Wasser beziehungsweise an Hydroxyl-Gruppen. DOLLAR A Gemäß der Erfindung wird Cl¶2¶-Gas oder ein Gemisch aus Cl¶2¶-Gas und O¶2¶-Gas in die Schmelze eingeleitet. Dabei wird dafür gesorgt, daß die Temperatur des Materials des Gaseinleitungsrohres und damit auch die Temperatur des eingeleiteten Gases unterhalb eines kritischen Wertes gehalten wird, bei welchem eine Reaktion zwischen Gas und Material erfolgen würde.

Description

Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Herstellung von optischen Gläsern.

Es gibt zahlreiche optische Gläser, an welche besonders hohe Anforderungen gestellt werden. Dabei geht es insbesondere um eine hohe Transmission, um eine hohe Schlierenfreiheit, um die Freiheit von Pt- Partikeln, sowie um einen extrem niedrigen Wassergehalt. Diese Anforderungen werden insbesondere an Gläser für Laser-Zwecke gestellt.

Metallische Platin-Teilchen in Lasergläsern absorbieren die eingestrahlte Laserenergie, dabei kommt es zu einer starken örtlichen Überhitzung, die zur Zerstörung des Glaskörpers führen kann.

Platin in ionischer Form kann bis zu einer gewissen Menge in solchen Gläsern oft toleriert werden. Da aber das Platin in ionischer Form die Transmission des Glases herabsetzt, sollte diese Menge jedoch möglichst gering sein. Eine weitere wichtige Forderung für Lasergläser ist ein möglichst niedriger Gehalt an Hydroxyl-Gruppen, da diese die Lebensdauer der Nd³⁺-Fluorescenz verkürzen. Darüber hinaus erfolgt durch das Wasser beziehungsweise die Hydroxyl-Gruppen im Glas eine starke, unerwünschte Lichtabsorption oberhalb von 2,7 µm und im Bereich um 1,3 µm, wo sich eine starke und breite Oberschwingungsbande der 2,7 µm- OH-Schwingung ausbildet. Für Hochleistungslaser wird beispielsweise gefordert, daß der Transmissionsverlust bei der Laserwellenlänge (1054 nm) sehr gering (< 0.0015 cm^-1) sein muß.

Neben den hohen Anforderungen bei Lasergläsern kommt erschwerend hinzu, daß diese Gläser sehr aggressiv sind, und zwar sowohl gegenüber keramischen Feuerfestmaterialien als auch gegenüber Platin-Metallen und deren Legierungen.

Keramische Feuerfestmaterialien enthalten meistens Verunreinigungen, so daß bei dem starken Feuerfestangriff die hohen Reinheitsanforderungen, die an optische Gläser gestellt werden, nicht erfüllt werden können.

Die Herstellung von hochreinen und schlierenfreien optischen Gläsern erfolgt vorzugsweise in Pt-Tiegeln. In Pt-Tiegeln wird die Bildung von Schlieren durch aufgelöstes Feuerfestmaterial vermieden. Bei den meisten optischen Gläsern ist der Pt-Angriff und damit die Verunreinigung durch Pt in Form von Pt-Teilchen oder Pt-Färbung gering. Sehr aggressive Gläser, wie zum Beispiel die Lasergläser, greifen das Pt jedoch sehr stark an, insbesondere beim Einschmelzen des Gemenges. Die dadurch in die Glasschmelze eingetragene Pt-Menge ist für einige Anwendungen zu hoch. In der Glasschmelze werden je nach Redox-Zustand der Schmelze entweder Pt-Teilchen gebildet oder das Pt färbt als Ion das Glas, so daß die Lichttransmission erniedrigt wird. Für Hochleistungslasergläser kann Platin in metallischer Form nicht und in ionischer Form nur bis zu einer Menge von < 200 ppm toleriert werden.

Aggressive optische Gläser, insbesondere die Lasergläser, werden daher bevorzugt in einer Wanne aus Schlicker-gegossenem Kieselglas eingeschmolzen. Dabei wird in Kauf genommen, daß es in der keramischen Einschmelzwanne zu einem starken Abtrag und damit zu einer starken Schlierenbildung kommt. Bei sehr niedrig schmelzenden Gläsern können durch späteres intensives Rühren die durch die starke Auflösung des Kieselglases entstehenden Schlieren wieder aufgelöst werden. Aufgrund des starken Abtrages ist die Standzeit und damit die Produktionszeit solcher Wannen sehr kurz.

Bei der Herstellung von optischen Gläsern schließt sich der keramischen Einschmelzwanne ein Läuterteil und ein Homogenisierungsteil aus Pt an. Die Glasschmelze greift das Pt deutlich weniger an als das entsprechende Gemenge. Die in der keramischen Einschmelzwanne gebildeten Schlieren werden in der Läuterkammer und dem Rührteil, beide aus Pt, wieder weitgehend aufgelöst. Obwohl der Pt-Angriff der Glasschmelze geringer ist als der Gemengeschmelze, findet insbesondere in der Läuterkammer bei den hohen Läutertemperaturen noch ein deutlicher Pt-Angriff statt. Da im Laserglas keine Pt-Teilchen vorhanden sein dürfen, muß das gelöste Pt im oxidierten Zustand gehalten werden. Durch Einleiten von Sauerstoff in die Glasschmelze kann das Pt in der oxidierten Stufe gehalten werden beziehungsweise metallisches Pt in der Glasschmelze in die oxidierte Stufe überführt werden.

Das Einleiten von Sauerstoff in Glasschmelzen ist bekannt. Beim Schmelzen optischer Gläser reicht es aus, den Sauerstoff durch ein Pt-Rohr einzuleiten, das von oben oder von unten in die Glasschmelze eingeführt wird.

Durch das Einleiten von getrocknetem Sauerstoff in die Glasschmelze wird nicht nur das Pt aufoxidiert, sondern auch der Wassergehalt der Schmelze etwas reduziert.

Der Wassergehalt der Glasschmelze kann nur durch Einleiten von O₂-Gas über einen längeren Zeitraum auf die geforderten Werte reduziert werden. Die Zeit, die hierfür benötigt wird, ist so lange, daß dies nur in einem diskontinuierlichen Schmelzprozeß möglich ist. Abgesehen davon, daß ein diskontinuierliches Verfahren teurer ist als ein kontinuierliches Verfahren, hat das Verfahren den Nachteil, daß sich während der langen Bubblingzeit zu viel Pt in der Glasschmelze löst und somit die geforderte Transmission nicht mehr erreicht werden kann.

Es ist weiterhin bekannt, daß der Wassergehalt einer Glasschmelze auch durch Zugabe von Chloriden verringert werden kann. Das Wasser der Glasschmelze bildet mit dem Chlor des Chlorids HCl, das entweicht. Die Löslichkeit der Chloride in der Glasschmelze ist jedoch beschränkt. Es hat sich gezeigt, daß mit Zugabe von Chloriden die geforderten niedrigen H₂O- beziehungsweise OH-Gehalte nicht erreicht werden konnten.

Durch Einleiten von Cl₂-Gas anstelle von O₂-Gas kann die Zeit zum Austreiben von H₂O aus der Glasschmelze deutlich verkürzt werden.

Während sich beim Entwässern der Glasschmelze mit O₂-Gas in den Gasblasen durch das Eindiffundieren von H₂O aus der Glasschmelze ein H₂O-Partialdruck aufbaut, der dem weiteren Eindiffundieren von H₂O aus der Glasschmelze entgegenwirkt, findet beim Entwässern der Glasschmelze mit Cl₂-Gas in der Cl₂-Gasblase mit dem eindiffundierten H₂O aus der Glasschmelze eine chemische Reaktion statt. Aus Cl₂ und H₂O bildet sich HCl und O₂. Dadurch bleibt, der H₂O-Partialdruck in der Cl₂-Gasblase stets niedrig beziehungsweise das H₂O-Partialdruckgefälle zwischen Glasschmelze und Cl₂-Glasblase hoch.

Der Nachteil dieses Verfahrens ist, daß durch das Einleiten von Cl₂-Gas mit Hilfe eines Platinrohres Platin in die Glasschmelze eingetragen wird und dadurch der zulässige Wert an Platin in der Glasschmelze überschritten wird.

Das Einleiten von Cl₂-Gas mit Hilfe eines keramischen Rohres wie beispielsweise einem Kieselglasrohr hat den Nachteil, daß sich das Kieselglasrohr bereits nach sehr kurzer Zeit in der Glasschmelze aufgelöst hat.

Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, ein Verfahren und eine Vorrichtung zu schaffen, mit welchen optische Gläser erzeugt werden können, die eine hohe Transmission aufweisen, die frei von Pt-Teilchen und störenden Schlieren sind und die einen niedrigen Gehalt an H₂O- beziehungsweise OH-Gruppen aufweisen.

Diese Aufgabe wird durch die selbständigen Ansprüche gelöst.

Der wesentliche Gedanke besteht darin, in eine Glasschmelze nach dem Einschmelzen ein Cl₂-Gas oder ein Gemisch aus Cl₂-Gas und O₂-Gas durch ein gekühltes Gasleitungsrohr einzuleiten. Dabei ist darauf zu achten, daß eine Reaktion zwischen dem Material des Rohres, mit welchem das Gas eingeleitet wird, und dem Cl₂-Gas selbst nicht eintritt.

Das gekühlte Einleitungsrohr besteht aus einem inneren Rohr zum Einleiten von Gas und einem das innere Rohr umgebenen Kühlmantel. Mit Hilfe des Kühlmantels wird die Temperatur des inneren Rohres unterhalb einer kritischen Temperatur gehalten, oberhalb der das Material des inneren Rohres mit dem Chlorgas reagieren würde.

Das Einleiten von Cl₂-Gas oder Gemischen aus O₂ und Cl₂-Gasen in die Glasschmelze zur Erniedrigung des H₂O-Gehaltes ist in der Glasindustrie nicht Stand der Technik, da es erhebliche technische Schwierigkeiten bereitet.

Grundsätzlich kann zum Einleiten von Cl₂-Gas in die Glasschmelze ein Rohr aus Kieselglas verwendet werden. Die Praxis hat jedoch gezeigt, daß das Kieselglasrohr von der heißen, aggressiven Glasschmelze rasch unter Bildung von Schlieren aufgelöst wird.

Versuche haben ergeben, daß auch Rohre aus Pt ungeeignet sind für das Einleiten von Cl₂-Gas in die heiße Glasschmelze. In der heißen Glasschmelze wird das Pt von dem Cl₂-Gas aber auch von dem Gemisch aus Cl₂-Gas und O₂-Gas, so stark angegriffen, daß es sich bereits nach wenigen Tagen vollständig in der Glasschmelze auslöst. Der in die Glasschmelze eingetragene Pt-Gehalt übersteigt dabei bei weitem die erlaubte Grenze. Wird das Cl₂-Gas von unten durch ein Platinrohr in einen Platintiegel eingeleitet, dann führt die Auflösung des Platins zu einem Leck im Boden des Platintiegels und die Glasschmelze läuft aus. Damit verbunden wäre eine erhebliche Gefährdung des Personals sowie eine langfristige Unterbrechung der Produktion.

Das gleiche geschieht, wenn an Stelle des Platinrohres ein Keramikrohr von unten in die Glasschmelze eingeführt wird.

Es wurde gefunden, daß der Pt-Angriff durch das Cl₂-Gas weitgehend unterbunden werden kann, wenn das Pt-Rohr, das mit dem Cl₂-Gas in Berührung kommt, eine bestimmte kritische Temperatur nicht übersteigt. Die Platinauflösung nimmt oberhalb 250°C stark zu. Die Platintemperatur sollte daher 250°C nicht überschreiten und vorzugweise unter 100°C liegen. Erfindungsgemäß wird das dadurch erreicht, daß das Pt-Rohr, durch daß das Cl₂-Gas geleitet wird, durch einen Kühlmantel unter der kritischen Temperatur gehalten wird.

Das Platinrohr mit Kühlmantel besteht beispielsweise aus einem Pt-Rohr, das von einem Kühlmantel aus Pt umgeben wird. Als Kühlmedium kann Wasser oder ein Wärmeöl verwendet werden.

Nach einer weiteren Ausführungsform der Erfindung bestehen die gekühlten Kontaktflächen aus einem gegen Cl₂-Gas nicht beständigen Konsturktionswerkstoff, der mit einer gegen Cl₂-Gas bei den herrschenden Temperaturen chemisch beständigen Schicht überzogen ist. Die Schicht kann zum Beispiel aus einer dünnen Pt-Schicht bestehen, die auf den Konsturktionswerkstoff aufgetragen wird.

Eine weitere bevorzugte Ausführungsform besteht darin, daß die gekühlten Kontaktflächen aus einem gegen Cl₂-Gas nicht beständigen Konstruktionswerkstoff bestehen, der mit einem hochfluorhaltigen Kunststoff beschichtet ist. Durch die Kühlung ist gewährleistet, daß die Zersetzungstemperatur des Kunststoffes nicht überschritten wird. Der fluorhaltige Kunststoff wird von dem Cl₂-Gas nicht angegriffen.

Durch die Kühlung sollten auch die mit fluorhaltigem Kunststoff überzogenen Konstruktionsmaterialien auf Temperaturen unterhalb von 400°C, vorzugsweise unterhalb 300°C gehalten werden.

In beiden Ausführungsformen können als Konstruktionswerkzeuge eine Vielzahl von Materialien, wie zum Beispiel Stähle oder Kupfer eingesetzt werden. Dadurch kann die eingesetzte Menge an Edelmetall deutlich verringert werden.

Eine Ausführungsform besteht darin, daß das Pt-Rohr mit Kühlmantel von oben in die Glasschmelze eingeführt wird. Der Kühlmantel, der das Platinrohr umgibt, kühlt nicht nur das innere Pt-Rohr, durch daß das Cl₂- Gas in die heiße Schmelze eingeleitet wird, sondern auch den Außenmantel, der mit dem aufsteigenden Cl₂-Gas in Berührung kommen kann. In der heißen Glasschmelze bildet sich auf dem Außenmantel eine dünne Glasschicht, welche die Außenseite vor den aufsteigenden Cl₂- Gasblasen schützt.

Die Einleitung des Cl₂-Gases von oben in die Glasschmelze ist technologisch relativ einfach, sie hat allerdings den Nachteil, daß der Glasschmelze durch das gekühlte Doppelrohr viel Wärme entzogen wird.

Nach einer bevorzugten Ausführungsform dieser Erfindung wird das Cl₂- Gas von unten in die heiße Glasschmelze eingeleitet. Die erfindungsgemäße Vorrichtung bewirkt durch eine geeignete Kühlung, daß alle vom Glas unbedeckten Metallflächen, die in Kontakt mit den Gasen kommen können, sich nicht über eine kritische Temperatur erhitzen, bei der die verwendeten Metalle von den verwendeten Gasen aufgelöst werden. Der Kühlmantel umgibt das Rohr vorzugsweise bis zu der Mündung.

Bei einer Pt-Wanne kann das Gaseinlaßrohr mit Kühlmantel direkt eingeschweißt werden. Da das Glas durch den Kühlmantel einfriert, kann das Gaseinleitrohr auch in ein Loch im Boden eingeführt werden. Üblicherweise ragt die Spitze nur wenige Zentimeter in die Glasschmelze hinein. Bei Bedarf kann sie aber auch weiter in den Bodenbereich hineinragen.

Erfindungsgemäß erfolgt die Cl₂-Gas Einleitung zur Reduktion des Wassergehaltes vorzugsweise in einem gesonderen Gefäß, dem Konditionier-Becken, da das Cl₂-Gas nach Verlassen der Glasschmelze aufgefangen und entsorgt werden muß. Das Aufoxidieren der Glasschmelze mit Hilfe von O₂-Gas kann sowohl zusammen mit dem Cl₂-Gas durch Zugabe des entsprechenden Mischgases, als auch in dem nachgeschalteten Läuterteil erfolgen. Das Läuterteil kann wie das Konditionier-Becken aus Platin bestehen. Ein Becken aus Kieselglas eignet sich schlecht als Läuterbecken, da es zum einen schnell auflösen und zum anderen Schlieren erzeugen würde, die sich im folgenden Verlauf der Schmelze nicht mehr auflösen.

Eine weitere Ausführungsform der Erfindung besteht darin, daß das Einschmelzen des Glases nicht in einem Kieselglasbecken, sondern in einem mit Hochfrequenz beheizten Skulltiegel erfolgt. Das Einschmelzen der hochaggressiven Gläser in einem Skulltiegel hat den Vorteil, daß sich beim Einschmelzen keine Schlieren bilden können und die Lebensdauer des Skulltiegels im Prinzip nicht beschränkt ist.

Eine weitere Ausführungsform der Erfindung besteht darin, daß die Läuterung der Glasschmelze in einem mit Hochfrequenz beheizten Tiegel erfolgt. Platintiegel werden bei den relativ hohen Läutertemperaturen verstärkt angegriffen. Dagegen erfolgt in einem Skulltiegel, der zum Beispiel aus wassergekühlten Platinrohren gebildet wird, kein merklicher Platinangriff.

Als Lasergläser finden Gläser mit folgendem Zusammensetzungsbereich (in Gewichtsprozent) Anwendung:
P₂O₃: 50-65; Al₂O₃: 5-15; K₂O: 10-25; BaO: 10-15; MgO: 5-10; Nd₂O₃: 0-2.

Die Erfindung ist anhand der Zeichnung näher erläutert. Darin ist im einzelnen folgendes dargestellt:

Fig. 1 zeigt in schematischer Darstellung eine erste Ausführungsform einer Schmelzanlage.

Fig. 2 zeigt in schematischer Darstellung eine zweite Ausführungsform einer Schmelzanlage.

In Fig. 1 sieht man ein Einschmelzbecken 1. Dieses besteht aus Kieselglas. Dem Einschmelzbecken 1 ist ein Konditionierbecken 2 nachgeschaltet. Auf dieses folgt ein Läuterbecken 3. Am Ende befindet sich ein Homogenisierbecken 4.

Die Schmelze gelangt aus dem Einschmelzbecken 1 in das Konditionierbecken 2. Durch ein Platinrohr 2.1 wird Cl₂-Gas in das Konditionierbecken 2 eingeleitet. Das Platinrohr 2.1 ist von einem Kühlmantel 2.2 umgeben. Durch den Kühlmantel 2.2 strömt Wasser. Hierdurch wird das Platinrohr 2.2 und damit auch das hier durchströmende Cl₂-Gas auf einem Temperaturwert unterhalb der kritischen Temperatur gehalten, so daß keine Reaktion zwischen dem Cl₂-Gas und dem Platin des Platinrohres 2.1 stattfindet.

Das Konditionierbecken 2 weist eine Abzugshaube 2.3 auf, durch welche Cl₂-Gas abgeführt und einer Entsorgungseinrichtung zugeführt wird.

Das dem Konditionierbecken nachgeschaltete Läuterbecken 3 kann in üblicher Weise betrieben werden, um den Läuterprozeß durchzuführen.

Das Homogenisierungsbecken 4 ist mit einem Rührer 4.1 versehen. Es weist einen Ablauf 4.2 auf. Sämtliche Schmelze-berührten Teile bestehen aus Platin.

Die in Fig. 2 dargestellte Anlage zeigt wiederum ein Einschmelzbecken 1, ein Konditionierbecken 2 sowie ein Läuterbecken 3. Diese sind jeweils als Skulltiegel ausgeführt. Man erkennt jeweils eine schematisch dargestellte Hochfrequenzspule, mittels welcher Hochfrequenzenergie in den Inhalt des betreffenden Beckens eingekoppelt wird.

An das Läuterbecken 3 schließt sich wieder ein Homogenisierungsbecken mit Rührer an - hier nicht dargestellt. Es kann wiederum aus Platin bestehen.

Die Anlage hat den Vorteil, daß weder beim Einschmelzen noch beim Bubbling mit Cl₂-Gas noch beim Läutern Platin in die Glasschmelze gelangen kann. Auch hier ist das Konditionierbecken 2 wieder mit einem Platinrohr 2.1 zum Einleiten von Cl₂-Gas versehen, ferner mit einem Kühlmantel 2.2 zum Einleiten von Kühlwasser, und mit einer Cl₂- Abzugshaube 2.3.

Da die Homogenisierung bei deutlich niedrigerer Temperatur erfolgt, ist der Platinangriff vernachlässigbar. Die wassergekühlten Rohre, die den Skulltiegel bilden, sollten beim Konditionierbecken aus Platinmetall, einer Platinmetallegierung bestehen oder mit einem fluorhaltigen Kunststoff, vorzugsweise mit Teflon, beschichtet sein, da sonst eine Korrosion durch das Chlorgas nicht auszuschließen ist. Vorzugsweise werden bei extrem hohen Reinheitsanforderungen die beiden Skulltiegel für das Einschmelzen und die Läuterung aus dem gleichen Material hergestellt. Bei etwas geringeren Reinheitsanforderungen können die Metallrohre dieser beiden Skulltiegel auch aus Kupfer oder Edelstahl hergestellt werden.

Die wassergekühlte Bubblingdüse ist durch den Skullboden hindurchgeführt. Das Einschmelzbecken ist vorzugsweise durch eine Brücke 1.2 in zwei Bereiche unterteilt.

Als Verbindung zwischen den Skulltiegeln können Skullrinnen eingesetzt werden, wodurch ebenfalls der Eintrag von Verunreinigungen vermieden wird.

Claims (14)

1. Verfahren zur Herstellung von optischen Gläsern mit hohen Qualitätsanforderungen wie hoher Lichttransmission, hoher Schlierenfreiheit, die frei von Platinteilchen sind und einen sehr niedrigen Gehalt an Wasser beziehungsweise Hydroxyl-Gruppen enthalten, dadurch gekennzeichnet, daß die Glasschmelze nach dem Einschmelzen in ein Konditionierbecken überführt wird, in dem die Glasschmelze mit Cl₂-Gas oder einem Gemisch aus Cl₂-Gas und O₂- Gas behandelt wird, das durch ein gekühltes Gaseinleitungsrohr eingeleitet wird.

2. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Temperatur des Gaseinleitungsrohres und damit des hierin geführten Gases unterhalb eines kritischen Wertes gehalten wird, bei welchem das Material des Gaseinleitungsrohres mit dem Gas reagiert.

3. Verfahren nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß die Temperatur des Gaseinleitungsrohres auf einen Wert von unterhalb 400°C, 300°C, 250°C, 100°C gehalten wird.

4. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, daß als Material der mit dem einzuleitenden Gas in Kontakt stehenden Flächen Platin oder eine Legierung aus Platin gewählt wird, und das diese Flächen auf einer Temperatur von unter 250°C, vorzugsweise unter 100°C gehalten werden.

5. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, daß als Material der mit dem einzuleitenden Gas in Kontakt stehenden Flächen eine fluorhaltige Kunststoffbeschichtung gewählt wird, und das diese Flächen auf einer Temperatur von unter 400°C, vorzugsweise unter 300°C gehalten werden.

6. Vorrichtung zum Herstellen von optischen Gläsern mit hohen Qualitätsanforderungen wie hoher Lichttransmission, hoher Schlierenfreiheit, die frei von Platinteilchen sind und einen sehr niedrigen Gehalt an Wasser beziehungsweise Hydroxyl-Gruppen enthalten,

• 1. mit einem Konditionierbecken (2);
• 2. mit einem Gaseinleitungsrohr (2.1) zum Einleiten von Cl₂-Gas oder O₂-Gas oder einem Gemisch aus diesen beiden;
• 3. mit einem Kühlmantel (2.2), der das Gaseinleitungsrohr (2.1) umhüllt und der einen Anschluß für ein Kühlmedium aufweist.

7. Vorrichtung nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, daß das Material der mit dem einzuleitenden Gas in Kontakt stehenden Flächen Platin oder eine Platinlegierung ist.

8. Vorrichtung nach Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet, daß das Platin oder die Platinlegierung durch Beschichtung aufgebracht ist.

9. Vorrichtung nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, daß das Material der mit dem einzuleitenden Gas in Kontakt stehenden Flächen mit einem fluorhaltigen Kunststoff beschichtet ist.

10. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 6 bis 9, dadurch gekennzeichnet, daß das Gaseinleitungsrohr (2.1) von unten her in das Konditionierbecken (2) eingeführt ist.

11. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 6 bis 10, dadurch gekennzeichnet, daß das Einschmelzbecken und/oder das Konditionierbecken (2) und/oder das Läuterbecken aus hochfrequenz-beheizten Skulltiegeln bestehen.

12. Vorrichtung nach Anspruch 11, dadurch gekennzeichnet, daß die Metallrohre des Konditionierbeckens aus Platin bestehen oder mit Platin oder mit Kunststoff beschichtet sind.

13. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 6 bis 12, dadurch gekennzeichnet, daß das Konditionierbecken (2) eine Abzugshaube (2.3) zum Abführen von Cl₂-Gas aufweist.

14. Vorrichtung nach Anspruch 13, dadurch gekennzeichnet, daß die Abzugshaube (2.3) platinbeschichtet ist oder aus Platin besteht.