DD140119A1 - METHOD FOR PRODUCING DUENNER DISCS FROM GLASS BODIES BY SEPARATING GRINDING - Google Patents

Abstract

Die Erfindung bezieht sich auf das Trennen von Körpern aus Glas und Verbunden von Glas mit anderen spröden Werkstoffen. Sie ist besonders geeignet für die Herstellung von Scheiben geringer Dicke mit hoher geometrischer Genauigkeit und Güte der geschnittenen Oberflächen bei sehr guter Materialökonomie. Ziel der Erfindung ist die Bereitstellung eines ökonomischen Verfahrens zum Herstellen dünner Scheiben aus Körpern von Glas, welches die Mängel der Außenboart-Trenntechnologie vermeidet, in der Materialeffektivität und Trennqualität aber überlegen ist. Erfindungsgemäß wird die iiufgabe dadurch gelöst, daß ein ökonomisches Verfahren zum Herstellen dünner Scheiben aus Glaskörpern bereifgestellt wird, welches die bei der Halbleiterbearbeitung bekannten Trennautomaten und Innenloch-Diamanttrennscheiben, eine optimale Schneidflüssigkeit und einen zweckmäßigen Kühl-Schmiermittelkreislauf' mit hohem Reinigungseffekt nutzt. Teilautomatisierung des Schneidens von Glasscheiben gleicher Dicke mit hoher geometrischer Genauigkeit und Oberflächengüte ist gewährleistet» Anwendungsgebiet ist die Herstellung von akustischen Verzögerungsleitungen· und Rohlingsscheiben für optische Küvetten-fenster.The invention relates to the separation of bodies of glass and bonding of glass with other brittle materials. she is particularly suitable for the production of small thickness slices high geometric accuracy and quality of the cut surfaces with very good material economy. The aim of the invention is the Providing an economical method for producing thin Slices of bodies of glass, which the defects of Exterior Boards separation technology avoids, in material effectiveness and But separation quality is superior. According to the invention, the task solved by an economical method for producing thin Slices of glass bodies is frosted, which in the Semiconductor processing known separation machines and inner hole diamond cutting discs, an optimal cutting fluid and a convenient one Coolant / Lubricant circuit with high cleaning effect. Partial automation of cutting glass panes of the same thickness with high geometric accuracy and surface quality »application is the production of acoustic Delay lines · and blank discs for optical cuvette windows.

Description

- ι- 209 1- ι- 209 1

Beschreibung der ErfindungDescription of the invention

Verfahren zur Herstellung dunner Scheiben aus Glaskörpern durch TrennschleifenMethod for producing thin slices of glass bodies by means of cut-off grinding

Anwe ηdungβ,ο, β biet;Appendix β, ο, β;

Die Erfindung betrifft ein Verfahren zum effektiven Trennen von Körpern aus Glas und Verbunden von Glas mit anderen spröden Werkstoffen und ist insbesondere geeignet für die Herstellung von Scheiben geringer Dicke mit hoher geometrischer Genauigkeit bei gleichzeitig hoher Güte der erzeugten Ober«· flächen und sehr guter Schärfe der Schnittkanten. Haupteinsatzgebiet ist die Herstellung von akustischen Verzögerungsleitungen und die Vorfertigung von Scheiben für optische Küvettenfenster·The invention relates to a method for effectively separating bodies of glass and bonded glass with other brittle materials and is particularly suitable for the production of slices of small thickness with high geometrical accuracy combined with high quality of the produced surfaces and very good sharpness cut edges. The main field of application is the production of acoustic delay lines and the prefabrication of discs for optical cuvette windows.

Es ist bekannt_c Glas aus Gründen der Produktivität mit Außenboart· Diamant«Trennscheiben zu trennen /I/o Die zu trennenden Glas« körper werden zum Zerschneiden auf eine geeignete Unterlage aufgekittete Als Schneidflüssigkeit kommen sowohl spezielle Schneidöle /2/ als auch auf Wasserbasis aufgebaute Schneidemulsionen /1;3/ zum Einsatz. Die Trennscheiben müssen aus'Stabili« tätsgrunden ausreichend dick gehalten werden, was entsprechend breite Schnittfugen zur Folge hat. Um optimale Schneidleistungen der Außenboart-Diamanttrennscheiben zu gewährleisten, ist die Einhaltung der günstigsten Schneidparameter erforderlich.It is known _c glass for reasons of productivity with Außenboart · Diamond "to separate / I / O blades, the to be separated glass" body be to cut on a suitable surface aufgekittete as cutting fluid are both special cutting oils / 2 / as built on water-based cutting fluids / 1; 3 / used. For reasons of stability, the cutting discs must be kept sufficiently thick, which results in correspondingly wide kerfs. To ensure optimum cutting performance of the external diamond cutting blades, compliance with the most favorable cutting parameters is required.

Wegen der nur begrenzten Steifigkeit des Sägeblattes kommt es beim Schneiden zu einem Verlaufen des Sägeblattes_e so daß für die Herstellung von Scheiben oder Stöcken mit definierten Abmessungen eine beträchtliche Schneidzugabe erforderlich ist. Eine Verringerung des Schneidvorschubes bringt zwar eine Reduzierung der Schneidzugabe ο zieht aber geringere Produktivität nach sich« Ferner geht dabei der auf optimale Schneid« leistung eingestellte Selbstschärfeffekt verloren^ was gleichzeitig erhöhten Verschleiß des Schneidbelages und größere Neigung des Sägeblattes zum Flattern mit nachteiligen Auswirkungen auf die Qualität des Schnittes nach sich zieht,. Pneumatische Stabilisierung des Sägeblattes /4/ bringt zwar.eine Verbesserung»Because of the limited stiffness of the saw blade, it comes to a running of the saw blade _e during cutting so that a considerable cutting allowance is required for the production of discs or sticks with defined dimensions. Although a reduction of the cutting feed brings about a reduction in the cutting allowance but also results in lower productivity. Furthermore, the self-sharpening effect set for optimum cutting performance is lost, which at the same time leads to increased wear of the cutting coating and greater tendency of the saw blade to flutter with detrimental effects on the quality of the cut. Pneumatic stabilization of the saw blade / 4 / brings an improvement »

stellt aberjkeine generelle Lösung des Problems dar. Ein weiterer Nachteil beim Außenboart«Trennen von dünnen Scheiben ergibt sich aus der Wirkung der Schneidflüssigkeit und ihres Grades der Ver« unreinigung durch Schneidschlamm«, Die zur Abscheidung des Schneid« schlamrr.es eingesetzten Reinigungssysteme sind für die Erzielung eines ausreichenden Reinigungseffektes sehr aufwendig« Ferner ist das Trennschleifen mit Innenloch«»Diamant£rennscheiben bekannt /5;6/_o Die sehr dünnen und am Außenrand gespannten Innen« lochwSägeblätter ermöglichen bei der Bearbeitung von Halbleitereinkristallen sehr schmale Schnittfugen und hohe Trennqualität. Als Schneidflüssigkeit wird Wasser mit Zusatz von oberflächen·» aktiven Stoffen verwendet. Für die Anwendung von Innenloch^Diamant** trennscheibeη zur Bearbeitung von Quarz_e Piezokeramik^ optischom Glas und einigen weiteren Werkstoffen gibt es Hinweise,' wonach diese Trenntechnologis als aufwendig und schlecht automatisierbar /4/ charakterisiert wird₉ bzw« die Entwicklung spezieller Diamant» Belagzusammensetzungen und entsprechende Abstimmungen der Maschinen erfordert /7/«, Zur Anwendung von Schneidölen für diese Technologie konnten keine Aussagen gefunden werden« Schneidflüssigkeiten auf Wasserbasis sind ** nach-eigenen Versuchen «-ungeeignet und führen bei Anwendung im Trennergebnis zu sehr schlechter Geometrie und Oberflächenqualität und unvertretbar niedrigen Standzeiten des Innenloch^Trennwerkzeuges_β Beim Arbeiten mit einem geschlos« senen Kühl«Schmiermittelkreislauf wird das BearbeitungsergebnisHowever, this does not constitute a general solution to the problem. Another disadvantage of the external cutting "thin disk cutting" is the effect of the cutting fluid and its degree of cleaning by cutting sludge. "The cleaning systems used to deposit the cutting mud are for the To achieve a sufficient cleaning effect, very costly. "Also known is internal hole cutting.""DiamondBlades" / 5; 6 / _o The very thin inner hole saw blades, which are tensioned on the outer edge, allow for very narrow kerfs and high separation quality when processing semi-conductor single crystals. The cutting fluid used is water with the addition of surface active substances. For the purposes of inner hole ^ Diamond ** trennscheibeη for processing quartz _e piezoceramic ^ optischom glass and some other materials, there are indications' after which this separation Technologic is characterized as complex and difficult to automate / _4/9 or "the development of special diamond" coating compositions and corresponding machine adjustments required / 7 / «No statements could be made on the use of cutting oils for this technology« Water-based cutting fluids are «unsuitable for own use» and result in very poor geometry and surface quality when used in the separation result Unacceptably low service life of the inner hole ^ Separating tool _β When working with a closed coolant / lubricant circuit, the result of the machining process becomes

~ 3~ 3

auch durch den steigenden Verschmutzungsgrad der Schneidflüs« sigkeit beeinträchtigt. Die Reinigung der direkt aus dem Trennschleifprosß kommenden Schneidflössigkeit durch Filter« systeme ist entweder sehr aufwendig oder im Wirkungsgrad eingeschränkt.also affected by the increasing degree of contamination of the cutting fluid. The cleaning of Schneidflössigkeit coming directly from the Trennschleifprosß by filter «systems is either very expensive or limited in efficiency.

FQr die Herstellung von dünnen Scheiben aus Glaskörpern ist auch die Anwendung des Gatter-Trennläppens bekannt /8/, Neben sehr langen Bearbeitungszeiten und der Verschleißer·- scheinungen an den Läppbändern treten Keilfehler der geschnit*» tenen Scheiben auf· Die starre Einstellung des Schneidmaßes läßt keine Dickenkorrektur zu und es muß mit einer Maßzugabe getrennt werden_o Das Einrichten einer Gatter«Trennläppmaschine ist zeit« aufwendig, körperlich anstrengend und schmutzintensiv.For the production of thin slices of glass bodies, the application of the gate-separating lapping is also known / 8 /. In addition to very long processing times and the wear phenomena on the lapping belts, wedge defects of the sliced slices occur. · The rigid setting of the cutting dimension is not possible no thickness correction and it must be separated with a Maßzugabe _o Setting up a gate "Trennlppmaschine is time" consuming, physically exhausting and dirt intensive.

ZiejL de r_t Erf indunc;ZiejL de r _t Erf indunc;

Ziel der Erfindung ist die Bereitstellung eines ökonomischen Verfahrens zum Herstellen dünner Scheiben aus Körpern von Glas und Verbunden von Glas mit anderen spröden Werkstoffen» welches frei von den Mangeln der Außenboart-Trenntechnologie ist und eine Fertigung der Glasscheiben mit gleicher Produktivität aber besserer Materialeffektivität und Trennqualität ermöglicht sowie mit einem einfachen, aber in der Wirksamkeit effektiven Kühl«Schmiermittelkreislauf arbeitet.The object of the invention is to provide an economical method of producing thin slices of glass and bonded glass with other brittle materials which is free of the lack of external beam separation technology and which allows the glass sheets to be produced with equal productivity but better material efficiency and quality of separation as well as working with a simple, but effective coolant circuit.

Gemäß der Erfindung wird die Aufgabe dadurch gelöst, daß ein ökonomisches Verfahren zum Herstellen dünner Scheiben aus Körpern von Glas und Verbunden von Glas mit anderen spreden Werkstoffen bereitgestellt wird, welches die bei der Halbleiterbearbeitung bekannten Trennautomaten und Innenloch-Diamantirennscheiben eine für das Trennen von Glas optimale Schneidflüssigkeit und einen zweckmäßig aufgebauten Kühlschmiermittelkreislauf mithohem Reinigungseffekt nutzt. Gleichzeitig wird die Forderung nach Teilautomatisierung des Schneidens von Glasscheiben gleicher Dicke mit hoher geometrischer Genauigkeit und Oberflächengüte erfüllt.According to the invention, the object is achieved by providing an economical method for producing thin slices from bodies of glass and composites of glass with other brittle materials, which optimizes the separation machines and inner-hole diamond cutting discs known in semiconductor processing for the separation of glass Cutting fluid and a purpose-built coolant lubricating circuit with high cleaning effect uses. At the same time, the requirement for partial automation of cutting glass panes of the same thickness with high geometric accuracy and surface quality is met.

^! . . - - 4> 209 1©3 ^! , , - - 4> 209 1 © 3

Die Anwendung des Trennverfahrens mit Innenloch-Diamanttrenn» scheiben zum Herstellen dünner Scheiben aus Glaskörpern ver~ meidet infolge der deutlich geringeren Trennscheibendicken und der hohen Arbeitssteifigkeit die für das Außenboart-Trennverfahren typischen großen Schnittfugenbreiten und reduziert die für eine Korrektur des Verlaufene der Schn.ittebene erforderliche Bearbeitungszugabe auf einen genau einstellbaren minimalen Betrag,, welcher für einen eventuell nachgeordneten Feinbearbeitungsschritt benötigt wird« Da bei der erfindungsgemäßen verfahrenstechnischen Lösung_c die für das Außenboarttrennverfahren typischen Flattererscheingungen des Trennwerkzeuges entfallenj wird eine sehr präzise Schnittführung mithoher Kantenschärfe erreicht* Durch den Einsatz einer den Werkstoff Glas ausreichend benetzenden und schmierfähigen Schneidflüssigkeit und deren drucklosen Heranführung in einer gerade ausreichenden Menge unmittelbar an die Schneidkante des Werkzeuges Innenloch^Diamanttrennscheibe wird eine ausreichende Kühlung und Spülung im Schneidspal'c erreicht und der für das Außenboart«-Trennverfahren typische Aufstau der Schneidflüssigkeit im Schneidspalt infolge der Zentrifugalkräfte vermieden und es kommt zu keinem verfahrensbedingten Scheiben« 'bruch· Die optimale Schneidflüssigkeit ermöglicht in Verbindung mit der sehr dünnen Innenloch-Diamanttrennscheibe ferner die Einhaltung der für ein Diamantwerkzeug optimalen Schneidvorschubwerte .The use of the separation method with inner-hole diamond cutting discs for producing thin slices of glass bodies avoids the large kerf widths typical for the outer-boom cutting process and reduces those required for correcting the course of the cutting plane owing to the significantly lower cutting wheel thicknesses and the high working rigidity Machining allowance to an accurately adjustable minimum amount, which is needed for a possibly downstream finishing step. Since in the procedural solution _c according to the invention for the Außenboarttrennverfahren typical Flattererscheingungen the separating tool omitted a very precise cut is achieved with high edge sharpness * By using a glass sufficiently wetting and lubricious cutting fluid and its pressure-free approach in just a sufficient amount directly to the cutting edge of the tool In nenloch ^ diamond cutting disc is achieved sufficient cooling and rinsing in Schneidspal'c and the typical for the Außenboart "separation process impoundment of the cutting fluid avoided cutting gap due to centrifugal forces and there is no procedural slices '' break · The optimum cutting fluid, in conjunction with the very thin inner hole diamond cutting disc also adhering to the optimum for a diamond tool cutting feed values.

In Addition aller positiven Eigenschaften der erfindungsgemäßen' fertigungstechnologischen Lösung sind keine Innenloch-Diamanttrennscheiben mit Sonderaufbau des Schneidbelages erforderlich und es kann auf solche Innenloch-Diamanttrenfischeiben zurückgegriffen werden^ wie sie bei der Halbleiterbearbeitung üblich sind ο ·In addition, all positive properties of the invention 'production technology solution no inner-hole diamond cutting discs with special structure of the cutting coating are required and it can be used on such inner hole Diamanttrenfischeiben ^ as they are common in semiconductor processing ο

Durch den Einsatz eines einfach aufgebauten, geschlossenen Kühl~ Schmiermittelkreislaufes mit integriertem Reinigungskreislauf von hohem Wirkungsgrad wird bei der erindungsgemäßen verfahrenstschnologischen Lösung gegenüber den in der Glasbearbeitung bekannten mehrstufigen Absetzkaskaden eine nur geringe Einsatzmenge an Schneidflüssigkeit benötigt₃ die gleichzeitig sehr hoch ausge« lastet wird»A simply structured, closed cooling through the use ~ lubricant circuit with integrated cleaning cycle of high efficiency only a small use amount of cutting fluid requires ₃ in erindungsgemäßen verfahrenstschnologischen solution compared with the known in glass processing multistage Absetzkaskaden the same time very high out "is overloaded"

-5- 209 1-5- 209 1

Die zweckmäßige Einordnung des Filtersystems in den Kühl-Schmiermittelkreislauf sichert dabei, daß durch einen sehr hohen Umwälzfaktor für abgespannte Teilchen mit Teilchengrößen unterThe appropriate classification of the filter system in the cooling lubricant circuit ensures that by a very high Umwälzfaktor for strained particles with particle sizes below

1 ,um erreicht wirdo1 to reach

AusfOhrungs be ispie I EXAMPLES Example I

Die Beschreibung des Verfahrens und seine Vorteile gegenüber der Außenboart-Trehnverfahren sollen am Ausfuhrungsbeispiel der Herstellung von Scheiben definierter Dicke für akustische Ver~ zögerungsleitungen des Typs CV 20 und an Hand der Zeichnung erfolgen.The description of the method and its advantages over the external Boart-Trehnverfahren should be made on the exemplary embodiment of the production of discs of defined thickness for acoustic delay lines of the type CV 20 and with reference to the drawing.

Bei den in Scheiben zu trennenden Glaskörpern 1 handelt es sich um einen 15 mm dicken Körper aus Spezialbleiglas„ der auf den • beiden Funktionsflächen £ mit piezokeramischen Scherwandlern belegt ist« Diese Körper 1 sind in Scheiben von ca. 760,um Dicke zu trennen*The glass bodies 1 to be sliced are a 15 mm thick body made of special lead glass "which is coated on the two functional surfaces £ with piezoceramic shear transducers" These bodies 1 are in slices of about 760 to separate the thickness *

Bei der erfindungsgemäßen Verfahrens technologischen Lösung wird der zu trennende Glaskörper 1 in bekannter Weise gagen eine Ein« schneidunterlage aiigekittet und mit Siegellack am WerkstückhalterIn the process technological solution of the invention, the glass body 1 to be separated in a known manner gagen a Ein'schneidunterlage aiigekittet and with sealing wax on the workpiece holder

2 angeklebt. Der Werkstuckhalter wird dann am Vorschubsystem 3 des Trennautomaten befestigt. Unter Berücksichtigung des Drehsinnes der Innenloch^Diamanttrennscheibe 4 wird die druckloee Zuführung der Schneidflüssigkeit über einen seitlichen Einschnitt in einem Kunststoffschlauch vorgenommen. Die im Durchsatz über ein Nadelventil regelbare Kühl-Schmiermittelzuführung 5 ist möglichst dicht an die Einschnittflache des Glaskörpers 1 heranzu~ führeno Im Bereich der Ausschnittfläche wird eine größere Menge der Schneidflüssigkeit als Spülflüssigkeit 6 an den Schneidbelag herangeführt· Die dem Trennprozeß zugeführte einheitliche Kühl-Schmier« und Spülflüssigkeit wird im Schutzgehäuse 7 des Trennautomaten gesammelt und über die Rückflußleitung 8 dem Vorratsbehälter des Kühl-Schmiermittelkreislaufes zugeführt,, Der sich im Schneidraum bildende Schneidflüssigkeitsnebel wird über Absaug»2 glued. The workpiece holder is then attached to the feed system 3 of the separation machine. Taking into account the direction of rotation of the inner hole ^ diamond cutting disc 4, the pressure-free supply of the cutting fluid is made via a lateral cut in a plastic tube. The coolant lubricant supply 5 which can be regulated in the throughput via a needle valve is as close as possible to the incision surface of the glass body 1. In the region of the cutting surface, a larger quantity of the cutting fluid is introduced to the cutting surface as rinsing liquid 6. The uniform cooling lubricant supplied to the separation process. and rinsing liquid is collected in the protective housing 7 of the separation machine and fed via the return line 8 to the reservoir of the coolant-lubricant circuit ,, The forming in the cutting chamber cutting fluid mist is via suction »

leitung /16/ entfernt und nach Kondensation an der Rohrwandung zum überwiegenden Teil wieder in das Schutzgehäuse zurückgeführt.line / 16 / and returned after condensation on the pipe wall for the most part back into the protective housing.

Die aus dem Rücklauf 8 kommende Schneidflüssigkeit wird der Auf«» fangkammer 9 zugeführt« Aus Kammer 9 gelangt es über eine auf mittlerem Niveau angebrachte Oberströmöffnung in die Beruhigungskammer IO und von dort über eine im unteren Drittel der Kammer angeordneten Überströmöffnung in den Hauptvorratsbehälter 11· Die durch Schneidschlamm verunreinigte Schneidflussigkeit in Behälter 11 wird nun über die Zahnradpumpe 12 durch eine Frei» strahl«Tellerzentrifuge 13 gedruckt und einem kontinuierlichen Reinigungsprozeß mit hohem Umwälzgrad und Wirkungsgrad über den Kreislauf 11 12 13 11 und sofort unterworfene Ober eine regeln bare Nebenschlußleitung 15 zwischen Zahnradpumpe 12 und Freistrahl· Tellerzentrifuge 13 wird die für den Schneidprozeß erforderliche Menge an Schneidflüssigkeit zur Kühlung und Schmierung der Trennzone und zur Spülung und Reinigung der Trennscheibe dem Trep.nauto« maten wieder zugeführt. Der durch Zentrifugieren separierte Schneidschlamm wird in angemessenen Zeitabständen aus dem Separationsteil 14 der Freistrahl-Tellerzentrifuge 13 in fast fester Konsistenz entnommen. , .The cutting fluid coming from the return 8 is fed to the catch chamber 9. From the chamber 9, it passes via a middle flow topflow opening into the settling chamber IO and from there via an overflow opening arranged in the lower third of the chamber into the main reservoir 11 Cutting fluid contaminated with cutting sludge in container 11 is now printed via the gear pump 12 by a free-jet disc centrifuge 13 and a continuous cleaning process with high degree of circulation and efficiency via the circuit 11 and immediately subjected upper a shunt bypass line 15 between gear pump 12th and free-jet disc centrifuge 13, the amount of cutting fluid required for the cutting process for cooling and lubricating the separation zone and for rinsing and cleaning the cutting disc is fed back to the tire. The cutting sludge separated by centrifuging is taken out of the separation part 14 of the free-jet disc centrifuge 13 at an almost fixed consistency at appropriate intervals. ,.

Im Veigleich zur Außenboart-Trenntechnologie konnten bei der Realisierung des erfindungsmäßen Verfahrens unter Verwendung eines Trennautomaten und voller Ausnutzung seiner Bearbeiiungskapazität im automatischen Einzelschnitt-Betrieb und Anwendung der benannten verfahrenstechnologischen Parameter abhebbare und deutliche Verbesserungen in der Materialeffektivität _s der Geometrie und Oberflächenqualität der getrennten Scheiben sowie in der Auswirkung auf die Qualität des Endproduktes festgestellt werden«,In Veigleich to Außenboart separation technology could in the realization of erfindungsmäßen method using a separation machine and full utilization of its processing capacity in automatic single-cut operation and application of the named procedural parameters abhebbare and significant improvements in the material efficiency _s the geometry and surface quality of the separate slices and in the impact on the quality of the final product ",

7 ~7 ~

.7- 209 1.7- 209 1

In einem zweiten Ausführungsbeispiel, der Herstellung von Rohlingsscheiben für die Fertigung optischer Küvettenfenster, konnte die Überlegenheit des erfindungsmäßen Verfahrens bei Anwendung der im ersten Ausführungsbeispie-1 benannten Verfahrens· technologischen Parameter im Vergleich zum Außenboart-Trennverfahren ebenfalls nachgewiesen werden.In a second exemplary embodiment, the production of blank slices for the production of optical cuvette windows, the superiority of the method according to the invention when using the process technological parameters named in the first exemplary embodiment could also be demonstrated in comparison to the external boom separation method.

Claims (3)

.- 8.- 8th ErfindunqeansoruchErfindunqeansoruch !©Verfahren zur Herstellung dünner Scheiben aus Glaskörpern durch Trennschleifen gekennzeichnet dadurch* daß ein Trenn« automat mit einer Innenloch-Diamantscheibe der Halbleiterbearbeitung in Kombination mit einer Schneidflüssigkeit für Glastrennung sowie einem Kühl«Schmiarmittelkreislauf mit hohem Reinigungseffekt versehen wird,© Method for producing thin slices of glass bodies by means of cut-offs, characterized in that a separating machine is provided with an inner-hole diamond disk of the semiconductor processing in combination with a cutting liquid for glass separation and a cooling medium circuit with high cleaning effect 2. Verfahren neon Punkt I₉ gekennzeichnet dadurch ₉ daß der einfach aufgebaute Kühl«Schmiermittelkrsislauf mit hohem Reinigungseffekt mit einer stark reduzierten Köhl-Schmiermittol» raenge versehen2. The method neon point I _{9 9} characterized in that the simple construction cooling ranks "Schmiermittelkrsislauf high cleaning effect with a much reduced Köhl-Schmiermittol» provided 3. Verfahren nach Punkt i und 2_S gekennzeichnet dadurch,, daß zur Speisung a®r Zuführungen für das Kühlschmiermittel an den Schneidboart vor der Einschnittfläche und üer Spölflüssigkeit zur Reinigung des Schneidboartes hinter der Ausschnitt^liehe ein Teilstroni aus dem Relnigungskreislauf abgezweigt wird«3. The method of item i and _S 2 ,, characterized in that for feeding a®r inlets for the cooling lubricant at the Schneidboart before the incision area and üer Spölflüssigkeit for cleaning the Schneidboartes behind the cutout ^ Liehe a Teilstroni is diverted from the Relnigungskreislauf " A₉ Verfahren nach Punkt ι bis 3 gekennzeichnet dadurch_f daß die Schneidflüssigkeit drucklos an den Schneidboart herangeführt wird* A ₉ method according to point ι to 3 characterized in that _f the cutting fluid is brought without pressure to the Schneidboart * Hierzu /} Seite ZeichnungTo do this /} page drawing « 9«9