DE10126364A1 - Aluminium-Reflexionsspiegel und Verfahren zu dessen Herstellung - Google Patents

Aluminium-Reflexionsspiegel und Verfahren zu dessen Herstellung

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Abstract

In einer Vakuumkammer wird SiO auf einem Glassubstrat (1) abgeschieden, um eine erste Schicht (2) als Schutzfilm zu bilden, wird Al auf der ersten Schicht (2) abgeschieden, um eine zweite Schicht (3) als Aluminium-Reflexionsfilm zu bilden, wird MgF¶2¶ auf der zweiten Schicht (3) abgeschieden, um eine dritte Schicht (4) als transperenten Schutzfilm zu bilden, und wird CeO¶2¶ auf der Dritten Schicht (4) abgeschieden, um eine vierte Schicht (5) als transparenter Schutzfilm zu bilden. Dann wird, während in der Kammer O¶2¶-Gas eingeleitet wird, SiO¶2¶ auf der vierten Schicht (5) abgeschieden, um eine fünfte Schicht (6) als transparenter Schutzfilm auszubilden.

Description

Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Herstellung eines Aluminium- Reflexionsspiegels, in dem ein Schutzfilm, ein Aluminium-Reflexionsfilm und ein mehrschichtiger transparenter Schutzfilm auf ein Glassubstrat laminiert werden; sowie einen solchen Aluminium-Reflexionsspiegel.
Herkömmlich sind verschiedene Arten von Aluminium-Reflexionsspiegeln zur Verwendung in optischen Vorrichtungen entwickelt worden.
Beispielsweise offenbart die japanische Patentoffenlegungsschrift Nr. 5-150105 einen Aluminium-Reflexionsspiegel, in dem die Oberfläche eines Glassubstrats aus Glas, Kunststoff oder Keramik geglättet ist, ein aus SiO2 hergestellter Schutzfilm auf der Oberfläche des Substrats gebildet ist, ein aus Al hergestellter Reflexionsfilm auf dem Schutzfilm gebildet ist und ein transparenter Schutzfilm auf dem Reflexionsfilm gebildet ist, wobei der transparente Schutzfilm einen MgF2-Film, einen TiO2- oder CeO2-Film und einen Al2O3-Film umfasst.
Wenn das Al direkt auf ein Glassubstrat abgeschieden wird, kann der Al- Reflexionsfilm durch aus dem Glassubstrat präzipitierte Bestandteile korrodieren. Daher wird im in der obigen Schrift offenbarten Aluminium- Reflexionsfilm z. B. der SiO2-Film zwischen dem Glassubstrat und dem Aluminium-Reflexionsfilm gebildet, um eine Korrosion des Aluminium- Reflexionsfilms zu verhindern.
Ferner ist der transparente Schutzfilm, in dem ein MgF2-Film, ein TiO2- oder CeO2-Film und ein Al2O3-Film auf den Aluminium-Reflexionsfilm laminiert sind, ausgebildet, um den Aluminium-Reflexionsfilm zu schützen und dessen Beständigkeit gegen Umwelteinwirkungen zu verbessern.
Während in dem obigen herkömmlichen Aluminium-Reflexionsspiegel das Al2O3 als der äußerste transparente Schutzfilm abgeschieden wird, kann das Al2O3 nicht durch das Widerstandsheizabscheidungsverfahren abgeschieden werden, sondern durch ein Elektronenbeschussverfahren unter Verwendung einer teuren Elektronenkanone, was die Austattungskosten erhöht.
Da auch die Abscheidung jeder Schicht und dgl. in einer Vakuumatmosphäre durchgeführt werden muss, wenn ein Aluminium- Reflexionsspiegel hergestellt wird, erfordert es eine gewisse Zeit, um innerhalb einer Kammer die Vakuumatmosphäre einzustellen. Daher ist es, um die Herstellungseffizienz zu verbessern, notwendig, dass alle Materialien zur Bildung des Substrats, des Schutzfilms, des Aluminium- Reflexionsfilms und des transparenten Schutzfilms in der Kammer untergebracht werden und dann die Kammer evakuiert wird, um die Abscheidung der einzelnen Schichten und der dgl. kontinuierlich durchführen zu können.
Da unterschiedliche Materialien für den Schutzfilm, den Aluminium- Reflexionsfilm und die einzelnen Schichten des transparenten Schutzfilms verwendet werden, ist jedoch bei dem herkömmlichen Verfahren zur Herstellung eines Aluminium-Reflexionsspiegels ein gesonderter Raum zur Unterbringung aller dieser Materialien erforderlich. Ferner müssen Instrumente für das Widerstandsheizabscheidungsverfahren und eine Elektronenkanone vorgesehen werden, was die Abmessung der Kammer vergrößert.
Aufgabe der Erfindung ist es daher, ein Verfahren zur Herstellung eines Aluminium-Reflexionsspiegels anzugeben, durch das alle Schichten durch das Widerstandsheizabscheidungsverfahren gebildet werden können, während die Abmessung der Produktionsausstattung reduziert werden kann, sowie einen solchen Aluminium-Reflexionsspiegel.
Zur Lösung der Aufgabe wird erfindungsgemäß ein Verfahren zur Herstellung eines Aluminium-Reflexionsspiegels vorgeschlagen, in dem erste bis fünfte Schichten nacheinander auf ein Glassubstrat von der Glassubstratseite her laminiert werden, wobei das Verfahren umfasst:
einen Schritt der Evakuierung einer Kammer, die das Glassubstrat und die jeweiligen Materialien zur Bildung der ersten bis fünften Schichten aufnimmt;
einen Schritt der Bildung der ersten Schicht als Schutzfilm durch Abscheiden von SiO auf dem Glassubstrat;
einen Schritt der Bildung der zweiten Schicht als Aluminium- Reflexionsschicht durch Abscheiden von Al auf der ersten Schicht;
einen Schrift der Bildung der dritten Schicht als transparente Schutzschicht durch Abscheiden von MgF2 auf der zweiten Schicht;
einen Schritt der Bildung der vierten Schicht als transparente Schutzschicht durch Abscheiden von CeO2 auf der dritten Schicht; und
einen Schritt der Bildung der fünften Schicht als transparente Schutzschicht durch Abscheiden von SiO2 auf der vierten Schicht, während O2-Gas in die Kammer eingeführt wird.
Der Schritt des Formens der dritten bzw. vierten Schicht kann umfassen:
einen ersten Schritt der Abscheidung von MgF2 mit einer Abscheidungstemperatur unter 80°C; und
einen zweiten Schritt der Abscheidung von MgF2 mit einer Abscheidungstemperatur über 300°C.
Jede der ersten bis fünften Schichten kann durch das Widerstandsheizverfahren gebildet werden.
Der Schritt der Bildung der dritten Schicht kann derart durchgeführt werden, dass deren untere Schicht durch Abscheidung mit niederer Temperatur ausgebildet wird und dann deren obere Schicht durch Abscheidung mit höherer Temperatur ausgebildet wird.
Die Erfindung schlägt ferner einen Aluminium-Reflexionsspiegel vor, in dem erste bis fünfte Schichten nacheinander auf einem Glassubstrat von der Glassubstratseite ausgehend laminiert sind, wobei die erste Schicht ein durch SiO-Abscheidung gebildeter Schutzfilm ist, die zweite Schicht ein durch Al-Abscheidung gebildeter Aluminium-Reflexionsfilm ist, die dritte Schicht ein durch MgF2-Abscheidung gebildeter transparenter Schutzfilm ist, die vierte Schicht ein durch CeO2-Abscheidung gebildeter transparenter Schutzfilm ist und die fünfte Schicht ein durch SiO2-Abscheidung gebildeter transparenter Schutzfilm ist.
Die dritte Schicht kann eine zweilagige Struktur aufweisen, die aus einer durch Niedertemperaturabscheidung gebildeten unteren Schicht und einer durch Hochtemperaturabscheidung gebildeten oberen Schicht zusammengesetzt ist.
Die Erfindung wird nun in Ausführungsbeispielen anhand der beigefügten Zeichnungen erläutert. Es zeigen:
Fig. 1 schematisch die Schichtstruktur des Aluminium- Reflexionsspiegels nach einer Ausführung;
Fig. 2 ein Flussdiagramm des Prozesses zur Herstellung des Aluminium-Reflexionsspiegels nach der Ausführung;
Fig. 3 eine Graphik von Reflexionscharakteristiken im sichtbaren Lichtbereich des Aluminium-Reflexionsspiegels nach der Ausführung;
Fig. 4 eine Graphik von Reflexionscharakteristiken im sichtbaren Lichtbereich eines Aluminium-Reflexionsspiegels nach einem Vergleichsbeispiel für einen Umwelteinfluss-Beständigkeitstest; und
Fig. 5 schematisch die Schichtstruktur des Aluminium- Reflexionsspiegels des Vergleichsbeispiels für den Umwelteinfluss- Beständigkeitstest.
Fig. 1 zeigt schematisch die Schichtstruktur des Aluminium- Reflexionsspiegels nach der erfindungsgemäßen Ausführung.
Wie in Fig. 1 gezeigt, umfasst der Aluminium-Reflexionsspiegel nach der erfindungsgemäßen Ausführung ein Glassubstrat 1; eine erste Schicht als Schutzfilm 2, der durch Abscheiden von SiO gebildet ist, eine zweite Schicht als Aluminium-Reflexionsfilm 3, der durch Abscheiden von Al gebildet ist, eine dritte Schicht als transparenter Schutzfilm, der durch Abscheiden von MgF2 gebildet ist, eine vierte Schicht als transparenter Schutzfilm 5, der durch Abscheiden von CeO2 gebildet ist, sowie eine fünfte Schicht als transparente Schutzschicht 6, die durch Abscheiden von SiO2 gebildet ist, während O2-Gas in eine Kammer eingeführt wird, wobei diese Schichten nacheinander in dieser Reihenfolge auf das Glassubstrat 1 laminiert sind.
Die einzelnen Schichten haben derartige Dickenwerte, dass dann, wenn die verwendete Lichtwellenlänge, λ = 633 nm ist, die erste Schicht als der Schutzfilm 2 eine optische Filmdicke von (1/4) λ bis (1/2) λ besitzt, die zweite Schicht als der Aluminium-Reflexionsfilm 3 eine mechanische Filmdicke von 100 bis 500 nm aufweist, die dritten und vierten Schichten als transparente Schutzfilme 5, 6 jeweils eine optische Filmdicke von (1/4) λ aufweisen und die fünfte Schicht als der transparente Schutzfilm 6 eine optische Filmdicke von (1/8) λ bis (1/16) λ aufweist.
Nun wird in Bezug auf Fig. 2 ein Verfahren zur Herstellung des oben erläuterten Aluminium-Reflexionsspiegels erläutert.
Fig. 2 ist ein Flussdiagramm, das den Herstellungsprozess des Aluminium- Reflexionsspiegels nach dieser Ausführung zeigt.
Zuerst wird bei der Herstellung des Aluminium-Reflexionsspiegels nach dieser Ausführung das Glassubstrat 1 in einer Kammer aufgenommen, und Materialien für die erste Schicht als Schutzfilm 2, die zweite Schicht als Aluminium-Reflexionsfilm 3 und die dritten bis fünften Schichten als transparente Schutzschichten 4, 5 und 6 auch darin aufgenommen werden.
Anschließend wird, wie in Fig. 2 gezeigt, die Kammer evakuiert (S1), sodass der Druck darin 3 × 10-5 hPa oder weniger wird (S2). In diesem Zustand werden die erste Schicht als Schutzfilm 2, die zweite Schicht als Aluminium-Reflexionsfilm 3 und die dritten bis fünften Schichten als transparente Schutzfilme 4, 5 und 6 nacheinander auf dem Glassubstrat 1 von der Glassubstratseite her unter Verwendung des Widerstandsheizabscheidungsverfahrens ausgebildet.
Zuerst wird SiO mit einer optischen Filmdicke von (1/4) λ bis (1/2) λ abgeschieden, um die erste Schicht als Schutzfilm 2 auszubilden (S3). Anschließend wird Al mit einer mechanischen Dicke von 100 bis 500 nm auf der ersten Schicht als Schutzfilm 2 abgeschieden, um die zweite Schicht als Aluminium-Reflexionsfilm 3 auszubilden (S4).
Dann wird MgF2 abgeschieden, sodass es die dritte Schicht als transparente Schutzfilm 4 wird. Hier wird MgF2 zu Anfang auf der zweiten Schicht als Aluminium-Reflexionsfilm 2 bei einer Abscheidungstemperatur unter 80°C abgeschieden (S5) und dann mit einer Abscheidungsstemperatur höher als 300°C (S6), sodass die optische Filmdicke (1/4) λ wird. Diese Schritte (S5, S6) führen zu im Wesentlichen der gleichen Filmdicke.
Somit wird der transparente Schutzfilm der dritten Schicht der Reihe nach durch eine zweistufige Abscheidung ausgebildet, und zwar für die Abscheidung mit niederer Temperatur in Schritt 5 (S5), um zu verhindern, dass die Reflektivität der zweiten Schicht als Aluminium-Reflexionsfilm 3 sinkt, und für die Abscheidung höherer Temperatur in Schritt 6 (S6), um den Film zu verfestigen. Ferner wird CeO2 mit einer optischen Filmdicke von (1/4) λ abgeschieden, um die vierte Schicht als transparenten Schutzfilm 5 zu bilden (S7).
Nachdem die vierte Schicht als transparenter Schutzfilm 5 vollständig ausgebildet ist, wird der Druck in der Kammer auf 3 × 10-4 hPa gesetzt, wird O2-Gas eingeführt und wird SiO2 mit einer optischen Filmdicke von (1/8) λ bis (1/16) λ abgeschieden, um die fünfte Schicht als den transparenten Schutzfilm 6 auszubilden (S8).
Nun wird die Umwelteinflussbeständigkeit des Aluminium- Reflexionsspiegels dieser Ausführung erläutert.
Es wurde ein Umwelteinflussbeständigkeitstest für den Aluminium- Reflexionsspiegel nach dieser Ausführung und einen herkömmlichen Aluminium-Reflexionsspiegel durchgeführt.
Fig. 5 ist eine vertikale Schnittansicht des Aluminium-Reflexionsspiegels des Vergleichsbeispiels für den Umwelteinflussbeständigkeitstest.
Wie in Fig. 5 gezeigt, umfasst der Aluminium-Reflexionsspiegel des Vergleichsbeispiels ein Glassubstrat 11; eine erste Schicht als Aluminium- Reflexionsfilm 12, der durch Abscheiden von Al gebildet ist; eine zweite Schicht als transparenter Schutzfilm 13, der durch Abscheiden von MgF2 gebildet ist, sowie eine dritte Schicht als transparenter Schutzfilm 14, der durch Abscheiden von CeO2 gebildet ist, die in dieser Reihenfolge nacheinander auf das Glassubstrat 11 laminiert werden.
Die einzelnen Schichten haben derartige Dickenwerte, dass dann, wenn die verwendete Wellenlänge λ = 633 nm ist, die erste Schicht als Aluminium- Reflexionsfilm 12 eine mechanische Filmdicke von 100 bis 500 nm aufweist und die zweiten und dritten Schichten als transparente Schutzfilme 13, 14 jeweils eine optische Filmdicke von (1/4) λ aufweisen.
Hier ist, wie oben erwähnt, die Filmdicke des Aluminium-Reflexionsspiegels dieser Ausführung, der in dem Umwelteinflussbeständigkeitstest verwendet wurde, derart, dass die erste Schicht als Schutzfilm 2 eine optische Filmdicke von (1/4) λ bis (1/2) λ aufweist, die zweite Schicht als Aluminium-Reflexionsfilm 3 eine mechanische Filmdicke von 100 bis 500 nm aufweist, die dritten und vierten Schichten als transparente Schutzfilme 5, 6 jeweils eine optische Filmdicke von (1/4) λ aufweisen und die fünfte Schicht als transparenter Schutzfilm 6 ein optische Filmdicke von (1/8) λ bis (1/16) λ aufweist.
Testpunkte in dem Umwelteinflussbeständigkeitstest sind "Adhäsion" (MIL- C-675C), ein Test auf Abschälbeständigkeit, "Mäßige Abrasion" (MIL-C- 675C), ein Test auf Abnutzungsbeständigkeit, "Feuchtigkeit" (MIL-C- 675C), ein Test auf Feuchtebeständigkeit, und "Salzsprühnebel" (MIL-C- 675C), ein Test auf Salzbeständigkeit.
Die Inhalte der einzelnen Testpunkte sind wie folgt:
In dem Test auf Abschalbeständigkeit wurde ein Cellophanband definierter Breite fest auf der Oberfläche des Reflexionsspiegels angebracht und dann schnell abgezogen, wodurch die Abschalbeständigkeit untersucht wurde.
In dem Test auf Abnutzungsbeständigkeit wurde die Oberfläche des Reflexionsspiegels 50 Hübe mit einer definierten Größe von Gaze mit einer einwirkenden Last von 1 Pfund abgerieben, wobei die Abnutzungsbeständigkeit untersucht wurde.
In dem Test auf Feuchtebeständigkeit wurde der Reflexionsspiegel für 24 Stunden in einer Umgebung von 50°C und 95% relativer Feuchte belassen, wobei die Feuchtebeständigkeit untersucht wurde.
In dem Test auf Salzbeständigkeit wurde der Reflexionsspiegel für 24 Stunden in einer Umgebung belassen, in der 5%iges NaCl in eine Atmosphäre von 35°C versprüht wurde, wobei die Salzbeständigkeit untersucht wurde.
Die Ergebnisse der Tests sind in der folgenden Tabelle 1 gezeigt. Wie aus der oben erwähnten Tabelle 1 ersichtlich, zeigten sowohl der Aluminium-Reflexionsspiegel nach dieser Ausführung als auch jener des Vergleichsbeispiels günstige Ergebnisse in den Tests auf Abschälbeständigkeit, Abnutzungsbeständigkeit und Salzbeständigkeit.
Im Test auf Feuchtebeständigkeit entfärbte sich und alterte jedoch die Spiegelfläche in dem Aluminium-Reflexionsspiegel des Vergleichsbeispiels. Im Gegensatz hierzu zeigte der Aluminium-Reflexionsspiegel dieser Ausführung weder eine Entfärbung noch Alterung auch nach Ablauf von 96 Stunden oder mehr.
Wie oben erwähnt, wird in dem Aluminium-Reflexionsspiegel dieser Ausführung der Schutzfilm 2 aus SiO ausgebildet, um Präzipitate aus dem Glassubstrat 1 zu blockieren und den Aluminium-Reflexionsfilm 3 zu schützen. Dieser SiO-Film ist dichter als der SiO2-Film, wodurch er noch sicherer Präzipitate aus dem Glassubstrat 1 blockieren und eine Korrosion des Metallreflexionsfilms verhindern kann.
Auch ist die dritte Schicht als transparenter Schutzfilm 4 aus dem MgF2- Film gebildet, während die vierte Schicht als transparenter Schutzfilm 5 aus dem CeO2-Film gebildet ist. Da MgF2 und CeO2 jeweilige Spannungen aufweisen, die in entgegengesetzte Richtungen weisen, kann die Adhäsion zwischen diesen transparenten Schutzfilmen verbessert werden.
Fig. 3 zeigt Reflexioncharakteristiken (P-polarisiertes Licht, S-polarisiertes Licht und ihr Mittelwert) im sichtbaren Lichtbereich des Aluminium- Reflexionsspiegels dieser Ausführung, während Fig. 4 jene des Reflexionsspiegels nach dem Vergleichsbeispiel zeigt. In den Fig. 3 und 4 bezeichnet jeweils die Abszisse die Wellenlänge (nm) vom einfallenden Licht, während die Ordinate die Lichtreflektivität (%) zeigt.
Während der Aluminium-Reflexionsspiegel in dieser Ausführung in der äußersten fünften Schicht den transparenten Schutzfilm 6 aus SiO2 aufweist, im Vergleich zu dem Aluminium-Reflexionsspiegel nach dem Vergleichsbeispiel, sind die Reflexionscharakteristiken des ersteren günstiger als die des letzteren, wie aus den Fig. 3 und 4 ersichtlich.
In dem erfindungsgemäßen Aluminium-Reflexionsspiegel kann die Filmdicke jeder Schicht geeignet geändert werden, ohne auf die oben erwähnten Dicken beschränkt zu sein.
In dem Herstellungsverfahren für einen Aluminium-Reflexionsspiegel und bei dem Aluminium-Reflexionsspiegel der Erfindung ist, wie vorstehend erläutert, ein SiO-Film als erste Schicht gebildet, die als Schutzfilm wirkt, wobei ein Aluminium-Reflexionsfilm als die zweite Schicht ausgebildet ist, ein MgF2-Film als die dritte Schicht gebildet ist, die als transparenter Schutzfilm wirkt, ein CeO2-Film als die vierte Schicht gebildet ist, die als ein transparenter Schutzfilm wirkt, und ein SiO2-Film als die fünfte Schicht gebildet ist, die als transparenter Schutzfilm wirkt. Demzufolge kann die Abscheidung aller Schichten durch das Wärmeheizabscheidungsverfahren erfolgen, ohne teure Elektronenkanonen zu verwenden, wodurch die Ausstattungskosten reduziert werden können.
Da ferner die erste Schicht als Schutzfilm und die fünfte Schicht als transparenter Schutzfilm aus SiO bzw. SiO2 gebildet sind, die Si als Material aufweisen, können die Arten der in der Kammer untergebrachten Materialien reduziert werden, wodurch die Kammer kleiner ausgeführt werden kann.
Da die Kammer im Anfangsschritt evakuiert wird, während im letzten Schritt O2 in die Kammer eingeführt wird, können die einzelnen Filmbildungsschritte effizient und kontinuierlich durchgeführt werden, wodurch die Arbeitseffizienz verbessert werden kann.
TABELLE 1
In einer Vakuumkammer wird SiO auf einem Glassubstrat 1 abgeschieden, um eine erste Schicht 2 als Schutzfilm zu bilden, wird Al auf der ersten Schicht 2 abgeschieden, um eine zweite Schicht 3 als Aluminium- Reflexionsfilm zu bilden, wird MgF2 auf der zweiten Schicht 3 abgeschieden, um eine dritte Schicht 4 als transparenten Schutzfilm zu bilden, und wird CeO2 auf der dritten Schicht 4 abgeschieden, um eine vierte Schicht 5 als transparenter Schutzfilm zu bilden. Dann wird, während in die Kammer O2-Gas eingeleitet wird, SiO2 auf der vierten Schicht 5 abgeschieden, um eine fünfte Schicht 6 als transparenter Schutzfilm auszubilden.

Claims (6)

1. Verfahren zur Herstellung eine Aluminium-Reflexionsspiegels, in dem erste bis fünfte Schichten (2-6) nacheinander auf ein Glassubstrat (1) von der Glassubstratseite her laminiert werden, wobei das Verfahren umfasst:
einen Schritt (S1) der Evakuierung einer Kammer, die das Glassubstrat (1) und die jeweiligen Materialien zur Bildung der ersten bis fünften Schichten (2-6) aufnimmt;
einen Schritt (S3) der Bildung der ersten Schicht (2) als Schutzfilm durch Abscheiden von SiO auf dem Glassubstrat (1);
einen Schritt (S4) der Bildung der zweiten Schicht (3) als Aluminium- Reflexionsschicht durch Abscheiden von Al auf der ersten Schicht (2);
einen Schritt (S5, S6) der Bildung der dritten Schicht (4) als transparente Schutzschicht durch Abscheiden von MgF2 auf der zweiten Schicht (3);
einen Schritt (S7) der Bildung der vierten Schicht (5) als transparente Schutzschicht durch Abscheiden von CeO2 auf der dritten Schicht (4); und
einen Schritt (S8) der Bildung der fünften Schicht (6) als transparente Schutzschicht durch Abscheiden von SiO2 auf der vierten Schicht (5), während O2-Gas in die Kammer eingeführt wird.
2. Verfahren zur Herstellung eines Aluminium-Reflexionsspiegels nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass der Schritt (S5, S6) der Bildung der dritten Schicht (4) umfasst:
einen ersten Schritt (S5) der Abscheidung von MgF2 mit einer Abscheidungstemperatur unter 80°C; und
einen zweiten Schritt (S6) der Abscheidung von MgF2 mit einer Abscheidungstemperatur über 300°C.
3. Verfahren zur Herstellung eines Aluminium-Reflexionsspiegels nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die ersten bis fünften Schichten (2-6) durch ein Widerstandsheizverfahren ausgebildet werden.
4. Verfahren zur Herstellung eines Aluminium-Reflexionsspiegels nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass der Schritt (S5, S6) der Bildung der dritten Schicht (4) derart ausgeführt wird, dass deren untere Schicht durch Abscheidung mit niederer Temperatur ausgebildet wird und dann deren obere Schicht durch Abscheidung mit höherer Temperatur ausgebildet wird.
5. Aluminium-Reflexionsspiegel, in dem erste bis fünfte Schichten (2-6) nacheinander auf einem Glassubstrat (1) von der Glassubstratseite ausgehend laminiert sind, wobei die erste Schicht (2) ein durch SiO-Abscheidung gebildeter Schutzfilm ist, die zweite Schicht (3) ein durch Al-Abscheidung gebildeter Aluminium- Reflexionsfilm ist, die dritte Schicht (4) ein durch MgF2-Abscheidung gebildeter transparenter Schutzfilm ist, die vierte Schicht (5) ein durch CeO2-Abscheidung gebildeter transparenter Schutzfilm ist und die fünfte Schicht (6) ein durch SiO2-Abscheidung gebildeter transparenter Schutzfilm ist.
6. Aluminium-Reflexionsspiegel nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, dass die dritte Schicht (4) eine zweilagige Struktur aufweist, zusammengesetzt aus einer durch Niedertemperaturabscheidung gebildeten unteren Schicht und einer durch Hochtemperaturabscheidung gebildeten oberen Schicht.
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