DE10011597A1 - Verfahren zur Herstellung farbstabiler, dekorativer Hartstoffschichten sowie Hartstoffschichten dieser Art - Google Patents

Verfahren zur Herstellung farbstabiler, dekorativer Hartstoffschichten sowie Hartstoffschichten dieser Art

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Abstract

Es wird ein Verfahren zur Herstellung dekorativer Hartstoffschichten hoher Farbstabilität im grau-schwarzen Farbbereich beschrieben, wobei als Schichtwerkstoff ein Metallcarbonitrid oder ein Metallcarbonitridoxid verwendet und die Farbgebung auch durch Vorgabe des Verhältnisses der NeC und MeN-Anteile gewählt wird.

Description

Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Herstellung dekorativer Hartstoff­ schichten hoher Farbstabilität im grau-schwarzen Farbbereich sowie de­ korative Hartstoffschichten dieser Art.
Die Herstellung von Hartstoffschichten im grauen oder schwarzen Farbbe­ reich ist bekannt und erfolgt nach unterschiedlichen Methoden und auch mit unterschiedlichen Schichtmaterialien. Beispielsweise kann durch Eloxieren, galvanisiertes Schwarzchrom und Schwarznickel, durch Ti­ tanaluminiumnitride sowie amorphe Kohlenstoffschichten ein Herstellen schwarzer dekorativer Farben erfolgen, aber bei all diesen bekannten Verfahren besteht der Nachteil, daß die erzielbaren Farbvariationen be­ schränkt sind, und zwar insbesondere dann, wenn eine Niedrigtempera­ turbeschichtung von galvanisch vormetallisierten Kunststoffteilen erfolgen muß oder wenn stabile mechanische Eigenschaften gefordert werden. Des weiteren bereitet es bei derartigen dekorativen Hartstoffschichten im grau­ en oder schwarzen Farbbereich häufig Schwierigkeiten eine Langzeitstabi­ lität der jeweiligen Farbe sicherzustellen.
Aufgabe der vorliegenden Erfindung ist es, die vorstehend erwähnten Nachteile zu beseitigen und es zu ermöglichen, farbstabile Hartstoff­ schichten im grauen bis schwarzen Farbbereich zu schaffen, die ein in diesem Bereich breites Spektrum der Farbgebung zulassen und eine hohe Farbstabilität gewährleisten. Die Erzeugung dieser Hartstoffschichten soll mittels solcher Verfahren möglich sein, die es gestatten, auch Kunststoff­ teile mit entsprechend hoher Farbstabilität zu beschichten.
Gelöst wird diese Aufgabe nach der Erfindung im wesentlichen dadurch, daß auf dem jeweils zu beschichtenden Substrat als Schichtwerkstoff we­ nigstens ein Metallcarbonitrid und/oder wenigstens ein Metallcarboni­ tridoxid abgeschieden wird, wobei der Anteil der Metallkomponente im Be­ reich von etwa 15 at% bis etwa 70 at% und das Verhältnis der MeC- und MeN-Anteile in der Schicht in einem Verhältnis von etwa 0,2 bis etwa 2,2 gewählt wird.
Durch Variation der Anteile der Metalle und der Reaktivgase, z. B. Stick­ stoff, Sauerstoff und kohlenstoffhaltiges Gas, kann eine Variation der Farbgebung in einem weiten Bereich problemlos erfolgen, wobei dieser Be­ reich von grau bis hin zu tiefschwarz reicht.
Von besonderem Vorteil ist, daß durch Wahl des Metallgehalts bzw. des Anteils der Metallkomponente während der Schichtabscheidung die Kor­ rosionsstabilität der Schicht wesentlich gesteigert werden kann.
Insbesondere gelingt es im Rahmen der Erfindung, eine zu Farbverände­ rungen führende Nachoxidation an der Atmosphäre im grau-schwarzen Farbbereich zu verhindern und damit sicherzustellen, daß dauerhaft Farbveränderungen oder Farbumschläge vermieden werden können.
Diese dauerhafte Farbstabilität wird speziell dadurch noch verbessert, wenn in die Schicht zusätzlich eine weitere Metallkomponente eingebaut wird, die wenig zu Oxidbildungen neigt.
So kann beispielsweise ein Einbau von Chrom in Verbindung mit Me­ tallcarbonitrid oder Metallcarbonitridoxid zu sehr vorteilhaften Ergebnis­ sen führen, wobei der Chromanteil beispielsweise im Bereich von etwa 5% liegen kann und die Metallkomponente des die Schicht bildenden Stoffes einen Anteil größer 40 at% aufweisen sollte.
Weitere vorteilhafte Ausgestaltungen der Erfindung sind in den Unteran­ sprüchen angegeben und sind auch der nachfolgenden Beschreibung zu entnehmen.
Gemäß einem ersten Ausführungsbeispiel nach Diagramm 1 wird auf ein Substrat im Arc-Verfahren eine dekorative Hartstoffschicht aufgebracht, und zwar mit einer Dicke größer 1 µm, wobei als Schichtwerkstoff ZrCN eingesetzt wird. Der Anteil von Zr liegt in der Größenordnung von 50 at%. Die Reaktivgassteuerung erfolgt so, daß das entstehende Verhältnis von ZrC zu ZrN in der Schicht im Bereich von 0,2 bis 2,2% liegt.
Gemäß einem zweiten Ausführungsbeispiel, das auf Diagramm 2 bezug­ nimmt, wird analog zum Ausführungsbeispiel 1 vorgegangen, aber zusätz­ lich wird in die Schicht eine Metallkomponente 2, in diesem Fall Chrom mit einer Konzentration von 1 bis 25 at% durch simultane Beschichtung eingebaut. Auf diese Weise wird die Korrosionsstabilität weiter verbessert.
Die dekorative Hartstoffschicht nach der Erfindung kann als Einzel­ schichtsystem, aber auch als Mehrschichtsystem aufgebaut sein. Von be­ sonderem Vorteil ist, wenn bei Mehrlagenschichten nach der Abscheidung einzelner Lagen sowohl eine Unterbrechung zur Abkühlung des Substrats als auch ein Ionenbombardement zur Säuberung der jeweils abgeschiede­ nen Schicht und zur Verankerung der jeweils nachfolgenden Schicht durchgeführt wird. Ionen entstehen dabei sowohl durch Metalle als auch durch Gase, die im gesamten Beschichtungsprozeß verwendet werden. Bevorzugt wird ein Ionenbombardement dieser Art sowohl beim Start als auch am Ende des gesamten Beschichtungsprozesses durchgeführt. Eine derartige Prozeßfolge ist beispielsweise in Fig. 1 angegeben.
Zur Durchführung des Beschichtungsverfahrens wird bevorzugt die Arc- Technik verwendet, aber die Erfindung ist darauf nicht beschränkt.
Fig. 2 zeigt in schematischer Weise und unter Angabe von Anlagendetails eine Beschichtungsanlage der Anmelderin mit sechs Kathoden mit der Be­ zeichnung HTC 1800. Eine Anlage dieser Art eignet sich besonders gut zur Durchführung des erfindungsgemäßen Verfahrens, da sie sowohl im Arc- Modus als auch UBM-Modus (unbalanced magnetron-modus) betrieben werden kann.

Claims (20)

1. Verfahren zur Herstellung dekorativer Hartstoffschichten hoher Farbstabilität im grau-schwarzen Farbbereich, dadurch gekennzeichnet, daß auf dem jeweils zu beschichtenden Substrat als Schichtwerk­ stoff wenigstens ein Metallcarbonitrid und/oder wenigstens ein Me­ tallcarbonitridoxid abgeschieden wird, wobei der Anteil der Metall­ komponente im Bereich von etwa 15 at% bis etwa 70 at% und das Verhältnis der MeC- und MeN-Anteile in der Schicht in einem Ver­ hältnis von etwa 0,2 bis etwa 2,2 gewählt wird.
2. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß der Anteil der Metallkomponente größer 40 at% gewählt wird.
3. Verfahren nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß als Metallkomponente der Metallcarbonitridschicht oder der Metallcarbonitridoxidschicht die Metalle Ti, Zr, Hf, Al oder Cu oder Kombinationen daraus verwendet werden.
4. Verfahren nach Anspruch 1, 2 oder 3, dadurch gekennzeichnet, daß während der Schichtabscheidung zusätzlich zumindest ein weiteres Metall als zweite Metallkomponente in die Schicht eingela­ gert wird.
5. Verfahren nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, daß als zusätzliche zweite Metallkomponente die Metalle Ta, Cr, Nb, V oder W oder Kombinationen daraus verwendet werden.
6. Verfahren nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, daß die zusätzliche zweite Metallkomponente mit einer Konzentrati­ on von etwa 1 at% bis 25 at% in die Schicht eingelagert wird.
7. Verfahren nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, daß als zusätzliche zweite Metallkomponente das Metall Chrom in einer Konzentration von etwa 3 bis 7 at%, insbesondere in einer Konzentration von etwa 5 at% eingelagert wird.
8. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die Schichtabscheidung in Form einer Einzelschicht oder in Form einer Mehrlagenschicht erfolgt.
9. Verfahren nach Anspruch 8, dadurch gekennzeichnet, daß vor Beginn der Schichtablagerung und/oder am Ende des je­ weiligen Beschichtungsprozesses ein Ionenbombardement zu Säu­ berungs- und/oder Verankerungszwecken durchgeführt wird.
10. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß bei der Bildung von Mehrlagenschichten nach der Abscheidung einzelner Lagen eine Unterbrechung zur Abkühlung des Substrats und/oder ein Ionenbombardement zur Säuberung der abgeschiede­ nen Schichten und zur Verankerung der Folgeschicht durchgeführt wird.
11. Verfahren nach einem oder mehreren der vorhergehenden Ansprü­ che, dadurch gekennzeichnet, daß zur Schichtabscheidung das Arc-Verfahren oder das Sputter- Verfahren oder Kombinationen dieser Verfahren verwendet werden.
12. Dekorative Hartstoffschicht mit hoher Farbstabilität im grau- schwarzen Farbbereich, dadurch gekennzeichnet, daß die Hartstoffschicht aus einem Metallcarbonitrid oder einem Metallcarbonitridoxid besteht, wobei der Anteil der Metallkompo­ nente im Bereich von 15 at% bis 70 at% gelegen und vorzugsweise größer als etwa 40 at% ist.
13. Dekorative Hartstoffschicht nach Anspruch 12, dadurch gekennzeichnet, daß Ti, Zr, Hf, Al oder Cu als Metallkomponente in der Metallcarbo­ nitridschicht oder der Metallcarbonitridoxidschicht vorgesehen ist.
14. Dekorative Hartstoffschicht nach einem der Ansprüche 12 und 13, dadurch gekennzeichnet, daß in der Hartstoffschicht Ta, Cr, Nb, V oder W als zusätzliche weitere bzw. zweite Metallkomponente eingelagert ist.
15. Dekorative Hartstoffschicht nach einem der Ansprüche 12 bis 14, dadurch gekennzeichnet, daß als zusätzliche zweite Metallkomponente Chrom in einer Kon­ zentration von 3 bis 7 at%, insbesondere einer Konzentration von etwa 5 at% in die Schicht eingelagert ist.
16. Dekorative Hartstoffschicht nach einem der Ansprüche 12 bis 15, dadurch gekennzeichnet, daß die Hartstoffschicht in Form einer Einzelschicht aufgebaut ist.
17. Dekorative Hartstoffschicht nach einem der Ansprüche 12 bis 15, dadurch gekennzeichnet, daß die Hartstoffschicht als Mehrlagenschicht aufgebaut ist.
18. Dekorative Hartstoffschicht nach Anspruch 17, dadurch gekennzeichnet, daß die einzelnen Lagen der Mehrlagenschicht gleichartig aufgebaut sind.
19. Dekorative Hartstoffschicht nach einem der Ansprüche 12 bis 18, dadurch gekennzeichnet, daß der Anteil der Metallkomponente bei Mehrlagenschichten zur Schichtoberfläche hin zunimmt.
20. Dekorative Hartstoffschicht nach einem der Ansprüche 12 bis 19, dadurch gekennzeichnet, daß zumindest in der äußersten Schicht der Mehrlagenschicht der Anteil der Metallkomponente größer 40 at% gewählt ist.
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Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE102011112288A1 (de) * 2011-09-05 2013-03-07 Oerlikon Trading Ag, Trübbach Zierteil für Kraftfahrzeuge
US9212425B2 (en) 2006-01-13 2015-12-15 Ihi Hauzer Techno Coating B.V. Article having a relatively soft support material and a relatively hard decorative layer and also a method for its manufacture
WO2024133736A1 (en) * 2022-12-23 2024-06-27 Oerlikon Surface Solutions Ag, Pfäffikon Deep black decorative coating with increased thermal stability

Family Cites Families (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS55120936A (en) * 1979-02-27 1980-09-17 Hitachi Metals Ltd Covered tool
DE3503105A1 (de) * 1985-01-30 1986-07-31 Leybold-Heraeus GmbH, 5000 Köln Verfahren zum beschichten von maschinenteilen und werkzeugen mit hartstoffmaterial und durch das verfahren hergestellte maschinenteile und werkzeuge
KR920010783B1 (ko) * 1987-04-23 1992-12-17 닛신 세이꼬오 가부시기가이샤 장식 패널 건재
JPH0874036A (ja) * 1994-08-31 1996-03-19 Kobe Steel Ltd 耐摩耗性に優れた硬質セラミックス被覆部材
DE69730576T2 (de) * 1996-12-04 2005-02-03 Sumitomo Electric Industries, Ltd. Beschichtetes Werkzeug und Verfahren zu seiner Herstellung

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US9212425B2 (en) 2006-01-13 2015-12-15 Ihi Hauzer Techno Coating B.V. Article having a relatively soft support material and a relatively hard decorative layer and also a method for its manufacture
DE102011112288A1 (de) * 2011-09-05 2013-03-07 Oerlikon Trading Ag, Trübbach Zierteil für Kraftfahrzeuge
WO2024133736A1 (en) * 2022-12-23 2024-06-27 Oerlikon Surface Solutions Ag, Pfäffikon Deep black decorative coating with increased thermal stability

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