DE1002968B - Glimmentladungsgeraet zum Messen niedriger Gasdruecke - Google Patents
Glimmentladungsgeraet zum Messen niedriger GasdrueckeInfo
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- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J41/00—Discharge tubes for measuring pressure of introduced gas or for detecting presence of gas; Discharge tubes for evacuation by diffusion of ions
- H01J41/02—Discharge tubes for measuring pressure of introduced gas or for detecting presence of gas
- H01J41/06—Discharge tubes for measuring pressure of introduced gas or for detecting presence of gas with ionisation by means of cold cathodes
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- G—PHYSICS
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- G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
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Description
DEUTSCHES
Die Erfindung bezieht sich auf ein Glimmentladungsgerät zum Messen niedriger Gasdrücke in einem mit
diesem Gerät verbundenen Raum, wobei die Glimmentladungsstrecke zwischen einer Kathode, die aus
zwei einander gegenüberliegenden, gleich großen flachen Platten besteht, und einer Anode, die aus
einem Ring oder Zylinder besteht, der den Raum zwischen den beiden Kathodenteilen umgibt, erzeugt
wird, wobei ein Magnetfeld vorhanden ist, von dem ein Kraftlinienbündel die beiden Kathodenteile, aber
nicht die Anode schneidet.
Die vorstehend erwähnten Glimmentladungsgeräte sind weitverbreitet wegen ihrer einfachen Bauart, der
leichten Anwendbarkeit und der kontinuierlichen Anzeige auch verflüssigbarer Dämpfe. Zum Unterschied
gegenüber vielen anderen Manometern wird ihre Wirkung nicht von einem Magnetfeld gestört,
sondern sie beruht eben auf dessen Vorhandensein. Der Wert dieses Magnetfeldes ist nicht besonders
kritisch. Es kann ein solches Glimmentladungsgerät beispielsweise im Streufeld des Magneten eines Zyklotrons
Verwendung finden, so daß der Druck möglichst nahe beim Vakuumraum gemessen werden kann.
Eine Beschränkung des bekannten Manometers ist jedoch die, daß der Druckbereich, in dem eine zuverlässige
Anzeige erzielbar ist, eine verhältnismäßig niedrige obere Grenze hat. Bei ansteigendem Druck
muß ein anderes Instrument eingeschaltet werden, das häufig keine kontinuierliche Anzeige liefert oder empfindlich
gegen die Einwirkung von Magnetfeldern ist.
Bei einem Glimmentladungsgerät zum Messen niedriger Gasdrücke in einem mit diesem Gerät verbundenen
Raum, bei dem die Kathode aus zwei einander gegenüberliegenden gleich großen flachen Platten und
die Anode aus einem weitmaschigen Ring oder zylinderförmigen Gitter besteht, das von einem leitenden
Zylinder umgeben ist, dessen Durchmesser das Eineinhalbfache bis Zweifache der Anode beträgt, welcher
Zylinder den Raum zwischen den beiden Kathodenteilen umgibt und wobei ein Magnetfeld vorgesehen
ist, von dem ein Kraftlinienbündel die beiden Kathodenteile, aber nicht die Anode schneidet, hat der
Zylinder, welcher die Anode umgibt, gegenüber der Kathode eine positive Spannung, die niedriger als
diejenige der Anode ist und vorzugsweise ein Viertel bis die Hälfte dieser Anodenspannung beträgt, wobei
der Strom zu dieser äußeren Elektrode als Maß für den Gasdruck dient. Bei der Anordnung nach der
Erfindung ergibt sich eine zuverlässige Anzeige im Druckbereich von angenähert 0,001 mm bis 1 mm. Für
niedrigere Drücke kann die äußere Elektrode mit der Anode verbunden werden, wodurch sich die bekannte
Anordnung ergibt.
Es sind bereits Ionisationsmanometer bekannt, bei Glimmentladungsgerät zum Messen
niedriger Gasdrücke
niedriger Gasdrücke
Anmelder:
N. V. Philips' Gloeilampenfabrieken,
Eindhoven (Niederlande)
Eindhoven (Niederlande)
Vertreter: Dr. rer. nat. P. Roßbach, Patentanwalt,
Hamburg 1, Mönckebergstr. 7
Hamburg 1, Mönckebergstr. 7
Beanspruchte Priorität:
Niederlande vom 7. Juli 1954
Niederlande vom 7. Juli 1954
Nicolaas Warmoltz, Eindhoven (Niederlande),
ist als Erfinder genannt worden
ist als Erfinder genannt worden
welchen ein zylindrisches Gitter von einem leitenden Ring umgeben ist, an dessen beiden Enden miteinander
verbunden leitende Platten vorgesehen sind. Im Gegensatz zu der Vorrichtung nach der Erfindung arbeitet
dieser lonisationsmanometer bei sehr niedrigen Drücken mit Hilfe einer Glühkathode, welche in der
Achse des Elektrodensystems ausgespannt worden ist. Der leitende Zylinder wird auf Kathodenpotential
gehalten oder auf einem schwach negativen Potential, während die Seitenelektrode auf einer hohen negativen
Spannung gehalten wird. Der maßgebende Strom ist hier der Ionenstrom, welcher zu den Seitenelektroden
fließt.
Die Erfindung wird nachstehend an Hand der Zeichnung näher erläutert, in der die Fig. 1 und 2
einen parallel zur Achse bzw. senkrecht zur Achse geführten Schnitt durch ein Glimmentladungsgerät
nach der Erfindung darstellen, während Fig. 3 den Verlauf des Stromes zu dieser äußeren Elektrode als
Funktion des Druckes zeigt.
In Fig. 1 und 2 bezeichnet 1 die Glaswand des Glimmentladungsgerätes, das durch ein Glasrohr 2
mit einem Raum verbunden werden kann, in dem der Druck gemessen werden muß. Die Kathode des
Glimmentladungsgerätes besteht aus zwei kreisförmigen Platten 3 und 4 mit einem Durohmesser von
30 mm, die außerhalb der Röhre miteinander verbunden sind. Die Anode besteht aus einem zylindrischen
Gitter 5, das 25 mm lang ist und einen Durchmesser
509 836/240
von 20 mm aufweist, mit Maschen von 2X2 mm. Der Zuführungsdraht zur Anode ist gegen eine zylindrische
Elektrode 6 isoliert, die die gleiche Länge wie die Anode und einen Durchmesser von 30 mm hat.
Die beiden Polschuhe des Magnetsystems sind mit N und S bezeichnet, und sie liefern an der Stelle der
Glimmentladungsstrecke ein Magnetfeld mit einer Stärke von 350 Gauß.
In Fig. 3 stellen die Linien I und II den Stromverlauf zur äußeren Elektrode dar, wenn die Anodenspannung
2000 Volt beträgt und die Spannung dieser Elektrode 500 bzw. 1000 Volt positiv gegenüber der
Kathode ist. Die senkrechte Skala ist in Mikroampere und die waagerechte logarithmisch in Millimeter. Die
Kurven gelten für Argon oder Luft. Bei niedrigen Drücken in der Nähe von 1O-4 mm für I bzw.
10—2 mm für II ist dieser Strom ein Elektronenstrom;
bei höheren Drücken ist er ein positiver Ionenstrom, und deshalb ist der Strom in diesem Bereich höherer
Drücke positiv dargestellt, obgleich ein Gleichstrommesser einen negativen Ausschlag liefert. Durch einmalige
Umschaltung der Spannung kann somit der Druck in dem Bereich von 2X10—* mm bis angenähert
1 mm gemessen werden, während für niedrigere Drücke der Zylinder und das Gitter beide an 2000 Volt
angeschlossen werden.
Claims (1)
- Patentanspruch.·Glimmentladungsgerät zum Messen niedriger Gasdrücke in einem mit diesem Gerät verbundenen Raum, bei dem die Kathode aus zwei einander gegenüberliegenden gleich großen flachen Platten und die Anode aus einem weitmaschigen Ring oder zylinderförmigen Gitter besteht, das von einem leitenden Zylinder umgeben ist, dessen Durchmesser das Eineinhalbfache bis Zweifache der Anode beträgt, welcher Zylinder den Raum zwischen den beiden Kathodenteilen umgibt und wobei ein Magnetfeld vorgesehen ist, von dem ein Kraftlinienbündel die beiden Kathodenteile, aber nicht die Anode schneidet, dadurch gekennzeichnet, daß der Zylinder, welcher die Anode umgibt, gegenüber der Kathode eine positive Spannung hat, die niedriger als diejenige der Anode ist und vorzugsweise ein Viertel bis die Hälfte dieser Anodenspannung beträgt, wobei der Strom zu dieser äußeren Elektrode als Maß für den Gasdruck dient.In Betracht gezogene Druckschriften:
Philips Technische Rundschau, Jg. 11, H. 4 (1949), S.117;deutsche Patentschrift Nr. 861 329.Hierzu 1 Blatt Zeichnungen© 609 836/240 2.57
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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NL189032 | 1954-07-07 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
DE1002968B true DE1002968B (de) | 1957-02-21 |
Family
ID=19750672
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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DEN10881A Pending DE1002968B (de) | 1954-07-07 | 1955-07-02 | Glimmentladungsgeraet zum Messen niedriger Gasdruecke |
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GB (1) | GB780828A (de) |
NL (2) | NL101770C (de) |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE1137235B (de) * | 1957-12-27 | 1962-09-27 | Gen Electric | Vorrichtung zum Messen niedriger Gasdruecke |
DE1159667B (de) * | 1958-06-11 | 1963-12-19 | Nat Res Council | Magnetfeldroehre zur Messung niedriger Druecke |
DE1279381B (de) * | 1960-08-29 | 1968-10-03 | Nat Res Council Ottawa | Magnetfeldroehre zur Messung niedriger Druecke |
DE102011010138A1 (de) * | 2010-10-22 | 2012-04-26 | Vacom Vakuum Komponenten & Messtechnik Gmbh | Kaltkathoden-Druckmessvorrichtung vom Penning-Typ |
Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE861329C (de) * | 1951-04-10 | 1952-12-29 | Telefunken Gmbh | Ionisationsmanometer |
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0
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- NL NLAANVRAGE8700839,A patent/NL189032B/xx unknown
- NL NL101770D patent/NL101770C/xx active
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1955
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- 1955-07-04 GB GB1926155A patent/GB780828A/en not_active Expired
- 1955-07-05 FR FR1127210D patent/FR1127210A/fr not_active Expired
- 1955-07-06 CH CH332179D patent/CH332179A/de unknown
Patent Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE861329C (de) * | 1951-04-10 | 1952-12-29 | Telefunken Gmbh | Ionisationsmanometer |
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE1137235B (de) * | 1957-12-27 | 1962-09-27 | Gen Electric | Vorrichtung zum Messen niedriger Gasdruecke |
DE1159667B (de) * | 1958-06-11 | 1963-12-19 | Nat Res Council | Magnetfeldroehre zur Messung niedriger Druecke |
DE1279381B (de) * | 1960-08-29 | 1968-10-03 | Nat Res Council Ottawa | Magnetfeldroehre zur Messung niedriger Druecke |
DE102011010138A1 (de) * | 2010-10-22 | 2012-04-26 | Vacom Vakuum Komponenten & Messtechnik Gmbh | Kaltkathoden-Druckmessvorrichtung vom Penning-Typ |
DE102011010138B4 (de) * | 2010-10-22 | 2012-11-15 | Vacom Vakuum Komponenten & Messtechnik Gmbh | Kaltkathoden-Druckmessvorrichtung vom Penning-Typ |
Also Published As
Publication number | Publication date |
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NL189032B (nl) | |
BE539566A (de) | |
GB780828A (en) | 1957-08-07 |
NL101770C (de) | |
CH332179A (de) | 1958-08-31 |
FR1127210A (fr) | 1956-12-11 |
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