DE10018682A1 - Piezoelektrisches Bauelement und piezoelektrischer Oszillator, bei dem es Verwendung findet - Google Patents
Piezoelektrisches Bauelement und piezoelektrischer Oszillator, bei dem es Verwendung findetInfo
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Abstract
Ein piezoelektrischer Oszillator weist ein Substrat, auf dem eine Lastkapazität montiert ist, einen auf dem Substrat angeordnete Lastkapazität umschließenden Rahmen und einen metallischen Federkontakt, welcher in dem Rahmen angeordnet ist, in dem die Lastkapazität in einem zwischen dem Substrat und dem metallischen Federkontakt gebildeten Raum aufgenommen wird, auf. Der piezoelektrische Oszillator weist des weiteren einen auf dem metallischen Federkontakt angeordneten piezoelektrischen Resonator auf. Eine zur Abdeckung des Rahmens auf dem Substrat angeordnete Metallklappe weist an ihrer Innenseite eine Ausbuchtung auf. Der piezoelektrische Resonator wird durch den metallischen Federkontakt und die Ausbuchtung der Kappe gehalten. Der metallische Federkontakt wird mit einem auf dem Substrat ausgebildeten Leiterbahnmuster elektrisch verbunden, und die Kappe wird mit dem anderen Leiterbahnmuster, das auf dem Substrat ausgebildet wird, durch einen leitenden Klebstoff verklebt, wodurch die beiden auf dem piezoelektrischen Resonator angeordneten Elektroden mit an der Unterseite des Substrats angeordneten externen Elektroden verbunden werden.
Description
Die Erfindung bezieht sich auf piezoelektrische Bauelemente, insbesondere auf
ein piezoelektrisches Bauelement, das einen piezoelektrischen Resonator auf
nimmt, welcher im Flächenschwingungsmodus (spread vibration mode) arbeitet.
Die Erfindung bezieht sich des weiteren auf piezoelektrische Oszillatoren, insbe
sondere auf einen piezoelektrischen Oszillator, welcher Flächenschwingungen
ausführt.
Fig. 19 ist eine Schnittansicht eines bekannten piezoelektrischen Bauelements
131. Das piezoelektrische Bauelement 131 weist einen quadratischen piezoelek
trischen Resonator 132 mit Flächenschwingungseigenschaften auf, der mit in
metallischen Federkontakten eingeschlossenen Elektrodenplättchen 134 ge
klemmt wird, wobei der piezoelektrische Resonator 132 anschließend in einer
schachtelähnlichen Harzeinhüllung 135 aufgenommen wird. Der piezoelektrische
Resonator 132 ist in der Harzeinhüllung 135 in einer solchen Weise versiegelt,
daß die Harzeinhüllung 135 an der Öffnung derselben eine Unterteilung 136 auf
weist, welche aus dünnem Papier besteht, und ein Dichtungsharz 137 wird auf die
Unterteilung 136 aufgebracht und ausgehärtet, womit die Harzeinhüllung 135 ver
siegelt wird.
Bei dem piezoelektrischen Bauelement 131, das die Unterteilung 136 aus dünnem
Papier aufweist, ist in der Praxis das automatische Einsetzen der Unterteilung 136
schwer durchzuführen, weshalb der Zusammenbau des piezoelektrischen Bau
elements 131 nicht effizient ausgeführt wird. Ein in Fig. 20 gezeigtes piezoelektri
sches Bauelement 138 weist einen piezoelektrischen Resonator 132 auf, welcher
Flächenschwingungseigenschaften aufweist und durch Elektrodenplättchen 134
geklemmt wird, welche in metallischen Federkontakten 133 eingeschlossen sind.
Der piezoelektrische Resonator 132 wird in eine innere Einhüllung 139 eingesetzt,
während er von den Elektrodenplättchen 134 eingeklemmt wird. Die innere Ein
hüllung 139, welche den piezoelektrischen Resonator 132 aufnimmt, wird in eine
Harzeinhüllung 135 eingesetzt, wobei die Öffnung der inneren Einhüllung 139
nach unten gerichtet angeordnet ist und die Öffnung der Harzeinhüllung 135 durch
ein Dichtungsharz 137 versiegelt wird.
Bei dem in Fig. 19 gezeigten piezoelektrischen Bauelement 131, bei welchem der
piezoelektrische Resonator 132 in die Harzeinhüllung 135 eingesetzt wird, wäh
rend er von dem Paar Elektrodenplättchen 134 geklemmt wird, ist ein automati
scher Zusammenbau schwer auszuführen. Analog ist bei dem in Fig. 20 gezeigten
piezoelektrischen Bauelement 138, bei dem der piezoelektrische Resonator 132 in
die innere Einhüllung 139 eingesetzt wird, während er von einem Paar Elektro
denplättchen 134 geklemmt wird, ein automatischer Zusammenbau schwer aus
zuführen. Sowohl bei dem piezoelektrischen Bauelement 131 als auch bei dem
piezoelektrischen Bauelement 138 ist der Zusammenbau dann leichter, wenn die
Druckkraft der Elektrodenplättchen 134, die auf den piezoelektrischen Resonator
132 ausgeübt wird, reduziert wird. Der piezoelektrische Resonator 132 kann je
doch von den Elektrodenplättchen 134 nicht festgehalten werden, wenn die
Druckkraft derselben reduziert wird, womit die Zuverlässigkeit der Produkte her
abgesetzt wird. Wenn die Druckkraft der Elektrodenplättchen 134 gesteigert wird,
wird der Einsatz des piezoelektrischen Resonators 132 in die Harzeinhüllung 135
und die innere Einhüllung 139 schwierig, weshalb der Zusammenbau der piezo
elektrischen Bauelemente 131 und 138 erschwert wird.
Eine Resonanzfrequenz fr des piezoelektrischen Resonators 132, der Flächen
schwingungen ausführt, wird so bestimmt, daß dem Ausdruck fr = V/(2L) genügt
wird, bei dem V für die Geschwindigkeit von in einer piezoelektrischen Substanz
übertragenem Schall steht und L für die Länge eines Bauteils des quadratischen
piezoelektrischen Resonators 132. Bei einem an sich bekannten piezoelektrischen
Bauelement, wie z. B. das piezoelektrische Bauelement 131 oder 138, muß, wenn
die Betriebsfrequenz des piezoelektrischen Bauelements unterschiedlich ist, die
Größe des piezoelektrischen Resonators entsprechend der Betriebsfrequenz ge
ändert werden, weshalb die Harzeinhüllung 135 oder die innere Einhüllung 139
entsprechend der Größe des piezoelektrischen Resonators 132 in verschiedenen
Größen hergestellt werden müssen. Die Harzeinhüllung 135 und die innere Ein
hüllung 139 müssen in einer für die Größe des piezoelektrischen Resonators 132
am besten geeigneten Größe hergestellt werden. Wenn die Harzeinhüllung 135
oder die innere Einhüllung 139 relativ groß ist, bewegt sich der piezoelektrische
Resonator 132 und kann in der Harzeinhüllung 135 oder in der innere Einhüllung
139 nicht ordnungsgemäß befestigt werden. Der piezoelektrische Resonator 132
mit Flächenschwingungseigenschaften muß an einem Knotenpunkt im mittleren
Bereich durch die Elektrodenplättchen 134 gehalten werden. Demzufolge werden
bei den an sich bekannten piezoelektrischen Bauelementen 131 und 138, welche
die oben beschriebenen Konfigurationen haben, die Formkosten erhöht, weil die
Harzeinhüllung 135 und die innere Einhüllung 139 entsprechend der Größe des
piezoelektrischen Resonators 132 in verschiedenen Größen hergestellt werden
müssen.
Darüber hinaus werden die oben beschriebenen piezoelektrischen Bauelemente
131 und 138 auf Leiterplatten montiert, wofür metallische Federkontakte 133 ver
wendet werden, die aus der Harzeinhüllung 135 hervorstehen und in durchgängi
ge Bohrungen oder ähnliches eingesetzt werden, die auf den Leiterplatten ange
bracht werden, was in einem automatisierten Prozeß schwer auszuführen ist. Un
ter diesen Umständen sind piezoelektrische Bauelemente, welche oberflächen
montiert werden können, erforderlich. Ein in den Fig. 21A und 21B gezeigtes
piezoelektrisches Bauelement 141 wird ebenfalls vorgeschlagen, bei dem An
schlüsse 140 der metallischen Federkontakte 133, welche die Elektrodenplättchen
134 aufweisen, welche in den in den Fig. 19 und 20 gezeigten piezoelektri
schen Bauelementen 131 und 138 vorgesehen sind, im Bereich der sich jeweils
gegenüberliegenden Enden eines Bauteils jedes der piezoelektrischen Bauele
mente 131 und 138 angeordnet sind. Die Anschlüsse 140 werden in Form des
Buchstaben U gefaltet, wie dies in den Fig. 21A und 21B gezeigt wird, womit
es ermöglicht wird, daß das piezoelektrische Bauelement 141 oberflächenmontiert
wird.
Jedoch wurde insofern bei dem oberflächenmontierten piezoelektrischen Bauele
ment 141 ein Problem festgestellt, als das piezoelektrische Bauelement 141 nicht
in stabiler Form oberflächenmontiert und beim Verlöten auf der Leiterplatte in ei
ner falschen Lage montiert wird.
Fig. 14 ist ein Diagramm mit der Darstellung der allgemeinen Konfiguration einer
Keramik-Oszillator-Schaltung, bei der ein invertierender Operationsverstärker
(OP) (auch ein Mikrocomputer kann verwendet werden), ein Dämpfungswider
stand R und ein piezoelektrischer Resonator 62 parallel geschaltet werden, wobei
der Eingangsanschluß des invertierenden Operationsverstärkers OP mit einer
Lastkapazität C1 gegen Masse geschaltet wird und der Ausgang des invertieren
den Verstärkers OP mit einer Lastkapazität C2 gegen Masse geschaltet wird.
Es wird ein piezoelektrischer Oszillator vorgeschlagen, welcher einen keramischen
oszillierenden Schaltkreis aufweist, welcher oszillierende Frequenzen im Bereich
von 1 bis 90 MHz erzeugt und bei dem der piezoelektrische Resonator 62 für ei
nen Dicken- oder Längenschwingungsmodus oder einen Scherschwingungsmo
dus geeignet ist, vorgesehen ist und die Lastkapazität C1 und die Lastkapazität
C2 an beiden Enden des piezoelektrischen Resonators 62 angeordnet sind. Der
piezoelektrische Resonator 62 und die Lastkapazitäten C1 und C2 werden, wie in
gestrichelten Linien in Fig. 14 dargestellt, als eine Einheit zusammengebaut.
Wenn die Oszillatorfrequenz von 100 bis 2.000 kHz reicht, wird ein piezoelektri
scher Flächenschwingungen ausführender Oszillator genutzt. Fig. 15 zeigt die
Konfiguration eines an sich bekannten piezoelektrischen Oszillators 61, der Flä
chenschwingungseigenschaften aufweist. In Fig. 15 wird ein quadratisch ausge
bildeter, Flächenschwingungen ausführender piezoelektrischer Resonator 62 mit
mit Metallfederkontakten 62 verbundenen Elektrodenplättchen 64 geklemmt, und
der so gehaltene piezoelektrische Resonator 62 wird in einer Harzeinhüllung 65
aufgenommen. Die Öffnung der Harzeinhüllung 65 wird durch eine aus dünnem
Papier bestehende Unterteilung 66 abgedeckt, und auf die Unterteilung 66 wird
ein Dichtungsharz 67 aufgebracht und ausgehärtet, womit der piezoelektrische
Resonator 62 in der Harzeinhüllung 65 versiegelt wird.
Bei dem piezoelektrischen Oszillator, der diese Konfiguration aufweist, ist es
schwer, die Lastkapazitäten zu integrieren, ohne das Volumen zu vergrößern. Ein
miniaturisierter piezoelektrischer Oszillator, der einen mit Lastkapazitäten inte
grierten piezoelektrischen Resonator, welcher Flächenschwingungen ausführt,
aufweist, wurde nicht in der Praxis eingesetzt. Der piezoelektrische Oszillator die
ses Typs wird mit getrennten Lastkapazitäten geliefert.
Demzufolge ist es eine erste Aufgabe der Erfindung, ein piezoelektrisches Bau
elemente mit Flächenschwingungsmodus zu liefern, das leicht zusammengebaut
werden kann. Eine zweite Aufgabe der Erfindung ist die Lieferung eines piezo
elektrischen Bauelements mit Flächenschwingungsmodus, das für Oberflächen
montage geeignet ist. Eine dritte Aufgabe der Erfindung ist die Lieferung eines
piezoelektrischen Bauelements, das piezoelektrische Resonatoren mit Flächen
schwingungsmodus verschiedener Größen aufzunehmen vermag, bei dem die
Formkosten nicht erhöht werden.
Eine vierte Aufgabe der Erfindung ist die Lieferung eines miniaturisierten piezo
elektrischen Oszillators, welcher einen mit Lastkapazitäten integrierten im Flä
chenschwingungsmodus arbeitenden piezoelektrischen Resonator aufweist.
Demzufolge weist entsprechend einem ersten Merkmal der Erfindung ein piezo
elektrisches Bauelement ein Substrat, einen auf dem Substrat angeordneten me
tallischen Federkontakt, eine zur Abdeckung des mit dem metallischen Feder
kontakt versehenen Substrats vorgesehene Kappe und einen Flächenschwingun
gen ausführenden piezoelektrischen Resonator auf. Der piezoelektrische Reso
nator wird durch die Kappe und den metallischen Federkontakt federnd geklemmt.
Das erfindungsgemäße piezoelektrische Bauelement wird ausgebildet durch Zu
sammenbau der Komponenten in einer solchen Weise, daß der metallische Fe
derkontakt auf das Substrat, der piezoelektrische Resonator auf den metallischen
Federkontakt und die Kappe auf den piezoelektrischen Resonator aufgesetzt wer
den. Bei dieser Anordnung können die Komponenten mühelos zusammengebaut
werden, und es kann ein für automatisierten Zusammenbau geeignetes piezo
elektrisches Bauelement geliefert werden.
Bei dem piezoelektrischen Bauelement nach der Erfindung können externe Elek
troden mindestens auf der Bodenfläche und der Peripherie des Substrats ange
ordnet werden, wobei die externen Elektroden mit Elektroden verbunden werden,
die auf der oberen Fläche und der Bodenfläche des piezoelektrischen Resonators
angeordnet sind.
Bei der oben beschriebenen Anordnung, bei der die externen Elektroden minde
stens auf der Bodenfläche und der Peripherie des Substrats angeordnet werden,
kann ein piezoelektrisches für die Oberflächenmontage bestimmtes Bauelement,
das Flächenschwingungen ausführt und keine Anschlüsse aufweist, geliefert wer
den, welche auf einer Leiterplatte und ähnlichem in stabiler Weise montiert wer
den kann.
In dem piezoelektrischen Bauelement kann der piezoelektrische Resonator durch
eine erste an der Kappe angeordnete Ausbuchtung und durch eine zweite, auf
dem metallischen Federkontakt angeordnete Ausbuchtung gehalten werden, wo
bei die Kappe aus metallischem Material besteht.
Bei dieser Anordnung, bei der der piezoelektrische Resonator durch die erste auf
der Metallkappe angeordnete und die zweite, auf dem Federkontakt angeordnete
Ausbuchtung geklemmt wird, dient die Metallkappe als ein Kontakt, der dem Fe
derkontakt gegenüberliegt, wobei der piezoelektrische Resonator dazwischenliegt,
wodurch die Anzahl von Komponenten reduziert wird.
Das piezoelektrische Bauelement nach der Erfindung kann einen Rahmen aufwei
sen, der den auf dem Substrat angeordneten piezoelektrischen Resonator um
schließt, sowie dritte Ausbuchtungen an den inneren Wänden des Rahmens in
Richtung auf den piezoelektrischen Resonator, wobei die Größe der dritten Aus
buchtungen variabel ist. Die Größe der dritten Ausbuchtungen kann entweder
durch Beschneiden der dritten Ausbuchtungen oder durch Ersetzen der dritten
Ausbuchtungen durch andere mit dem Rahmen zu verbindende, eine andere
Größe aufweisende Ausbuchtungen geändert werden.
Bei dem piezoelektrischen Bauelement, das die dritten Ausbuchtungen aufweist,
deren Größe variabel ist und die an Innenwänden des den piezoelektrischen Re
sonator umschließenden Rahmens in Richtung auf den piezoelektrischen Reso
nator angeordnet sind, können piezoelektrische Resonatoren mit verschiedenen
Größen auf dem Substrat aufgenommen werden, ohne die Größe des Substrats
zu ändern, was dadurch ermöglicht wird, daß die Größe der an den inneren Wän
den des Rahmens angeordneten dritten Ausbuchtungen entsprechend der Größe
des aufzunehmenden piezoelektrischen Resonators geändert wird.
Nach einem zweiten Merkmal der Erfindung weist ein piezoelektrischer Oszillator
ein Substrat, einen metallischen auf dem Substrat vorgesehenen Federkontakt,
eine in einem zwischen dem Substrat und dem metallischen Federkontakt ausge
bildeten Raum untergebrachte Lastkapazität, eine zur Abdeckung des mit dem
metallischen Federkontakt und der Lastkapazitätsvorrichtung versehenen
Substrats vorgesehene Kappe und einen Flächenschwingungen ausführenden
piezoelektrischen Resonator auf. Der piezoelektrische Resonator wird durch die
Kappe und den metallischen Federkontakt federnd geklemmt.
Der piezoelektrische Oszillator wird in einer Einheit ausgebildet, indem die Kom
ponenten in einer solchen Weise zusammengebaut werden, daß die Lastkapazität
auf das Substrat, der metallische Federkontakt auf die Lastkapazität, der piezo
elektrische Resonator auf den metallischen Federkontakt und die Kappe auf den
piezoelektrischen Resonator aufgesetzt werden, wodurch der Prozeß des Zu
sammenbaus vereinfacht wird. Die Lastkapazität kann aufgenommen werden,
ohne daß die äußeren Abmessungen des auf dem Substrat in einem zwischen
dem Substrat und dem metallischen Federkontakt ausgebildeten Raum montier
ten piezoelektrischen Resonators vergrößert werden müssen.
Bei dem piezoelektrischen Oszillator kann das Substrat mit durchgängigen Boh
rungen versehen sein, welche mit externen Elektroden in Verbindung stehen, die
an der Bodenfläche des Substrats angebracht sind, und die externen Elektroden
und die Lastkapazität werden über ein die durchgängigen Bohrungen auffüllendes
leitendes Material elektrisch miteinander verbunden.
Bei dem piezoelektrischen Oszillator nach der Erfindung ist es nicht notwendig,
daß Leiterbahnmuster auf dem Substrat ausgebildet werden, und die Elektroden
der Lastkapazität können mühelos nach außen geführt werden, da das Substrat
mit externen Elektroden in Verbindung stehende durchgängige Bohrungen auf
weist und die externen Elektroden und Lastkapazitäten über die mit einem leiten
den Material aufgefüllten durchgängigen Bohrungen miteinander verbunden sind.
Der piezoelektrische Oszillator kann mühelos durch das die durchgängigen Boh
rungen auffüllende leitende Material vollständig versiegelt werden.
Nach einem dritten Merkmal der Erfindung weist ein piezoelektrischer Oszillator
ein Substrat, eine zur Abdeckung des Substrats vorgesehene Kappe, einen Flä
chenschwingungen ausführenden, zwischen dem Substrat und der Kappe ange
ordneten piezoelektrischen Resonator und eine auf einer der Oberseite und der
Unterseite des Substrats montierte Lastkapazität auf.
Der Prozeß des Zusammenbaus des erfindungsgemäßen piezoelektrischen Os
zillators kann einfach gestaltet werden, denn der piezoelektrische Oszillator wird
dadurch ausgebildet, daß ein Substrat mit einer Lastkapazität auf der Oberseite
oder der Unterseite desselben und ein zwischen dem Substrat und einer Kappe
aufgenommener, Flächenschwingungen ausführender, piezoelektrischer Reso
nator zusammengebaut werden. Die Lastkapazität kann an der Unterseite des ein
piezoelektrisches Bauelement aufweisenden Substrats angebracht werden, wo
durch die Lastkapazität ohne Vergrößerung der Außenabmessungen des piezo
elektrischen Oszillators montiert werden kann.
Der piezoelektrische Oszillator nach der Erfindung kann des weiteren Anschluß
beinchen aufweisen, die an der Unterseite des Substrats angeordnet sind. Ein
äußeres Umhüllungsharz kann das Substrat und die den piezoelektrischen Reso
nator, die Lastkapazitäts- und Montageenden der Anschlußbeinchen enthaltende
Kappe abdecken.
Das Substrat mit den Anschlußbeinchen an der Unterseite derselben kann durch
das äußere Umhüllungsharz abgedeckt werden. Bei dieser Anordnung kann ein
piezoelektrischer Oszillator mit Anschlüssen, bei dem der Flächenschwingungen
ausführende piezoelektrische Resonator und die Lastkapazität als eine Einheit
zusammengebaut werden, leicht hergestellt werden.
Weitere erfindungswesentliche Merkmale und Vorteile der Erfindung gehen aus
der nachstehenden Beschreibung hervor, in der mit Bezug auf die Zeichnungen
Ausführungsbeispiele erläutert werden. In den Zeichnungen zeigen
Fig. 1 eine Querschnittsansicht eines piezoelektrischen Oszillators nach ei
nem ersten Ausführungsbeispiel der Erfindung;
Fig. 2 eine Explosionszeichnung des in Fig. 1 gezeigten piezoelektrischen
Oszillators;
Fig. 3 eine perspektivische Ansicht eines Substrats von unten, wie es in dem
in Fig. 1 gezeigten piezoelektrischen Oszillator verwendet wird;
Fig. 4 eine Seitenansicht einer Lastkapazität;
Fig. 5A eine perspektivische Ansicht eines mit einem leitenden Klebstoff verse
henen Substrats;
Fig. 5B eine perspektivische Ansicht einer auf dem in Fig. 5A gezeigten
Substrat montierten Lastkapazität;
Fig. 6 eine Querschnittsansicht eines piezoelektrischen Oszillators nach einer
dritten Ausführungsform der Erfindung;
Fig. 7 eine perspektivische Ansicht von Lastkapazitäten, die auf ein Substrat
des in Fig. 6 gezeigten piezoelektrischen Oszillators montiert sind;
Fig. 8 eine Querschnittsansicht eines piezoelektrischen Oszillators nach ei
nem vierten Ausführungsbeispiel der Erfindung;
Fig. 9 eine Explosionszeichnung des in Fig. 8 gezeigten piezoelektrischen
Oszillators;
Fig. 10 eine perspektivische Ansicht eines Substrats von unten, wie es in dem
in Fig. 9 gezeigten piezoelektrischen Oszillator Verwendung findet;
Fig. 11 eine perspektivische Ansicht eines piezoelektrischen Oszillators nach
einem fünften Ausführungsbeispiel der Erfindung;
Fig. 12 eine Seitenansicht eines piezoelektrischen Oszillators nach einem
sechsten Ausführungsbeispiel der Erfindung;
Fig. 13A eine perspektivische Ansicht eines Substrats von oben, wie es in dem
in Fig. 12 gezeigten piezoelektrischen Oszillator Verwendung findet;
Fig. 13B eine perspektivische Ansicht des im in Fig. 12 gezeigten piezoelektri
schen Oszillator verwendeten Substrats von unten;
Fig. 14 ein Blockdiagramm einer Keramikoszillatorschaltung;
Fig. 15 eine Querschnittsansicht eines an sich bekannten piezoelektrischen
Oszillators;
Fig. 16 eine Querschnittsansicht eines piezoelektrischen Bauelements nach
einem ersten Ausführungsbeispiel der Erfindung;
Fig. 17 eine Explosionszeichnung des in Fig. 16 gezeigten piezoelektrischen
Bauelements;
Fig. 18 eine perspektivische Ansicht eines in Fig. 17 gezeigten Substrats von
unten;
Fig. 19 eine Querschnittsansicht eines an sich bekannten piezoelektrischen
Bauelements;
Fig. 20 eine Querschnittsansicht eines anderen an sich bekannten piezoelek
trischen Bauelements;
Fig. 21A eine perspektivische Ansicht eines piezoelektrischen oberflächenmon
tierten Bauelements; und
Fig. 21B eine Seitenansicht des in Fig. 21A gezeigten piezoelektrischen Bau
elements.
Fig. 16 ist eine Querschnittsansicht eines piezoelektrischen Bauelements 100
nach einem ersten Ausführungsbeispiel der Erfindung. Fig. 17 ist eine Explosions
zeichnung des in Fig. 16 gezeigten piezoelektrischen Bauelements 100. Das in
Fig. 16 gezeigte piezoelektrische Bauelement 100 weist ein Substrat 102, einen
Rahmen 103, einen Federkontakt 104, einen piezoelektrischen Resonator 105
und eine Kappe 106 auf. Das Substrat 102 weist eine (in Fig. 17 gezeigte)
Substratbasis 107 aus einem Material, wie z. B. Epoxyglas oder Keramik, auf, wo
bei die Substratbasis 107 Elektroden aufweist. Die Substratbasis 107 weist Leiter
bahnmuster 108 und 109 auf, die, wie in Fig. 17 gezeigt, in zwei Abschnitten an
der Oberseite der Substratbasis 107 ausgebildet sind. Die Substratbasis 107
weist, wie in Fig. 18 gezeigt, externe Elektroden 110 und 111 in zwei Abschnitten
an der Unterseite der Substratbasis 107 auf. Die an der Oberseite der Substrat
basis 107 angeordneten Leiterbahnmuster 108 und 109 sind über im wesentliche
U-förmige durchgängige Bohrungen 112 und 113 mit den externen Elektroden 110
und 111 verbunden.
Der Rahmen 103 besteht aus einem gegossenen Harz (beispielsweise Spritzguß)
und ist tief genug, um den Federkontakt 104 und den piezoelektrischen Resonator
105 aufzunehmen. Die Innenabmessungen des Rahmens 103 sind die gleichen
wie die Abmessungen des größten piezoelektrischen Resonators 105 oder größer.
Der Rahmen 103 weist eine Ausbuchtung 114 an jeder der vier Innenwände des
Rahmens 103 auf. Die Größe jeder Ausbuchtung 114 wird so gewählt, daß die
Ausbuchtungen 114 einen kleinsten in dem Rahmen 103 aufgenommenen piezo
elektrischen Resonator 105 in einem mittleren Bereich (Knotenpunkt) jeder der
Seiten des piezoelektrischen Resonators 105 halten und den piezoelektrischen
Resonator 105 so positionieren, daß er sich weder bewegt noch rotiert.
Wenn der Rahmen 103 einen piezoelektrischen Resonator 105 aufnimmt, der
größer ist als der, für den die Größe der Ausbuchtungen 114 eingestellt ist, wer
den die Ausbuchtungen 114 im Rahmen 103 entsprechend der Größe des piezo
elektrischen Resonators 105 in der Weise beschnitten, daß der piezoelektrische
Resonator 105 ordnungsgemäß in dem Rahmen 103 aufgenommen werden kann.
Bei dieser Anordnung kann der Rahmen 103 jeweils genutzt werden, um piezo
elektrische Resonatoren 105 verschiedener Größe aufzunehmen, d. h. also sol
che, die verschiedene Betriebsfrequenzen aufweisen, wodurch die Anzahl von
Komponenten und damit die Kosten der Produkte reduziert werden können. Ins
besondere können die Kosten für Formen dadurch minimiert werden, daß die Zahl
von Formen für Plastikkomponenten geringer wird. Der Rahmen 103, welcher
Ausbuchtungen 114 aufweist, deren Größe durch Beschneiden entsprechend ein
gestellt wird, ist mit dem Substrat 102 an dessen Oberseite an der Peripherie des
Substrats 102 durch einen Klebstoff 115 verbunden, der an der Unterseite des
Rahmens 103, wie in Fig. 16 gezeigt, aufgebracht wird.
Nach diesem Ausführungsbeispiel können, während die einzelnen Substrate 102
und der Rahmen 103 zur Bildung einer Substrateinheit miteinander verbunden
werden, die Substrate 102 und der Rahmen 103 als eine Einheit miteinander zur
Bildung der Substrateinheit ausgeformt werden. Die Anzahl von Komponenten
kann reduziert werden, indem die Substrateinheit entsprechend als eine Einheit
ausgebildet wird. Die Leiterbahnen 108 und 109 und die externen Elektroden 110
und 111 können durch Verwendung eines Epoxyglassubstrats, eines Kera
miksubstrats oder ähnliches mühelos ausgeformt werden, wenn die Substratein
heit mit dem Einzelsubstrat 102 und dem Rahmen 103 ausgebildet wird, wie dies
oben entsprechend dem obigen Ausführungsbeispiel beschrieben wurde.
Der Federkontakt 104 weist eine Ausbuchtung 116 oben auf dem Federkontakt
104 an dessen Mittelpunkt und vier sich radial erstreckende Beinchen 117 auf, wie
in Fig. 17 gezeigt. Die Beinchen 117 des Federkontaktes 104 erstrecken sich
nach unten im wesentlichen in Form des Buchstaben C, weshalb sie Elastizität
aufweisen. Jedes der vier Beinchen 117 erstreckt sich in Richtung auf eine Ecke
des Rahmens 103. Der Abstand zwischen den Spitzen der Beinchen 117, die je
weils an Ecken des Rahmens 103 gegenüberliegen, ist so eingestellt, daß er im
wesentlichen der gleiche Abstand ist, wie derjenige zwischen sich gegenüberlie
genden Ecken des Rahmens 103. Aufgrund dieser Konfiguration wird der Feder
kontakt 104 im Rahmen 103 ohne Behinderung durch die Ausbuchtungen 114
eingesetzt, und jedes der Beinchen 117 des Federkontaktes 104 ist an jeweils
einer Ecke des Rahmens 103 positioniert. Da das Leiterbahnmuster 109 an den
vier Ecken des Rahmens 103 zugänglich ist, wird ein Kontakt zwischen dem Fe
derkontakt 104 und dem Leiterbahnmuster 109 des Substrats 102 hergestellt.
Der in Fig. 17 gezeigte piezoelektrische Resonator 105 weist ein quadratisches
piezoelektrisches Substrat auf, das in Richtung der Dicke polarisiert ist, wobei das
piezoelektrische Substrat Elektroden aufweist, die an dessen Ober- und Unter
seite ausgebildet werden. Ein Knotenpunkt ist am Mittelpunkt der größeren Flä
chen des piezoelektrischen Substrats angeordnet. Wenn der piezoelektrische Re
sonator 105 in dem Rahmen 103 aufgenommen wird, kommt die Ausbuchtung
116 des Federkontaktes 104 mit der Nähe des Mittelpunkts (dem Knotenpunkt)
des piezoelektrischen Resonators 105 in Berührung und stützt den piezoelektri
schen Resonator 105. Die Ausbuchtungen 114 des Rahmens 103 kommen dem
piezoelektrischen Resonator 105 in einem Zwischenbereich (einem Knotenpunkt)
jedes Seitenteils des piezoelektrischen Resonators 105 nahe bzw. berühren ihn
und positionieren so den piezoelektrischen Resonator 105.
Die Kappe 106 besteht aus metallischem Material, wie z. B. Aluminium oder Kup
fer, und ist in einer Form und einer Größe ausgeformt, daß sie auf dem Substrat
102 angeordnet werden und den Rahmen 103 abdecken kann. Die Kappe 106
weist am Mittelpunkt ihrer Innenfläche eine Ausbuchtung 118 auf. Der in dem
Rahmen 103 zusammen mit dem Federkontakt 104 aufgenommene piezoelektri
sche Resonator 105 wird zwischen dem Substrat 102 und der Kappe 106 in einer
solchen Weise versiegelt, daß der piezoelektrische Resonator 105 und der Feder
kontakt 104 im Rahmen 103 aufgenommen werden, die Kappe 106 wird zur Ab
deckung des Rahmens 103 auf das Substrat 102 aufgesetzt, und die Kappe 106,
welche an ihrem Flansch mit einem isolierenden Klebstoff 119 versehen ist, wird
dadurch mit dem Substrat 102 verbunden, daß der isolierende Klebstoff 119 aus
härtet, während die Kappe 106 gegen das Substrat 102 gedrückt wird. Da das
Leiterbahnmuster 108 in einem Teil der Position angeordnet ist, an der die Kappe
106 verklebt wird, wird in diesem Teil anstelle des isolierenden Klebstoffs 119 ein
leitender Klebstoff 120 verwendet, wodurch die Kappe 106 nur mit dem Leiter
bahnmuster 108 elektrisch verbunden ist. Ein Abstand von ca. 0,2 mm wird durch
die Ausbuchtung 118 zwischen der Innenfläche der Kappe 106 und der Oberseite
des piezoelektrischen Resonators 105 geschaffen.
Wenn die Kappe 106 mit dem Substrat 102 verklebt wird, während die Kappe 106
gegen das Substrat 102 gedrückt wird, werden die Ausbuchtung 116 des Feder
kontaktes 104 und die Ausbuchtung 118 der Kappe 106 gegen die Ober- bzw.
Unterseite des piezoelektrischen Resonators 105 in der Weise gedrückt, daß der
piezoelektrische Resonator 105 an dem am Mittelpunkt angeordneten Knoten
punkt verklemmt wird und so, daß der piezoelektrische Resonator 105 mit dem
Federkontakt 104 und der Kappe 106 elektrisch verbunden wird. Der Federkontakt
104 ist mit der externen Elektrode 111 durch das Leiterbahnmuster 109 und die
durchgängige Bohrung 113 elektrisch verbunden, und die Kappe 106 ist mit der
externen Elektrode 110 durch den leitenden Klebstoff 120, das Leiterbahnmuster
108 und die durchgängige Bohrung 112 elektrisch verbunden, wodurch die an der
Ober- und Unterseite des piezoelektrischen Resonators 105 angeordneten Elek
troden zu den externen Elektroden 110 bzw. 111 geführt werden. Die externen
Elektroden 110 und 111 werden an der Unterseite des Substrats in einem planen
Muster von Metallfolie als eine leitende dünne Schicht, wie z. B. eine durch Dampf
aufgebrachte Schicht, eine leitende dicke Schicht, wie z. B. eine gebackene
Schicht aus leitender Paste, oder ähnlichem ausgeformt. Dank dieser Anordnung
kann das piezoelektrische Bauelement 100 in einer stabilen Weise auf einer Lei
terplatte montiert werden, wodurch das piezoelektrische Bauelement 100 als ein
oberflächenmontiertes Elemente verwendet werden kann. Das piezoelektrische
Bauelement nach diesem Ausführungsbeispiel kann leicht hergestellt werden, weil
es nicht notwendig ist, Anschlüsse in einem gefalteten Zustand auszuformen, wie
dies bei dem in den Fig. 21A und 21B gezeigten piezoelektrischen Bauele
ment der Fall ist.
Der Zusammenbau des piezoelektrischen Bauelements 100 wird so durchgeführt,
daß eine Komponente in der Aufwärtsrichtung, wie in Fig. 17 gezeigt, jeweils auf
die andere gesetzt wird, d. h. also beginnend mit dem Substrat 102 unten wird der
Rahmen 103 oder der Federkontakt 104 auf das Substrat 102 aufgesetzt, der pie
zoelektrische Resonator 105 auf den Rahmen 103 oder auf den Federkontakt 104
und schließlich die Kappe 106 auf den piezoelektrischen Resonator 105, wodurch
der Herstellprozeß vereinfacht wird. Dieses Verfahren ist insbesondere für auto
matisiertes Zusammenbauen geeignet. Piezoelektrische Resonatoren 105 ver
schiedener Größe mit verschiedenen Flächenschwingungseigenschaften können
aufgenommen werden, indem die Größe der Ausbuchtung 114 geändert wird, wo
durch ein piezoelektrisches Bauelement 100 mit nur einer Größe für verschiedene
Betriebsfrequenzen eingesetzt werden kann.
Die Kappe 106 kann aus einem Harz, einem Keramikmaterial oder ähnlichem
Material bestehen und weist auf der Innenfläche und einer Unterseite eine leiten
de Schicht auf, die durch ein Verfahren wie Plattieren aufgebracht wird. Ein An
schlußplättchen aus Harz, Keramik oder ähnlichem Material mit einer Ausbuch
tung kann zwischen dem piezoelektrischen Resonator 105 und der Kappe 106
angeordnet werden, und ein Anschluß des Anschlußplättchens wird zu dem Lei
terbahnmuster 108 des Substrats 102 geführt.
Fig. 1 ist eine Querschnittsansicht eines piezoelektrischen Oszillators 1 nach ei
nem zweiten Ausführungsbeispiel der Erfindung. Fig. 2 ist eine Explosionszeich
nung des in Fig. 2 gezeigten piezoelektrischen Oszillators 1. Wie in Fig. 2 gezeigt,
weist der piezoelektrische Oszillator 1 ein Substrat 2, einen Rahmen 3, eine Last
kapazität 4, einen Federkontakt 5, einen piezoelektrischen Resonator 6 und eine
Kappe 7 auf. Das Substrat 2 weist eine aus Epoxyglasharz, Keramik oder ähnli
chem Material hergestellte Substratbasis 8 auf, welche Elektroden aufweist. Die
Substratbasis 8 ist auf der Oberseite mit drei Leiterbahnmustern 9, 10 und 11 ver
sehen und weist, wie in Fig. 3 gezeigt, an der Unterseite drei externe Elektroden
12, 13 und 14 auf. Das Leiterbahnmuster 9, das an einer der Seiten der Substrat
basis 8 angeordnet ist, ist über eine U-förmige durchgängige Bohrung 15 mit der
externen Elektrode 12 verbunden. Das längs der anderen Seiten der Substratba
sis 8 angeordnete Leiterbahnmuster 11 ist über eine U-förmige durchgängige
Bohrung 17 mit der externen Elektrode 14 verbunden. Das im zentralen Bereich
der Substratbasis 8 angeordnete Leiterbahnmuster 10 ist über eine durchgängige
Bohrung 16 mit der externen Elektrode 13 verbunden.
Die in dem piezoelektrischen Oszillator 1 nach der Erfindung genutzte Lastkapa
zität 4 ist eine Lastkapazität, wie sie häufig in einem MHz-Bandoszillator genutzt
wird, welche zwei Lastkapazitätselemente C1 und C2 aufweist, die, wie in Fig. 4
gezeigt, als eine Einheit ausgeformt werden. Die Lastkapazität 4 weist ein dielek
trisches Substrat 18 auf, das eine gemeinsame Elektrode (eine Massenelektrode)
19 am Mittelpunkt der Unterseite und Lastkapazitätselektroden 20 und 21 an bei
den Enden des dielektrischen Substrats 18 aufweist, die sich von der Unterseite
zur Oberseite desselben erstrecken. Das Lastkapazitätselement C1 wird zwischen
der Kapazitätselektrode 20 und der gemeinsamen Elektrode 19 ausgeformt, und
das Lastkapazitätselement C2 wird zwischen der Kapazitätselektrode 21 und der
gemeinsamen Elektrode 19 ausgeformt. Die Lastkapazitätselemente C1 und C2
werden über die gemeinsame Elektrode 19 in Serie geschaltet.
Die Lastkapazität 4 wird in dem in Fig. 5B gezeigten Zustand auf das Substrat 2
montiert, bevor der Rahmen 3 und der Federkontakt 5 montiert werden. Die Last
kapazität 4 wird auf dem Substrat 2 in einer solchen Weise montiert, daß ein lei
tender Klebstoff auf den Leiterbahnmustern 9, 10 und 11 und in der am Mittel
punkt des Substrats 2 (siehe Fig. 5A) angebrachten durchgängigen Bohrung 16
angeordnet ist, und die Lastkapazität 4 wird auf das Substrat 2 aufgebracht, der
leitende Klebstoff 22 härtet aus, während die Lastkapazität 4 gegen das Substrat
2 gedrückt wird. Bei diesem Prozeß wird die Lastkapazität 4 an der Oberseite des
Substrats 2 durch den leitenden Klebstoff 22 befestigt, die Kapazitätselektroden
20 und 21 werden mit den Leiterbahnmustern 9 und 11 elektrisch verbunden, und
die gemeinsame Elektrode 19 wird mit dem Leiterbahnmuster 10 elektrisch ver
bunden. Die gemeinsame Elektrode 19 der Lastkapazität 4 wird über die durch
gängige Bohrung 16 mit der externen Elektrode 13 elektrisch verbunden, die am
Mittelpunkt der Unterseite des Substrats 2 angeordnet ist.
Der Rahmen 3 besteht aus Gußharz, beispielsweise Spritzgußharz, und ist tief
genug, um den Federkontakt 5 und den piezoelektrischen Resonator 6 aufzu
nehmen. Die Innenabmessungen des Rahmens sind die gleichen wie die Abmes
sungen des größten piezoelektrischen Resonators 6 oder größer. Der Rahmen 3
weist Ausbuchtungen 23 an vier Stellen an den Innenwänden des Rahmens 3 auf,
wie dies in Fig. 2 gezeigt wird. Die Größe der Ausbuchtungen wird so gewählt,
daß die Ausbuchtungen 23 den piezoelektrischen Resonator 6 halten, wenn der
kleinste piezoelektrische Resonator 6 in dem Rahmen 3 in einem mittleren Be
reich (einem Knotenpunkt) jeder äußeren Seite des piezoelektrischen Resonators
6 aufgenommen wird, und den piezoelektrischen Resonator 6 in der Weise posi
tionieren, daß er sich nicht bewegen und rotieren kann.
Wenn ein piezoelektrischer Resonator 6 in dem Rahmen 3 aufgenommen wird,
der größer ist als der, für den die Größe der Ausbuchtungen 23 eingestellt ist,
werden die Ausbuchtungen 23 auf eine Größe beschnitten, die dem aufzuneh
menden piezoelektrischen Resonator 6 entspricht. Demzufolge kann der Rahmen
3 in der Weise standardisiert werden, daß er für piezoelektrische Resonatoren 6
mit verschiedenen Größen verwendet werden kann, d. h. für piezoelektrische Re
sonatoren 6, bei denen unterschiedliche Frequenzen genutzt werden, wodurch die
Anzahl von Komponenten und damit die Herstellkosten gesenkt werden können.
Wenn der Rahmen 3 aus Gußharz besteht, sind die Kosten für Formen deshalb
minimal, weil nur eine Form verwendet wird. Der Rahmen 3, der die Ausbuchtun
gen 23 aufweist, deren Größe durch Beschneiden eingestellt wird, wird durch ei
nen Klebstoff 24, der an der Unterseite des Rahmens 3 aufgebracht wird, mit der
Peripherie der Oberseite des Substrats 2 verbunden, um eine Einheit mit dem
Substrat 2 zu bilden.
Das Substrat 2 und der Rahmen 3 können, statt die Anordnung nach dem hier
beschriebenen Ausführungsbeispiel zu wählen, als eine Einheit ausgeformt wer
den, worin das Einzelsubstrat 2 und der Rahmen 3 zur Bildung einer Substratein
heit zusammengebaut werden. Durch Ausformen der Substrateinheit als eine Ein
heit kann die Anzahl von Komponenten reduziert werden, während durch Ausfor
men der Substrateinheit mit dem Einzelsubstrat 2 und dem Rahmen, welche nach
dem Ausführungsbeispiel zusammengebaut werden, die Leiterbahnmuster 9, 10
und 11 und die externen Elektroden 12, 13 und 14 durch Verwendung eines
Epoxyglas-Harzsubstrats, eines Keramiksubstrats oder ähnlichem leicht ausge
formt werden können.
Der metallische Federkontakt 5 weist eine Ausbuchtung 25 auf, die in der Mitte
seiner Spitze angeordnet ist, und Beinchen 26, die sich radial in vier Richtungen
erstrecken. Die Beinchen 26 des Federkontaktes 5 erhalten Elastizität, weil sie
sich nach unten im wesentlichen der Form des Buchstaben C erstrecken. Der Ab
stand zwischen den Spitzen der Beinchen 26, die sich jeweils gegenüberliegen, ist
der gleiche wie der Abstand zwischen gegenüberliegenden, durch die Innenwände
des Rahmens 3 gebildeten Ecken. Bei dieser Konfiguration des Federkontaktes 5
wird der Federkontakt 5 im Rahmen 3 aufgenommen, ohne an die Ausbuchtungen
23 zu stoßen, und die Spitzen der Beinchen 26 des Federkontaktes werden an
den Ecken der Innenwände des Rahmens 3 angeordnet. Da das Leiterbahnmu
ster 11 an diesen Ecken angeordnet ist, wird der Federkontakt 5 mit dem Leiter
bahnmuster 11 des Substrats 2 elektrisch verbunden.
Der Federkontakt 5 ist nicht mit dem Substrat 2 in Verbindung, außer an den Spit
zen der Beinchen 26, wodurch ein Raum zwischen dem Substrat 2 und dem Fe
derkontakt 5 gebildet wird. Die Lastkapazität 4 wird unter Verwendung dieses
Raums auf dem Substrat 2 montiert. Eine Lücke wird zwischen der Lastkapazität
4 und dem Federkontakt 5 ausgeformt, so daß Isolierung zwischen der Lastkapa
zität 4 und dem Federkontakt 5 hergestellt wird.
Der piezoelektrische Resonator 6 weist ein quadratisches piezoelektrisches
Substrat auf, welches in Richtung der Dicke polarisiert ist und auf der Ober- und
Unterseite Elektroden aufweist. Ein Knotenpunkt ist am Mittelpunkt der großen
Flächen des piezoelektrischen Substrats angeordnet. Die Ausbuchtung 25 des
Federkontaktes 5 trägt den piezoelektrischen Resonator 6 im Rahmen 3, wobei
die Ausbuchtung 25 mit der Nähe des Mittelpunkts (des Knotenpunkts) des piezo
elektrischen Resonators 6 in Berührung ist. Die Ausbuchtungen 23 des Rahmens
3 positionieren den piezoelektrischen Resonator 6, wobei die Ausbuchtungen 23
mit einem mittleren Teil (einem Knotenpunkt) jeweils der Außenseite des piezo
elektrischen Resonators 6 in Verbindung bzw. in der Nähe desselben befindlich
sind.
Die Kappe 7 besteht aus einem metallischen Material, wie z. B. Aluminium oder
Kupfer, und wird in einer Form und Größe so ausgebildet, daß der Rahmen 3 ab
gedeckt und eine Montage auf dem Substrat 2 erfolgen kann. Die Kappe 7 weist
eine Ausbuchtung 27 am Mittelpunkt ihrer Innenfläche auf. Der piezoelektrische
Resonator 6 wird zwischen dem Substrat 2 und der Kappe 7 in einer solchen
Weise versiegelt, daß die Kappe 7, welche auf ihrem Flansch einen isolierenden
Klebstoff 28 aufweist, in der Weise auf das Substrat 2 aufgesetzt wird, daß der
Rahmen 3 abgedeckt wird, welcher den Federkontakt 5 und den piezoelektrischen
Resonator 6 aufnimmt, und die Kappe 7 wird mit dem Substrat 2 durch den isolie
renden Klebstoff 28 verbunden, welcher ausgehärtet wird, während die Kappe 7
gegen das Substrat 2 gedrückt wird. Das Leiterbahnmuster 9 ist in einem Teil der
Position des Substrats 2 angeordnet, an der die Kappe 7 angeklebt wird, demzu
folge wird der isolierende Klebstoff 28 in einem Teil der Kappe 7, der dem ge
nannten Teil des Substrats 2 entspricht, durch einen leitenden Klebstoff 29 er
setzt, wodurch die Kappe 7 mit dem Leiterbahnmuster 9 elektrisch verbunden
wird. Der piezoelektrische Resonator 6 wird hermetisch zwischen der Kappe 7 und
dem Substrat 2 versiegelt, wobei die Kappe 7 mit dem Substrat 2 durch den isolie
renden Klebstoff 28 und den leitenden Klebstoff 29 verklebt wird, und die durch
gängige Bohrung 19 wird mit dem leitenden Klebstoff 22 aufgefüllt.
Wenn die Kappe 7 mit dem Substrat 2 durch Pressen der Kappe 7 gegen das
Substrat 2 verbunden wird, werden die Ausbuchtung 25 des Federkontaktes 5 und
die Ausbuchtung 27 der Kappe 7 durch den Federkontakt 5 mit dem piezoelektri
schen Resonator 6 in Verbindung gebracht und verklemmen den piezoelektri
schen Resonator 6 am Knotenpunkt im Mittelteil desselben, wodurch der Feder
kontakt 5 und die Kappe 7 elektrisch miteinander verbunden werden. Da der Fe
derkontakt 5 mit dem Leiterbahnmuster 11 in Kontakt ist, werden die Elektrode an
der Unterseite des piezoelektrischen Resonators 6 und die Kapazitätselektrode 21
der Lastkapazität 4 mit der externen Elektrode 14 über die U-förmige durchgängi
ge Bohrung 17 elektrisch verbunden. Da die Kappe 7 über den leitenden Klebstoff
29 mit dem Leiterbahnmuster 9 elektrisch verbunden ist, werden die Elektrode auf
der Oberseite des piezoelektrischen Resonators 6 und die Kapazitätselektrode 20
der Lastkapazität 4 über die U-förmige durchgängige Bohrung 15 mit der externen
Elektrode 12 verbunden. Mit dieser Anordnung wird ein piezoelektrischer Oszilla
tor geliefert, der die Konfiguration aufweist, welche durch eine gestrichelte Linie in
Fig. 14 dargestellt wird.
Die externen Elektroden 12, 13 und 14 können an der Unterseite des Substrats 2
in einem Muster aus Metallfolie, einer leitenden dünnen Schicht, wie z. B. einer
durch Dampf aufgebrachten Schicht, einer leitenden dicken Schicht, wie z. B. einer
aus leitender Paste gebackenen Schicht, oder ähnlichem ausgeformt werden, wo
durch der so angeordnete piezoelektrische Oszillator 1 auf einer Leiterplatte in
einem stabilen Zustand montiert und als oberflächenmontierte Vorrichtung ver
wendet werden kann.
Wie oben beschreiben, wird der piezoelektrische Oszillator 1 dadurch ausgeformt,
daß die Komponenten in der aufwärts gerichteten, in Fig. 2 gezeigten Reihenfolge
zusammengebaut werden, d. h. der Prozeß beginnt mit dem Substrat 2, der Rah
men 3 oder die Lastkapazität 4 wird auf das Substrat 2 aufgesetzt, der Federkon
takt 5 auf den Rahmen 3 oder die Lastkapazität 4, der piezoelektrische Resonator
6 auf den Federkontakt 5 und die Kappe 7 auf den piezoelektrischen Resonator 6.
Mit dieser Anordnung kann der Herstellprozeß einfach gestaltet und leicht auto
matisiert werden. Das Profil des piezoelektrischen Oszillators 1 mit verschiedenen
Betriebsfrequenzen kann standardisiert werden, da die piezoelektrischen Reso
natoren 6 mit verschiedenen Größen und verschiedenen Flächenschwingungsei
genschaften dadurch aufgenommen werden können, daß die Größe der Aus
buchtungen 23 entsprechend der Größe des zu verwendenden piezoelektrischen
Resonators 6 eingestellt werden kann.
Die Kappe 7 kann aus einem Harz, einen Keramikmaterial oder ähnlichem herge
stellt werden, und sie wird durch Plattieren oder ähnliches mit einer leitenden
Schicht auf der Innenseite und auf dem Flansch versehen. Ein Anschlußplättchen
kann zwischen dem piezoelektrischen Resonator 6 und der Kappe 7 aus einem
Harz, einem Keramikmaterial oder ähnlichem angeordnet werden, wobei An
schlußeinheiten des Anschlußplättchens zu dem Leiterbahnmuster 11 des
Substrats 2 geführt werden.
Fig. 6 ist eine Querschnittsansicht eines piezoelektrischen Oszillators nach einem
dritten Ausführungsbeispiel der Erfindung. Fig. 7 ist eine perspektivische Ansicht
von auf einem Substrat des in Fig. 6 gezeigten piezoelektrischen Oszillators mon
tierten Lastkapazitäten. Der piezoelektrische Oszillator nach dem dritten Ausfüh
rungsbeispiel weist ein Substrat 2 auf, das zwei als Schichtkondensator ausge
führte Lastkapazitäten 4a und 4b trägt. Die Konfiguration des piezoelektrischen
Oszillators ist, abgesehen von dem Vorstehenden, die gleiche wie bei dem piezo
elektrischen Oszillator 1 nach dem zweiten Ausführungsbeispiel.
Während der piezoelektrische Oszillator 1 entsprechend dem zweiten Ausfüh
rungsbeispiel eine Lastkapazität 4 aufweist, welche zwei Lastkapazitätselemente
C1 und C2 umfaßt, weist der piezoelektrische Oszillator nach dem dritten Ausfüh
rungsbeispiel, wie in Fig. 7 gezeigt, eine Lastkapazität 4a, welche dem zwischen
den Leitbahnmustern 9 und 10 montierten Lastkapazitätselement C1 entspricht,
und eine Lastkapazität 4b, welche dem zwischen den Leiterbahnmustern 10 und
11 montierten Lastkapazitätselement C2 entspricht, auf.
Fig. 8 ist eine Querschnittsansicht eines piezoelektrischen Oszillators 31 nach ei
nem vierten Ausführungsbeispiel der Erfindung. Fig. 9 ist eine Explosionszeich
nung des in Fig. 8 gezeigten piezoelektrischen Oszillators 31. Der piezoelektrische
Oszillator 31 weist, wie in Fig. 9 gezeigt, ein Substrat 2, einen Rahmen 3, einen
Federkontakt 5, einen piezoelektrischen Resonator 6 mit einer Flächenschwin
gungseigenschaft, eine Kappe 7 und Lastkapazitäten 4a und 4b auf. Das Substrat
2 umfaßt eine aus Epoxyglas, einem Keramikmaterial oder ähnlichem Material
gefertigte Substratbasis 8, die mit Elektroden versehen ist. Die Substratbasis 8
weist Leiterbahnmuster 9 und 11, die an der Oberseite ausgeformt sind, sowie
externe Elektroden 12, 13 und 14, die an der Unterseite der Substratbasis 8 aus
gebildet sind, wie in Fig. 10 gezeigt, auf Fig. 10 ist eine perspektivische Ansicht
des Substrats 2 von unten, wie es in dem piezoelektrischen Oszillator 31 Verwen
dung findet. Das an einer Seite des Substrats angeordnete Leiterbahnmuster 9 ist
über eine durchgängige Bohrung 32 mit der externen Elektrode 12 verbunden,
und das längs der anderen Seiten angeordnete Leiterbahnmuster 11 ist über eine
durchgängige Bohrung 33 mit der externen Elektrode 14 verbunden. Der Rahmen
3, der Federkontakt 5, der piezoelektrische Resonator 6 mit einer Flächenschwin
gungseigenschaft und die Kappe 7 haben im wesentlichen die gleiche Konfigura
tion wie die beim zweiten Ausführungsbeispiel verwendete.
Der Rahmen 3 wird mit dem Substrat 2 durch einen Klebstoff 24 verbunden, der
an der Unterseite des Rahmens 3 an der Peripherie der Oberseite des Substrats 2
angeordnet ist. Der Federkontakt 5 wird in dem Rahmen eingesetzt, ohne an die
Ausbuchtungen 23 anzustoßen. Die Spitze der Beinchen 26 des Federkontaktes 5
wird an den Ecken der Innenwände des Rahmens 3 angeordnet. Da das Leiter
bahnmuster 11 des Substrats 2 an diesen Ecken angeordnet ist, ist der Feder
kontakt 5 elektrisch mit dem Leiterbahnmuster 11 verbunden. Eine Ausbuchtung
25 des Federkontaktes 5 kommt mit dem im Rahmen 3 in der Nähe seines Mittel
punkts (eines Knotenpunkts) aufgenommenen piezoelektrischen Resonator 6 in
Berührung und stützt ihn. Die Ausbuchtungen 23 des Rahmens 3, die mit dem
piezoelektrischen Resonator 6 in einem mittleren Bereich (einem Knotenpunkt)
jeder Seite desselben in Kontakt sind oder nahe bei ihm liegen, positionieren den
piezoelektrischen Resonator 6.
Die an ihrem Flansch mit einem isolierenden Klebstoff 28 versehene Kappe 7 wird
auf das Substrat 2 aufgesetzt, um den den Federkontakt 5 aufnehmenden Rah
men 3 und den piezoelektrischen Resonator 6 abzudecken, und die Kappe wird
durch Aushärten des isolierenden Klebstoffs 28 mit dem Substrat 2 verbunden,
während die Kappe 7 gegen das Substrat 2 gedrückt wird, wodurch der piezo
elektrische Resonator 6 zwischen dem Substrat 2 und der Kappe 7 versiegelt
wird. Da das Leiterbahnmuster 9 in einem Teil der Position angeordnet ist, mit den
die Kappe 7 verklebt wird, wird der isolierende Klebstoff 28 durch einen leitenden
Klebstoff 29 in einem Teil des Flansches der Kappe 7 ersetzt, welcher mit dem
Teil verbunden ist, in dem das Leiterbahnmuster 9 angeordnet ist, wodurch die
Kappe 7 mit dem Leiterbahnmuster 9 elektrisch verbunden wird.
Wenn die Kappe 7 verklebt wird, um mit dem Substrat 2 eine Einheit zu bilden,
während die Kappe 7 gegen das Substrat 2 gedrückt wird, werden die Ausbuch
tung 25 des Federkontaktes 5 und eine Ausbuchtung 27 der Kappe mit dem pie
zoelektrischen Resonator 6 in Verbindung gebracht und klemmen diesen am Mit
telpunkt der Ober- und Unterseite desselben. Der piezoelektrische Resonator 6
wird dadurch mit dem Federkontakt 5 und der Kappe 7 elektrisch verbunden. Da
der Federkontakt 5 mit dem Leiterbahnmuster 11 in Kontakt ist, werden eine an
der Unterseite des piezoelektrischen Resonators 6 angeordnete Elektrode und
eine Elektrode der Lastkapazität 4b über die durchgängige Bohrung 33 mit der
externen Elektrode 14 verbunden. Da die Kappe 7 über den leitenden Klebstoff 29
mit dem Leiterbahnmuster 9 verbunden ist, werden eine an der Oberseite des pie
zoelektrischen Resonators 6 angeordnete Elektrode und eine Elektrode der Last
kapazität 4a über die durchgängige Bohrung 32 mit der externen Elektrode 12
verbunden.
Die Lastkapazitäten 4a und 4b werden, wie in Fig. 8 gezeigt, an der Unterseite
des Substrats 2 montiert. Ein leitender Klebstoff 34 wird auf die externen Elektro
den 12, 13 und 14 aufgebracht, die Lastkapazitäten 4a und 4b werden auf die
Elektroden 12, 13 und 14 aufgesetzt und dagegen gepreßt, und der leitende Kleb
stoff 34 wird ausgehärtet. Dadurch werden die Lastkapazitäten 4a und 4b an der
Unterseite des Substrats 2 mittels des leitenden Klebstoffes 34 befestigt. An bei
den Enden der Lastkapazitäten 4a angebrachte Elektroden werden mit den exter
nen Elektroden 12 bzw. 13 elektrisch verbunden, und an beiden Enden der Last
kapazität 4b angeordnete Elektroden werden mit den externen Elektroden 13 bzw.
14 elektrisch verbunden. Dank dieser Anordnung wird der piezoelektrische Oszil
lator 31 mit der durch die gestrichelte Linie in Fig. 14 dargestellten Konfiguration
geliefert.
Der piezoelektrische Oszillator 31 nach dem vierten Ausführungsbeispiel kann als
ein miniaturisiertes oberflächenmontiertes Bauelement verwendet werden, bei
dem der piezoelektrische Resonator 6 und die Lastkapazitäten 4a und 4b als eine
Einheit zusammengebaut werden. Der Prozeß des Zusammenbaus findet in der
Richtung nach oben wie in Fig. 9 statt, d. h. also ausgehend vom Substrat 2 wird
der Rahmen auf das Substrat 2 gesetzt, der Federkontakt 5 auf den Rahmen 3,
der piezoelektrische Resonator 6 auf den Federkontakt 5 und die Kappe 7 auf den
piezoelektrischen Resonator 6, anschließend werden die Lastkapazitäten 4a und
4b an der Unterseite des Substrats 2 montiert, wodurch der Herstellprozeß ein
fach gestaltet wird.
Des weiteren kann nach diesem Ausführungsbeispiel die Lastkapazität 4 des
zweiten in Fig. 4 gezeigten Ausführungsbeispiels auf der Unterseite des Substrats
2 montiert werden.
Fig. 11 ist eine perspektivische Ansicht eines piezoelektrischen Oszillators 41
nach einem fünften Ausführungsbeispiel der Erfindung. Der piezoelektrische Os
zillator 41 ist ein im Durchsteckverfahren montierter piezoelektrischer Oszillator,
bei dem der in Fig. 8 gezeigte oberflächenmontierte piezoelektrische Oszillator 31
eine wesentliche Komponente ist. Anschlußbeinchen 42, 43 und 44 werden mit
externen Elektroden 12, 13 bzw. 14 verbunden, welche an der Unterseite eines
Substrats 2 ausgebildet sind, indem an einem Montageende jedes der Anschluß
beinchen 42, 43 und 44 eine Verlötung erfolgt oder aber ein leitender Klebstoff
verwendet wird. Das Substrat 2 und eine Kappe 7, welche einen piezoelektrischen
Resonator 6, Lastkapazitäten 4a und 4b und die Montageenden der Anschluß
beinchen 42, 43 und 44 enthält, werden in einer Harzaußenumhüllung 45 durch
Vergießen in einem Harz, wie z. B. einem Epoxyharz, versiegelt, wodurch die Last
kapazitäten 4a und 4b in den piezoelektrischen Oszillator 41 eingebaut werden.
Die unteren Teile der in Fig. 11 gezeigten Anschlußbeinchen 42, 43 und 44 wer
den gebogen, und ihre unteren Enden werden parallel in der Weise angeordnet,
daß jedes der unteren Enden der Anschlußbeinchen 42, 43 und 44 sich jeweils
auf einer Ebene befindet, welche sich von der Hauptfläche des piezoelektrischen
Oszillators 41 aus erstreckt.
Fig. 12 ist eine Seitenansicht eines piezoelektrischen Oszillators 51 nach einem
sechsten Ausführungsbeispiel der Erfindung. Der piezoelektrische Oszillator 51,
der ein im Durchsteckverfahren hergestellter piezoelektrischer Oszillator ist, weist
ein Substrat 2 mit Lastkapazitäten 4a und 4b auf, die auf der Oberseite des
Substrats 2 montiert sind.
Die Fig. 13A und 13B sind jeweils Ansichten des in dem sechsten Ausfüh
rungsbeispiel verwendeten Substrats 2 von der Oberseite bzw. von der Unterseite
aus. Das Substrat 2 hat eine größere Fläche als die der Kappe 7, so daß die Last
kapazitäten 4a und 4b in dem Bereich montiert werden, der nicht durch die Kappe
7 abgedeckt ist. Das Substrat 2 weist an seiner Oberseite zwei Leiterbahnmuster
9 und 11 in einer Lage, die durch die Kappe 7 abgedeckt ist, und drei Leiterbahn
muster 52, 53 und 54 in einer Lage, welche nicht durch die Kappe 7 abgedeckt ist,
auf. Die an zwei Seiten jeweils beidseits des Substrats 2 gegenüberliegend ange
ordneten Leiterbahnmuster 52 und 54 werden mit den Leiterbahnmustern 9 bzw.
11 verbunden. Die Leiterbahnmuster 9 und 11 werden über durchgängige Boh
rungen 32 bzw. 33 mit externen Elektroden 12 und 14 verbunden. Das Leiter
bahnmuster 53 wird über eine durchgängige Bohrung 55 mit einer an der Unter
seite des Substrats 2 angeordneten externen Elektrode 13 verbunden.
Ein Rahmen 3, ein Federkontakt 5 und ein piezoelektrischer Resonator 6, die die
gleichen sind, wie die bei den anderen Ausführungsbeispielen verwendeten, wer
den zwischen dem Substrat 2 und der Kappe 7 aufgenommen. Die Lastkapazität
4a wird in einer nicht durch die Kappe 7 abgedeckten Lage auf den Leiterbahn
mustern 52 und 53 auf der Oberseite des Substrats 2 montiert. Die Lastkapazität
4b wird in einer Lage, welche nicht durch die Kappe 7 abgedeckt ist, auf den Lei
terbahnmustern 54 und 53 auf der Oberseite des Substrats 2 montiert. Anschluß
beinchen 42, 43 und 44 werden mit den externen Elektroden 12, 13 bzw. 14 durch
die Montageenden der Anschlußbeinchen 42, 43 bzw. 44 verbunden. Die Kappe 7
wird mit einem an Stellen, an denen das Leiterbahnmuster 52 mit dem Leiter
bahnmuster 9 verbunden ist, angebrachten (nicht gezeigten) isolierenden Kleb
stoff mit dem Substrat 2 verbunden, und das Leiterbahnmuster 54 wird mit dem
Leiterbahnmuster 11 verbunden. Der so zusammengebaute piezoelektrische Os
zillator 51 wird mit Ausnahme der den Montageenden der Anschlußbeinchen 42,
43, 44 gegenüberliegenden Enden in einem äußeren Umhüllungsharz 45 versie
gelt.
Das piezoelektrische Bauelement nach der Erfindung kann durch einen einfachen
Prozeß des Zusammenbaus ausgebildet werden, wobei der Prozeß ausgeht von
einer Substrateinheit, einen Federkontakt auf der Substrateinheit, einem piezo
elektrischen Resonator auf dem Federkontakt und einer Kappe auf dem piezo
elektrischen Resonator. Demzufolge kann der Zusammenbau eines Flächen
schwingungen ausführenden piezoelektrischen Bauelements mühelos automati
siert werden.
Das piezoelektrische Bauelement kann an mindestens einer der Unterseite und
der Peripherie der Substrateinheit mit externen Elektroden versehen sein, wo
durch ein oberflächenmontiertes piezoelektrisches, Flächenschwingungen ausfüh
rendes Bauelement geliefert wird, welches keine Anschlüsse aufweist und in sta
biler Weise auf einer Leiterplatte für integrierte Schaltkreise montiert werden kann.
Bei dem piezoelektrischen Bauelement nach der Erfindung kann der piezoelektri
sche Resonator mit einer Ausbuchtung geklemmt werden, welche an einer Metall
kappe angeordnet ist, und einer Ausbuchtung, welche auf dem Federkontakt an
geordnet ist, und die Metallkappe dient als ein dem Federkontakt gegenüberlie
gender Kontakt, wobei der piezoelektrische Resonator dazwischenliegt, womit die
Zahl von Komponenten reduziert wird. Dank dieser Anordnung kann der Prozeß
des Zusammenbaus vereinfacht und die Kosten der Komponenten können ge
senkt werden.
Das piezoelektrische Bauelement nach der Erfindung kann einen Rahmen aufwei
sen, welcher an den Innenseiten der den piezoelektrischen Resonator umschlie
ßenden Wände Ausbuchtungen in Richtung auf einen piezoelektrischen Resona
tor aufweist, wobei die Größe der Ausbuchtungen variabel ist. Das Substrat kann
piezoelektrische Resonatoren mit verschiedenen Größen aufnehmen, ohne daß
die Größe des Substrats geändert wird. Dies wird dadurch möglich, daß die Größe
der Ausbuchtungen nach der Größe des piezoelektrischen Resonators festgelegt
wird. Demzufolge können die Kosten des piezoelektrischen Bauelements durch
Standardisierung der Komponenten, wie z. B. des Substrats und der Kappe, ge
senkt werden. Insbesondere können die Kosten von gegossenen Harzkompo
nenten sehr stark gesenkt werden, weil die Kosten für Formen aufgrund der Stan
dardisierung der Komponenten gesenkt werden können. Darüber hinaus können
durch Standardisierung von Komponenten die Außenabmessungen des verschie
dene Frequenzen nutzenden piezoelektrischen Bauelements, in dem der piezo
elektrische Resonator mit verschiedenen Größen eingeschlossen ist, standardi
siert werden.
Der piezoelektrische Oszillator nach der Erfindung wird durch Zusammenbau von
Komponenten übereinander als eine Einheit ausgeformt, wodurch der Prozeß des
Zusammenbaus vereinfacht wird. Eine Lastkapazität kann aufgenommen werden,
ohne die Außenabmessungen des piezoelektrischen Oszillators zu vergrößern, da
die Lastkapazität in einem zwischen einem Substrat und einem Federkontakt aus
gebildeten Raum montiert wird.
Bei dem piezoelektrischen Oszillator nach der Erfindung kann das Substrat mit mit
externen Elektroden in Verbindung stehenden durchgängigen Bohrungen verse
hen werden, und die externen Elektroden und die Lastkapazität werden über die
mit einem leitenden Material aufgefüllten durchgängigen Bohrungen elektrisch
verbunden. Dank dieser Anordnung ist es nicht notwendig, Leiterbahnmuster auf
dem Substrat auszubilden, und Elektroden der Lastkapazität können wegen die
ser einfachen Konfiguration leicht nach außen geführt werden. Der piezoelektri
sche Oszillator kann durch das die durchgängigen Bohrungen auffüllende leitende
Material vollständig versiegelt werden.
Der piezoelektrische Oszillator nach der Erfindung wird durch Zusammenbau ei
nes Substrats, welches an der Oberseite oder an der Unterseite mit einer Lastka
pazität versehen ist, und eines Flächenschwingungen ausführenden piezoelektri
schen Resonators, der zwischen der Substrateinheit und einer Kappe aufgenom
men wird, ausgebildet werden, wodurch der Prozeß des Zusammenbaus verein
facht wird. Die Lastkapazität kann an der Unterseite des ein piezoelektrisches
Bauelement aufnehmenden Substrats montiert werden, wodurch die Lastkapazität
montiert werden kann, ohne die Außenabmessungen des piezoelektrischen Os
zillators zu vergrößern.
Bei dem piezoelektrischen Oszillator nach der Erfindung kann das an der Unter
seite mit Anschlußbeinchen versehene Substrat durch ein äußeres Umhüllungs
harz abgedeckt werden. Dank dieser Anordnung kann ein im Durchsteckverfahren
montierter piezoelektrischer Oszillator, bei dem ein Flächenschwingungen ausfüh
render piezoelektrischer Resonator und eine Lastkapazität als eine Einheit mon
tiert werden, leicht hergestellt werden.
Claims (8)
1. Piezoelektrisches Bauelement, welches umfaßt:
ein Substrat,
einen metallischen, auf dem Substrat angebrachten Federkontakt;
eine Kappe, welche angebracht wird, um das mit dem genannten metalli schen Federkontakt versehene Substrat abzudecken, und
einen Flächenschwingungen ausführenden piezoelektrischen Resonator,
dadurch gekennzeichnet, daß der genannte piezoelektrische Resonator durch die genannte Kappe und den genannten metallischen Federkontakt federnd geklemmt wird.
ein Substrat,
einen metallischen, auf dem Substrat angebrachten Federkontakt;
eine Kappe, welche angebracht wird, um das mit dem genannten metalli schen Federkontakt versehene Substrat abzudecken, und
einen Flächenschwingungen ausführenden piezoelektrischen Resonator,
dadurch gekennzeichnet, daß der genannte piezoelektrische Resonator durch die genannte Kappe und den genannten metallischen Federkontakt federnd geklemmt wird.
2. Piezoelektrisches Bauelement nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet,
daß externe Elektroden mindestens an jeweils der Unterseite und der Peri
pherie des genannten Substrats angeordnet sind, wobei die externen Elek
troden mit Elektroden verbunden sind, die an der Oberseite und der Unter
seite des genannten piezoelektrischen Resonators angeordnet sind.
3. Piezoelektrisches Bauelement nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekenn
zeichnet, daß der genannte piezoelektrische Resonator durch eine erste an
der genannten Kappe angeordnete Ausbuchtung und eine zweite an dem
genannten metallischen Federkontakt angeordnete Ausbuchtung geklemmt
wird, wobei die genannte Kappe aus einem metallischen Material besteht.
4. Piezoelektrisches Bauelement nach Anspruch 1, 2 oder 3, dadurch ge
kennzeichnet, daß ein den genannten piezoelektrischen Resonator ein
schließender Rahmen auf dem genannten Substrat angeordnet ist und
dritte Ausbuchtungen von den Innenwänden des genannten Rahmens in
Richtung auf den genannten piezoelektrischen Resonator angeordnet sind,
wobei die Größe der dritten Ausbuchtungen variabel ist.
5. Piezoelektrischer Oszillator, welcher umfaßt:
ein Substrat,
einen metallischen, auf dem genannten Substrat angeordneten Federkon takt;
eine in einem zwischen dem genannten Substrat und dem genannten me tallischen Federkontakt ausgebildeten Raum angeordnete Lastkapazität;
eine Kappe, welche angeordnet ist, um das Substrat abzudecken, welches den genannten metallischen Federkontakt und die genannte Lastkapazität aufweist, und
einen Flächenschwingungen ausführenden piezoelektrischen Resonator,
dadurch gekennzeichnet, daß der genannte piezoelektrische Resonator durch die genannte Kappe und den genannten metallischen Federkontakt federnd geklemmt wird.
ein Substrat,
einen metallischen, auf dem genannten Substrat angeordneten Federkon takt;
eine in einem zwischen dem genannten Substrat und dem genannten me tallischen Federkontakt ausgebildeten Raum angeordnete Lastkapazität;
eine Kappe, welche angeordnet ist, um das Substrat abzudecken, welches den genannten metallischen Federkontakt und die genannte Lastkapazität aufweist, und
einen Flächenschwingungen ausführenden piezoelektrischen Resonator,
dadurch gekennzeichnet, daß der genannte piezoelektrische Resonator durch die genannte Kappe und den genannten metallischen Federkontakt federnd geklemmt wird.
6. Piezoelektrischer Oszillator nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, daß
das genannte Substrat mit durchgängigen Bohrungen versehen ist, welche
mit an der Unterseite des genannten Substrats angeordneten externen
Elektroden in Verbindung stehen und die genannten externen Elektroden
und die genannte Lastkapazität miteinander durch ein die genannten
durchgängigen Bohrungen auffüllendes leitendes Material elektrisch ver
bunden werden.
7. Piezoelektrischer Oszillator, welcher dadurch gekennzeichnet ist, daß er
umfaßt:
ein Substrat,
eine zur Abdeckung des Substrats angeordnete Kappe;
einen zwischen dem genannten Substrat und der genannten Kappe ange ordneten, Flächenschwingungen ausführenden piezoelektrischen Resona tor,
eine auf entweder der Oberseite oder der Unterseite des genannten Sub strats montierte Lastkapazität.
ein Substrat,
eine zur Abdeckung des Substrats angeordnete Kappe;
einen zwischen dem genannten Substrat und der genannten Kappe ange ordneten, Flächenschwingungen ausführenden piezoelektrischen Resona tor,
eine auf entweder der Oberseite oder der Unterseite des genannten Sub strats montierte Lastkapazität.
8. Piezoelektrischer Oszillator nach Anspruch 7, welcher des weiteren an der
Unterseite des genannten Substrats angeordnete Anschlußbeinchen um
faßt, dadurch gekennzeichnet, daß ein äußeres Umhüllungsharz das ge
nannte Substrat und die genannte den genannten piezoelektrischen Reso
nator, die genannte Lastkapazität und Montageenden der genannten An
schlußbeinchen enthaltende Kappe abdeckt.
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