DE10052249A1 - Deformierbarer Spiegel, insbesondere adaptiver Spiegel - Google Patents
Deformierbarer Spiegel, insbesondere adaptiver SpiegelInfo
- Publication number
- DE10052249A1 DE10052249A1 DE2000152249 DE10052249A DE10052249A1 DE 10052249 A1 DE10052249 A1 DE 10052249A1 DE 2000152249 DE2000152249 DE 2000152249 DE 10052249 A DE10052249 A DE 10052249A DE 10052249 A1 DE10052249 A1 DE 10052249A1
- Authority
- DE
- Germany
- Prior art keywords
- deformable
- mirror element
- membrane
- cooling channels
- deformable mirror
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Ceased
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B7/00—Mountings, adjusting means, or light-tight connections, for optical elements
- G02B7/18—Mountings, adjusting means, or light-tight connections, for optical elements for prisms; for mirrors
- G02B7/181—Mountings, adjusting means, or light-tight connections, for optical elements for prisms; for mirrors with means for compensating for changes in temperature or for controlling the temperature; thermal stabilisation
- G02B7/1815—Mountings, adjusting means, or light-tight connections, for optical elements for prisms; for mirrors with means for compensating for changes in temperature or for controlling the temperature; thermal stabilisation with cooling or heating systems
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B26/00—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements
- G02B26/08—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements for controlling the direction of light
- G02B26/0816—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements for controlling the direction of light by means of one or more reflecting elements
- G02B26/0825—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements for controlling the direction of light by means of one or more reflecting elements the reflecting element being a flexible sheet or membrane, e.g. for varying the focus
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Optical Elements Other Than Lenses (AREA)
- Lasers (AREA)
- Laser Beam Processing (AREA)
Abstract
Bei einem deformierbaren Spiegel, insbesondere adaptiver Spiegel als Laser-Strahlführungskomponente mit einem Gehäuse (1), welchem ein Spiegelelement (4) zugeordnet ist, wobei das Spiegelelement (4) verformbar ausgebildet ist, soll das Spiegelelement (4) mittels eines Mediums kühlbar sein.
Description
Die vorliegende Erfindung betrifft einen deformierbaren
Spiegel, insbesondere adaptiven Spiegel als Laser-
Strahlführungskomponente mit einem Gehäuse, welchem ein
Spiegelelement zugeordnet ist, wobei das Spiegelelement
verformbar ausgebildet ist.
Derartige deformierbare Spiegel, insbesondere adaptive
Spiegel sind insbesondere für das Umlenken bei
Hochleistungslasern zum Schweissen, Oberflächenbeschichten,
Laserschneiden etc. bekannt.
Dabei ist bekannt, dass beispielsweise deformierbare
Spiegel mittels komplizierten und kostenaufwendigen
mechanischen Aktuatoren mit Druck oder Zug beaufschlagt
werden, um eine Spiegeloberfläche zu verformen.
Nachteilig daran ist, dass derartige deformierbare Spiegel
thermischen Problemen, insbesondere im Langzeitbetrieb
unterliegen.
Der vorliegenden Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde,
einen deformierbaren Spiegel der eingangs genannten Art zu
schaffen, welcher die genannten Nachteile beseitigt und mit
welchem auf einfache, kostengünstige und effektive Weise
die Standzeit bei unabhängig wählbaren Aktuatoren zum
Betätigen des deformierbaren Spiegels erhöht sein soll.
Zur Lösung diese Aufgabe führt, dass das Spiegelelement
mittels eines Mediums kühlbar ist.
Bei der vorliegenden Erfindung wird unmittelbar das
Spiegelelement, insbesondere im Bereich einer Oberfläche
permanent gekühlt. Dabei besteht das Spiegelelement aus
zumindest einer Membran, vorzugsweise aus zwei Membranen,
wobei die eine und/oder die andere Membran eine Mehrzahl
von Kühlkanälen aufweist.
Diese Kühlkanäle sind im Bereich des Spiegelelementes,
insbesondere im Bereich einer äusseren Oberfläche, die zur
Laserlichtumleitung dient, vorgesehen. Hierdurch wird eine
direkte Kühlung der Spiegeloberfläche möglich.
Insbesondere durch eine spezielle Anordnung einzelner
Kühlkanäle lassen sich sehr hohe Geschwindigkeiten des
Kühlmediums innerhalb der Membran, insbesondere des
Spiegelelementes bei hohen Drücken fahren, wobei zusätzlich
gewährleistet ist, dass das gesamte Spiegelelement,
insbesondere dessen Membrane immer noch durch beliebige
Aktuatoren, seien sie mechanischer, hydraulischer,
piezoelektrischer oder elektromechanischer Art, verformt
werden können.
Bevorzugt wird die zumindest eine Membran bzw. das
Spiegelelement durch Druckbeaufschlagung eines Innenraumes
mittels eines beliebigen Mediums oder durch
Unterdruckbeaufschlagung adaptiv verformt, insbesondere
deformiert nach aussen oder nach innen gewölbt. Dabei folgt
völlig losgelöst und entkoppelt die Kühlung des
Spiegelelementes über die Kühlkanäle in der zumindest einen
Membran. Auf diese Weise lässt sich das Spiegelelement bei
gleichzeitiger Kühlung, insbesondere die zumindest eine
Membran mittels unterschiedlichsten Aktuatoren deformieren.
Ferner hat sich als vorteilhaft erwiesen, das
Spiegelelement oval auszubilden. Es kann jedoch auch rund
ausgebildet sein.
Die einzelnen Kühlkanäle sind vorzugsweise parallel
verlaufend und beabstandet angeordnet, wobei eine zweite
Anordnung von Kühlkanälen vorzugsweise im rechten Winkel
zur ersten Anordnung von Kühlkanälen parallel verlaufen und
auch beabstandet vorgesehen ist, so dass sich ein
rautenartiges Raster ergibt. Die einzelnen Stegelemente
sind karoartig oder rechteckartig ausgebildet.
Bevorzugt werden die Kühlkanäle von wenigstens einem Zulauf
und zumindest einem Ablauf über die Zylinderwand und daran
anschliessend eine Grundplatte mittels Kühlmittel versorgt.
Als Kühlmittel kann ein gasförmiges Medium aber auch
Flüssigkeit verwendet werden.
Ferner hat sich als vorteilhaft erwiesen, zur Erhöhung der
Strömungsgeschwindigkeit und der Flüssigkeitsverteilung
innerhalb des Spiegelelementes, die einzelnen Kühlkanäle,
bezogen auf eine Längsachse, jeweils diagonal anzuordnen.
Dabei sind, betrachtet von einem Zulauf bzw. einem Ablauf,
die Kühlkanäle jeweils diagonal zu diesen angeordnet.
Hierdurch wird eine bessere Verteilung der Kühlflüssigkeit
bzw. des Kühlmediums innerhalb der Kühlkanäle gewähr
leistet und zudem eine sehr hohe Durchströmgeschwindigkeit
bei sehr hohen Drücken erzielt.
Es hat sich besonders als Vorteilhaft erwiesen, die Stege,
die zwischen den einzelnen Kühlkanälen gebildet sind,
verhältnismässig grösser als die Kühlkanäle auszubilden, um
eine grosse Lotoberfläche zu schaffen. Innen sind die
Kühlkanäle von ihrer Oberfläche verhältnismässig klein zu
den einzelnen, verbleibenden Stegen. Hierdurch wird
gewährleistet, dass eine homogene Verformung des
Spiegelelementes, insbesondere deren gesamten Oberfläche
gewährleistet bleibt. Auch können die Membrane dünner
ausgebildet sein, bei Gewährleistung der homogenen
Verformbarkeit der gesamten Fläche. Zudem wird durch die
Anordnung und Ausbildung eine sehr grosse Kühloberfläche,
insbesondere durch die Anordnung der Kanäle gebildet, so
dass eine Kühlung im Betrieb erfolgt.
Ein weiterer Vorteil bei der vorliegenden Erfindung ist,
dass die Parameter, insbesondere die Kühlung der
Spiegelfläche bzw. der Membrane unabhängig von der
Verformbarkeit erfolgen kann. Dabei können unterschiedliche
Aktuatoren oder Druckmittel die Oberfläche des Spiegels
verformen, wobei unabhängig hiervon separat mittels des
Kühlmediums und der Kühlkanäle Einfluss auf die Kühlung des
Spiegelelementes genommen werden kann. Dies soll ebenfalls
im Rahmen der vorliegenden Erfindung liegen.
Weitere Vorteile, Merkmale und Einzelheiten der Erfindung
ergeben sich aus der nachfolgenden Beschreibung bevorzugter
Ausführungsbeispiele sowie anhand der Zeichnung; diese
zeigt in
Fig. 1 eine Seitenansicht auf einen deformierbaren
Spiegel, insbesondere auf einen adaptiven Spiegel;
Fig. 2 einen Längsschnitt durch den deformierbaren
Spiegel im Bereich einer Membran, insbesondere im Bereich
von Kühlkanälen entlang Linie II-II gemäss Fig. 1;
Fig. 3 einen schematisch dargestellten Querschnitt durch
den deformierbaren Spiegel gemäss Fig. 1 entlang Linie
III-III;
Fig. 4 einen Querschnitt durch den Spiegel gemäss Fig.
1 als weiteres Ausführungsbeispiel.
Gemäss Fig. 1 weist ein deformierbarer Spiegel R1 ein
Gehäuse 1 auf, welches aus einer Grundplatte 2, daran
anschliessenden Zylinderwand 3 und stirnseitig
abschliessendem Spiegelelement 4 gebildet ist. Das
Spiegelelement 4 besitzt eine polierte Oberfläche 5 zum
Umlenken von einfallendem Laserlicht.
Insbesondere zum Beeinflussen des Laserlichtes, welches auf
die Oberfläche 5 auftrifft, ist das Spiegelelement 4
deformierbar, insbesondere adaptiv ausgebildet.
Wie insbesondere aus der querschnittlichen Darstellung
gemäss Fig. 3 hervorgeht, besteht das Spiegelelement 4 aus
zumindest einer Membran 6.1, 6.2, wobei die Membran 6.1 die
o. g. Oberfläche 5 bildet.
Bevorzugt ist das Spiegelelement 4 zweiteilig als Membran
6.1, 6.2 ausgebildet, wobei im bevorzugten
Ausführungsbeispiel dem Spiegelelement 4, insbesondere der
Membran 6.2 eine Mehrzahl von Kühlkanälen 7.1, 7.2
zugeordnet sind.
Wie insbesondere in Fig. 1 gestrichelt angedeutet ist,
werden die Kühlkanäle 7.1, 7.2 über einen Zulauf 8 und
einen Ablauf 9 gespeist, wobei Zulauf 8 und Ablauf 9 die
Grundplatte 2 durchgreifen und über die Zylinderwand 3 in
das Spiegelelement 4, insbesondere in dessen Kühlkanäle
7.1, 7.2 einmünden. Vorzugsweise liegen Zulauf 8 und Ablauf
9 auf einer Längsachse L der Membran 6.2 und sind
vorzugweise stirnseitig angeordnet.
Im bevorzugten Ausführungsbeispiel gemäss Fig. 2 ist das
Spiegelelement 4, insbesondere die Membran 6.1, 6.2 oval
ausgebildet, wobei eine Längsachse L grösser ist als eine
Querachse Q.
Eine weitere Besonderheit der vorliegenden Erfindung ist,
dass die einzelnen Kühlkanäle 7.1 zueinander parallel
verlaufen und beabstandet zueinander angeordnet sind und
einen Winkel α von etwa 30° bis 60°, vorzugsweise von 45°
einschliessen.
Die Kühlkanäle 7.2 verlaufen vorzugsweise rechtwinklig und
im gleichen Abstand ebenfalls parallel zu den Kühlkanälen
7.1 und schliessen einen Winkel β von etwa -30° bis -60°,
vorzugsweise -45° zur Querachse Q ein.
Hierdurch entstehen zwischen den jeweiligen Kühlkanälen
7.1, 7.2 rechteckartige Stegelemente 10, welche die
jeweiligen Membrane 6.1, 6.2 beabstanden.
Damit das Spiegelelement 4, insbesondere die Membrane 6.1,
6.2 sich homogen über die vollständige Oberfläche
kontinuierlich deformieren lassen, sind die Membran 6.1 und
6.2 fest, insbesondere formschlüssig miteinander verbunden.
Wie ferner aus Fig. 3 hervorgeht, ist zwischen dem
Spiegelelement 4, der Zylinderwand 3 und der Grundplatte 2
ein Innenraum 11 gebildet, der zur Aufnahme hier nicht
dargestellter Aktuatoren od. dgl. dient. Im bevorzugten
Ausführungsbeispiel ist in der Grundplatte 2 eine Öffnung
12 gebildet, in welche beispielsweise ein kompressives oder
vorzugsweise ein inkompressives Medium, wie beispielsweise
Wasser oder Öl eingefüllt wird und mittels Druck oder
Unterdruckbeaufschlagung des Spiegelelement 4 deformiert
wird, wobei bei Druckbeaufschlagung auf das Spiegelelement,
insbesondere die Membran 6.1, 6.2 nach aussen gewölbt und
bei Unterdruck nach innen gewölbt wird. Hierdurch lässt
sich beispielsweise eine Fokussierlage eines Lasers,
welcher auf die Oberfläche 5 des Spiegelelementes 4
auftrifft, beeinflusst.
In einem weiteren Ausführungsbeispiel gemäss Fig. 4 ist
dargestellt, dass die einzelnen Kühlkanäle 7.1, 7.2
entweder in der Membran 6.1 und/oder in der Membran 6.2
vorgesehen sein können. Diese können auch in beiden
Membranen 6.1, 6.2 überlappend vorgesehen sein, wobei diese
querschnittlich rechteckartig, gewölbt, halbkreisartig und
bei Überlappung rund ausgebildet sein können. Hier sei der
Erfindung keine Grenze gesetzt.
Ferner soll auch im Rahmen der vorliegenden Erfindung
liegen, in den Innenraum 11, beispielsweise mechanisch,
pneumatisch, hydraulisch oder piezoelektrisch betriebene
Aktuatoren od. dgl. einzusetzen, um die Membran 6.1, 6.2
bzw. das Spiegelelement 4 zu deformieren.
Wesentlich ist jedoch, dass unmittelbar eine
Spiegeloberfläche 5, insbesondere die Membran 6.1 sehr gut
gekühlt wird, um insbesondere die Standzeit durch diese
direkte Kühlung der Oberfläche unabhängig von beliebigen
Aktuatoren zur Deformierung des Spiegelelementes zu kühlen.
Dabei soll auch im Rahmen der vorliegenden Erfindung
liegen, dass die Kühlkanäle in Längsrichtung und/oder in
Querrichtung oder in beliebigen Winkeln α und β in den
Membranen 7.1, 7.2 angeordnet sein können. Hierauf sei die
vorliegende Erfindung nicht beschränkt.
1
Gehäuse
2
Grundplatte
3
Zylinderwand
4
Spiegelelement
5
Oberfläche
6
Membran
7
Kühlkanal
8
Zulauf
9
Ablauf
10
Stegelement
11
Innenraum
12
Öffnung
R1
R1
deformierb. Spiegel
R2
R2
deformierb. Spiegel
L Längsachse
Q Querachse
α Winkel
β Winkel
L Längsachse
Q Querachse
α Winkel
β Winkel
Claims (22)
1. Deformierbarer Spiegel, insbesondere adaptiver Spiegel
als Laser-Strahlführungskomponente mit einem Gehäuse (1),
welchem ein Spiegelelement (4) zugeordnet ist, wobei das
Spiegelelement (4) verformbar ausgebildet ist,
dadurch gekennzeichnet,
dass das Spiegelelement (4) mittels eines Mediums kühlbar
ist.
2. Deformierbarer Spiegel nach Anspruch 1, dadurch
gekennzeichnet, dass das Spiegelelement (4) eine Membran
(6.1, 6.2) aufweist, welche ein- oder mehrteilig,
insbesondere zweiteilig ausgebildet ist.
3. Deformierbarer Spiegel nach Anspruch 1 oder 2, dadurch
gekennzeichnet, dass dem Spiegelelement (4) eine Mehrzahl
von Kühlkanälen (7.1, 7.2) zugeordnet ist.
4. Deformierbarer Spiegel nach Anspruch 2 oder 3, dadurch
gekennzeichnet, dass der Membran (6.1, 6.2) des
Spiegelelementes (4) eine Mehrzahl von Kühlkanälen (7.1,
7.2) zugeordnet ist.
5. Deformierbarer Spiegel nach Anspruch 3 oder 4, dadurch
gekennzeichnet, dass die Kühlkanäle (7.1, 7.2) mit
zumindest einem Zulauf (8) und zumindest einem Ablauf (9)
in Verbindung stehen.
6. Deformierbarer Spiegel nach wenigstens einem der
Ansprüche 3 bis 5, dadurch gekennzeichnet, dass die
Kühlkanäle (7.1, 7.2) in der äusseren und/oder inneren
Membran (6.1, 6.2) des Spiegelelementes (4) vorgesehen
sind.
7. Deformierbarer Spiegel nach wenigstens einem der
Ansprüche 1 bis 6, dadurch gekennzeichnet, dass das
Spiegelelement (4) rund oder oval ausgebildet ist.
8. Deformierbarer Spiegel nach wenigstens einem der
Ansprüche 2 bis 7, dadurch gekennzeichnet, dass die
zumindest eine Membran (6.1, 6.2) des Spiegelelementes (4)
rund oder oval ausgebildet ist.
9. Deformierbarer Spiegel nach wenigstens einem der
Ansprüche 3 bis 8, dadurch gekennzeichnet, dass eine erste
Anordnung von Kühlkanälen (7.1) parallel und beabstandet
zueinander verläuft, wobei eine zweite Anordnung von
Kühlkanälen (7.2) hierzu, vorzugsweise rechtwinklig und
parallel beabstandet verläuft, so dass dazwischen jeweils
karo- oder rautenartige Stegelemente (10) gebildet sind.
10. Deformierbarer Spiegel nach wenigstens einem der
Ansprüche 3 bis 9, dadurch gekennzeichnet, dass die einen
Kühlkanäle (7.1) einen Winkel (α) zu einer Querachse (Q)
des Spiegelelementes (4) von etwa 30° bis 60°, insbesondere
von 45° einschliessen und dass die rechtwinklig dazu
verlaufenden zweiten Kühlkanäle (7.2) einen Winkel (β) von
etwa -30° bis -60°, insbesondere von -45° zur Querachse (Q)
des Spiegelelementes (4) einschliessen.
11. Deformierbarer Spiegel nach Anspruch 10, dadurch
gekennzeichnet, dass die Stegelemente (10) zu einer
Längsachse (L) und/oder zu einer Querachse (Q) des
Spiegelelementes (4) diagonal verlaufen.
12. Deformierbarer Spiegel nach wenigstens einem der
Ansprüche 5 bis 11, dadurch gekennzeichnet, dass der Zulauf
(8) sowie der Ablauf (9) für die Kühlkanäle (7.1, 7.2)
jeweils endseits und gegenüberliegend im Spiegelelement (4)
vorgesehen sind.
13. Deformierbarer Spiegel nach wenigstens einem der
Ansprüche 11 oder 12, dadurch gekennzeichent, dass Zulauf
(8) und Ablauf (9) in jeweils stirnseitigen Bereichen des
Spiegelelementes (4) im Bereich der Längsachse (L)
vorgesehen sind.
14. Deformierbarer Spiegel nach wenigstens einem der
Ansprüche 2 bis 13, dadurch gekennzeichnet, dass die
zumindest eine Membran (6.1, 6.2) mechanisch, pneumatisch,
hydraulisch, piezoelektrisch zur Verformung
druckbeaufschlagbar ist.
15. Deformierbarer Spiegel nach wenigstens einem der
Ansprüche 2 bis 14, dadurch gekennzeichnet, dass an die
zumindest eine Membran (6.1, 6.2) eine umlaufende
Zylinderwand (3) anschliesst, welche mit einer Grundplatte
(2) verbunden ist, wobei zwischen Zylinderwand (3),
Grundplatte (2) und Membran (6.1, 6.2) ein Innenraum
(11)gebildet ist.
16. Deformierbarer Spiegel nach Anspruch 15, dadurch
gekennzeichnet, dass Ablauf (9) und Zulauf (8) durch die
Grundplatte (2) sowie durch die Zylinderwand (3) verlaufen
und an die Kühlkanäle (7.1, 7.2) anschliessen.
17. Deformierbarer Spiegel nach Anspruch 15 oder 16,
dadurch gekennzeichnet, dass der Innenraum (11),
insbesondere das Spiegelelement (4) pneumatisch,
hydraulisch oder piezoelektrisch mit Druck beaufschlagbar
ist.
18. Deformierbarer Spiegel nach wenigstens einem der
Ansprüche 3 bis 17, dadurch gekennzeichnet, dass die
Kühlkanäle (7.1, 7.2) querschnittlich rechteckartig, oval,
rund oder teilkreisabschnittartig ausgebildet sind.
19. Deformierbarer Spiegel nach wenigstens einem der
Ansprüche 9 bis 18, dadurch gekennzeichnet, dass eine
Oberfläche der Stegelemente (10) grösser ist, als eine
Oberfläche der Kühlkanäle (7.1, 7.2).
20. Deformierbarer Spiegel nach wenigstens einem der
Ansprüche 2 bis 19, dadurch gekennzeichnet, dass die
Membran (6.1), fest mit der Membran (6.2) verbunden ist.
21. Deformierbarer Spiegel nach Anspruch 20, dadurch
gekennzeichnet, dass die Membran (6.1) mit der Membran
(6.2) fest verlötet ist und ein, bezogen auf die
Gesamtfläche homogen verformbares Spiegelelement (4)
bildet.
22. Deformierbarer Spiegel nach wenigstens einem der
Ansprüche 1 bis 21, dadurch gekennzeichnet, dass das
Spiegelelement (4) unabhängig verformbar und unabhängig
separat kühlbar ist.
Priority Applications (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE2000152249 DE10052249A1 (de) | 2000-10-21 | 2000-10-21 | Deformierbarer Spiegel, insbesondere adaptiver Spiegel |
PCT/EP2001/011597 WO2002035274A1 (de) | 2000-10-21 | 2001-10-08 | Adaptiver spiegel mit kühlkanälen |
AU2002220602A AU2002220602A1 (en) | 2000-10-21 | 2001-10-08 | Adaptive mirror with cooling channels |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE2000152249 DE10052249A1 (de) | 2000-10-21 | 2000-10-21 | Deformierbarer Spiegel, insbesondere adaptiver Spiegel |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
DE10052249A1 true DE10052249A1 (de) | 2002-04-25 |
Family
ID=7660579
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE2000152249 Ceased DE10052249A1 (de) | 2000-10-21 | 2000-10-21 | Deformierbarer Spiegel, insbesondere adaptiver Spiegel |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
AU (1) | AU2002220602A1 (de) |
DE (1) | DE10052249A1 (de) |
WO (1) | WO2002035274A1 (de) |
Cited By (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP1424584A1 (de) * | 2002-11-29 | 2004-06-02 | Trumpf Werkzeugmaschinen GmbH + Co. KG | Spiegel einer Laserbearbeitungsmaschine |
WO2004057406A2 (en) * | 2002-12-23 | 2004-07-08 | Bae Systems Plc | Deformable-mirror cooling |
DE102010034476A1 (de) * | 2010-08-11 | 2012-02-16 | Carl Zeiss Laser Optics Gmbh | Optisches Element |
WO2014020112A1 (en) * | 2012-08-02 | 2014-02-06 | Carl Zeiss Smt Gmbh | Mirror arrangement for a lithography apparatus and method for producing the same |
DE102013102736A1 (de) | 2013-03-18 | 2014-09-18 | Karsten Schuhmann | Dampfdruck kontrollierter adaptiver Spiegel |
WO2015075551A3 (en) * | 2013-11-20 | 2015-08-27 | Asml Netherlands B.V. | System and method for correcting the focus of a laser beam |
WO2016116387A1 (de) * | 2015-01-22 | 2016-07-28 | Carl Zeiss Smt Gmbh | Verfahren zum herstellen eines reflektiven optischen elements, reflektives optisches element und verwendung eines reflektiven optischen elements |
US20210063725A1 (en) * | 2019-08-27 | 2021-03-04 | Ii-Vi Delaware, Inc. | Variable Radius Mirror |
WO2022145470A1 (ja) * | 2020-12-28 | 2022-07-07 | 京セラ株式会社 | 構造体、これを使用した位置計測用ミラーおよび露光装置 |
Families Citing this family (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US7656572B2 (en) | 2003-02-26 | 2010-02-02 | Universitat Bern | Method, array, and influencing unit for said array in order to modify a wavefront of an optical beam |
DE102008014619C5 (de) | 2008-03-17 | 2015-06-25 | Friedrich-Schiller-Universität Jena | Adaptiver Spiegel und Verfahren zu dessen Herstellung |
CN115166931B (zh) * | 2022-07-04 | 2024-01-30 | 上海科技大学 | 一种反射镜冷却*** |
Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
FR2285620A1 (fr) * | 1974-09-20 | 1976-04-16 | Hughes Aircraft Co | Miroir a refroidissement par liquide |
US4386986A (en) * | 1981-04-06 | 1983-06-07 | United Technologies Corporation | High power laser mirror repair |
US4674848A (en) * | 1986-03-17 | 1987-06-23 | Itek Corporation | Laser mirror having a cooled, deformable surface |
US4770521A (en) * | 1986-10-03 | 1988-09-13 | United Technologies Corporation | Cooled mirror substrate isolator |
DE4304059A1 (de) * | 1993-02-11 | 1994-08-18 | Diehl Gmbh & Co | Spiegeleinrichtung mit einem deformierbaren Spiegelelement |
DE4308315A1 (de) * | 1991-11-23 | 1994-09-22 | Diehl Gmbh & Co | Deformierbarer Spiegel |
DE4415008C2 (de) * | 1994-04-29 | 1996-02-22 | Fraunhofer Ges Forschung | Spiegel, insbesondere Spiegel für die Abbildungsoptiken und resonatorinternen Optiken eines Hochleistungslasers |
Family Cites Families (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4264146A (en) * | 1980-01-14 | 1981-04-28 | Avco Everett Research Laboratory, Inc. | Folding laser mirror |
US4314742A (en) * | 1980-06-02 | 1982-02-09 | United Technologies Corporation | High performance cooled laser mirror |
US4492431A (en) * | 1982-05-04 | 1985-01-08 | United Technologies Corporation | Pressure actuated deformable mirror |
US4934803A (en) * | 1989-10-12 | 1990-06-19 | Litton Systems, Inc. | Differential pressure deformable mirror |
US5204784A (en) * | 1990-12-06 | 1993-04-20 | The United States Of America As Represented By The Secretary Of The Air Force | Deformable mirror with pneumatic actuator pre-load |
EP0710551B1 (de) * | 1994-08-24 | 1997-03-19 | Schablonentechnik Kufstein Aktiengesellschaft | Vorrichtung zur Herstellung einer Druckschablone |
-
2000
- 2000-10-21 DE DE2000152249 patent/DE10052249A1/de not_active Ceased
-
2001
- 2001-10-08 WO PCT/EP2001/011597 patent/WO2002035274A1/de active Application Filing
- 2001-10-08 AU AU2002220602A patent/AU2002220602A1/en not_active Abandoned
Patent Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
FR2285620A1 (fr) * | 1974-09-20 | 1976-04-16 | Hughes Aircraft Co | Miroir a refroidissement par liquide |
US4386986A (en) * | 1981-04-06 | 1983-06-07 | United Technologies Corporation | High power laser mirror repair |
US4674848A (en) * | 1986-03-17 | 1987-06-23 | Itek Corporation | Laser mirror having a cooled, deformable surface |
US4770521A (en) * | 1986-10-03 | 1988-09-13 | United Technologies Corporation | Cooled mirror substrate isolator |
DE4308315A1 (de) * | 1991-11-23 | 1994-09-22 | Diehl Gmbh & Co | Deformierbarer Spiegel |
DE4304059A1 (de) * | 1993-02-11 | 1994-08-18 | Diehl Gmbh & Co | Spiegeleinrichtung mit einem deformierbaren Spiegelelement |
DE4415008C2 (de) * | 1994-04-29 | 1996-02-22 | Fraunhofer Ges Forschung | Spiegel, insbesondere Spiegel für die Abbildungsoptiken und resonatorinternen Optiken eines Hochleistungslasers |
Non-Patent Citations (1)
Title |
---|
FREEMAN,R.H., PEARSON,J.E.: Deformable mirros for all seasons and reasons. In: Applied Optics, Vol.21, No.4, 15. Feb. 1982, S.580-588 * |
Cited By (22)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US7102806B2 (en) | 2002-11-29 | 2006-09-05 | Trumpf Werkzeugmaschinen Gmbh + Co. Kg | Pressure sensitive deformable mirror |
EP1424584A1 (de) * | 2002-11-29 | 2004-06-02 | Trumpf Werkzeugmaschinen GmbH + Co. KG | Spiegel einer Laserbearbeitungsmaschine |
WO2004057406A2 (en) * | 2002-12-23 | 2004-07-08 | Bae Systems Plc | Deformable-mirror cooling |
WO2004057406A3 (en) * | 2002-12-23 | 2005-03-24 | Bae Systems Plc | Deformable-mirror cooling |
US7264363B2 (en) | 2002-12-23 | 2007-09-04 | Bae Systems Plc | Deformable-mirror cooling |
DE102010034476A1 (de) * | 2010-08-11 | 2012-02-16 | Carl Zeiss Laser Optics Gmbh | Optisches Element |
WO2012020020A1 (en) | 2010-08-11 | 2012-02-16 | Carl Zeiss Laser Optics Gmbh | Shell of an euv collector mirror for euv lithography |
DE102010034476B4 (de) * | 2010-08-11 | 2020-08-27 | Carl Zeiss Smt Gmbh | Reflektives optisches Element |
US9869937B2 (en) | 2012-08-02 | 2018-01-16 | Carl Zeiss Smt Gmbh | Mirror arrangement for a lithography apparatus and method for producing the same |
WO2014020112A1 (en) * | 2012-08-02 | 2014-02-06 | Carl Zeiss Smt Gmbh | Mirror arrangement for a lithography apparatus and method for producing the same |
DE102013102736A1 (de) | 2013-03-18 | 2014-09-18 | Karsten Schuhmann | Dampfdruck kontrollierter adaptiver Spiegel |
WO2014147084A1 (de) | 2013-03-18 | 2014-09-25 | Schuhmann Karsten | Dampfdruck kontrollierter adaptiver spiegel |
WO2015075551A3 (en) * | 2013-11-20 | 2015-08-27 | Asml Netherlands B.V. | System and method for correcting the focus of a laser beam |
JP2018504639A (ja) * | 2015-01-22 | 2018-02-15 | カール・ツァイス・エスエムティー・ゲーエムベーハー | 反射光学素子を製造する方法、反射光学素子および反射光学素子の使用 |
US10534269B2 (en) | 2015-01-22 | 2020-01-14 | Carl Zeiss Smt Gmbh | Method for producing a reflective optical element, reflective optical element, and use of a reflective optical element |
JP2020115216A (ja) * | 2015-01-22 | 2020-07-30 | カール・ツァイス・エスエムティー・ゲーエムベーハー | 反射光学素子を製造する方法、反射光学素子および反射光学素子の使用 |
WO2016116387A1 (de) * | 2015-01-22 | 2016-07-28 | Carl Zeiss Smt Gmbh | Verfahren zum herstellen eines reflektiven optischen elements, reflektives optisches element und verwendung eines reflektiven optischen elements |
JP7079281B2 (ja) | 2015-01-22 | 2022-06-01 | カール・ツァイス・エスエムティー・ゲーエムベーハー | 反射光学素子を製造する方法、反射光学素子および反射光学素子の使用 |
US11372334B2 (en) | 2015-01-22 | 2022-06-28 | Carl Zeiss Smt Gmbh | Method for producing a reflective optical element, reflective optical element, and use of a reflective optical element |
US20210063725A1 (en) * | 2019-08-27 | 2021-03-04 | Ii-Vi Delaware, Inc. | Variable Radius Mirror |
US11828930B2 (en) * | 2019-08-27 | 2023-11-28 | Ii-Vi Delaware, Inc. | Variable radius mirror |
WO2022145470A1 (ja) * | 2020-12-28 | 2022-07-07 | 京セラ株式会社 | 構造体、これを使用した位置計測用ミラーおよび露光装置 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
AU2002220602A1 (en) | 2002-05-06 |
WO2002035274A1 (de) | 2002-05-02 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
DE10052249A1 (de) | Deformierbarer Spiegel, insbesondere adaptiver Spiegel | |
DE3908266A1 (de) | Waermeaustauscher und verfahren zur fluessigkeitsdichten befestigung einer bodenplatte an einem waermetauschernetz | |
DE2234669A1 (de) | Duesenbaugruppe | |
EP1985386B1 (de) | Biegewerkzeug für eine Abkantpresse | |
EP4234094A2 (de) | Auftragsdüse | |
DE102017103520A1 (de) | Stechschwert | |
EP2629936B1 (de) | Nullpunktspannsystem | |
DE2640746C2 (de) | Strangpresse | |
DE10052250A1 (de) | Spiegel, insbesondere adaptiver Spiegel | |
DE10207946B4 (de) | Schweißverfahren | |
DE3512241A1 (de) | Radialpresse | |
DE19725944C1 (de) | Hydraulische Zahnstangenlenkung | |
DE19854932C2 (de) | Vakuum-Außenkalibrierung | |
DE102015222785B3 (de) | Spanneinrichtung | |
DE102021004243A1 (de) | Ventil | |
DE2155701A1 (de) | Hydraulischer Hammer | |
DE3821873A1 (de) | Dichtungsanordnung | |
DE102012013771B4 (de) | Schneidwerkzeug und mit solchem ausgestattete Schneidvorrichtung | |
DE3734987C1 (de) | Schneidrotor mit auswechselbaren Messerleisten zum Zerkleinern von festen Materialien | |
DE102005049654B4 (de) | Anreihbare Ventil-Zylinder-Einheit mit einstückig hergestelltem Druckmittelverteiler sowie Ventil-Zylinder-Einheiten-Anordnung | |
DE102013101637B4 (de) | Auftragskopf für viskose Medien | |
CH403415A (de) | Vorrichtung zur Spaltabdichtung gegen hohe Drücke | |
DE102007032502A1 (de) | Verfahren zur Kühlung und Schmierung eines Maschinenwerkzeugs und Maschinenwerkzeug zur Durchführung des Verfahrens | |
DE2525514B2 (de) | Tiefziehverfahren | |
EP4063026A2 (de) | Auftragsvorrichtung |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
OM8 | Search report available as to paragraph 43 lit. 1 sentence 1 patent law | ||
8110 | Request for examination paragraph 44 | ||
R082 | Change of representative |
Representative=s name: PATENTANWAELTE UND RECHTSANWALT DR. WEISS, ARA, DE Representative=s name: PATENTANWAELTE UND RECHTSANWALT WEISS, ARAT & , DE |
|
R002 | Refusal decision in examination/registration proceedings | ||
R003 | Refusal decision now final |