DE10053538A1 - Lochmaske - Google Patents
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Abstract
Eine Lochmaske besteht aus einem Blech aus einer Legierung auf Eisenbasis, die 31,0 bis 38,0 Gew.-% Nickel und 1,0 bis 6,5 Gew.-% Kobalt enthält. Die Legierung auf Eisenbasis weist eine Kristallkorngrößenzahl von 10 oder mehr und von 12 oder weniger, eine Kristallkorngröße von 50 mum oder weniger in einem Querschnitt in einer Richtung parallel und senkrecht zur Walzrichtung des Legierungsbleches auf Eisenbasis und eine durchschnittliche Kristallkorngröße von 30 mum oder weniger in einem Querschnitt in einer Richtung parallel zur Walzrichtung des Legierungsbleches auf Eisenbasis auf.
Description
Die vorliegende Erfindung bezieht sich auf eine Lochmaske für die Verwen
dung für Farb-Braun'sche Röhren (Kathodenstrahlröhren) mit hoher Auflösung,
beispielsweise als Farbfernseh-Bildschirm, Computer-Bildschirm oder dgl. und
insbesondere auf eine Lochmaske, die frei von einer Farbfehlanpassung (Farb-
Phasenverschiebung) ist, die durch eine Wärmeausdehnung der Lochmaske
hervorgerufen wird, und die eine ausgezeichnete Genauigkeit in Bezug auf die
Dimension eines Öffnungsabschnitts (Apertur) aufweist.
Üblicherweise wird eine Lochmaske für Farb-Braun'sche Röhren, beispielswei
se einen Farbfernseh-Bildschirm, einen Computer-Bildschirm oder dgl., ver
wendet. Die Lochmaske ist in einem vorgegebenen Abschnitt der Farb-
Braun'schen Röhre angeordnet und umfasst Öffnungs(Apertur)-Abschnitte, die
ein Elektronenstrahl passiert, der auf eine Schicht aus einem fluoreszierenden
Material (eine Leuchtstoff-Schicht), die auf einer inneren Oberfläche der
Braun'schen Röhre erzeugt worden ist, auftrifft.
Die Lochmaske kann verschiedene Strukturen für die Öffnungsabschnitte auf
weisen, sodass
- a) eine Reihe von kleinen und runden durchgehenden Löchern (kreisförmigen Öffnungen) gebildet wird;
- b) eine Reihe von kleinen durchgehenden Löchern (Öffnungen) gebildet wird, die jeweils eine rechteckige Gestalt haben; und
- c) eine Reihe von Schlitzen vorgesehen sind, die aufeinander ausgerichtet sind.
Die Lochmasken mit Öffnungsabschnitten, welche die unter (a) und (b) ange
gebenen Strukturen aufweisen, werden nachstehend der Einfachheit halber als
"Lochmaske vom Press-Typ" bezeichnet und sie werden in der Regel herge
stellt durch Anwendung von Pressformverfahren, sodass sie mit der inneren
Gestalt der Braun'schen Röhre übereinstimmen. Andererseits wird eine Loch
maske, die mit einem Öffnungsabschnitt versehen ist, der eine unter (c) ange
gebe Struktur aufweist, nachstehend der Einfachheit halber als "Lochmaske
vom Expansions-Typ" bezeichnet, die allgemein als Aperturgitter bezeichnet
wird. Die Lochmaske vom Expansions-Typ wird in der Regel hergestellt durch
Fixieren eines Maskenkörpers an einem starren Stahlrahmen, während die
Schlitze in ihrer Längsrichtung sich ausdehnen.
Wie in Fig. 2 dargestellt, werden die durchgehenden Löcher und Schlitze im
allgemeinen erzeugt durch gleichzeitiges Ätzen beider Oberflächen eines Mas
kenblech-Elements und jedes der durchgehenden Löcher besteht aus einem
Kleinloch-Abschnitt (Apertur) 4, der auf einer Seite 2 des Maskenblech-
Elements vorliegt, auf das ein Elektronenstrahl auftrifft, und einem Großloch-
Abschnitt 5, der auf der anderen Seite vorliegt, die einer Seite einer fluoreszie
renden Oberfläche gegenüberliegt, die auf der Innenseite der Braun'schen
Röhre erzeugt worden ist. Der Durchmesser des durchgehenden Loches oder
die Breite des Schlitzes, das (der) von dem Elektronenstrahl passiert wird, wird
bestimmt durch den Kleinloch-Abschnitt 4, den Großloch-Abschnitt 5 und einen
Abschnitt, der zwischen den Kleinloch- und Großloch-Abschnitten liegt.
In der Braun'schen Röhre (Elektronenstrahlröhre), welche die Lochmaske um
fasst, prallt ein Teil der Elektronenstrahlen, die von einer Elektronenkanone
(Elektronenquelle) abgegeben werden, auf eine Oberfläche der Lochmaske,
ohne die durchgehenden Löcher und Schlitze zu passieren. Deshalb wird die
Lochmaske durch das Aufprallen der Elektronenstrahlen erhitzt.
Da eine konventionelle Lochmaske aus einem kohlenstoffarmen Stahlblech mit
einem hohen Wärmeausdehnungskoeffizienten hergestellt ist, unterliegt die
Lochmaske diesbezüglich einer Wärmeausdehnung als Folge der Wärme, die
aufgrund des Aufprallens der Elektronenstrahlen entsteht. Dadurch wird das
Phänomen hervorgerufen, dass ein Versetzen und ein Verformen der durch
gehenden Löcher in nachteiliger Weise auftritt und Verformungen (ein Durch
hängen) an den Schlitzabschnitten entstehen, wodurch eine Störung in Bezug
auf das Schlitzintervall hervorgerufen wird.
Dieses Phänomen führt zu einem Versetzen der Elektronenstrahlen, welche
die Schicht aus dem fluoreszierenden Material (die Leuchtstoffschicht) errei
chen sollen, die im Innern der Braun'schen Röhre erzeugt worden ist, sodass
das Problem auftritt, dass in einem auf der Braun'schen Röhre wiedergegebe
nen Bild eine Farb-Fehlanpassung (Farb-Phasenverschiebung) auftritt.
Insbesondere heutzutage muss ein Farbfernseh-Bildschirm und ein Computer-
Bildschirm oder dgl. ein Bild mit einer hohen Auflösung anzeigen, sodass es
auch erforderlich ist, dass die Lochmaske einen geringeren Abstand zwischen
den durchgehenden Löchern oder Schlitzen aufweisen muss. Diese Forderung
wurde bis heute jedoch nicht erfüllt und es besteht die Gefahr, dass die oben
genannte Farb-Fehlanpassung in dem Bild aufgrund der Wärmeausdehnung
noch ausgeprägter wird.
Um diese Probleme zu lösen, wurde zur Unterdrückung der Wärmeausdeh
nung des Metallmaterials versucht, ein Metallmaterial mit einem kleinen Wär
meausdehnungskoeffizienten zu verwenden. So werden beispielsweise einige
der Lochmasken hergestellt durch Verwendung einer Eisen-Nickel-Legierung
oder einer Eisen-Nickel-Kobalt-Legierung. Diese Lochmasken haben den Vorteil,
dass kaum eine Wärmeausdehnung auftritt, selbst wenn eine Wärmebil
dung erfolgt aufgrund des Aufpralls der Elektronenstrahlen.
Ein Blech aus einer Eisen-Nickel-Legierung und ein Blech aus einer Eisen-
Nickel-Kobalt-Legierung weisen jedoch ein verhältnismäßig großes Kristallkorn
auf, verglichen mit einem konventionellen Blech aus einem kohlenstoffarmen
Stahl, wie es in großem Umfang als Legierungsblech verwendet wird. Es be
steht daher das Problem, dass es schwierig ist, eine Ätzbehandlung des Legie
rungsbleches so durchzuführen, dass ein feines durchgehendes Loch oder ein
feiner Schlitz mit einer ausgezeichneten Dimensions-Genauigkeit erhalten
wird.
Bei dieser Ätzbehandlung schreitet die Ätzfunktion zur Bildung des durchge
henden Loches oder Schlitzes gleichzeitig fort nicht nur in Richtung der Tiefe
(Dicke) des Legierungsbleches, sondern auch in Richtung der Breite
(longitudinal oder lateral) des Blechelements. Insbesondere dann, wenn die
Ätzfunktion leicht fortschreitet, werden ein Kleinloch-Abschnitt und ein Groß
loch-Abschnitt, die jeweils übermäßig groß sind, in nachteiliger Weise gebildet,
sodass die jeweils benachbarten durchgehenden Löcher oder Schlitze in den
Großloch-Abschnitten miteinander vereinigt werden. Es war deshalb sehr
schwierig, den Abstand zwischen benachbarten Durchgangslöchern zu verklei
nern. Es bestand daher die Befürchtung, dass es schwierig sei, eine Lochmas
ke mit dem für die Bildung von feinen benachbarten Durchgangslöchern erfor
derlichen verkleinerten Abstand herzustellen. Da der Lochdurchmesser des
Großloch-Abschnitts übermäßg groß wird, bestand außerdem die Gefahr, dass
die Festigkeit der Lochmaske selbst in nachteiliger Weise abnimmt.
Es bestand außerdem die Gefahr, dass die Festigkeit der Lochmaske selbst
abnimmt, sodass ein übermäßiges Fortschreiten der Ätzfunktion eine Verfor
mung der Gestalt der Lochmaske durch Schläge, Stöße oder Vibrationen ver
ursachen würde, die unvermeidlich auftreten, wenn die Lochmaske während
des Verfahrens zu ihrer Herstellung transportiert wird oder wenn die Lochmaske
an der Braun'schen Röhre befestigt wird und außerdem die Braun'sche
Röhre überführt oder transportiert wird.
Insbesondere im Falle einer Lochmaske für eine Braun'sche Röhre
(Elektronenstrahlröhre) mit einer großen Anzeigefläche oder mit einer ebenen
Anzeigefläche war es erforderlich, einen großen Großloch-Abschnitt zu erzeu
gen, um so den Abstand zwischen den durchgehenden Löchern oder Schlitzen
zu verringern und den Durchgang des Elektronenstrahls nicht zu behindern,
wodurch das Problem auftrat, dass es schwierig war, eine Lochmaske mit einer
ausgezeichneten Dimensions-Genauigkeit herzustellen, und das Problem auf
trat, dass eine Verformung hervorgerufen wurde durch Verringerung der Fe
stigkeit der Lochmaske.
Um die oben genannten Probleme zu lösen, wurde ein Verfahren angewendet,
bei dem eine Lochmaske mit einer ausgezeichneten Dimensions-Genauigkeit
der durchgehenden Löcher oder Schlitze erhalten wird durch Verringerung der
Kristallkorngröße in einem Metallmaterial zur Herstellung einer Wandoberflä
che des Öffnungsabschnitts unmittelbar nach Beendigung der Ätzbehandlung.
Wenn jedoch die Kristallkorngröße in dem Metallmaterial verringert wird, wird
die Ätzgeschwindigkeit in nachteiliger Weise herabgesetzt, wodurch das Pro
blem entsteht, dass eine längere Zeit zur Durchführung der Ätzbehandlung
erforderlich ist als im Falle der Verwendung eines konventionellen Bleches aus
kohlenstoffarmem Stahl.
Außerdem trat die Situation auf, dass die durchgehenden Löcher oder Schlitze
kaum so gebildet werden, dass sie die gewünschte Gestalt haben, wenn nur
die Kristallkorngröße verringert wird. Insbesondere für den Fall einer Lochmas
ke vom Press-Typ, in der durchgehende Löcher erzeugt werden, die jeweils
eine vollständig runde Form haben, trat das Problem auf, dass es schwierig
war, die durchgehenden Löcher so zu formen, dass sie eine vollständig runde
Form haben.
Als eine weitere Gegenmaßnahme ist bereits eine Lochmaske bekannt, die
aus einem Blech aus einer Eisen-Nickel-Legierung besteht, bei der die Zu
sammensetzung oder Oberflächen-Reinheit des Metallmaterials in geeigneter
Weise eingestellt wird oder die Kristallflächen-Orientierung des Metallmaterials
auf eine spezifische Richtung eingestellt wird. Mit keiner der oben genannten
Gegenmaßnahmen war es jedoch möglich, die oben genannten Probleme zu
lösen.
Ziel der vorliegenden Erfindung ist es, die Mängel oder Nachteile, die bei dem
oben genannten Stand der Technik auftreten, im wesentlichen zu eliminieren
und eine Lochmaske für eine Farb-Braun'sche Röhre (Elektronenstrahlröhre)
zur Verfügung zu stellen, bei der es möglich ist, eine übermäßige Vergröße
rung des Durchmessers eines Großloch-Abschnitts zu verhindern durch Ver
besserung der Form der Löcher des Öffnungsabschnitts.
Diese und weitere Ziele können erfindungsgemäß erreicht werden durch Be
reitstellung einer Lochmaske, die besteht aus einem Blech aus einer Legierung
auf Eisenbasis die 31,0 bis 38,0 Gew.-% Nickel und 1,0 bis 6,5 Gew.-% Kobalt
enthält, wobei die Legierung auf Eisenbasis eine Kristallkorngrößenzahl von 10
oder mehr und von 12 oder weniger, eine Kristallkorngröße von 50 µm oder
weniger in einem Querschnitt in einer Richtung parallel und senkrecht zur
Walzrichtung des Bleches aus der Legierung auf Eisenbasis und eine durch
schnittliche Kristallkorngröße von 30 µm oder weniger in einem Querschnitt in
einer Richtung parallel zur Walzrichtung des Bleches aus der Legierung auf
Eisenbasis aufweist.
Die Legierung auf Eisenbasis weist einen Wärmeausdehnungskoeffizienten
von etwa 4,0 × 10-6/°C auf.
Im Detail wird insbesondere eine Lochmaske für eine Braun'sche Röhre
(Kathodenstrahl- bzw. Elektronenstrahlröhre) bereitgestellt, die umfasst:
ein Rahmenelement;
einen Maskenkörper in Form eines Bleches aus einem Legierungsmaterial auf Eisenbasis; und
einen Öffnungsabschnitt, der in dem Maskenkörper erzeugt worden ist,
wobei das Legierungsmaterial auf Eisenbasis 31,0 bis 38,0 Gew.-% Nickel und 1,0 bis 6,5 Gew.-% Kobalt enthält, die Legierung auf Eisenbasis eine Kristall korngrößenzahl von 10 oder mehr und von 12 oder weniger, eine Kristallkorn größe von 50 µm oder weniger in einem Querschnitt in einer Richtung parallel und senkrecht zur Walzrichtung der Legierung auf Eisenbasis und eine durch schnittliche Kristallkorngröße von 30 µm oder weniger in einem Querschnitt in einer Richtung parallel zur Walzrichtung der Legierung auf Eisenbasis auf weist.
ein Rahmenelement;
einen Maskenkörper in Form eines Bleches aus einem Legierungsmaterial auf Eisenbasis; und
einen Öffnungsabschnitt, der in dem Maskenkörper erzeugt worden ist,
wobei das Legierungsmaterial auf Eisenbasis 31,0 bis 38,0 Gew.-% Nickel und 1,0 bis 6,5 Gew.-% Kobalt enthält, die Legierung auf Eisenbasis eine Kristall korngrößenzahl von 10 oder mehr und von 12 oder weniger, eine Kristallkorn größe von 50 µm oder weniger in einem Querschnitt in einer Richtung parallel und senkrecht zur Walzrichtung der Legierung auf Eisenbasis und eine durch schnittliche Kristallkorngröße von 30 µm oder weniger in einem Querschnitt in einer Richtung parallel zur Walzrichtung der Legierung auf Eisenbasis auf weist.
Da das Legierungsblech auf Eisenbasis, das 31,0 bis 38,0 Gew.-% Nickel und
1,0 bis 6,5 Gew.-% Kobalt enthält, eine Kristallkorngrößenzalhl von 10 oder
mehr und von 12 oder weniger aufweist und die Legierung auf Eisenbasis aus
feinen Kristallkörnern besteht durch Spezifizierung der Kristallkorngröße, so
dass sie eine Kristallkorngröße von 50 µm oder weniger in einem Querschnitt
in Richtung parallel und senkrecht zur Walzrichtung des Legierungsblechs auf
Eisenbasis und eine durchschnittliche Kristallkorngröße von 30 µm oder weni
ger in einem Querschnitt in einer Richtung parallel zur Walzrichtung des Legie
rungsbleches auf Eisenbasis aufweist, kann erfindungsgemäß eine Ätzbehand
lung mit hoher Genauigkeit zum Zeitpunkt der Herstellung der Lochmaske
durchgeführt werden.
Infolgedessen kann eine Lochmaske, die frei von einer Ungleichmäßigkeit ist
und eine verbesserte Form des Öffnungsabschnitts für eine Farb-Braun'sche
Röhre aufweist, auf wirksame Weise hergestellt werden. Außerdem ist es
möglich, zu verhindern, dass der Großloch-Abschnitt übermäßig stark geätzt
wird, sodass eine Verkleinerung des Abstandes zur Herstellung von durchgehenden
Löchern entsprechend dem Trend in Richtung auf eine höhere Auflö
sung durchgeführt werden kann und eine Verringerung der Festigkeit der
Lochmaske verhindert werden kann. Eine die erfindungsgemäße Lochmaske
aufweisende Braun'sche Röhre kann dem Trend in Richtung auf eine höhere
Auflösung in ausreichendem Maße Rechnung tragen und die Qualität eines auf
einem Fernseher wiedergegebenen Bildes kann weiter verbessert werden.
Die Natur und weitere charakteristische Merkmale der vorliegenden Erfindung
gehen aus der folgenden Beschreibung unter Bezugnahme auf die beiliegen
den Zeichnungen klarer hervor.
In den beiliegenden Zeichnungen zeigen:
Fig. 1 eine perspektivische Ansicht einer Ausführungsform einer erfindungs
gemäßen Lochmaske, die in einer Farb-Braun'schen Röhre verwendet wird;
Fig. 2 eine schematische Schnittansicht eines Beispiels für die Querschnitts
form eines durchgehenden Loches oder Schlitzes, das (der) erfindungsgemäß
in der Lochmaske erzeugt worden ist; und
Fig. 3 eine erläuternde Darstellung eines Verfahrens zur Messung der Kristall
korngröße, die in einem Querschnitt in Richtung parallel oder senkrecht zur
Walzrichtung der Lochmaske sichtbar ist.
Bevorzugte Ausführungsformen der Lochmaske für eine Farb-Braun'sche Röh
re gemäß der vorliegenden Erfindung werden nachstehend unter Bezugnahme
auf die beiliegenden Zeichnungen näher erläutert. In den nachstehenden Er
läuterungen steht das Einheitssymbol "%", wenn nichts anderes angegeben ist,
für die Einheit der Zusammensetzung in Gewichtsprozet (Gew.-%), die der
Einheit Massen-% entspricht.
Die erfindungsgemäße Lochmaske besteht aus einem Blech aus einer Legie
rung auf Eisenbasis, die 31,0 bis 38,0 Gew.-% Nickel und 1,0 bis 6,5 Gew.-%
Kobalt enthält. Außerdem weist das Blech aus einer Legierung auf Eisenbasis
eine Kristallkorngrößenzahl von 10 oder mehr und von 12 oder weniger auf,
wobei das Blech aus der Legierung auf Eisenbasis eine Kristallkorngröße von
50 µm oder weniger in einem Querschnitt in Richtung parallel und senkrecht
zur Walzrichtung des Legierungsbleches auf Eisenbasis und außerdem eine
durchschnittliche Kristallkorngröße von 30 µm oder weniger in einem Quer
schnitt in einer Richtung parallel zur Walzrichtung des Legierungsbleches auf
Eisenbasis aufweist.
Zuerst wird die Zusammensetzung des Bleches aus der Legierung auf Eisen
basis erläutert. Bei der Blechlegierung auf Eisenbasis, welche die oben ge
nannten Komponenten innerhalb der Legierungs-Zusammensetzung enthält,
handelt es sich um ein Metallmaterial mit einem niedrigen Wärmeausdeh
nungskoeffizienten von etwa 4,0 × 10-6/°C. Wenn ein optimaler Wärmeausdeh
nungskoeffizient berücksichtigt wird, liegen besonders bevorzugte Zusammen
setzungs-Bereiche der Komponenten bei 32,0 bis 34,0 Gew.-% Nickel und 3,5
bis 6,5 Gew.-% Kobalt. Dies führt zu einem Wärmeausdehnungskoeffizienten
von 1,0 × 10-6/°C oder weniger.
Für den Fall, dass der Nickel-Gehalt weniger als 31,0 Gew.-% oder mehr als
38,0 Gew.-% beträgt, besteht die Neigung, dass eine Wärmeausdehnung her
vorgerufen wird durch die Wärme, die als Folge des Aufpralls des Elektronen
strahls entsteht, sodass die Gefahr besteht, dass ein Versetzen und eine Ver
formung an den durchgehenden Löchern oder Schlitzen hervorgerufen wird,
die in der Lochmaske vorgesehen sind.
Außerdem besteht für den Fall, dass der Kobalt-Gehalt weniger als 1,0 Gew.-
% oder mehr als 6,5 Gew.-% beträgt, wie oben angegeben die Neigung, dass
eine Wärmeausdehnung hervorgerufen wird durch die Wärme, die aufgrund
des Aufpralls des Elektronenstrahls entsteht, sodass auch die Gefahr besteht,
dass ein Versetzen und eine Deformation an den durchgehenden Löchern
oder Schlitzen, die in der Lochmaske vorgesehen sind, auftreten kann, wo
durch eine Störung des Schlitzintervalls hervorgerufen wird.
Das Legierungsblech auf Eisenbasis enthält unvermeidbare Verunreinigungen,
die während der Herstellungsverfahren dem Legierungsblech zugemischt wer
den. Außerdem können, sofern die Gehalte der Komponenten innerhalb des
Bereiches liegen, mit dem das Ziel der vorliegenden Erfindung erreicht werden
kann, andere (weitere) Komponenten oder Elemente, wie Silicium, Mangan,
Phosphor, Schwefel, Chrom, Kohlenstoff oder dgl., in geeigneter Weise in dem
Legierungsblech auf Eisenbasis enthalten sein, um zum Zeitpunkt der Herstel
lung des Legierungsbleches spezielle Eigenschaften zu verleihen, beispiels
weise eine desoxydierende Funktion, Schmiedeeigenschaften oder dgl.
Normalerweise können Beispiele für die Legierungs-Zusammensetzung um
fassen eine Zusammensetzung, die 0,30 Gew.-% oder weniger Silicium, 0,60 Gew.-%
oder weniger Mangan, 0,020 Gew.-% oder weniger Phosphor, 0,020 Gew.-%
oder weniger Schwefel und als Rest Eisen und unvermeidbare Verun
reinigungen enthält. Die Zusammensetzung des Legierungsbleches auf Eisen
basis ist darauf jedoch nicht beschränkt.
Nachstehend wird die Kristallkorngröße des Legierungsbleches auf Eisenbasis
erläutert.
Der Erfinder der vorliegenden Erfindung hat seine Aufmerksamkeit darauf ge
richtet, dass die Komponente eines Metallmaterials hauptsächlich entlang der
Kristallkorngrenzen geätzt und entfernt wird und dabei hat der Erfinder das fol
gende gefunden:
- a) wenn ein Metallmaterial, das aus großen Kristallkörnern besteht, geätzt wird, wellt oder rippt sich die Ätzoberfläche in Abhängigkeit von der Kristall korngröße, wodurch die Glätte der geätzten Oberfläche verloren geht oder be einträchtigt wird; und
- b) wenn eine Anisotropie in Bezug auf die Kristallkorngröße des Legie rungsbleches in den Richtungen zwischen der Richtung der Dicke und der Walzrichtung oder der Breiten-Richtung des Legierungsbleches vorliegt, be steht die Möglichkeit, dass das Phänomen auftritt, dass die Ätzfunktion bevor zugt in der Walzrichtung oder in der Breiten-Richtung fortschreitet.
Die vorliegende Erfindung beruht auf den oben genannten Erkenntnissen und
darauf, dass verhindert wird, dass sich die Löcher, insbesondere die Großloch-
Abschnitte übermäßig stark ausdehnen.
Als erste Gegenmaßnahme wurde daher erfindungsgemäß ein Wert für die
Kristallkorngrößenzahl, d. h. die durchschnittliche Kristallkorngröße angegeben,
sodass die gesamte Kristallkorngröße auf einen kleinen Wert gedrückt wurde.
Diese Gegenmaßnahme war jedoch unzureichend für den Fall, dass Kristall
körner jeweils mit einer großen Größe in einer Metallstruktur getrennt vorlie
gen.
Als zweite Gegenmaßnahme wurde daher ein Legierungsblech so hergestellt,
dass die Kristallkörner, die jeweils eine große Größe haben, nicht getrennt
voneinander vorlagen, durch Angabe der Kristallkorngröße, d. h. der maximalen
Korngröße der Kristallkörner, die in einer Querschnittsfläche in Richtung paral
lel oder senkrecht zur Walzrichtung erkennbar sind.
Außerdem wurde als dritte Maßnahme zur Eliminierung der Anisotropie in Be
zug auf die Kristallkorngröße des Legierungsbleches in den Richtungen zwi
schen der Dicken-Richtung und der Walzrichtung oder der Breiten-Richtung
des Legierungsbleches die durchschnittliche Kristallkorngröße der Kristallkör
ner, die in einer Querschnittsfläche in einer Richtung parallel zur Walzrichtung
erkennbar sind, angegeben, sodass auf diese Weise das Ziel der vorliegenden
Erfindung erreicht wird.
Die Kristallkorngrößenzahl wurde gemessen nach dem Korngrößenzahl-
Messverfahren, wie es in JIS (Japanese Industrial Standard) G0551 vorge
schrieben ist, der dem ASTM-Standard E112 entspricht. Die Kristallkörner,
welche das Legierungsblech auf Eisenbasis aufbauen und die oben genannte
Kristallkorngrößenzahl aufweisen, werden vollständig so geformt, dass sie fein
sind, sodass die Wandoberflächen der geätzten Öffnungsabschnitte glatt wer
den und die Öffnungsabschnitte leicht geätzt werden können zur Bildung einer
vorgegebenen Gestalt.
Wenn die Kristallkorngrößenzahl weniger als 10 beträgt, haben die Kristallkör
ner eine verhältnismäßig große Größe und wenn die großen Kristallkörner
durch die Ätzbehandlung entfernt werden, werden die geätzten Oberflächen
wellig oder gerippt in Abhängigkeit von der Größe der entfernten Kristallkörner,
sodass die Gefahr besteht, dass die Glätte der geätzten Oberflächen verloren
geht und es schwierig wird, das Eisenblech genau zu ätzen, um die vorgege
bene Gestalt, d. h. eine vollständig kreisförmige Gestalt, zu erzeugen.
Wenn andererseits die Kristallkorngrößenzahl den Wert 12 überschreitet, sind
die Kristallkörner von geringer Größe, sodass die Ätzgeschwindigkeit in nach
teiliger Weise herabgesetzt wird und der Ätzvorgang eine lange Zeitspanne
beansprucht zur Erzielung der vorgegebenen Gestalt, sodass eine Herabset
zung der Herstellungsausbeute bewirkt wird.
In diesem Zusammenhang beträgt ein bevorzugter Bereich für die Kristallkorn
größenzahl 11 oder mehr und 12 oder weniger. Die Kristallkorngrößenzahl des
Legierungsbleches auf Eisenbasis kann innerhalb des oben genannten vorge
gebenen Bereiches eingestellt und kontrolliert werden durch optimales Kombi
nieren verschiedener Bedingungen, beispielsweise des Reduktions-Verhält
nisses (Auswalz-Verhältnisses) in einem Kaltwalzverfahren, der Glühtemperatur
und der Zeitspanne in einem Glühverfahren oder dgl., die in den Verfahren
zur Herstellung der weiter unten beschriebenen Lochmaske in geeigneter Wei
se eingestellt (kontrolliert) werden.
Die Kristallkorngröße in einem Querschnitt in einer Richtung parallel oder senk
recht zur Walzrichtung des Legierungsbleches auf Eisenbasis wurde nach ei
nem Verfahren gemessen, wie es in den weiter unten folgenden Beispielen
beschrieben ist. Unter der erfindungsgemäß definierten Kristallkorngröße ist
die maximale Kristallkorngröße der Kristallkörner zu verstehen, die entweder
auf einer Querschnittsfläche parallel zur Walzrichtung oder auf einer Quer
schnittsfläche senkrecht zur Walzrichtung erkennbar sind.
Zusätzlich zur Angabe der Kristallkorngrößenzahl wird erfindungsgemäß auch
die maximale Kristallkorngröße angegeben als eine solche innerhalb des oben
genannten Bereiches, sodass die großen Kristallkörner, die in einem getrenn
ten Zustand vorliegen, eliminiert werden können und die Glätte der geätzten
Wandoberflächen der Öffnungsabschnitte weiter verbessert werden kann. Es
wird dadurch leichter, das Legierungsblech so zu ätzen, dass es eine vorgege
bene Gestalt hat.
Wenn die Kristallkorngröße 50 µm übersteigt, liegen die großen Kristallkörner
getrennt voneinander vor, sodass die Form der Wandoberfläche der Öffnungs
abschnitte beeinträchtigt ist, selbst wenn die Kristallkorngrößenzahl so festge
legt wird, dass sie innerhalb des oben genannten Bereiches liegt. Insbesonde
re im Falle einer Lochmaske vom Press-Typ kann außerdem der Fall auftreten,
dass die kreisförmige Gestalt (Rundheit) des durchgehenden Loches beein
trächtigt ist. Eine Einstellung oder Kontrolle der Kristallkorngröße kann nach
dem gleichen Verfahren durchgeführt werden wie es im Falle der Kristallkorn
größenzahl vorstehend beschrieben worden ist.
Die durchschnittliche Kristallkorngröße in einem Querschnitt in einer Richtung
parallel zur Walzrichtung des Legierungsbleches auf Eisenbasis wurde nach
einem Verfahren gemessen, wie es in den weiter unten folgenden Beispielen
beschrieben ist. Die Legierung auf Eisenbasis, die eine durchschnittliche Kri
stallkorngröße innerhalb des oben genannten Bereiches hat, weist keine er
kennbare Anisotropie in Bezug auf die Kristallkorngröße auf, sodass der Ätz
vorgang nicht bevorzugt in einer Walzrichtung fortschreitet, wie in Fig. 2 dar
gestellt. Es kann daher verhindert werden, dass die Gestalt des durchgehen
den Loches oder Schlitzes, insbesondere der Durchmesser des Großloch-
Abschnitts, übermäßig stark ausgedehnt wird. Als Folge davon kann das Le
gierungsblech so geätzt werden, dass eine vorgegebene Gestalt (Form) erhal
ten wird.
Wenn die durchschnittliche Kristallkorngröße 30 µm übersteigt, tritt eine er
kennbare Anisotropie in Bezug auf die Kristallkorngröße in dem Legierungs
blech auf, sodass der Ätzvorgang bevorzugt in der Walzrichtung fortschreitet,
wie in der Fig. 2 dargestellt, wodurch eine Beeinträchtigung (Verschlechterung)
der Loch-Form des Öffnungsabschnittes hervorgerufen werden kann.
Erfindungsgemäß wird das Legierungsblech auf Eisenbasis, das für die Hohl
maske verwendet werden soll, unter Anwendung eines Walzverfahrens in
Form eines dünnen Bleches hergestellt und die resultierenden Kristallkörner
sind im allgemeinen länglich in einer Richtung parallel zur Walzrichtung. Des
halb wird erfindungsgemäß nur die durchschnittliche Kristallkorngröße in einem
Querschnitt parallel zur Walzrichtung angegeben. Die Einstellung oder Kontrol
le der durchschnittlichen Kristallkorngröße kann nach dem gleichen Verfahren
erfolgen wie im Falle der Kristallkorngrößenzahl oder der Kristallkorngröße, wie
weiter oben beschrieben.
Wie oben erläutert, wird für die erfindungsgemäße Lochmaske eine Legierung
auf Eisenbasis verwendet, die einen niedrigen Wärmeausdehnungskoeffizien
ten aufweist, sodass sie zur Bildung einer vorgegebenen Gestalt geätzt werden
kann, sodass die Einheitlichkeit der Dimension des durchgehenden Loches
oder Schlitzes weiter verbessert werden kann.
Da die Lochmaske kaum eine Wärmeausdehnung in einer Braun'schen Röhre
hervorruft, kann außerdem die Qualität des auf der Braun'schen Röhre wieder
gegebenen Bildes verbessert werden und die Lochmaske kann in zufrieden
stellender Weise für eine Hochleistungs-Braun'sche Röhre verwendet werden.
Im Falle der Erzeugung eines kreisförmigen durchgehenden Loches kann ins
besondere die Kreisform des durchgehenden Loches verbessert werden. Im
Falle der Bildung eines Schlitzes in Form eines durchgehenden Loches oder
Schlitzes kann die Dimensions-Genauigkeit des geraden Teils des Öffnungs
abschnitts erhöht werden, sodass der Großloch-Abschnitt, welcher der Ober
flächenseite der Schicht aus dem fluoreszierenden Material (der fluoreszieren
den Oberfläche) gegenüberliegt, die auf die Braun'sche Röhre aufgebracht
worden ist, mit einer hohen Genauigkeit hergestellt werden kann und der Ab
stand in den Öffnungsabschnitten kann verkleinert werden. Als Folge davon
kann eine Lochmaske mit einer ausreichenden Festigkeit hergestellt werden,
die den Anforderungen an eine Hochleistungs-Braun'sche Röhre (mit hoher
Auflösung) genügen kann.
Die erfindungsgemäße Lochmaske wird wie folgt hergestellt.
Zuerst werden die Metallmaterialien so miteinander gemischt, dass sie eine für
eine Legierung auf Eisenbasis vorgegebene Zusammensetzung haben, die
gemischten Materialien werden geschmolzen und erstarren gelassen zur Her
stellung einer Stahlbramme. Dann wird die Stahlbramme unter Anwendung
eines Warmschmiede-Verfahrens und/oder eines Warmwalz-Verfahrens aus
gewalzt, wobei man ein Legierungsblech auf Eisenbasis mit einer vorgegebe
nen Dicke erhält. Danach wird das erhaltene Legierungsblech auf Eisenbasis
einem Kaltwalzen und einer Glühbehandlung oder dgl. unterzogen zur Herstel
lung eines Blechelements mit einer Dicke von etwa 0,02 bis 0,30 mm. Das so
erhaltene Blechelement wird dann einer Ätzbehandlung unterzogen zur Her
stellung eines Blechelements für eine Lochmaske.
Bei der oben genannten Ätzbehandlung handelt es sich um ein Verfahren, das
die Stufen umfasst: Aufbringen eines Fotoresistmaterials in Form einer Schicht
auf das Blechelement und Trocknen des aufgebrachten Resistüberzugs; da
nach Einwirkenlassen von Licht auf das Resistmaterial unter Verwendung einer
Maske mit einem vorgegebenen Öffnungsmuster aus entweder einem durch
gehenden Lochmuster (kreisförmig, schlitzförmig) oder Schlitzmuster unter Bil
dung von maskierten Abschnitten und nicht maskierten Abschnitten und Ätz
behandeln und Schmelzen der nicht maskierten Abschnitte unter Bildung eines
Lochmasken(Blech)-Elements mit einem vorgegebenen Öffnungsmuster.
Das Lochmasken-Element, das mit dem Öffnungsmuster mit kreisförmiger
oder schlitzförmiger Gestalt versehen ist, wird durch Pressbearbeitung verformt
zu einer vorgegebenen Gestalt, um dadurch eine Lochmaske vom Press-Typ
herzustellen.
Andererseits wird das Lochmasken-Element, das mit dem Öffnungsmuster,
das Schlitze aufweist, versehen ist, an einen Stahlrahmen in oberen und unte
ren Positionen desselben in einem solchen Zustand angeschweißt und fixiert,
dass auf den Stahlrahmen eine Druckkraft in einer Richtung umgekehrt zur
Richtung der Ausdehnung des Maskenelements einwirken gelassen wird. Da
nach wird die Druckkraft weggenommen, sodass eine hohe Zugkraft auf das
Lochmasken-Element einwirkt aufgrund der Rückstellkraft des Stahlrahmens.
Zu diesem Zeitpunkt wird das Lochmasken-Element in einer Richtung parallel
zur Ausdehnungs-Richtung des Schlitzes ausgedehnt unter Bildung einer
Lochmaske vom Expansions-Typ.
Anschließend werden diese Lochmasken einer Oberflächenschwärzungs-
Behandlung unterzogen, bei der die Lochmaske in oxidierenden Atmosphären,
beispielsweise in einer Luftatmosphäre, 5 bis 20 min lang auf eine Temperatur
von 500 bis 700°C erhitzt wird. Die oben genannte Oberflächenschwärzungs-
Behandlung wird durchgeführt, um die Bildung von Sekundär-Elektronen, einer
Wärmestrahlung, von Rost oder dgl. zu verhindern, und dadurch kann der Ef
fekt erzielt werden, dass die Korrosionsbeständigkeit der Lochmaske erhöht
wird.
Die vorliegende Erfindung wird nachstehend unter Bezugnahme auf die fol
genden Beispiele und Vergleichsbeispiele konkreter erläutert.
Ein Legierungsblech auf Eisenbasis mit einer Dicke von 0,12 mm wurde her
gestellt aus einem Material A mit der in der Tabelle 1 angegebenen Zusam
mensetzung. Die Kristallkorngrößenzahl dieser Legierung auf Eisenbasis wur
de unter Anwendung eines Kristallkorngrößenzahl-Messverfahrens, wie es in
JIS G0551 (ASTM E112) vorgeschrieben ist, gemessen.
Die Kristallkorngröße in einem Querschnitt in einer Richtung parallel oder senk
recht zur Walzrichtung des Legierungsbleches auf Eisenbasis und die durch
schnittliche Kristallkorngröße in einem Querschnitt in einer Richtung parallel
zur Walzrichtung wurden nach einem Verfahren, wie es weiter unten beschrie
ben wird, gemessen.
Die erhaltenen Ergebnisse sind in der Tabelle 2 angegeben. Die Faktoren der
jeweiligen Kristallkörner des Legierungsbleches auf Eisenbasis wurden diesbe
züglich eingestellt durch optimales Kombinieren verschiedener Bedingungen,
beispielsweise des Reduktions-Verhältnisses in dem Kaltwalzverfahren, der
Glühtemperatur und Glühdauer in dem Glühverfahren, die in den Verfahren zur
Herstellung der Lochmaske angewendet wurden.
Dann wurde ein wasserlösliches Casein-Fotoresistmaterial in Form einer
Schicht auf beide Oberflächen des Legierungsbleches auf Eisenbasis aufge
bracht, der Resistüberzug wurde getrocknet, wobei man Resistfilme erhielt.
Danach wurden die auf beide Oberflächen des Legierungsbleches auf Eisen
basis aufgebrachten Resistfilme belichtet zum Aufbringen eines Musters unter
Verwendung eines Paares von fotografischen trockenen Glasplatten, bei de
nen es sich um eine Maske mit einem vorgegebenen Öffnungsmuster handel
te, um das Legierungsblech auf Eisenbasis mit einem Lochmuster zu verse
hen. Anschließend wurde die gemusterte Legierung auf Eisenbasis einer Här
tungsbehandlung und einer Brennbehandlung unterzogen.
Dann wurde eine Eisen(III)-chlorid-Lösung als Ätzlösung mit einer Temperatur
von 60°C und einem spezifischen Gewicht von 48° Be (Schwer-Baumé-Grad)
auf die auf beide Seiten der Oberflächen des Legierungsbleches auf Eisenba
sis aufgebrachten gemusterten Resistfilme aufgesprüht, um das Legierungs
blech so einer Ätzbehandlung zu unterziehen zur Erzeugung der vorgegebe
nen Öffnungsabschnitte.
Die Ätzlösung wurde zuerst auf eine Oberflächenseite aufgesprüht, auf der ein
Kleinloch-Abschnitt 4 (vgl. Fig. 4) erzeugt worden war, um dadurch den Klein
loch-Abschnitt 4 mit einer vorgegebenen Größe zu erzeugen. Anschließend
wurde ein säurebeständiges Harz, bestehend aus Paraffin, ein durch infrarote
Strahlung härtbares Harz oder dgl. in den geätzten Kleinloch-Abschnitt 4 einge
füllt, um so den Kleinloch-Abschnitt 4 zu bedecken. Dann wurde auf die gleiche
Weise die Ätzlösung auf die andere Oberflächen-Seite aufgesprüht, auf der ein
Großloch-Abschnitt 5 (vgl. Fig. 2) erzeugt worden war, um den Großloch-
Abschnitt 5 mit einer vorgegebenen Größe zu erzeugen. Der auf diese Weise
geätzte Kleinloch-Abschnitt 4 und der geätzte Großloch-Abschnitt 5 ergaben
ein gewünschtes Durchgangsloch.
Nach dem Waschen des geätzten Blech-Elements mit Wasser wurden die
restlichen Resistfilme abgezogen und mittels einer alkalischen Lösung entfernt,
danach gewaschen und getrocknet zur Herstellung eines Lochmaskenblech-
Elements vom Press-Typ, das mit eine Reihe von Durchgangslöchern verse
hen war, von denen jedes eine kreisförmige Gestalt hatte, die so geformt wur
den, dass sie ein vorgegebenes Muster aufwiesen.
Die Ungleichförmigkeit (die Farbfehlanpassung), die Gestalt des Öffnungslo
ches, die Kreisförmigkeit, die Durchmesser der jeweiligen Lochabschnitte, die
Streuung der Dimension der Durchgangslöcher des so erhaltenen Lochmas
ken-Blechelements wurden unter Anwendung von Verfahren bestimmt, wie sie
weiter unten beschrieben sind. Die Ergebnisse sind in der Tabelle 2 angege
ben.
Schließlich wurde das so erhaltene Lochmasken-Blechelement durch Pressen
geformt zur Herstellung einer Lochmaske vom Press-Typ. Die Lochmaske vom
Press-Typ wurde in eine Farb-Braun'sche Röhre eingebaut. Die Ungleichför
migkeit der Lochmaske wurde bewertet durch Bestimmung, ob eine Farb
fehlanpassung auf einem wiedergegebenen Bild auf der Braun'schen Röhre
hervorgerufen wurde oder nicht zu dem Zeitpunkt, wenn die Lochmaske unter
den jeweiligen Betriebsbedingungen verwendet wurde und eine Wärmeaus
dehnung tatsächlich auftrat. Die Ergebnisse sind ebenfalls zusammen mit an
deren Daten in der Tabelle 2 angegeben.
Legierungsbleche auf Eisenbasis mit jeweils einer Dicke von 0,12 mm wurden
aus einem Material A mit der in der Tabelle 1 angegebenen Zusammenset
zung herstellt. Diese Legierungsbleche wurden jedoch so hergestellt, dass die
Kristallkorngrößenzahl, die Kristallkorngröße in einem Querschnitt in einer
Richtung parallel oder senkrecht zur Walzrichtung der Legierungsbleche auf
Eisenbasis und die durchschnittliche Kristallkorngröße in einem Querschnitt in
einer Richtung parallel zur Walzrichtung verschieden von denjenigen des Bei
spiels 1 waren.
Als Verfahren zur Kontrolle der jeweiligen Faktoren der Kristallkörner und als
Verfahren zur Messung der Eigenschaften der jeweiligen Legierungen auf Ei
senbasis und der Masken-Blechelemente wurden die gleichen Verfahren wie in
Beispiel 1 durchgeführt. Die Ergebnisse sind in der Tabelle 2 angegeben.
Außerdem wurden Lochmaske-Blechelemente und Lochmasken vom Press-
Typ nach dem gleichen Verfahren wie in Beispiel 1 hergestellt und die Eigen
schaften der jeweiligen Lochmasken wurden gemessen und bewertet. Die Er
gebnisse sind in der Tabelle 2 angegeben.
Legierungsbleche auf Eisenbasis, die jeweils eine Dicke von 0,12 mm hatten,
wurden aus einem Material A mit einer Zusammensetzung, wie sie in Tabelle 1
angegeben ist, hergestellt. Diese Legierungsbleche wurden jedoch so herge
stellt, dass die Kristallkorngrößenzahl, die Kristallkorngröße in einem Quer
schnitt in einer Richtung parallel oder senkrecht zur Walzrichtung der Legie
rungsbleche auf Eisenbasis und die durchschnittliche Kristallkorngröße in ei
nem Querschnitt in einer Richtung parallel zur Walzrichtung verschieden von
denjenigen des Beispiels 1 waren.
Als Verfahren zur Kontrolle der jeweiligen Faktoren der jeweiligen Legierungen
auf Eisenbasis und als Verfahren zur Messung der Eigenschaften der jeweili
gen Legierungen auf Eisenbasis und der Maskenblechelemente wurden die
gleichen Verfahren wie in Beispiel 1 durchgeführt. Die Ergebnisse sind in der
Tabelle 2 angegeben.
Außerdem wurden Lochmaske-Blechelemente und Lochmasken vom Press-
Typ nach dem gleichen Verfahren wie in Beispiel 1 hergestellt und die Eigenschaften
der jeweiligen Lochmasken wurden gemessen und bewertet. Die Er
gebnisse sind in der Tabelle 2 angegeben.
Die Kristallkorngrößenzahl wurde unter Anwendung eines Kristallkorngrößen
messverfahrens bestimmt, wie es in JIS G0551 (ASTM E112) vorgeschrieben
ist.
Ein geschliffenes Glas, auf das jeweils Kreise mit Durchmessern von 20 µm,
30 µm, 40 µm und 50 µm gezeichnet wurden, wurde auf eine Probe zur Mes
sung der Kristallkorngrößenzahl gelegt und die Probe wurde durch ein Mikro
skop mit einer 200- bis 500-fachen Vergrößerung betrachtet.
Wie in Fig. 3B dargestellt, wurde das größte Kristallkorn 12 als Messobjekt
ausgewählt. Dann wurde zuerst das geschliffene Glas mit einem Kreis mit ei
nem Durchmesser von 50 µm auf einen zentralen Abschnitt des größten Kri
stallkorns 15 gelegt. Unter diesen Bedingungen wurde festgestellt, ob minde
stens zwei Regionen des Kristallkorns aus dem Kreis 15 herausragten oder
nicht. Für den Fall, dass mindestens zwei Regionen, die jeweils aus dem Kreis
15 herausragten, vorlagen, wurde eine gerade Linie gezeichnet, die jeweils
zwei Punkte auf der Kristallkorngrenze jeder der herausragenden Regionen
verband, und die Länge der geraden Linie mit der größten Länge wurde defi
niert als erfindungsgemäß verwendete Kristallkorngröße.
Im übrigen wurde für den Fall, dass mindestens zwei Regionen, die jeweils aus
dem Kreis herausragten, nicht vorlagen, ein anderer Kreis mit einem kleineren
Durchmesser von 40 µm, 30 µm oder 20 µm, der auf das geschliffene Glas
gezeichnet worden war, anschließend in der Reihenfolge der Durchmesser auf
das Kristallkorn gelegt wurde, bis mindestens zwei herausragende Regionen
festgestellt wurden. Unter diesen Bedingungen wurde der gleiche Messvor
gang, wie er zur Messung der Kristallkorngröße angewendet worden war, wie
derholt. Diesbezüglich zeigt die Fig. 3(A) eine Kristallkornstruktur, die auf ei
nem Querschnitt in der Dickenrichtung 14 senkrecht zur Walzrichtung 13 des
Kristallkorns 12 sichtbar war.
Die durchschnittliche Kristallkorngröße wurde auf der Basis der folgenden
Gleichung errechnet:
durchschnittliche Kristallkorngröße eines Querschnitts in
einer Richtung parallel zur Walzrichtung = d × N1/N2
worin d die durchschnittliche Kristallkorngröße bedeutet und d in der Weise
errechnet wurde, dass angenommen wurde, dass die Form des Kristallkorns,
gemessen unter Anwendung des Kristallkorngrößenzahl-Messverfahrens (JIS
G0551), wie weiter oben erläutert, quadratisch war, und es wurde angenom
men, dass eine Länge einer Seite des Quadrates die durchschnittliche Kristall
korngröße war, und die durchschnittliche Kristallkorngröße wurde errechnet
aus der Quadratwurzel der durchschnittlichen Querschnittsfläche des gemes
senen Kristallkorns.
N1 bezeichnet außerdem die Anzahl der Kristallkörner, die in der Dickenrich
tung oder in der Breiten-Richtung angeordnet waren, und einen Linienabschnitt
mit einer vorgegebenen Länge (beispielsweise 50 mm) schneiden, der auf ei
nem Querschnitt parallel zur Walzrichtung des Legierungsbleches auf Eisen
basis festgelegt wurde. Außerdem bezeichnet N2 die Anzahl der Kristallkörner,
die in der Walzrichtung angeordnet sind und einen Linienabschnitt schneiden
mit der gleichen Länge wie für N1 angegeben, wobei der Linienabschnitt auf
einem Querschnitt parallel zur Walzrichtung des Legierungsbleches auf Eisenbasis
festgelegt wurde. Die Werte für N1 und N2 wurden in der Weise errech
net, dass eine Probe, deren Kristallkorngrößenzahl bereits gemessen worden
war, verwendet wurde, und N1 und N2 wurden wiederholt gemessen im Hinblick
auf mindestens fünf visuell festgestellte Werte auf einer Probe. Jeder der Wer
te N1 und N2 wurde errechnet durch Bildung eines Durchschnitts aus minde
stens fünf gemessenen Werten.
Die Ungleichmäßigkeit (Ungleichförmigkeit) wurde in der Weise bewertet, dass
ein Lochmasken-Blechelement von der Seite her mit Licht bestrahlt wurde, auf
der die Kleinloch-Abschnitte der durchgehenden Löcher erzeugt worden wa
ren, und das die durchgehenden Löcher passierende Licht wurde durch visuel
le Beobachtung geprüft, wodurch die Ungleichmäßigkeit der Dimensionen der
durchgehenden Löcher bewertet wurde.
Der Zustand des Öffnungsabschnitts (des Durchgangsloches) wurde in der
Weise bewertet, dass ein Stück einer Probe, das die Durchgangslöcher um
fasst, aus jedem der jeweiligen Lochmasken-Blechelemente ausgeschnitten
wurde und die Probe dann mittels eines Abtast-Elektronenmikroskops betrach
tet wurde, wodurch der Zustand der Form der durchgehenden Löcher bewertet
wurde.
Die Kreisförmigkeit (Rundheit) des Öffnungsabschnitts (Durchgangsloches)
wurde wie folgt gemessen: für ein Durchgangsloch, das in jedem der Loch
masken-Blechelemente erzeugt worden war, wurde der Durchmesser des
Durchgangsloches wiederholt gemessen durch Änderung des Messwinkels,
um so mindestens fünf gemessene Werte für den Durchmesser zu erhalten.
Dann wurden sowohl der Maximalwert als auch der Minimalwert aus allen ge
messenen Werten ausgewählt. Unter Verwendung des Maximalwertes und des
Minimalwertes wurde die Kreisförmigkeit eines Durchgangsloches unter An
wendung der folgenden Gleichung errechnet:
Kreisförmigkei t(%) = (Minimalwert/Maximalwert) × 100
Die Kreisförmigkeit wurde wiederholt gemessen in Bezug auf mindestens fünf
unterschiedliche Durchgangslöcher, die in dem gleichen Lochmasken-
Blechelement erzeugt worden waren. Die Kreisförmigkeit des Durchgangslo
ches würde bewertet anhand eines Durchschnittswertes, der durch Durch
schnittsbildung aus mindestens fünf gemessenen Werten erhalten wurde.
Der Wert für die Streuung der Öffnungsabschnitte (Durchgangslöcher) wurde
wie folgt gemessen: im Hinblick auf zueinander benachbarte 25
(fünfundzwanzig) Durchgangslöcher, die in den jeweiligen Lochmasken-
Blechelementen erzeugt worden waren, wurde ein Durchmesser des Durch
gangsloches wiederholt gemessen, um einen Streuungswert. In Bezug auf die
Durchmesser der Durchgangslöcher zu erhalten. Wenn der Streuungswert der
jeweiligen Durchgangslöcher 0,8 µm oder mehr betrug, wurde im allgemeinen
angenommen, dass das Lochmasken-Blechelement ein defektes Produkt war,
während dann, wenn der Streuungswert weniger als 0,8 µm betrug, das Loch
masken-Blechelement als ein akzeptabel gutes Produkt angesehen wurde.
Wie aus den in der Tabelle 2 angegebenen Ergebnissen hervorgeht, war jedes
der Beispiele 1 bis 3 frei von einer Ungleichmäßigkeit (Uneinheitlichkeit) und
wies Öffnungslöcher auf, die jeweils eine gute Gestalt, eine ausgezeichnete
Kreisförmigkeit und eine hohe Festigkeit aufwiesen. Dementsprechend konnte
ein Lochmasken-Blechelement erhalten werden, dessen Großloch-Abschnitt
nicht übermäßig ausgedehnt war und das den erforderlichen kleinen Durch
messer aufwies. Außerdem konnte die hergestellte Lochmaske ein qualitativ
hochwertiges Bild wiedergeben und anzeigen, wenn die Lochmaske in einer
Braun'schen Röhre unter den jeweiligen Betriebsbedingungen verwendet wur
de.
Andererseits wurde gefunden, dass die Vergleichsbeispiele 1 und 2 eine Un
gleichmäßigkeit aufwiesen und eine Lochmaske mit einer schlechteren Gestalt
des Öffnungsloches und einer geringeren Dimensions-Genauigkeit erhalten
wurde.
Wie vorstehend erläutert, weist die Lochmaske erfindungsgemäß eine Kristall
struktur auf, die besteht aus feinen Kristallkörnern, deren Größe genau ange
geben ist, sodass ein Ätzen mit einer hohen Genauigkeit zum Zeitpunkt der
Herstellung der Lochmaske durchgeführt werden kann, sodass die Lochmaske
für eine Farb-Braun'sche Röhre wirksam hergestellt werden kann, die frei von
einer Ungleichmäßigkeit ist und Öffnungsabschnite aufweist, deren Form
(Gestalt) verbessert ist.
Außerdem kann ein übermäßiges Fortschreiten des Ätzens der Großloch-
Abschnitte verhindert werden, sodass eine Verkleinerung des Abstandes zwi
schen benachbarten Öffnungsabschnitten erzielt werden kann, um eine
Braun'sche Röhre mit einer hohen Auflösung (einem hohen Leistungsvermö
gen) erhalten werden kann und eine Abnahme der Festigkeit der Lochmaske
wirksam verhindert werden kann.
Mit einer Braun'schen Röhre, die mit der erfindungsgemäß erhaltenen Loch
maske ausgestattet ist, kann ferner dem Trend zu einer Braun'schen Röhre mit
einer hohen Auflösung Rechnung getragen werden und die Qualität eines Bil
des, das auf der Braun'schen Röhre angezeigt wird, kann weiter verbessert
werden.
Es sei darauf hingewiesen, dass die vorliegende Erfindung auf die beschriebe
nen Ausführungsformen nicht beschränkt ist und dass viele Abänderungen und
Modifikationen innerhalb des Rahmens der nachfolgenden Patentansprüche
durchgeführt werden können.
Claims (3)
1. Lochmaske, die besteht aus einem Blech aus einer Legierung auf Ei
senbasis, die 31,0 bis 38,0 Gew.-% Nickel und 1,0 bis 6,5 Gew.-% Kobalt ent
hält, wobei die genannte Legierung auf Eisenbasis eine Kristallkorngrößenzahl
von 10 oder mehr und von 12 oder weniger, eine Kristallkorngröße von 50 µm
oder weniger in einem Querschnitt in einer Richtung parallel und senkrecht zur
Walzrichtung des Legierungsbleches auf Eisenbasis und eine durchschnittliche
Kristallkorngröße von 30 µm oder weniger in einem Querschnitt in einer Rich
tung parallel zur Walzrichtung des Legierungsbleches auf Eisenbasis aufweist.
2. Lochmaske nach Anspruch 1, worin die genannte Legierung auf Eisen
basis einen Wärmeausdehnungskoeffizienten von etwa 4,0 × 10-6/°C aufweist.
3. Lochmaske für eine Braun'sche Röhre (Elektronenstrahlröhre), die um
fasst:
ein Rahmenelement;
einen Maskenkörper in Gestalt eines Bleches, das aus einem Legierungsma terial auf Eisenbasis hergestellt ist; und
einen Öffnungsabschnitt, der in dem Maskenkörper erzeugt worden ist,
wobei das Legierungsmaterial auf Eisenbasis 31,0 bis 38,0 Gew.-% Nickel und 1,0 bis 6,5 Gew.-% Kobalt enthält, die Legierung auf Eisenbasis eine Kristall korngrößenzahl von 10 oder mehr und von 12 oder weniger, eine Kristallkorn größe von 50 µm oder weniger in einem Querschnitt in einer Richtung parallel und senkrecht zur Walzrichtung der Legierung auf Eisenbasis und eine durch schnittliche Kristallkorngröße von 30 µm oder weniger in einem Querschnitt in einer Richtung parallel zur Walzrichtung der Legierung auf Eisenbasis auf weist.
ein Rahmenelement;
einen Maskenkörper in Gestalt eines Bleches, das aus einem Legierungsma terial auf Eisenbasis hergestellt ist; und
einen Öffnungsabschnitt, der in dem Maskenkörper erzeugt worden ist,
wobei das Legierungsmaterial auf Eisenbasis 31,0 bis 38,0 Gew.-% Nickel und 1,0 bis 6,5 Gew.-% Kobalt enthält, die Legierung auf Eisenbasis eine Kristall korngrößenzahl von 10 oder mehr und von 12 oder weniger, eine Kristallkorn größe von 50 µm oder weniger in einem Querschnitt in einer Richtung parallel und senkrecht zur Walzrichtung der Legierung auf Eisenbasis und eine durch schnittliche Kristallkorngröße von 30 µm oder weniger in einem Querschnitt in einer Richtung parallel zur Walzrichtung der Legierung auf Eisenbasis auf weist.
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
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8141 | Disposal/no request for examination |