CZ305605B6 - Měřicí metoda pro pořizování kontrolních snímků povrchů testovacích desek znečištěných tavidly - Google Patents

Měřicí metoda pro pořizování kontrolních snímků povrchů testovacích desek znečištěných tavidly Download PDF

Info

Publication number
CZ305605B6
CZ305605B6 CZ2012-943A CZ2012943A CZ305605B6 CZ 305605 B6 CZ305605 B6 CZ 305605B6 CZ 2012943 A CZ2012943 A CZ 2012943A CZ 305605 B6 CZ305605 B6 CZ 305605B6
Authority
CZ
Czechia
Prior art keywords
measuring method
frame
ultraviolet
contaminated
test plate
Prior art date
Application number
CZ2012-943A
Other languages
English (en)
Other versions
CZ2012943A3 (cs
Inventor
Michal Řezníček
Jaroslav Jankovský
Martin Buršík
Original Assignee
Vysoké Učení Technické V Brně
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Vysoké Učení Technické V Brně filed Critical Vysoké Učení Technické V Brně
Priority to CZ2012-943A priority Critical patent/CZ305605B6/cs
Publication of CZ2012943A3 publication Critical patent/CZ2012943A3/cs
Publication of CZ305605B6 publication Critical patent/CZ305605B6/cs

Links

Landscapes

  • Cleaning Or Drying Semiconductors (AREA)
  • Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
  • Cleaning By Liquid Or Steam (AREA)

Abstract

Měřicí metoda pro pořizování kontrolních snímků povrchů testovacích desek znečištěných tavidly, využívající měřicí zařízení sestávající z rámu, kde je v prostoru rámu umístěn alespoň jeden ultrafialový zářič a v horní části je připevněno záznamové zařízení, kde se do zařízení vloží očištěná a opláchnutá průhledná testovací deska (2), která se ze strany odvrácené od na ní osazených čipů ozáří ultrafialovým světlem z ultrafialových zářičů (8), načež se provede snímkování testovací desky (2) pomocí záznamového zařízení (6), načež se snímek odešle do počítače, kde se vyhodnotí a určí znečištění testovací desky (2).

Description

(54) Název vynálezu:
Měřicí metoda pro pořizování kontrolních snímků povrchů testovacích desek znečištěných tavidly (57) Anotace:
Měřicí metoda pro pořizování kontrolních snímků povrchů testovacích desek znečištěných tavidly, využívající měřicí zařízení sestávající z rámu, kde je v prostoru rámu umístěn alespoň jeden ultrafialový zářič a v homí části je připevněno záznamové zařízení, kde se do zařízení vloží očištěná a opláchnutá průhledná testovací deska (2), která se ze strany odvrácené od na ní osazených čipů ozáří ultrafialovým světlem z ultrafialových zářičů (8), načež se provede snímkování testovací desky (2) pomocí záznamového zařízení (6), načež se snímek odešle do počítače, kde se vyhodnotí a určí znečištění testovací desky (2).
Měřicí metoda pro pořizování kontrolních snímků povrchů testovacích desek znečištěných tavidly
Oblast techniky
Vynález se týká měřicí metody pro pořizování kontrolních snímků povrchů testovacích desek znečištěnými tavidly, určených k získání údajů o kvalitě očištění vzorků, jako jsou plošné spoje s osazenými čipy.
Dosavadní stav techniky
Při osazování desek plošných spojů při mikroelektronické výrobě dochází ke znečištění desek tavidly určenými k jejich lepení. Tyto zbytky tavidel je třeba z povrchu desky, provedených ze skleněného materiálu, odstranit například pomocí praní nebo čištění. Čištění probíhá ostřikem za zvýšené teploty 50 až 80 °C, a to jednak v deionizované vodě, jednak v organických rozpouštědlech, jako jsou izopropylalkohol, aceton, benzín apod. a jejich směsích, a jednak ve speciálně k tomu účelu pořízených kapalinách emulzního typu, jako například kapalina s obchodním označením Cestron.
Po procesu čištění je nutné tuto fázi vyhodnotit. K vyhodnocení znečištění skleněných desek se používá parametr zbytkové plochy znečištěné tavidlem. Doposud bylo využíváno klasických metod snímání obrazu např. zařízení s obchodním označením Verima, kde je deska se zbytky tavidla osvětlena viditelným světlem, případně vyfotografován, načež je vizuálně vyhodnocena míra znečištění povrchu zbytky tavidla. Jindy se pracuje s využitím běžného osvětlení za aplikace barevných filtrů. Tento obraz je manuálně vyhodnocen pracovníkem pod mikroskopem. To však neumožňuje kvantifikovat znečištěnou plochu a tím stanovit míru znečištění a vypočíst tak účinnost praní, jelikož na jedné desce je až 400 čipů. Při běžném osvětlení není znečištění povrchu dostatečně kontrastní, a proto nemůže být fotografie zbytků tavidel po praní a čištění pomocí počítače strojně vyhodnocena.
Cílem vynálezu je představit takovou měřicí metodu pro pořizování kontrolních snímků povrchů desek znečištěných tavidly, která by umožnila dosáhnutí vyššího rozlišení a citlivosti při analyzování grafického výstupu a tedy zvýšila přesnosti vyhodnocování znečištění.
Podstata vynálezu
Výše zmíněné nedostatky odstraňuje do značné míry měřicí metoda pro pořizování kontrolních snímků povrchů testovacích desek znečištěných tavidly, využívající měřicí zařízení sestávající z rámu, kde je v prostoru rámu umístěn alespoň jeden ultrafialový zářič a v horní části je připevněno záznamové zařízení, spočívající v tom, že se do zařízení vloží očištěná a opláchnutá průhledná testovací deska, která se ze strany odvrácené od na ní osazených čipů ozáří ultrafialovým světlem z ultrafialových zářičů, načež se provede snímkování testovací desky pomocí záznamového zařízení, načež se snímek odešle do počítače, kde se vyhodnotí a určí znečištění testovací desky.
Objasnění výkresu
Vynález bude dále přiblížen pomocí obr. 1 představujícího měřicí zařízení pro provádění měřicí metody pro pořizování kontrolních snímků povrchů testovacích desek znečištěných tavidly podle vynálezu.
- 1 CZ 305605 B6
Příklady uskutečnění vynálezu
Obr. 1 představuje měřicí zařízení j_ pro provádění měřicí metody pro pořizování kontrolních snímků povrchů testovacích desek znečištěných tavidly podle vynálezu. Jak je patrno z obr. 1 měřicí zařízení 1 je tvořeno rámem 3, který sestává ze spodní rámové desky 4, na kterou je ukládána testovací deska 2, a horní rámové desky 5, ke které je připevněno záznamové zařízení 6. Spodní rámová deska 4 a horní rámová deska 5 jsou vzájemně propojeny nosnými rámovými tyčemi 7 rozmístěnými rovnoměrně po obvodu obou rámových desek 4, 5. Tvar rámových desek 4, 5 je v tomto případě čtvercový, ale může být i jiný. Počet nosných tyčí 7 je v představeném případě čtyři a jsou rozmístěny v rozích rámových desek 4, 5. Jejich počet a rozmístění však může být i jiné. V prostoru rámu 3 jsou umístěny ultrafialové zářiče 8, tj. zdroje ultrafialového světla. V představeném případě jsou ultrafialové zářiče 8 umístěny na nosných rámových tyčích 7, a sice v polovině jejich délky. Zářičů 8 však může být i více a v různých polohách, nebo pouze jeden.
Záznamové zařízení 6, kterým může být standardní kamera nebo fotoaparát s nízkou hloubkou ostrosti, je zaostřeno na střed dolní rámové desky 4, tj. do prostoru ukládání testovací desky 2.
Testovací deska 2, která představuje desku plošného spoje opatřenou součástkami, je provedena ze skelného materiálu, který nevykazuje fluorescenci, čímž je snadné rozlišit plochy znečištěné fluorescujícím tavidlem od zbylého povrchu testovací desky 2.
Postup měření podle vynálezu je následující:
Na dolní rámovou desku 4 měřicího zařízení 1 je umístěna očištěná a opláchnutá testovací deska 2 tak, že plocha opatřená čipy je orientována směrem dolů. Testovací deska 2 je následně ozářena ultrafialovým světlem ze zářičů 8, čímž dojde k fluorescenci zbytků tavidla rozprostřeného po ploše testovací desky 2, což způsobí jejich barevné odlišení od základní matrice testovací desky 2. Následně je provedeno snímkování testovací desky 2 pomocí záznamového zařízení 6, kterým je provedeno snímkování testovací desky 2 pomocí záznamového zařízení 6, kterým je např. fotoaparát, nebo kamery s nízkou hloubkou ostrosti. Na počítači, na který jsou snímky odesílány, jsou následně vytvořené snímky prostřednictvím speciálního softwaru, kterým je např. program „ACC Image Analyser“, analyzovány, znečištěné plochy zvýrazněny a v závislosti na zobrazených barvách statisticky vyhodnoceny. Je výhodné začít úpravou inverze barev snímku. Výsledkem měření je údaj o kvalitě očištění testovací desky 2.
Ultrafialové záření je využito z důvodu zvýraznění kontrastu mezi tavidlovými zbytky po mycím procesu, substrátem a čipy na rubové straně desky. Transparentní substrát je obvykle ze skla, a to z důvodu jeho snadné dostupnosti a proto, že nevykazuje vlastní fluorescenci. Je vhodné, aby lepidlo, jímž jsou čipy přilepeny k desce, bylo tmavé barvy, nebo bylo přidáním barviva na tmavou barvu přibarveno, pro další zvýšení kontrastu snímků. Nasnímaný obraz poté vykazuje vyšší hodnoty kontrastu než při použití jiného druhu osvětlení. Využitím této metody lze dosáhnout vyššího rozlišení a citlivosti při analyzování grafického výstupu a tedy vyšší přesnosti.
Uvedená metoda a zařízení může být využíváno při vyhodnocování znečištění desek od tavidel při zkouškách prací schopnosti prací kapaliny a pracích zařízení osazených desek plošných spojů v elektronice. Umožňuje vyčíslení účinnosti praní jak z hlediska účinnosti prací kapaliny, jejího opotřebení, tak z hlediska optimálního nastavení zařízení.

Claims (1)

  1. 5 1. Měřicí metoda pro pořizování kontrolních snímků povrchů testovacích desek znečištěných tavidly, využívající měřicí zařízení sestávající z rámu, kde je v prostoru rámu umístěn alespoň jeden ultrafialový zářič a v horní části je připevněno záznamové zařízení, vyznačující se tím, že se do zařízení vloží očištěná a opláchnutá průhledná testovací deska (2), která se ze strany odvrácené od na ní osazených čipů ozáří ultrafialovým světlem z ultrafialových zářičů (8), 10 načež se provede snímkování testovací desky (2) pomocí záznamového zařízení (6), načež se snímek odešle do počítače, kde se vyhodnotí a určí znečištění testovací desky (2).
CZ2012-943A 2012-12-20 2012-12-20 Měřicí metoda pro pořizování kontrolních snímků povrchů testovacích desek znečištěných tavidly CZ305605B6 (cs)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CZ2012-943A CZ305605B6 (cs) 2012-12-20 2012-12-20 Měřicí metoda pro pořizování kontrolních snímků povrchů testovacích desek znečištěných tavidly

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CZ2012-943A CZ305605B6 (cs) 2012-12-20 2012-12-20 Měřicí metoda pro pořizování kontrolních snímků povrchů testovacích desek znečištěných tavidly

Publications (2)

Publication Number Publication Date
CZ2012943A3 CZ2012943A3 (cs) 2014-10-22
CZ305605B6 true CZ305605B6 (cs) 2016-01-06

Family

ID=51730141

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CZ2012-943A CZ305605B6 (cs) 2012-12-20 2012-12-20 Měřicí metoda pro pořizování kontrolních snímků povrchů testovacích desek znečištěných tavidly

Country Status (1)

Country Link
CZ (1) CZ305605B6 (cs)

Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH05107202A (ja) * 1991-10-18 1993-04-27 Hitachi Ltd 磁粉探傷装置
JPH06168676A (ja) * 1992-11-30 1994-06-14 Mitsubishi Electric Corp 偏向ヨーク
JPH11211605A (ja) * 1998-01-27 1999-08-06 Mitsubishi Motors Corp 水漏れ検査装置
KR20040057727A (ko) * 2002-12-26 2004-07-02 주식회사 포스코 표면 흠 탐상장치 및 방법
US20120061586A1 (en) * 2010-09-10 2012-03-15 Haibo Yao Method and detection system for detection of aflatoxin in corn with fluorescence spectra
CN202404035U (zh) * 2012-01-09 2012-08-29 上海理工大学 一种通用型视觉实验台
WO2012143201A1 (de) * 2011-04-19 2012-10-26 Siemens Aktiengesellschaft Fluoreszenzkontrolle

Patent Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH05107202A (ja) * 1991-10-18 1993-04-27 Hitachi Ltd 磁粉探傷装置
JPH06168676A (ja) * 1992-11-30 1994-06-14 Mitsubishi Electric Corp 偏向ヨーク
JPH11211605A (ja) * 1998-01-27 1999-08-06 Mitsubishi Motors Corp 水漏れ検査装置
KR20040057727A (ko) * 2002-12-26 2004-07-02 주식회사 포스코 표면 흠 탐상장치 및 방법
US20120061586A1 (en) * 2010-09-10 2012-03-15 Haibo Yao Method and detection system for detection of aflatoxin in corn with fluorescence spectra
WO2012143201A1 (de) * 2011-04-19 2012-10-26 Siemens Aktiengesellschaft Fluoreszenzkontrolle
CN202404035U (zh) * 2012-01-09 2012-08-29 上海理工大学 一种通用型视觉实验台

Also Published As

Publication number Publication date
CZ2012943A3 (cs) 2014-10-22

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US20070263914A1 (en) Microarray imaging system and associated methodology
TWI266861B (en) Apparatus and method of inspecting mura-defect and method of fabricating photomask
TWI289719B (en) Inspection system imager method for inspecting surfaces for defect and method for fabricating electrical circuit
DE102011087537B4 (de) Röntgendiffraktionsvorrichtung und Röntgendiffraktions-Messverfahren
US20070146870A1 (en) Method for particle analysis and particle analysis system
KR20060066658A (ko) 얼룩 결함 검사 방법과 시스템, 및 포토 마스크의 제조방법
JP2007024510A (ja) 基板の検査装置
GB2549900A (en) Method for quickly screening diamonds in batches
JP5684612B2 (ja) X線分析装置
JP2010139461A (ja) 目視検査システム
JP2011158363A (ja) Pga実装基板の半田付け検査装置
JP2006170664A5 (cs)
JP2013250225A (ja) 外観検査装置及び外観検査方法
DE102010030261A1 (de) Vorrichtung sowie Verfahren zum ortsaufgelösten Vermessen einer von einer Lithographie-Maske erzeugten Strahlungsverteilung
JP2010276538A (ja) 亀裂欠陥の検出方法
US10444152B2 (en) Tissue sample analysis device and tissue sample analysis system
CZ305605B6 (cs) Měřicí metoda pro pořizování kontrolních snímků povrchů testovacích desek znečištěných tavidly
JP2013064735A (ja) 特定物質検出装置及び方法
CZ25097U1 (cs) Měřicí zařízení pro pořizování kontrolních snímků povrchů testovacích desek znečištěných tavidly
CN110412056A (zh) 一种车载玻璃模组自动光学检测方法及装置
TWI477768B (zh) 平面基板之自動光學檢測方法及其裝置
CN210198918U (zh) 检测装置
JP2007163137A (ja) 異物検査装置及び異物検査方法
JP2006275527A (ja) 光学系一体型検査装置
JP4619748B2 (ja) 光透過性を有する多層平板状被検査体の欠陥検出方法

Legal Events

Date Code Title Description
MM4A Patent lapsed due to non-payment of fee

Effective date: 20191220