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Die
Erfindung betrifft ein Verfahren zum Bestimmen von Defekten auf
oder in einem Gegenstand, bei dem der Gegenstand mit Licht beleuchtet und
danach wenigstens ein Teil des Lichts aufgenommen wird, wobei der
Gegenstand beugende Strukturen aufweist, und das daran gebeugte
Licht mit wenigstens einer Beugungsordnung größer Null aufgenommen wird.
Die Erfindung betrifft weiterhin eine Vorrichtung zum Bestimmen
von Defekten auf oder in einem Gegenstand, mit einer Lichtquelle
und einem Lichtempfänger,
wobei der Gegenstand beugende Strukturen aufweist und der Lichtempfänger so
angeordnet ist, daß er
gebeugtes Licht mit wenigstens einer Beugungsordnung größer Null
empfängt.
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Es
sind Verfahren und Vorrichtungen bekannt, um reflektierende oder
transparente Gegenstände
auf Defekte wie Kratzer, sonstige Fehler, Verunreinigungen wie Staub,
Ablagerungen, usw. zu inspizieren. Hierbei wird grundsätzlich zwischen
der sogenannten Hellfeld- und der Dunkelfeldmessung unterschieden.
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1 zeigt
ein Beispiel für
eine Anordnung, mit der eine Hellfeldmessung in Reflektion durchgeführt wird.
Eine Lichtquelle 1 beleuchtet über eine kollimierende Optik 2 einen
Gegenstand 3, der einer Qualitätskontrolle unterzogen werden
soll. Ein derartiger Gegenstand 3 ist beispielsweise eine
Compact Disc, die während
des und nach dem Fertigungsprozeß auf Defekte, Kratzer, Staub, Ölflecke
und/oder sonstige Fehler inspiziert werden soll. Ein gegenüber einem
einfallenden Lichtstrahl 4 spiegelreflektierter Lichtstrahl 5 fällt auf
einen Lichtempfänger 6,
beispielsweise eine CCD-Zeile einer Zeilenkamera 7, die
ein Empfangsobjektiv 8 aufweist, mit der die Oberfläche des
Gegenstands 3 auf den Empfänger 6 scharf abgebildet
wird. Wenn der Gegenstand 3 eine plane spiegelnde Fläche ohne
Störungen
ist, so wird der Lichtempfänger 6 hell
und im wesentlichen homogen ausgeleuchtet. Befinden sich in dem
abge bildeten Bereich der Oberfläche
des zu inspizierenden Gegenstands 3 Störungen 9, z.B. Staubpartikel,
Kratzer, Verunreinigungen oder sonstige Defekte, so führt dies
zu lokalen Lichtverlusten im spiegelnden, reflektierten Lichtstrahl 5 und
der Lichtempfänger 6 sieht dies
als lokale Reduzierung der Lichtintensität. Bei der Hellfeldmessung
werden also Defekte als dunkle Strukturen vor einem hellen Hintergrund
erkannt.
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Der
Nachteil einer derartigen Hellfeldanordnung besteht insbesondere
darin, daß die
räumliche Zuordnung
der Lichtquelle 1 und des Lichtempfängers 6 aufeinander
abgestellt werden müssen,
so daß dadurch
die konstruktiven Freiheiten eingeschränkt sind und nicht optimal
an die vorhandenen räumlichen
und sonstigen Gegebenheiten angepaßt werden können. Darüber hinaus ist bei einer derartigen
Hellfeld-Meßanordnung
eine Betrachtung des Gegenstands 3 senkrecht zu seiner
Oberfläche,
also in einem Betrachtungswinkel von 90° Grad, nicht ohne weiteres möglich, denn
der Einfallswinkel des Lichts auf die Oberfläche muß mit dem Ausfallwinkel des
reflektierten Lichts übereinstimmen,
was zu apparatemäßigen Schwierigkeiten
führt.
Bei der Betrachtung unter 90° Grad
muß das
Licht ebenfalls unter 90° Grad
eingestrahlt werden, so daß das
eingestrahlte und reflektierte Licht daher durch einen optischen
Strahlteiler getrennt werden muß,
was in der Praxis üblicherweise
zu erheblichen Schwierigkeiten führt
und nachteilig ist.
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Die
genannten Schwierigkeiten und Nachteile treten ebenfalls bei einer
Hellfeldmessung in Transmission auf, bei der das von einer Lichtquelle abgestrahlte
Licht einen transparenten Gegenstand durchstrahlt und direkt auf
das Empfangsobjektiv beispielsweise einer Kamera auftrifft. Die
zu inspizierende Ebene des Gegenstandes wird auch in diesem Falle
vom Empfangsobjektiv auf den Empfänger abgebildet.
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In 2 ist
die Anordnung für
eine herkömmliche
Dunkelfeldmessung in Reflektion schematisch dargestellt. Wie im
Falle einer Hellfeldmessung wird ein zu inspizierender Gegenstand 3 mit
einer von einer Lichtquelle 1 über eine kollimierende Optik 2 bereit
gestelltes Lichtbündel
beleuchtet. Im Falle der Dunkelfeldmessung trifft der gegenüber dem
einfallenden Lichtstrahl 4 spiegelreflektierte Lichtstrahl 5 jedoch
nicht auf den Lichtempfänger
auf, wenn die Oberfläche
keine Störungen 9 aufweist. Sind
Störungen
oder Defekte 9 auf der Oberfläche des zu inspizierenden Gegenstands 3 vorhanden,
so erzeugen sie Streulicht 10, das teilweise auf das Empfangsobjektiv 8 der
Kamera 7 auftrifft und somit auf dem Lichtempfänger 6 abgebildet
wird. Bei der Dunkelfeldmessung werden also Defekte als helle Strukturen
vor einem dunklen Hintergrund erkannt.
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Der
Nachteil bei Dunkelfeldmessungen besteht darin, daß sie von
den Streu- und Absorbtionseigenschaften
der Defekte stark abhängen.
Beispielsweise werden stark lichtabsorbierende Defekte sehr schlecht
erkannt und weniger deutlich abgebildet als weniger stark absorbierende
Störungen.
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Im
Falle einer Dunkelfeldmessung in Transmission durchstrahlt das von
der Lichtquelle kommende Licht einen transparenten Gegenstand und trifft
auch in diesem Falle nicht direkt auf das Empfangsobjektiv auf.
Lediglich das von den Defekten im zu inspizierenden Gegenstand gestreute
Licht trifft teilweise auf das Empfangsobjektiv der Kamera auf und
wird auf dem Lichtempfänger
abgebildet. Die zuvor in Zusammenhang mit der Dunkelfeldmessung
in Reflektion beschriebenen Nachteile treffen auch für Dunkelfeldmessungen
in Transmission zu.
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Aus
der US-Patentschrift 4 352 564 ist ein Verfahren und eine Vorrichtung
der eingangs genannten Art bekannt. Der Gegenstand, auf bzw. an dem
die Defekte bestimmt werden sollen, wird dabei mit monochromatischem
Licht einer Laserquelle, also mit Licht einer bestimmten Wellenlänge bestrahlt.
Dadurch ist der Winkel, mit dem das gebeugte Licht vom Gegenstand
abgegeben wird, sehr definiert. Der Lichtempfänger muss daher an einer ganz bestimmten
Stelle angeordnet werden, wodurch die Freiheitsgrade bei der Konzeption
der Vorrichtung sehr beschränkt
sind, was insbesondere im Hinblick darauf nachteilig ist, daß der Raum
zum Einbau einer derartigen Meßeinrichtung
in den Fertigungsvorrichtungen für
die Gegenstände,
insbesondere CD's
sehr klein und begrenzt ist. Die Sende- und Empfangsgeometrie ist
daher sowohl hinsichtlich der Meßanordnungen selbst als auch
hinsichtlich der Montage und Justierung bei der bekannten Vorrichtung
aufgrund des definierten Beugungswinkels sehr kritisch.
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Die
US-Patentschrift 4 395 122 zeigt und beschreibt eine Fehler-Meßvorrichtung
zur Bestimmung von Defekten auf CD's. Abgesehen davon, daß bei dieser
Vorrichtung insbesondere auch die Beugung nullter Ordnung zusätzlich zur
Beugung einer Beugungsordnung größer als
Null für
die Defektbestimmung ausgenutzt wird, ist explizit eine kohärente Lichtquelle,
beispielsweise in Form eines Helium-Neon-Laser vorgesehen, so daß auch bei
dieser Vorrichtung aufgrund der definierten Beugungswinkel die Anordnung
aufwendig und raumfordernd ist.
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Aus
der US-Patentschrift 5 574 276 ist eine Vorrichtung und ein Verfahren
zur Bestimmung von Staubpartikeln bekannt, die einen Laserstrahl
mit einer Kohärenz
von größer als
1 km emittiert. Abgesehen davon, dass die Anwendung der Vorrichtung
in einem anderen Zusammenhang als mit der Bestimmung von Defekten
auf Gegenständen
verwendet wird, gilt auch in Zusammenhang mit dieser Vorrichtung
das zuvor Gesagte, daß nämlich die
Meßanordnung
aufgrund des definierten Beugungswinkels in ihrem Aufbau und ihrer
Handhabung kritisch ist.
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Aus
der
DE 197 39 794
A1 , die auf dieselbe Anmelderin wie die vorliegende Anmeldung
zurückgeht,
ist ein Verfahren zur Regelung eines Beschichtungsvorgangs für das Aufbringen
einer Schicht auf einem Substrat bekannt, wobei das Oberflächenrelief der
aufgebrachten Schicht, d.h. die Tiefe und die Breite der Grooves
durch die Intensitäten
der gebeugten Lichtbündel
ermittelt wird. Abgesehen davon, daß diese Vorrichtung nicht zur
Bestimmung von Defekten auf einem Gegenstand verwendet wird, werden
auch Beugungsordnungen gleich Null für die Schichtdickenbestimmung
herangezogen und in Beziehung zu Beugungsstrahlen höherer Ordnung
gesetzt. Bei dieser bekannten Mes sung wird insbesondere auch der
Brechungsindex zur Bestimmung der Schichtdicke herangezogen.
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Der
Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, ein Verfahren und eine Vorrichtung
anzugeben bzw. zu schaffen, mit dem bzw. mit der die Nachteile der herkömmlichen
Hellfeld- und Dunkelfeld- Meßanordnungen
vermieden werden und insbesondere die konstruktiven Möglichkeiten
derartiger Meßvorrichtungen
erweitert und die Identifizierung und Klassifizierung von Defekten
an zu inspizierenden Gegenständen
noch zuverlässiger
und mit einfachen Mitteln durchgeführt werden kann.
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Die
gestellte Aufgabe wird bei dem eingangsgenannten Verfahren erfindungsgemäß dadurch
gelöst,
daß der
Gegenstand mit mehreren Lichtbündeln
unterschiedlicher Wellenlänge
beleuchtet wird.
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Gemäß der vorliegender
Erfindung wird der direkt reflektierte Lichtstrahl also nicht ausgewertet, sondern
ein Lichtstrahl oder mehrere Lichtstrahlen höherer Beugungsordnung. Dadurch
ist es möglich, die
Anordnung und räumliche
Zuordnung der Lichtquelle und des Empfängers freier zu wählen und
die Meßanordnung
an vorhandene Erfordernisse, beispielsweise Raumbeschränkungen,
anzupassen. Sowohl hinsichtlich des Konstruktions- als auch des Fertigungs-
und Wartungsaufwands ergeben sich dadurch erhebliche Vorteile.
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Insbesondere
aufgrund der Verwendung von mehreren Lichtbündeln unterschiedlicher Wellenlänge, beispielsweise
einer Weißlichtquelle
als Lichtquelle für
die Ausleuchtung weist jede Beugungsordnung des an der beugenden
Struktur des Gegenstands gebeugten Lichtbündels nicht nur einen definierten
Beugungswinkel, sondern auch ein Winkelspektrum auf, weil jede Wellenlänge des
gebeugten Lichts unter einem anderen Winkel gebeugt wird. Auf diese
Weise wird erreicht, daß die
Sende- und Empfangsgeometrie wesentlich weniger kritisch ist als
bei herkömmlichen
Meßanordnungen.
Insbesondere kann sowohl die Apertur der beleuchtenden Lichtquelle
als auch die Empfangsapertur des Lichtempfängers bzw. des Empfangsobjektivs
beispielsweise einer Kamera kleiner als der abzubildende Bereich des
Gegenstands gewählt
werden, da es üblicherweise
für die
Messung ausreicht, wenn irgendwelche Wellenlängen des gebeugten Lichts auf
die Empfangsapertur auftreffen.
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Vorteilhaft
ist es, wenn das Lichtbündel
in einem Winkel ungleich 90° Grad
auf den Gegenstand trifft. Gemäß der vorliegenden
Erfindung ist es dennoch mit Vorteil möglich, wenigstens eines der
gebeugten Lichtbündel
aufzunehmen, das im wesentlichen senkrecht zum zu untersuchenden
Gegenstand von ihm abgestrahlt wird. Dadurch ist es möglich, den Gegenstand
senkrecht zur Oberfläche,
also in einem Betrachtungswinkel von 90° Grad, zu inspizieren, ohne
daß im
Gegensatz zu den herkömmlichen
Hellfeldmessungen optische Strahlteiler erforderlich sind, die den
Meßvorgang
erheblich erschweren und in seiner Genauigkeit beeinträchtigen.
Trotz der Möglichkeit,
den Gegenstand senkrecht zur Oberfläche zu betrachten, ist es mit
der vorliegenden Erfindung also möglich, Licht unter einem anderen
Einfallswinkel als 90° Grad
einzustrahlen.
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Bei
herkömmlichen
Hellfeld- Meßanordnungen
muß entweder
die Apertur der beleuchteten Lichtquelle oder die Apertur des Empfangsobjekts größer als
des abzubildenden Bereich des zu inspizierenden Gegenstands sein,
weil das von diesem Bereich reflektierte Licht vollständig vom
Empfangsobjekt erfaßt
werden muß.
Beim erfindungsgemäßen Verfahren
kann die Apertur sowohl der beleuchtenden Lichtquelle als auch des
Empfangsobjekts kleiner als der abzubildende Bereich des Gegenstands gewählt werden,
da es im Normalfall für
eine Messung genügt,
daß irgendwelche
Wellenlängen
des gebeugten Lichts auf die Empfangsapertur auftreffen.
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Ein
weiterer Vorteil der vorliegenden Erfindung besteht darin, daß das erfindungsgemäße Verfahren
unempfindlich oder wesentlich weniger empfindlich als herkömmliche
Verfahren auf die Verkippung der reflektierenden Fläche ist,
da auch bei einer Verkippung noch für die Messung ausreichendes Licht
auf das Empfangsobjekt auftrifft.
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Gemäß einer
besonders vorteilhaften Ausführungsform
der Erfindung wird der zu untersuchende Gegenstand unter unterschiedlichen
Einfallswinkeln gleichzeitig beleuchtet, da es gemäß der vorliegenden
Erfindung möglich
ist, mehrere Beugungsordnungen des vom zu untersuchenden Gegenstand abgestrahlten
Lichts für
die Messung heran zu ziehen. Dies hat den großen Vorteil, daß Defekte
mit charakteristischen Streueigenschaften sowohl hinsichtlich ihrer
Genauigkeit als auch ihrer Abmessungen und der Möglichkeit ihrer Auffindung
noch zuverlässiger
festgestellt werden können.
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Das
erfindungsgemäße Verfahren
entfaltet seine Vorteile sowohl bei einer Ausführungsform, bei der das vom
Gegenstand gebeugte Licht in Reflektion aufgenommen wird, als auch
dann, wenn das durch einen transparenten Gegenstand transmittierte,
gebeugte Licht aufgenommen wird. Das erfindungsgemäße Inspektions-
bzw. Meßverfahren
ist mit all seinen Vorteilen sowohl bei Messungen in Reflektion
als auch in Transmission einsetzbar.
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Gemäß einer
weiteren vorteilhaften Ausführungsform
der Erfindung werden diejenige Bereiche des Gegenstands ermittelt,
die beugende Strukturen aufweisen. Im Falle, daß der Gegenstand eine Compact
Disc (CD) ist, bestehen die beugenden Strukturen aus sogenannten
Grooves. Mit dem erfindungsgemäßen Verfahren
ist es daher auf einfache Weise möglich, zwischen Bereichen des
Gegenstands mit beugenden Strukturen, beispielsweise Grooves, und Bereichen
ohne beugende Strukturen zu unterscheiden. Insbesondere bei CDs
wird der Beginn und das Ende des beugenden Bereichs, also des Bereichs
mit den Grooves, auf einfache Weise erkannt und überprüft. Darüber hinaus ist es möglich, z.B.
durch eine simultane Erfassung des Innenlochs der CD und des Anfangs
der Grooves auf der CD deren Exzentrizität auf einfache Weise zu bestimmen.
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Die
gestellte Aufgabe wird erfindungsgemäß auch mit einer Vorrichtung
der eingangs genannten Art gelöst,
bei der der zu untersuchende Gegenstand beugende Strukturen aufweist,
und der Lichtempfänger
so angeordnet ist, daß er
gebeugtes Licht mit wenigstens einer Beugungsordnung größer Null
empfängt,
wobei die Lichtquelle zur Abstrahlung von Licht unterschiedlicher
Wellenlänge
vorgesehen ist. Im Gegensatz zu herkömmlichen Meßanordnungen ist daher eine
feste Ausrichtung oder Zuordnung der Lichtquelle bezüglich des
Lichtempfängers
mit allen damit verbundenen konstruktiven Nachteilen nicht mehr
erforderlich, da der direkt reflektierte Lichtstrahl, das heißt ein Lichtstrahl
mit einer Beugung nullter Ordnung, nicht mehr empfangen zu werden braucht.
Auf diese Weise und wegen der unterschiedlichen Wellenlängen ergibt
sich ganz allgemein eine größere konstruktive
Freiheit in der Zuordnung von Sender (Lichtquelle) und Empfänger (Kamera).
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Vorzugsweise
ist die Lichtquelle gemäß einer
weiteren Ausführungsform
so angeordnet, daß das
von ihr abgegebene Licht in einem Winkel ungleich 90° Grad auf
den Gegenstand auftrifft. Aufgrund des zuvor beschriebenen Sachverhalts,
daß nämlich die
Gleichsetzung des Einfall- und Ausfallwinkels bei der vorliegender
Erfindung nicht mehr eingehalten werden muß, ist es möglich, den Lichtempfänger im
wesentlichen senkrecht auf den Gegenstand auszurichten, und das
für die
Beleuchtung vorgesehene Lichtbündel
unter einem Winkel ungleich 90° Grad
auf den Gegenstand zu richten, mit dem Vorteil, Strahlungsteiler
und die damit verbundene Nachteile vermeiden zu können.
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Eine
weitere sehr vorteilhafte Ausführungsform
der Erfindung besteht darin, mehrere Lichtquellen zur Beleuchtung
des Gegenstands unter unterschiedlichen Einfallswinkeln vorzusehen.
Wie bereits in Zusammenhang mit dem er findungsgemäßen Verfahren
ausgeführt
wurde, ist damit das Auffinden von Defekten einfacher und zuverlässiger möglich, die charakteristische
Streueigenschaften aufweisen.
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Die
mehreren Lichtquellen können
selbstverständlich
auch in einer Beleuchtungsanordnung zusammengefaßt werden, die mehrere Lichtbündel mit unterschiedlichen
oder einstellbaren Einfallswinkeln abgibt und auf den zu inspizierenden
Gegenstand richtet.
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Entsprechend
dem erfindungsgemäßen Verfahren
sind bei der erfindungsgemäßen Vorrichtung Lichtbündel mit
definierten, vorgegebenen Wellenlängen vorteilhaft.
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Die
erfindungsgemäße Vorrichtung
ist insbesondere für
die Qualitätskontrolle
eines reflektierenden oder transparenten Gegenstands mit Beugungsstruktur
und insbesondere periodischer Beugungsstruktur von besonderem Vorteil,
wie sie insbesondere auch bei einer CD oder sonstigen optischen
Speichermedien vorliegt.
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Die
Erfindung sowie weitere Ausführungsformen
und Vorteile wird bzw. werden nachfolgend unter Bezugnahme auf die
Figuren erläutert.
Es zeigen:
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1 eine
zuvor bereits beschriebene, herkömmliche
Hellfeld- Meßanordnung
für die
Messung in Reflektion als schematische Darstellung,
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2 eine
bereits beschriebene, herkömmliche
Dunkelfeld- Meßanordnung
für die
Messung in Reflektion als schematische Darstellung,
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3 eine
schematische Darstellung zur Erläuterung
der an Beugungsstrukturen auftretenden Beugungsordnungen und
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4 eine
Ausführungsform
einer erfindungsgemäßen optischen
Meßanordnung
in schematischer Darstellung.
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Wie
in 3 schematisch dargestellt ist, wird ein einfallender
Lichtstrahl 31 an einer beugenden Struktur eines Gegenstands 32 gebeugt,
so daß Strahlen 33, 34, 35 und 36 mit
unterschiedlichen Beugungsordnungen, nämlich der nullten Beugungsordnung 33,
das heißt
in direkter Reflektion, sowie der ersten, zweiten und dritten Beugungsordnung 34, 35 und 36 abgestrahlt
werden, die jeweils ausgewertet werden können.
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Bei
der in 4 schematisch dargestellten Ausführungsform
einer erfindungsgemäßen Meßvorrichtung
zur Bestimmung von Defekten eines Gegenstands 41, z.B.
einer CD, ist eine Beleuchtungsvorrichtung 42 mit einer
Lichtquelle 43 und einer kollimierenden Optik 44 vorgesehen,
die ein paralleles Lichtbündel 45 bereit
stellt, das in einem Winkel α auf den
Gegenstand 41 auftrifft. Die Meßvorrichtung weist weiterhin
eine Kamera 46 mit einem Empfangsobjektiv 47 und
einem Lichtempfänger 48 auf.
Die Kamera 46 kann beispielsweise eine Zeilenkamera sein,
mit der die empfangenen Bilder zur Weiterverarbeitung in digitale
Grauwertsignale umgesetzt werden.
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Wie
aus 4 ersichtlich ist, ist die Kamera 46 und
damit der Lichtempfänger 48 bezüglich des
zu inspizierendes Gegenstands 41 so positioniert, daß ein direkt
reflektiertes Lichtbündel 49,
das mit der nullten Beugungsordnung eines Beugungsvorgangs identisch
ist, nicht auf das Empfangsobjektiv 47 und damit nicht
auf den Lichtempfänger 48 auftrifft.
Die Kamera 46 ist vielmehr so angeordnet, daß der Lichtstrahl
erster Beugungsordnung 50 und/oder der Lichtstrahl einer
anderen Beugungsordnung, beispielsweise der zweiten oder dritten
Beugungsordnung 51, 52 des an der Beugungsstruktur
des Gegenstands 41 gebeugten Lichts in die Kamera 46 und auf
den Lichtempfänger 48 auftrifft.
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Wenn
die Oberfläche
des zu inspizierenden Gegenstands keine Defekte aufweist, so wird
der Empfänger
hell und im wesentlichen homogen ausgeleuchtet, wie dies auch bei
einer herkömmlichen, eingangs
beschriebenen Hellfeld-Meßanordnung
der Fall ist. Befinden sich in dem abgebildeten Bereich der Oberfläche des
Gegenstands oder im Inneren des Gegenstands bei transparenter oder
teilweise transparentem Gegenstand Defekte oder Störungen, z.B.
Staubpartikel, Kratzer, Verschmutzungen oder dergleichen, so führt dies
zu einem lokalen Lichtverlust sowohl im direkt reflektierten Lichtstrahl 49 als auch
in den Lichtstrahlen 50, 51 und 52 höherer Beugungsordnung.
Der Lichtempfänger 48 stellt
daher eine den Defekten entsprechende lokale Reduzierung der Lichtintensität fest,
die gemäß den üblichen Bildauswertungssysteme
ausgewertet werden und Rückschlüsse auf
Defekte ermöglichen.
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Wie
aus 4 unmittelbar ersichtlich ist, ist im Gegensatz
zu herkömmlichen
Hellfeld- Meßanordnungen
die starre Zuordnung der Positionierung von Beleuchtungsvorrichtung 42 und
Kamera 46 bzw. Lichtquelle 43 und Lichtempfänger 48 aufgehoben,
da Strahlen höherer
Beugungsordnung als der nullten Beugungsordnung unabhängig von
der Beziehung Einfallswinkel α gleich
Ausfallwinkel erfaßt werden.
Insbesondere ist es möglich,
wie in 4 dargestellt ist, die Kamera 46 bzw.
den Lichtempfänger 48 senkrecht über den
Gegenstand 41 anzuordnen, wobei der Einstrahlwinkel α im Gegensatz
zu herkömmlichen
Hellfeld- Meßanordnungen
nicht ebenfalls 90° Grad
betragen muß.
Auf diese Weise ergeben sich wesentliche konstruktive Freiheitsgrade bei
der Herstellung und Anpassung der Meßvorrichtungen an die gegebenen
Bedingungen und Einsatzfälle.
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Die
Erfindung wurde zuvor anhand eines bevorzugten Ausführungsbeispiels
beschrieben. Dem Fachmann sind jedoch zahlreiche Ausführungsformen,
Abwandlungen und Ausgestaltungen möglich, ohne daß dadurch
der Erfindungsgedanke verlassen wird. Beispielsweise ist es möglich, die
erfindungsgemäßen Prinzipien
auch für
Meßanordnungen
anzuwenden, bei denen der einer Qualitätskontrolle unterliegende Gegenstand 41 transparent
ist, und der Meßvorgang
in Transmission durchgeführt
wird. Wie zuvor bereits ausgeführt
wurde, ist es auch vorteilhaft, die Ausleuchtung des Gegenstands 41 mit
einer Weißlichtquelle
durchzuführen,
so daß jede
Beugungsordnung des an der beugenden Struktur des Gegenstands gebeugten
Lichts einen definierten Beugungswinkel erhält und darüber hinaus auch ein definiertes
Winkelspektrum besitzt, da jede Wellenlänge des gebeugten Lichts oder
einem anderen Winkel gebeugt wird, wie dies in 4 durch
die Beugungsstrahlen 50, 51 und 52 schematisch
dargestellt ist.