DD242320A1

DD242320A1 - Vorrichtung zum positionieren elektronischer bauelemente auf leitungssubstraten

Info

Publication number: DD242320A1
Application number: DD28257485A
Authority: DD
Inventors: Bernd Monno
Original assignee: Inst Fuer Nachrichtentechnik
Priority date: 1985-11-07
Filing date: 1985-11-07
Publication date: 1987-01-21

Abstract

Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung zum lagerichtigen Positionieren hochpoliger Nacktchips auf Leitungssubstraten und Chip-Carriern auf gedruckten Leiterplatten. Eine einfache und robuste Vorrichtung soll zur Verbesserung der Effektivitaet eines entsprechenden Bestueckungsplatzes fuehren. Ein festes optisches System soll dabei die technologischen Funktionen nicht behindern. Erfindungsgemaess ist ein Punkt an der Unterseite seines Bauelementes an einem Hebelarm, ein Punkt der Bestueckungsposition des Leitungssubstrats, ein Punkt in der Flaeche eines halbdurchlaessigen Spiegels und die Hebelarmdrehachse in den Eckpunkten eines Quadrates angeordnet. Die Diagonale des Quadrates liegt in der Spiegelflaeche und schneidet die Hebelarmdrehachse. Eine senkrecht von der Bauelemente-Unterseite ausgehende Seitenlinie und eine senkrecht von der Bestueckungsposition ausgehende Seitenlinie schneiden sich in dem Punkt in der Spiegelflaeche. Das Leitungssubstrat ist in seiner Lage seitlich verschiebbar. Fig. 1

Description

Hierzu 3 Seiten Zeichnungen

Anwendungsgebiet

Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung zum lagerichtigen Positionieren hochpoliger Bauelemente in Aufsetztechnik, wie das Positionieren von Nacktchips auf Leitungssubstraten und von Chip-Carriern aufgedruckten Leiterplatten.

Charakteristik bekannter technischer Lösungen

Elektronische Bauelemente für die Aufsetztechnik, beispielsweise hochpolige Nacktchips für die sog. „face-down-Montage" auf keramischen Leitungssubstraten, aber auch Chip-Carrier für die Montage aufgedruckten Leiterplatten, besitzen an ihrer Unterseite lötfähige Kontaktierungsflächen, mit denen sie auf entsprechende Anschlußflächen der Leitungssubstrate aufgesetzt und beispielsweise durch Reflow-Löten verbunden werden. Das Positionieren muß wegen der geringen Abmessungen der . Kontaktierungs- und Anschlußflächen sowie der kleinen Abstände zwischen ihnen mit höchster Präzision ausgeführt werden. Da nach dem Aufsetzen des Bauelementes weder die Kontaktierungsflächen des Bauelementes noch die Anschlußflächen des Leitungssubstrats sichtbar sind, ist ein nachträgliches Korrigieren der Position nicht mehr möglich.

Bekannt ist eine Vorrichtung, bei der zwischen eine vorgegebene Bestückungsposition des Leitungssubstrats und das senkrecht darüber befindliche Bauelement ein halbdurchlässiger Spiegel derart eingeschwenkt ist, daß die Spiegelfläche parallel zu der Oberfläche des Leitungssubstrats und zu der Unterseite des Bauelements angeordnet ist und den Abstand zwischen diesen Flächen halbiert. Ein Beobachtungsmikroskop ist mit einem bestimmten Winkel zur Senkrechten derart auf den halbdurchlässigen Spiegel gerichtet, daß in seinem Okular sowohl das Bild der Bestückungsposition mit den Anschlußflächen auf der Oberfläche des Leitungssubstrats als auch das Bild der Unterseite des Bauelements mit seinen Kontaktierungsflächen

sichtbar wird. Durch-Verschieben des Substrattisches sind beide Bilder zur Deckung zu bringen. Nach einer Schwenkbewegung des Spiegels wird das Bauelement mit seiner Unterseite auf die Oberfläche des Leitungssubstrats aufgesetzt, vgl. SU-PS 225332; 21g —11/02.

Bei dieser Anordnung mit nur einem senkrechten Arbeitsweg ist nur eine technologische Arbeitsfunktion möglich, die durch das Absenken des Bauelementes auf das Leitungssubstrat belegt ist. Weitere technologische Arbeitsfunktionen, die ein genaues Positionieren voraussetzen, wie beispielsweise das lagerichtige Siebdrucken von Lötpaste, sind nicht ohne weiteres möglich. Schließlich muß das zu positionierende Bauelement von unten an die Positioniervorrichtung angesetzt werden. Das ist nicht nur unbequem, sondern erschwert auch eine Automatisierung der Bauelementebereitstellung. Insgesamt wird dadurch die Effektivität eines entsprechenden Arbeitsplatzes eingeschränkt. Darüber hinaus macht die Vorrichtung einen hohen Aufwand für die präzise Vertikalführung zum Absenken des Bauelementes und für die Spiegelschwenkeinrichtung erforderlich. Die optische Achse des Beobachtungsmikroskops trifft in einem von der Senkrechten abweichenden-Winkel auf die Oberfläche des Leitungssubstrats und auf die Unterseite des Bauelementes auf. Daraus folgt, daß bei großflächigen Objekten, beispielsweise . bei Chip-Carriern, nur ein schmaler Streifen scharf abgebildet wird und daß Höhenfehler an den zu beobachtenden Flächen, die beispielsweise durch Dickentoleranzen des Bauelementes oder durch Durchbiegungen der Leiterplatten auftreten können, zu einer Fehlpositionierung führen, wobei der Fehler gleich dem Produkt aus dem Höhenfehler und dem Tangens des Winkels zwischen der optischen Achse des Beobachtungsmikroskops und der Senkrechten ist. Der Parallelversatz des Lichtstrahlverlaufs durch seine zweimalige Brechung am Spiegelsubstrat muß durch eine parallel zum Spiegel angeordnete optische Platte kompensiert werden, die wie der Spiegel schwenkbar gehalten sein muß.

Ziel der Erfindung

Ziel der Erfindung ist es, eine einfache und robuste Vorrichtung zum präzisen Positionieren hochpoliger Bauelemente in Aufsetztechnik zu schaffen, mit der die Effektivität eines entsprechenden Bestückungsplatzes verbesserbar ist.

Wesen der Erfindung

Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, in einer Vorrichtung zum Positionieren hochpoliger Bauelemente ein optisches System mit einem halbdurchlässigen Spiegel derart fest anzuordnen, daß die Achse des optischen Systems senkrecht auf den zueinander auszurichtenden Flächen steht und daß trotzdem die Funktion technologischer Arbeitswege ohne Behinderung der optischen Funktion der Vorrichtung ausführbar sind.

Erfindungsgemäß wird diese Aufgabe dadurch gelöst, daß ein erster Punkt an der Unterseite eines an dem freien Ende eines Hebelarms gehaltenen Bauelementes, ein zweiter Punkt in der Bestückungsposition an der Oberfläche einesleitungssubstrats, ein dritter Punkt in der Fläche des halbdurchlässigen Spiegels und die Drehachse des Hebelarms derart in den Eckpunkten eines Quadrates angeordnet sind, daß die eine Diagonale des Quadrates in der senkrecht zur Ebene des Quadrates ausgerichteten Flache des halbdurchlässigen Spiegels liegt und die senkrecht zur Ebene des Quadrates ausgerichtete Drehachse des Hebelarms schneidet, und eine erste; senkrecht von dem ersten Punkt an der Unterseite des Bauelementes ausgehende Seitenlinie und eine zweite, senkrecht von dem zweiten Punkt in der Bestückungsposition an der Oberfläche des Leitungssubstrats ausgehende Seitenlinie sich in dem dritten Punkt in der Fläche des halbdurchlässigen Spiegels schneiden, und daß das Leitungssubstrat in seiner Lage seitlich verschiebbar ist. In der Verlängerung jeweils der einen Seitenlinie über den dritten Punkt in der Fläche des halbdurchlässigen Spiegels hinaus ist eine Lichtquelle und in der Verlängerung jeweils der anderen Seitenlinie über den dritten Punkt in der Fläche des halbdurchlässigen Spiegels hinaus ist eine Beobachtungshilfe angeordnet. In einer anderen Ausgestaltung der Vorrichtung sind in der Verlängerung einer der Seitenlinien über den dritten Punkt in der Fläche des halbdurchlässigen Spiegels hinaus eine Beobachtungshilfe und in einem spitzen Winkel zu dieser Seitenlinie eine Lichtquelle angeordneten einer weiteren Ausgestaltung sind zwei unterschiedliche Lichtquellen derart angeordnet, daß nur ihr von der Unterseite des Bauelementes und von der Oberfläche des Leitungssubstrates zurückgeworfenes Licht durch den halbdurchlässigen Spiegel gelangt. Der halbdurchlässige Spiegel ist Bestandteil eines optischen Teilungswürfels. Zur Vermeidung störender Lichtreflexionen ist der optische Teilungswürfel um eine Senkrechte zur Fläche des halbdurchlässigen Spiegels derart gedreht, daß alle Würfelflächen des optischen Teilungswürfels zu der Ebene des Quadrates geneigt sind. Die der Unterseite des Bauelementes und die der Oberfläche des Leitungssubstrates zugewandten Würfelflächen des optischen Teilungswürfles tragen zueinander unterschiedliche Farbfilter. In einer anderen Ausführungsvariante ist der halbdurchlässige Spiegel in Form einer einseitig verspiegelten Platte ausgeführt. Zur Kompensation des Parallelversatzes des Lichtstrahlverlaufs ist zu dem halbdurchlässigen Spiegel in Form der einseitig verspiegelten Platte objektseitig im nichtgespiegelten Lichtstrahlverlauf eine unverspiegelte Platte von gleicher Dicke und gleichem Brechungsindex des Plattenmaterials in einem rechten Winkel angeordnet. In einer zweckmäßigen Ausgestaltung ist als Beobachtungshilfe eine elektronische Bildaufnahmeeinrichtung eingesetzt, deren Signalausgänge über Auswerteeinrichtungen und Servosteuerungen mit einem Kreuztisch verbunden sind.

Mit der erfindungsgemäßen Lösung gelingt es, einen Bestückungsplatz aufzubauen, bei dem beispielsweise mehrere Hebelarme strahlenförmig auf die Bestückungsposition an der Oberfläche des Leitungssubstrats ausgerichtet sind und mit denen neben dem Positionieren eines Bauelementes auch die zum Bestücken notwendigen weiteren Arbeitsfunktionen, wie Aufsetzen eines Drucksiebes zum Drucken von Lötpaste, Zuführen einer Lötvorrichtung oder Auftragen eines Klebepunktes, zu realisieren sind, ohne daß dabei die optische Funktion oder eine ausgeführte Einstellung der Vorrichtung beeinträchtigt wird. Für eine vorteilhafte automatische Zuführung der Bauelemente ist der entsprechende Hebelarm auch derart schwenkbar anzuordnen, daß er einen Winkel von 180° in bezug auf die Bestückungsposition an der Oberfläche des Leitungssubstrats einnimmt. Eine spielfreie Lagerung der Hebelarme ist in einfacher Weise durch konische Lager ausführbar.

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Ausführungsbeispiel

Die Erfindung wird nachstehend anhand eines Ausführungsbeispiels näher erläutert. In den zugehörigen Zeichnungen zeigen:

Fig. 1 —eine schematische Darstellung der erfindungsgemäßen Vorrichtung, Fig.2 — eine schematische Darstellung einer Spiegelanordnung, Fig. 3 — eine schematische Darstellung einer weiteren Spiegelanordnung und Fig.4—eine schematische Darstellung eines Bestückungsplatzes.

In der schematischen Darstellung gemäß Fig. 1 sind einer von mehreren Hebelarmen 1 mit einem hochpoligen Bauelement 2 und einer Drehachse 3, ein optischer Teilungswürfel 4 mit einem halbdurchlässigen Spiegel 5 und ein Kreuztisch 6 mit einem Leitungssubsträt 7 dargestellt. Mit gestrichelten Linien sind die Seitenlinien eines Quadrates eingezeichnet, von denen eine erste Seitenlinie 8 senkrecht von der Unterseite des Bauelementes 2 und eine zweite Seitenlinie 9 senkrecht von der Oberfläche des Leitungssubstrats 7 ausgehen. Mit einer strichpunktierten Linie ist eine Diagonale 10 des Quadrates eingezeichnet, die die Drehachse 3 des Hebelarms 1 schneidet und in der Fläche des halbdurchlässigen Spiegels 5 liegt. In der Verlängerung der ersten Seitenlinie 8 ist eine Lichtquelle 11 und in der Verlängerung der zweiten Seitenlinie 9 ist als Beobachtungshilfe 12 ein Mikroskop angeordnet. Eine gestrichelte, bogenförmige Linie kennzeichnet den Weg des Bauelementes 2 bei dessen Positionieren auf dem Leitungssubstrat 7. Der Hebelarm 1 ist zusätzlich gestrichelt in einem Winkel von 180° in bezug auf das Leitungssubstrat 7 dargestellt.

In Fig. 2 ist schematisch eine Draufsicht auf den Hebelarm 1 mit dem Bauelement 2, den optischen Teilungswürfel 4 und die erste Seitenlinie 8 des Quadrates dargestellt.

Fig.3 zeigt einen halbdurchlässigen Spiegel 5 in Form einer einseitig verspiegelten Platte 13 und eine weitere, zu dieser im rechten Winkel angeordnete, unverspiegelte Platte 14. Eine gepfeilte Linie kennzeichnet den Lichtstrahlverlauf und eine gestrichelte Linie die zweite Seitenlinie 9 des Quadrates.

In der Fig.4 ist der schematische Aufbau eines Bestückungsplatzes entsprechend der erfindungsgemäßen Lösung dargestellt.

Mehrere Hebelarme 1 sind strahlenförmig auf einen Punkt an der Oberfläche des Leitungssubstrats 7 ausgerichtet. Der Kreuztisch

6 ist über eine Auswerteeinrichtung 15 und Servosteuerung 16; 17 mit den Signalausgängen der Beobachtungshilfe 12 in Form einer elektronischen Bildaufnahmeeinrichtung verbunden.

Die Funktion der Vorrichtung ist folgende.

Das Bauelement 2 und das Leitungssubstrat 7 sind in geeigneter Weise, beispielsweise mit Hilfe von Aufnahmen und Vakuum, an dem Hebelarm 1 beziehungsweise auf dem Kreuztisch 6 gehalten. Die Unterseite des Bauelementes 2 und die Bestückungsposition an der Oberfläche des Leitungssubstrats 7 sind von dem von der Lichtquelle 11 ausgehenden Licht beleuchtet. Mit Hilfe des halbdurchlässigen Spiegels^ 5 wird sowohl das reelle Bild der Bestückungsposition an der Oberfläche des Leitungssubstrats 7 als auch das virtuelle Bild der Unterseite des Bauelementes 2 sichtbar. Unter Benutzung des als Beobachtungshilfe 12 eingesetzten Mikrokops wird durch seitliches Verschieben des Kreuztisches 6 in seiner X- und Y-Richtung das Bild der Bestückungsposition an der Oberfläche des Leitungssubstrate 7 derart in bezug auf das Bild der Unterseite des Bauelementes 2 bewegt, daß einander entsprechende Bezugspunkte beider Bilder zur Deckung gelangen. Danach wird ohne eine Veränderung am optischen System der Hebelarm 1 um 90°in Richtung auf das Leitungssubstrat 7 geschwenkt, bis die Unterseite des Bauelementes 2 lagerichtig auf der Bestückungsposition ander Oberfläche des Leitungssubstrats 7 aufsitzt. Nach Lösen des Bauelementes 2 von dem Hebelarm 1 wird dieser ohne das Bauelement 2 in seine ursprüngliche Lage zurückgeschwenkt. Für ein leichteres Bestücken des Hebelarms 1 mit einem weiteren Bauelement 2 für einen folgenden Positioniervorgang, insbesondere bei einer mechanisierten oder automatisierten Zuführung der Bauelemente 2, ist der Hebelarm 1 auch in eine Lage mit einem Winkel von 180° in bezug auf das Leitungssubstrat 7 schwenkbar. Bei der erfindungsgemäßen Vorrichtung gemäß Fig. 1 ist es ohne Veränderung in der Funktion auch möglich, die Lichtquelle 11 in der Verlängerung der zweiten Seitenlinie 9 und die Beobachtungshilfe 12 in der Verlängerung der ersten Seitenlinie 8 anzuordnen. Es ist darüber hinaus auch möglich, die Lichtquelle in einem spitzen Winkel von beispielsweise 3° zu der Seitenlinie 8; 9 anzuordnen, in deren Verlängerung die Beobachtungshilfe 12 angeordnet ist. In dieser Anordnung kann die Lichtquelle 11 auch in dem Mikroskop integriert sein. In einer weiteren Ausgestaltung sind zwei unterschiedliche Lichtquellen 11 derart außerhalb der Seitenlinien des Quadrates angeordnet, daß ihr nichtreflektiertes Licht direkt auf Unterseite des Bauelementes 2 und auf die Oberfläche des Leitungssubstrates 7 auftritt unddaßnurihr von den Objekten zurückgeworfenes Licht durch den halbdurchlässigen Spiegel 5 gelangt. Neben dem Einstellen eines optimalen Beleuchtungswinkels wird hierdurch die Möglichkeit geschaffen, die Unterseite des Bauelementes 2 und die Bestückungsposition an der Oberfläche des Leitungssubstrats 7 mit unterschiedlichem Licht zu beleuchten. Durch unterschiedlich gefärbtes Licht wird dabei eine bessere Unterscheidungsfähigkeit der beiden Bilder erreicht. Bei Verwendung nur einer Lichtquelle 11 wird die Beleuchtung der Unterseite des Bauelementes 2 und der Bestückungsposition an der Oberfläche des Leitungssubstrats 7 mit unterschiedlich gefärbtem Licht durch zwei unterschiedliche Farbfilter erreicht, die an den den Objekten zugewandten Würfelflächen des optischen Teilungswürfels 4 angeordnet sind.

Zwecks Vermeidung störender Lichtreflexionen ist der optische Teilungswürfel 4 derart um eine Senkrechte zur Fläche des halbdurchlässigen Spiegels 5 gedreht, daß die der Unterseite des Bauelementes 2 und die der Oberfläche des Leitungssubstrats

7 zugewandten Würfelflächen des optischen Teilungswürfels 4 um wenige Grade geneigt verlaufen. Hierdurch wird vermieden, daß an den Würfelflächen reflektierte Lichtstrahlen in den Strahlengang des Mikroskops gelangen. Die Fläche des halbdurchlässigen Spiegels 5 bleibt dabei weiterhin derart ausgerichtet, daß in ihr die eine Diagonale des Quadrates liegt, vgl. Fig. 2.

Bei Verwendung eines halbdurchlässigen Spiegels 5 in Form einer einseitig verspiegelten Platte 13 wird der Parallelversatz des Lichtstrahlverlaufs durch eine unverspiegelte Platte 14 von gleicher Dicke und gleichem Brechungsindex des Plattenmaterials kompensiert. Die unverspiegelte Platte 14 ist dazu objektseitig im nichtgespiegelten Licht derart angeordnet, daß sie mit der verspiegelten Platte 13 einen rechten Winkel bildet. Bei dieser Art der Parallelversatzkompensation tritt ebenfalls keine Behinderung dertechnologischen Funktionen des Bestückungsplatzes ein, vgl. Fig.3.

-4- Z4Z320

Mit der erfindungsgemäßen Lösung gelingt es, einen vergleichsweise effektiven Bestückungsplatz für hochpolige Bauelemente 2 in Aufsetztechnik aufzubauen, bei dem eine vorgegebene Anzahl von Hebelarmen 1 strahlenförmig um einen Bezugspunkt angeordnet sind. Einer der Hebelarme 1 trägt beispielsweise an seinem freien Ende das Bauelement 2, während die anderen Hebelarme lan ihren freien Enden Vorrichtungen zum Ausführen anderer technologischer Funktionen tragen, beispielsweise eine Vorrichtung für das Aufsetzen eines Drucksiebes zum Drucken von Lötpaste, eine Vorrichtung zum Reflow-Löten oder beim Anwenden einer anderen Verbindungstechnologie eine Vorrichtung zum Auftragen eines Kleberpunktes. Mit einem Einstellvorgang durch ein seitliches Verschieben des Leitungssubstrats 7, bei dem die einander entsprechenden Bezugspunkte des Bildes der Unterseite des Bauelementes 2 und des Bildes der Bestückungsposition an der Oberfläche des Leitungssubstrats 7 zur Deckung gebracht werden, sind somit auch alle übrigen Hebelarme 1 lagerichtig ausgerichtet. Beim Einsatz einer Beobachtungshilfe 12 in Form einer elektronischen Bildaufnahmeeinrichtung ist dieser Einstellvorgang bei unterschiedlich getaktetem Licht aus den beiden Lichtquellen 11 unter Zuhilfenahme einer entsprechenden Auswerteeinrichtung 15 sowie entsprechender Servosteuerung 16; 17, die auf den Kreuztisch 6 einwirken, automatisch ausführbar.

Claims

- 1 - Z4Z

Patentansprüche:

1. Vorrichtung zum Positionieren hochpoliger elektronischer Bauelemente in Aufsetztechnik auf Leitungssubstrate mit einem halbdurchlässigen Spiegel, dadurch gekennzeichnet, daß ein erster Punkt an der Unterseite eines an dem freien Ende eines Hebelarms (1) gehaltenen Bauelementes (2), ein zweiter Punkt in der Bestückungsposition an der Oberfläche eines Leitungssubstrats (7), ein dritter Punkt in der Fläche des halbdurchlässigen Spiegels (5) und die Drehachse (3) des Hebelarms (1) derart in den Eckpunkten eines Quadrates angeordnet sind, daß die eine Diagonale (10) des Quadrates in der senkrecht zur Ebene des Quadrates ausgerichteten Fläche des halbdurchlässigen Spiegels (5) liegt und die senkrecht zur Ebene des Quadrates ausgerichtete Drehachse (3) des Hebelarms (1) schneidet, und eine erste, senkrecht von dem ersten Punkt an der Unterseite des Bauelementes (2) ausgehende Seitenlinie (8) und eine zweite, senkrecht von dem zweiten Punkt in der Bestückungsposition an der Oberfläche des Leitungssubstfats (7) ausgehende Seitenlinie (9) sich in dem dritten Punkt in der Fläche des halbdurchlässigen Spiegels (5) schneiden, und daß das Leitungssubstrat (7) in seiner Lage seitlich verschiebbar ist.
2. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß in der Verlängerung jeweils der einen Seitenlinie (8 beziehungsweise 9) über den dritten Punkt in der Fläche des halbdurchlässigen Spiegels (5) hinaus eine Lichtquelle (11) und in der Verlängerung jeweils der anderen Seitenlinie (9 beziehungsweise 8) über den dritten Punkt in der Fläche des halbdurchlässigen Spiegels (5) hinaus eine-Beobachtungshilfe (12) angeordnet sind.
3. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß in der Verlängerung einer der Seitenlinien (8; 9) über den dritten Punkt in der Fläche des halbdurchlässigen Spiegels (5) hinaus die Beobachtungshilfe (12) und in einem spitzen Winkel zu dieser Seitenlinie (8; 9) die Lichtquelle (11) angeordnet ist.
4. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß zwei unterschiedliche Lichtquellen (11) derart angeordnet sind, daß nur ihr von der Unterseite des Bauelementes (2) und von der Oberfläche des Leitungssubstrats (7) zurückgeworfenes Licht durch den halbdurchlässigen Spiegel (5) gelangt.
5. Vorrichtung nach Anspruch 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet, daß der halbdurchlässige Spiegel (5) Bestandteil eines optischen Teilungswürfels (4) ist.
6. Vorrichtung nach Anspruch 1 bis 5, dadurch gekennzeichnet, daß der optische Teilungswürfel (4) um eine Senkrechte zur Fläche des halbdurchlässigen Spiegels (5) derart gedreht ist, daß alle Würfelflächen des optischen Teilungswürfels (4) zu der Ebene des Quadrates geneigt sind.
7. Vorrichtung nach Anspruch 1 bis 6, dadurch gekennzeichnet, daß die der Unterseite des Bauelementes (2) und die der Oberfläche des Leitungssubstrats (7) zugewandten Würfelflächen des optischen Teilungswürfels (4) zueinander unterschiedliche Farbfilter tragen.
8. Vorrichtung nach Anspruch 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet, daß der halbdurchlässige Spiegel (5) in Form einer einseitig verspiegelten Platte (13) ausgeführt ist.
9. Vorrichtung nach Anspruch 1 bis 4 und 8, dadurch gekennzeichnet, daß zu dem halbdurchlässigen Spiegel (5) in Form einer einseitig verspiegelten Platte (13) objektseitig im nichtgespiegelten Lichtstrahlverlauf eine unverspiegelte Platte (14) von gleicher Dicke und gleichem Brechungsindex des Plattenmaterials in einem rechten WinkeTangeordnet ist.
10. Vorrichtung nach Anspruch 1 bis 9, dadurch gekennzeichnet, daß als Beobachtungshilfe (12) eine elektronische Bildaufnahmeeinrichtung eingesetzt ist, deren Signalausgänge über Auswerteeinrichtungen (15) und Servosteuerungen (16; 17) mit einem Kreuztisch (6) verbunden sind.