CZ301194B6 - Device for and method of separating materials - Google Patents
Device for and method of separating materials Download PDFInfo
- Publication number
- CZ301194B6 CZ301194B6 CZ20022365A CZ20022365A CZ301194B6 CZ 301194 B6 CZ301194 B6 CZ 301194B6 CZ 20022365 A CZ20022365 A CZ 20022365A CZ 20022365 A CZ20022365 A CZ 20022365A CZ 301194 B6 CZ301194 B6 CZ 301194B6
- Authority
- CZ
- Czechia
- Prior art keywords
- cutting
- lubricant
- coolant
- cutting disc
- supply
- Prior art date
Links
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B28—WORKING CEMENT, CLAY, OR STONE
- B28D—WORKING STONE OR STONE-LIKE MATERIALS
- B28D5/00—Fine working of gems, jewels, crystals, e.g. of semiconductor material; apparatus or devices therefor
- B28D5/0058—Accessories specially adapted for use with machines for fine working of gems, jewels, crystals, e.g. of semiconductor material
- B28D5/0076—Accessories specially adapted for use with machines for fine working of gems, jewels, crystals, e.g. of semiconductor material for removing dust, e.g. by spraying liquids; for lubricating, cooling or cleaning tool or work
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Processing Of Stones Or Stones Resemblance Materials (AREA)
- Finish Polishing, Edge Sharpening, And Grinding By Specific Grinding Devices (AREA)
- Crystals, And After-Treatments Of Crystals (AREA)
- Auxiliary Devices For Machine Tools (AREA)
- Mechanical Treatment Of Semiconductor (AREA)
- Grinding-Machine Dressing And Accessory Apparatuses (AREA)
- Processing And Handling Of Plastics And Other Materials For Molding In General (AREA)
Abstract
Description
Oblast technikyTechnical field
Vynález se týká zařízení k rozřezávání materiálů, především monokrystalů, s řezným kotoučem s koncentrickým otvorem, jehož okraj tvoří řezný okraj, přičemž je řezný kotouč otočný okolo své centrální osy k rozřezávání materiálu, s polohovacím zařízením k polohování rozřezávaného materiálu vzhledem k řeznému kotouči tak, že se řezný kotouč při rozřezávání rotujíc pohybuje ío materiálem k odřezávání části materiálu, a s prvním zařízením k přivádění chladicího-mazacího prostředku na řezný kotouč, a se druhým zařízením k přivádění čisticího prostředku na řezný kotouč. Dále se vynález týká i způsobu rozřezávání materiálů, zejména k řezání s vnitřním otvorem monokrystalů, přičemž část materiálu se od materiálu odřezává prostřednictvím řezného kotouče vnikajícího rotujíc při řezacím procesu do materiálu, a přičemž se na řezný kotouč přivá15 di chladící-mazací prostředek a Čisticí prostředek.BACKGROUND OF THE INVENTION The invention relates to a device for cutting materials, in particular single crystals, with a cutting disc with a concentric hole, the edge of which forms a cutting edge, the cutting disc being rotatable about its central material cutting axis. 2. The method of claim 1 wherein the cutting disc is rotatably moved by cutting to rotate material to cut off a portion of the material, and with a first coolant-lubricating device to the cutting disc, and a second device to deliver a cleaning agent to the cutting disc. The invention also relates to a method of cutting materials, in particular for cutting with an inner single crystal opening, wherein a portion of the material is cut off from the material by a cutting disc penetrating rotating into the material during the cutting process, and wherein cooling coolant and cleaning agent are fed to the cutting disc. .
Dosavadní stav technikyBACKGROUND OF THE INVENTION
Např. zJP 07304028 známý způsob rozřezávání monokrystalů, který se používá především k výrobě polovodičových desek, je rozřezávání vnitřním otvorem. Obr. 1 je schématické zobrazení k rozřezávání vnitřním otvorem v pohledem shora viděno ve směru střední podélné osy M monokrystalu, obecně materiálu L Jak je vidět na obr. 1, je monokrystal, který je vytvořen v podstatě válcovitě se střední podélnou osou M, upevněn na nezobrazeném držáku a společně s tímto je přemístitelný ve směru kolmo ke střední podélné ose M nezobrazeným posuvným zařízením. K rozřezávání, popř. řezání, desek je upraven řezný kotouč 2, který sestává z plechu 2a jádra, který má koncentrický vnitřní otvor a jehož okraj 3, obklopující vnitřní otvor, je osazen diamantovými zrny a tvoří tedy řezný okraj. Šířka plechu 2a jádra mezi jeho vnějším okrajem a vnitřním okrajem je větší než průměr monokrystalu, proto je na obrázku schématicky znázorněn pouze vnitřní okraj. Řezný kotouč 2 je otočný okolo své centrální osy R pohonem ve směru A, naznačeném na obrázku I. Řezný kotouč 2 a monokrystal jsou navzájem upraveny tak, že rotační osa R řezného kotouče 2 a střední podélná osa M monokrystalu probíhají paralelně ve vzájemném odstupu. Dále je materiál I pomocí posuvného zařízení pohyblivý kolmo ke své střední podélné ose M ve směru na řezný kotouč 2 tak, že řezný kotouč 2 pří rotování materiál I zcela prořezává v rovině kolmo kjeho střední podélné ose M, a od řezného kotouče 2 je pohyblivý do polohy, ve které se může odebírat odříznutá deska.E.g. A known method for cutting single crystals, which is mainly used for the production of semiconductor plates, is by cutting through the inner opening. Giant. 1 is a schematic representation of a cut through the inner opening seen from above in the direction of the median longitudinal axis M of the single crystal, generally of the material L As shown in FIG. 1, the single crystal formed substantially cylindrically with the median longitudinal axis and together with this it is displaceable in a direction perpendicular to the median longitudinal axis M by a slider not shown. For cutting or cutting. In the cutting process, a cutting disc 2 is provided, which consists of a core sheet 2a having a concentric inner opening and whose edge 3 surrounding the inner opening is fitted with diamond grains and thus forms the cutting edge. The width of the core sheet 2a between its outer edge and inner edge is greater than the single crystal diameter, therefore only the inner edge is schematically shown in the figure. The cutting disc 2 is rotatable about its central axis R by the drive in the direction A shown in Figure I. The cutting disc 2 and the single crystal are arranged so that the rotational axis R of the cutting disc 2 and the central longitudinal axis M of the single crystal run parallel. Further, the material I is movable perpendicularly to its central longitudinal axis M by means of a sliding device in the direction of the cutting disc 2 such that the cutting disc 2 whilst rotating cuts the material I completely in a plane perpendicular to its central longitudinal axis M and the position at which the cut plate can be removed.
Uvnitř okraje 3 řezného kotouče 2, obklopujícího vnitřní otvor, je ve směru A otáčení před polohou Pi vstupu řezného kotouče 2 do materiálu 1, dále označované jako vstupní strana, upraveno přívodní zařízení 4 chladicího a mazacího prostředku na řezný okraj 3, Ve směru A otáčení po poloze P2 výstupu řezného kotouče 2 z materiálu 1, dále označované jako výstupní strana, je upraveno druhé přívodní zařízení 5 chladicího-mazacího prostředku. V provozu se před vstupem řezného kotouče 2 do materiálu I přívodním zařízením 4 nanáší na řezný okraj 3, popř. řezný kotouč 2, chladící-mazací prostředek, který se pak rotací řezného kotouče 2 transportuje do řezné spáry, vznikající při řezání. Při výstupu řezného kotouče 2 z materiálu 1 se druhým přívodním zařízením 5 znovu nanáší chladící-mazací prostředek, takže je zaručeno čištění a odtransportování odloučeného materiálu řeznou spárou. Chladicímu-mazacímu prostředku se přidávají přísady, které snižují povrchové napětí a tím vylepšují smáčení řezného kotouče 2. Známé zařízení má dále zařízení k intervalovému omývání plechu 2a jádra a upínacího systému.Inside the edge 3 of the cutting disc 2 surrounding the inner opening, in the direction of rotation A, before the position Pi of the cutting disc 2 into the material 1, hereinafter referred to as the inlet side, is provided a coolant lubricant supply device 4 to the cutting edge 3. after the position P2 of the cutting disc 2 from the material 1, hereinafter referred to as the outlet side, a second coolant-lubricant supply device 5 is provided. In operation, before the cutting disc 2 enters the material I through the feed device 4, it is applied to the cutting edge 3 or to the cutting edge. the cutting disc 2, a coolant-lubricant, which is then transported by rotation of the cutting disc 2 to the cutting gap resulting from the cutting. When the cutting disc 2 is discharged from the material 1, the coolant-lubricant is reapplied by the second feeding device 5 so that the separated material is cleaned and transported by the cutting gap. Additives are added to the coolant-lubricant to reduce surface tension and thereby improve the wetting of the cutting disc 2. The known apparatus further has a device for periodically washing the core sheet 2a and the clamping system.
U známého zařízení dochází k problému, že efektivní čištění a odtransportování odloučeného materiálu během řezání vyžaduje tolik chladíc ího-mazacího prostředku, že se řezná spára naplňuje chladicím-mazacím prostředkem a odloučeným materiálem. Tím může u úzkých řezných spár dojít k dotyku mezi plechem 2a jádra řezného kotouče 2 a úsekem la desky. Část fa desky je tažena adhezi na plech 2a jádra, a kvalita odříznuté desky se tak ovlivňuje negativně. U vel- 1 CZ 301194 B6 kých dotykových ploch může dojít k odtržení desky. Je-li naproti tomu množství chladicíhomazacího prostředku příliš nízké, čisticí a transportní účinek již nestačí. Kromě toho vedou přísady, snižující povrchové napětí, k lepšímu smáčení plechu 2a jádra, což podporuje odpařování a vysoušení řezného šlemu na plechu 2a jádra.In the known apparatus, there is a problem that the effective cleaning and removal of the separated material during cutting requires so much coolant-lubricant that the cutting gap is filled with coolant-lubricant and the material to be separated. As a result, in the case of narrow cutting joints, contact can be made between the core plate 2a of the cutting disc 2 and the plate section 1a. Part of the sheet is drawn by adhesion to the core sheet 2a, and the quality of the cut sheet is thus negatively affected. In large contact surfaces, the plate may break off. If, on the other hand, the amount of coolant lubricant is too low, the cleaning and transporting effect is no longer sufficient. In addition, surface tension reducing additives lead to better wetting of the core sheet 2a, which promotes evaporation and drying of the cutting tendon on the core sheet 2a.
Podstata vynálezuSUMMARY OF THE INVENTION
Úkolem vynálezu je připravit zařízení a způsob k rozřezávání desek pomocí rozřezávání vnitrním io otvorem, které, popř. který, zamezuje výše uvedeným nevýhodám.SUMMARY OF THE INVENTION It is an object of the present invention to provide an apparatus and a method for cutting slabs by cutting through an internal orifice which, respectively, can be cut. which avoids the above disadvantages.
Úkol se řeší zařízením k rozřezávání materiálů, především monokrystalů, s řezným kotoučem s koncentrickým otvorem, jehož okraj tvoří řezný okraj, přičemž je řezný kotouč otočný okolo své centrální osy k rozřezávání materiálu, s polohovacím zařízením k polohování rozřezávaného materiálu vzhledem k řeznému kotouči tak, že se řezný kotouč při rozřezávání rotujíc pohybuje materiálem k odřezávání části materiálu, a s prvním zařízením k přivádění chladicího-mazacího prostředku na řezný kotouč, a se druhým zařízením k přivádění čisticího prostředku na řezný kotouč. Podle vynálezu je prvnímu a druhému zařízení přiřazeno řízení k provádění chlazení a čištění časově od sebe odděleně, a sice k přivádění chladicího-mazacího prostředku během řeza20 čího procesu a čisticího prostředku po řezacím procesu, když je část již oddělena od materiálu.The object is solved by a device for cutting materials, especially single crystals, with a cutting disc with a concentric hole, the edge of which forms the cutting edge, the cutting disc being rotatable about its central material cutting axis, with a positioning device for positioning the material to be cut relative to the cutting disc. The cutting disc is rotatably moved during cutting by a material for cutting a portion of the material, and with a first device for supplying coolant-lubricant to the cutting disc, and with a second device for supplying the cleaning agent to the cutting disc. According to the invention, the first and second devices are assigned to control cooling and cleaning separately from each other, namely to supply coolant-lubricant during the cutting process and the cleaning agent after the cutting process when a portion is already separated from the material.
Výhodné provedení zařízení podle vynálezu spočívá v tom, že řízení je upraveno k přivádění malého objemového proudu chladicího-mazacího prostředku a relativně ktomu většího objemového proudu čisticího prostředku.A preferred embodiment of the device according to the invention is that the control is adapted to supply a small volumetric flow of the coolant-lubricant and relative to a larger volumetric flow of the cleaning agent.
Další výhodné provedení zařízení podle vynálezu spočívá v tom, že třetí zařízení k přivádění plynného média má trysku, která je upravena k nanášení plynného média na okraj.Another advantageous embodiment of the device according to the invention is characterized in that the third device for supplying gaseous medium has a nozzle which is adapted to apply the gaseous medium to the edge.
Další výhodné provedení zařízení podle vynálezu spočívá v tom, že první zařízení k přivádění chladicího-mazacího prostředku a třetí zařízení k přivádění plynného média jsou uspořádány k přivádění chladicího-mazacího prostředku a plynného média jsou uspořádány k přivádění chladicího-mazacího prostředku a plynného média z výstupní strany po průchodu řezného kotouče materiálem,Another advantageous embodiment of the device according to the invention is characterized in that the first coolant supply device and the third gaseous medium supply device are arranged to supply coolant-lubricant and the gaseous medium are arranged to supply coolant-lubricant and gaseous medium from the outlet sides after the cutting blade passes through the material,
Další výhodné provedení zařízení podle vynálezu spočívá v tom, že druhé zařízení k přivádění čisticího prostředku, především chladicího-mazacího prostředkuje upraveno ze strany výstupu.Another advantageous embodiment of the device according to the invention is characterized in that the second device for supplying the cleaning agent, in particular the coolant lubricant, is provided on the outlet side.
Další výhodné provedení zařízení podle vynálezu spočívá v tom, že první zařízení k přivádění chladicího-mazacího prostředku má trysku, která je upravena pro nanášení chladicího-mazacího prostředku na okraj.Another advantageous embodiment of the device according to the invention is characterized in that the first coolant supply device has a nozzle which is adapted to apply the coolant lubricant to the edge.
Další výhodné provedení zařízení podle vynálezu spočívá v tom, že má řízení, které je upraveno pro ovládání prvního zařízení během procesu rozřezávání k přivádění pouze tak malého minimálního množství chladicího-mazacího prostředku, které právě ještě zajišťuje chlazení a mazání.A further advantageous embodiment of the device according to the invention is that it has a control which is adapted to control the first device during the cutting process to supply only a minimum amount of coolant-lubricant which still provides cooling and lubrication.
Další výhodné provedení zařízení podle vynálezu spočívá v tom, že v pracovní poloze nad prvním zařízením je upraven zásobník pro chladicí-mazací prostředek, který je přes vedení spojen s prvním zařízením pro přívod působením gravitace.Another advantageous embodiment of the device according to the invention consists in that in the operating position above the first device there is provided a reservoir for coolant-lubricant, which is connected via a conduit to the first feed device by gravity.
so Úkol se dále řeší způsobem rozřezávání materiálů, zejména k řezání s vnitřním otvorem monokrystalů, přičemž část materiálu se od materiálu odřezává prostřednictvím řezného kotouče vnikajícího rotujíc při řezacím procesu do materiálu, a přičemž se na řezný kotouč přivádí chladicímazací prostředek a čisticí prostředek. Podle vynálezu se chlazení a čištění provádí vzájemně časově odděleně tak, že se chladicí-mazací prostředek přivádí během řezacího procesu a čisticí prostředek po řezacím procesu, když byla část oddělena od materiálu, přičemž chladicí-mazacíThe object is further solved by a method of cutting materials, in particular for cutting with an inner opening of single crystals, wherein a portion of the material is cut off from the material by a cutting disc penetrating rotating into the material during the cutting process. According to the invention, the cooling and cleaning are performed separately from each other in such a way that the cooling lubricant is supplied during the cutting process and the cleaning agent after the cutting process when a part has been separated from the material, the cooling lubricant being
-2cz wim «ο prostředek se přivádí malým objemovým proudem a čisticí prostředek vzhledem k tomu větším objemovým proudem.The composition is supplied by a small volumetric flow and the cleaning agent by a larger volumetric flow.
Výhodné provedení způsobu podle vynálezu spočívá v tom, že se chladicí-mazaeí prostředek přivádí ve směru rotace pouze z výstupní strany po průchodu řezného kotouče materiálem.An advantageous embodiment of the method according to the invention consists in that the coolant lubricant is fed in the direction of rotation only from the outlet side after the cutting disc has passed through the material.
Další výhodné provedení způsobu podle vynálezu spočívá v tom, že se řeznému kotouči na okraj přivádí plynné médium, především stlačený vzduch.A further advantageous embodiment of the method according to the invention is characterized in that a gaseous medium, in particular compressed air, is fed to the cutting edge.
io Další výhodné provedení způsobu podle vynálezu spočívá vtom, že se plynné médium přivádí řeznému kotouči ve směru rotace po výstupu řezného kotouče z materiálu.Another advantageous embodiment of the method according to the invention is that the gaseous medium is supplied to the cutting disc in the direction of rotation after the cutting disc has exited the material.
Další výhodné provedení způsobu podle vynálezu spočívá v tom, že se používá chladicí-mazací prostředek s přídavkem, který zvyšuje povrchové napětí.A further advantageous embodiment of the method according to the invention consists in using a coolant-lubricant with an addition which increases the surface tension.
Zařízení a způsob podle vynálezu mají především výhodu, že se během řezného procesu vyžaduje méně chladicího-mazacího prostředku než u známých řešení. Tím se zhotovuje vysoce kvalitní řez.In particular, the apparatus and method of the invention have the advantage that less coolant-lubricant is required during the cutting process than in the known solutions. This produces a high quality cut.
Přehled obrázků na výkresechOverview of the drawings
Vynález bude blíže vysvětlen prostřednictvím konkrétních příkladů provedení znázorněných na výkresech, na kterých představuje obr. 1 schématické zobrazení známého zařízení, viděno v pohledu shora ve směru podélné osy monokrystalu, obr. 2 schématické zobrazení formy provedení zařízení podle vynálezu viděno v pohledu shora ve směru střední podélné osy monokrystalu, obr. 3 schématické zobrazení kroku chlazení způsobu podle vynálezu, obr. 4 schématické zobrazení kroku rozdělování chladicího-mazacího prostředku na řezném nástroji před řezem, obr. 5 schématické zobrazení kroku řezání a obr. 6 schématické zobrazení kroku čištění u způsobu podle vynálezu.BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS FIG. 1 is a top plan view of a known apparatus seen from above in the longitudinal axis of the single crystal; FIG. 2 is a top plan view of an embodiment of the apparatus according to the invention; 3 shows a schematic representation of the cooling step of the method according to the invention; FIG. 4 shows a schematic representation of the coolant-lubricant distribution step on the cutting tool before cutting; FIG. 5 shows a schematic representation of the cutting step; invention.
Příklady provedení vynálezuDETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION
Jak je vidět především na obr. 2, má zařízení podle vynálezu ve známém způsobu držák a posuvné zařízení pro materiál I, konkrétně monokrystal, jakož i řezný kotouč 2 s plechem 2a jádra a s diamantovým zrnem osazeným okrajem 3 vnitřního otvoru řezného kotouče. Na rozdíl od známého zařízení má zařízení podle vynálezu první zařízení JO k přivádění chladicího-mazacího prostředku na okraj 3 vnitřního otvoru a na řezný kotouč 2, které je upraveno viděno ve směru rotace řezného kotouče 2, z výstupní strany na poloze P2 po průchodu monokrystalem. První zařízení JO pro přívod chladicího-mazacího prostředku je vytvořeno například jako tryska. Dále je upraveno druhé zařízení JI pro přívod čisticího prostředku z výstupní strany v oblasti vnitřního otvoru. Kromě toho je rovněž z výstupní strany upraveno třetí zařízení J2 k přivádění plynného média, především stlačeného vzduchu, na řezný kotouč 2 a především okraj 3.As can be seen in particular in FIG. 2, the device according to the invention in the known method has a holder and a sliding device for material I, in particular single crystal, as well as a cutting disk 2 with core plate 2a and diamond grain. In contrast to the known device, the device according to the invention has a first device 10 for supplying coolant-lubricant to the edge 3 of the inner bore and to the cutting disc 2, which is arranged seen in the rotational direction of the cutting disc 2 from the outlet side at P2 after passing through the single crystal. The first coolant-lubricant supply device 10 is designed, for example, as a nozzle. Furthermore, a second device 11 is provided for supplying the cleaning agent from the outlet side in the region of the inner opening. In addition, a third device 12 for supplying a gaseous medium, in particular compressed air, to the cutting disc 2 and in particular the edge 3 is also provided from the outlet side.
Provoz zařízení podle vynálezu a způsob podle vynálezu je vidět na obr. 3 až 6. Před řezným, popř. rozřezávacím, procesem jsou řezný kotouč 2 a materiál 1 navzájem odděleny. Potom se materiál 1 pohybuje relativně k řeznému kotouči 2 a tento vstupuje rotujíc do materiálu I monokrystalu k rozřezávání. Jak je znázorněno na obr. 3, přivádí se během procesu rozřezávání prvnímThe operation of the device according to the invention and the method according to the invention can be seen in FIGS. 3 to 6. by the cutting process, the cutting disc 2 and the material 1 are separated from each other. Thereafter, the material 1 moves relative to the cutting disc 2 and this enters rotating into the single crystal material I for cutting. As shown in FIG. 3, the first is fed during the cutting process
-3CZ 301194 B6 zařízením 10 chladicí-mazací prostředek s nepatrným objemovým proudem, tzn. menší rychlosti v a menším tlakem p, okraji 3, který tvoří řezný okraj.The device 10 is a coolant-lubricant having a low flow rate, i.e. a low volume flow rate. lower velocities v and lesser pressure p, edge 3, which forms the cutting edge.
Jako chladicí-mazací prostředek se využívá chladicí-mazací prostředek s přídavkem, který zvy5 suje povrchové napětí δ chladicího-mazacího prostředku, a tedy zhoršuje smáčení plechu 2a jádra. Tím dochází ke špatnému smáčení plechu 2a jádra řezného kotouče 2, a tvoří se kapky 20 chladicího-mazacího prostředku na povrchu plechu 2a jádra. Rovněž se během procesu rozřezávání, jak je znázorněno na obr, 4, vhání třetím zařízením 12 stlačený vzduch na okraj 3, čímž se vyrovnává špatné smáčení. Stlačený vzduch dále přispívá ke tvoření kapek 20 a k jejich rozděloi o vání. Jak je znázorněno na obr. 5, proniká během procesu rozřezávání řezný kotouč 2 okrajem 3 a kapkami 20 chladicího-mazacího prostředku, vzniklými na povrchu plechu 2a jádra, do materiálu 1 k odříznutí části ja desky. Přivádí se stále vzduch a chladicí-mazací prostředek s menším tlakem p. Kapky 20 chladicího-mazacího prostředku na plechu 2a jádra zachycují na čas řezání odloučený materiál a rozdělují ho na plechu jádra, aniž by došlo k vysoušení nebo dotyku desky.The coolant-lubricant used is an additive which increases the surface tension δ of the coolant-lubricant and thus worsens the wetting of the core sheet 2a. This leads to poor wetting of the core plate 2a of the cutting disc 2, and drops of coolant lubricant 20 are formed on the surface of the core plate 2a. Also, during the cutting process, as shown in FIG. 4, compressed air is forced into the rim 3 by the third device 12, thereby compensating for poor wetting. Compressed air further contributes to the formation of droplets 20 and their distribution. As shown in FIG. 5, during the cutting process, the cutting disc 2 penetrates through the edge 3 and the coolant-lubricant drops 20 formed on the surface of the core sheet 2a into the material 1 for cutting off part of the plate. Air and coolant with less pressure p are still supplied. Coolant droplets 20 on the core sheet 2a capture the separated material for the time of cutting and distribute it to the core sheet without drying or touching the plate.
Po procesu rozřezáváni se materiál 1 a odříznutá deska pohybuje posuvným zařízením od řezného kotouče 2 pryč,, takže jsou řezný kotouč 2 a monokrystal, popř. odříznutá deska, navzájem odděleny, jak je znázorněno na obr. 6. Nyní se provádí Čištění a odtransportování materiálu, nahromaděného na plechu 2a jádra a uzavřeného do kapek 20 tím, že se přivádí stlačený vzduch s vysokým tlakem p třetím zařízením 12 a současně se přivádí čisticí prostředek v dostatečném množství a s větší rychlostí v prvním zařízení ]_[.After the cutting process, the material 1 and the cut plate are moved away from the cutting disc 2 by a sliding device, so that the cutting disc 2 and the single crystal, respectively. 6. The cleaning and transporting of the material accumulated on the core sheet 2a and enclosed in the droplets 20 is now carried out by supplying high pressure compressed air to the third device 12 and simultaneously feeding the cut sheet. a cleaning agent in sufficient quantity and at a higher rate in the first apparatus].
Způsob podle vynálezu je tedy dvoustupňový způsob, u kterého se během procesu rozřezávání chlazení řezného nástroje, víření chladicího prostředku, uzavírání odloučeného materiálu do kapek chladicího-mazacího prostředku a rozdělování a hromadění kapek chladicího-mazacího prostředku s odloučeným materiálem uskutečňuje za působení odstředivé síly. Ve druhém stupni se poté, co monokrystal odjel od řezného kotouče 2, provádí čištění a odtransportování odloučeného materiálu vysokým tlakem vzduchu a dostatečným přívodem chladicího-mazacího prostředku. Čisticí prostředek, použitý ve druhém stupni, může být identický s chladicím-mazacím prostředkem, může to však být také jiná substance, jako např. voda. Chladicí-mazací prostředek a čisticí prostředek tedy mohou mít rozdílné vlastnosti.The process according to the invention is therefore a two-stage process in which during the process of cutting the cooling of the cutting tool, swirling the coolant, closing the separated material into the coolant-lubricant drops and distributing and accumulating the droplets of coolant-lubricant with the separated material. In the second stage, after the single crystal has departed from the cutting disc 2, the separated material is cleaned and transported by high air pressure and a sufficient supply of coolant-lubricant. The cleaning agent used in the second stage may be identical to the coolant-lubricant, but it may also be another substance, such as water. Thus, the coolant-lubricant and the cleaning agent may have different properties.
U způsobu podle vynálezu se k chlazení a mazání vyžaduje mnohem méně chladicího-mazacího prostředku než k čištění a odtransportování odloučeného materiálu. Vysoce kvalitní řez se může provádět pouze s takto menším množstvím chladicího-mazacího prostředku. Během vlastního řezného procesu se množství chladicího-mazacího prostředku nastavuje na minimálně potřebné množství, aby se zaručilo chlazení a mazání. Řezná spára je volná a zamezuje se dotyku mezi plechem 2a jádra a částí la desky. Při čištění je však optimální podstatně vyšší objemový proud. Tyto požadavky si odporují. Chlazení a čištění se proto časově odděluje, protože jsou pro oba kroky optimální rozdílné objemové proudy.In the process of the invention, much less coolant-lubricant is required for cooling and lubrication than for cleaning and transporting the separated material. High-quality cuts can only be made with such less coolant-lubricant. During the actual cutting process, the amount of coolant-lubricant is adjusted to the minimum amount necessary to ensure cooling and lubrication. The cutting gap is free and contact between the core plate 2a and the plate part 1a is avoided. However, a significantly higher volumetric flow is optimal for cleaning. These requirements are contradictory. Therefore, cooling and cleaning are separated in time, since different volume flows are optimal for both steps.
Místo přivádění stlačeného vzduchuje také možné přivádět jiný plyn, např. dusík.Instead of supplying compressed air, it is also possible to supply other gas, such as nitrogen.
Ve výhodné formě provedení je, jak je znázorněno na obr. 2, k přivádění chladicího-mazacího prostředku k prvnímu zařízení 10, které předává malé množství chladicího-mazacího prostředku během řezného procesu, upraven zásobník 30, který se v pracovní poloze nachází v konstantní vzdálenosti nad prvním zařízením 10 a který je vedením 31 spojen s tímto prvním zařízením W. V zásobníku 30 se nachází chladicí-mazací prostředek, který se prvnímu zařízení 10 přivádí vedením pouze pod vlivem gravitace, popř. pod hydrostatickým tlakem. Vzduchové bubliny ve vedení se odvádějí směrem nahoru. Tím se tedy zaručuje, že také u malých přiváděných množství chladicího-mazacího prostředkuje zaručeno konstantní přivádění bez bublin.In a preferred embodiment, as shown in FIG. 2, a cartridge 30 is provided to provide a coolant lubricant to the first device 10, which transfers a small amount of coolant lubricant during the cutting process, at a constant distance in the operating position. above the first device 10 and which is connected via a conduit 31 to the first device W. In the reservoir 30 there is a coolant-lubricant which is fed to the first device 10 only under the influence of gravity or gravity. under hydrostatic pressure. Air bubbles in the duct are directed upwards. This ensures that a constant bubble-free supply is guaranteed even for small amounts of coolant-lubricant.
Vynález se hodí k rozřezávání nejrůznějších materiálů 1, např. pro optická skla, plasty a jiné.The invention is suitable for cutting various materials 1, for example for optical glasses, plastics and others.
-4CZ JU11V4 BO-4GB JU11V4 BO
Claims (5)
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| DE10055286A DE10055286A1 (en) | 2000-11-08 | 2000-11-08 | Monocrystal separating device based on annular sawing has device to supply gas to cutting disk |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CZ20022365A3 CZ20022365A3 (en) | 2002-10-16 |
| CZ301194B6 true CZ301194B6 (en) | 2009-12-02 |
Family
ID=7662530
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CZ20022365A CZ301194B6 (en) | 2000-11-08 | 2001-10-17 | Device for and method of separating materials |
Country Status (11)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US20030005919A1 (en) |
| EP (1) | EP1224067B1 (en) |
| JP (2) | JP4302979B2 (en) |
| CN (2) | CN100396460C (en) |
| AT (1) | ATE271962T1 (en) |
| CZ (1) | CZ301194B6 (en) |
| DE (2) | DE10055286A1 (en) |
| RU (1) | RU2271927C2 (en) |
| SK (1) | SK286415B6 (en) |
| TW (1) | TW590842B (en) |
| WO (1) | WO2002038349A1 (en) |
Families Citing this family (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN105049843B (en) * | 2010-09-30 | 2018-02-06 | 三星电子株式会社 | Enter the method and apparatus of row interpolation to image by using smooth interpolation wave filter |
| KR20120037576A (en) * | 2010-10-12 | 2012-04-20 | 주식회사 엘지실트론 | Sawing apparatus of single crystal and sawing method of single crystal |
| DE102011008400B4 (en) * | 2011-01-12 | 2014-07-10 | Siltronic Ag | Method for cooling a workpiece made of semiconductor material during wire sawing |
| JP6722917B2 (en) * | 2016-04-26 | 2020-07-15 | 三星ダイヤモンド工業株式会社 | Scribe head unit |
Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH06328433A (en) * | 1993-05-20 | 1994-11-29 | Tokyo Seimitsu Co Ltd | Slicing machine |
| JPH07304028A (en) * | 1994-05-13 | 1995-11-21 | Nippon Steel Corp | Slicing machine |
| EP0897778A1 (en) * | 1997-08-15 | 1999-02-24 | Disco Corporation | Apparatus and method for machining workpieces by flushing working liquid to the tool-and-workpiece interface |
Family Cites Families (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| FR1301500A (en) * | 1960-08-19 | 1962-08-17 | Hydrol Chemical Company Ltd | Grinding machine |
| FR2557000B1 (en) * | 1983-12-23 | 1987-08-07 | Essilor Int | GRINDING STATION FOR GRINDING MACHINE, PARTICULARLY FOR THE BEVELING OR GROOVING OF AN OPHTHALMIC LENS |
| DE3640645A1 (en) * | 1986-11-28 | 1988-06-09 | Wacker Chemitronic | METHOD FOR SAWING CRYSTAL RODS OR BLOCKS BY MEANS OF INTERNAL HOLE SAWS IN THIN WINDOWS |
| JP2979870B2 (en) * | 1992-11-27 | 1999-11-15 | 信越半導体株式会社 | Method of cutting cone-shaped end of semiconductor ingot |
| DE4309134C2 (en) * | 1993-03-22 | 1999-03-04 | Wilfried Wahl | Process for the lubrication and cooling of cutting edges and / or workpieces in machining processes |
| US6386948B1 (en) * | 1999-06-01 | 2002-05-14 | Sumitomo Special Metals Co., Ltd. | Magnet member cutting method and magnet member cutting |
-
2000
- 2000-11-08 DE DE10055286A patent/DE10055286A1/en not_active Withdrawn
-
2001
- 2001-10-17 US US10/181,099 patent/US20030005919A1/en not_active Abandoned
- 2001-10-17 CZ CZ20022365A patent/CZ301194B6/en not_active IP Right Cessation
- 2001-10-17 DE DE50102989T patent/DE50102989D1/en not_active Expired - Fee Related
- 2001-10-17 JP JP2002540914A patent/JP4302979B2/en not_active Expired - Fee Related
- 2001-10-17 CN CNB018034896A patent/CN100396460C/en not_active Expired - Fee Related
- 2001-10-17 AT AT01984580T patent/ATE271962T1/en not_active IP Right Cessation
- 2001-10-17 CN CNA2007101065817A patent/CN101066616A/en active Pending
- 2001-10-17 WO PCT/EP2001/012032 patent/WO2002038349A1/en active IP Right Grant
- 2001-10-17 EP EP01984580A patent/EP1224067B1/en not_active Expired - Lifetime
- 2001-10-17 SK SK978-2002A patent/SK286415B6/en not_active IP Right Cessation
- 2001-10-17 RU RU2002118120/03A patent/RU2271927C2/en not_active IP Right Cessation
- 2001-11-02 TW TW090127230A patent/TW590842B/en not_active IP Right Cessation
-
2007
- 2007-10-03 JP JP2007260189A patent/JP2008135712A/en not_active Withdrawn
Patent Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH06328433A (en) * | 1993-05-20 | 1994-11-29 | Tokyo Seimitsu Co Ltd | Slicing machine |
| JPH07304028A (en) * | 1994-05-13 | 1995-11-21 | Nippon Steel Corp | Slicing machine |
| EP0897778A1 (en) * | 1997-08-15 | 1999-02-24 | Disco Corporation | Apparatus and method for machining workpieces by flushing working liquid to the tool-and-workpiece interface |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2008135712A (en) | 2008-06-12 |
| CN100396460C (en) | 2008-06-25 |
| SK9782002A3 (en) | 2002-12-03 |
| TW590842B (en) | 2004-06-11 |
| EP1224067B1 (en) | 2004-07-28 |
| JP2004512989A (en) | 2004-04-30 |
| RU2002118120A (en) | 2004-01-20 |
| DE10055286A1 (en) | 2002-05-23 |
| CN1394161A (en) | 2003-01-29 |
| CN101066616A (en) | 2007-11-07 |
| SK286415B6 (en) | 2008-09-05 |
| US20030005919A1 (en) | 2003-01-09 |
| WO2002038349A1 (en) | 2002-05-16 |
| CZ20022365A3 (en) | 2002-10-16 |
| RU2271927C2 (en) | 2006-03-20 |
| EP1224067A1 (en) | 2002-07-24 |
| JP4302979B2 (en) | 2009-07-29 |
| ATE271962T1 (en) | 2004-08-15 |
| DE50102989D1 (en) | 2004-09-02 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| TW201039978A (en) | Method for the injection of CMP slurry | |
| SG193085A1 (en) | Apparatus and method for simultaneously slicing a multiplicity of slices from a workpiece | |
| CN101204836A (en) | Method and device for sawing a workpiece | |
| SK281979B6 (en) | Separate lubrication and cooling for machining processes | |
| JP2016122854A (en) | Dicing device | |
| US20040084042A1 (en) | Apparatus, system and method for cutting a crystal ingot | |
| CZ301194B6 (en) | Device for and method of separating materials | |
| CS9101362A2 (en) | Coating device | |
| CN104227772A (en) | Device For Supplying A Liquid Cooling Lubricant To A Cutting Edge Of A Lathe Tool | |
| JP4382306B2 (en) | Chemical solution coating method and coating device | |
| JP4711495B2 (en) | Coating device | |
| CN1254536A (en) | Method and equipment for spreadding adhesive onto wrapping strips of filler in tobacco industry | |
| CN208359248U (en) | A kind of slurry spreading device with relative motion cutting film thickness | |
| FI69590C (en) | SAETT VID TILLFOERSEL AV VAETSKA TILL EN BAEDD AV TRAEPARTIKLAR AVSEDDA ATT PRESSAS TILL SKIVOR SAMT EN ANORDNING GENOMFOERANDE AV SAETTET | |
| JPH08173877A (en) | Coating method and device therefor | |
| CN215902092U (en) | Cigarette filter rod packing paper tape center line glue coating device | |
| US20230294323A1 (en) | Device and method for producing an adhesive thread and for connecting workpieces using the adhesive thread | |
| JPH11216672A (en) | Ingot cutting method and ingot cutting device | |
| KR20230146288A (en) | Apparatus and system for cutting strip | |
| JPH10296717A (en) | Manufacture of wafer | |
| JP2004066389A (en) | Slicing method for ingot and wire saw cutting device | |
| CN103035557B (en) | To blank bonding chipping allowance plate and the adhering method of installing plate and adhering device | |
| JP3975876B2 (en) | Whetstone-associated air layer blocking device and grinding device using the same | |
| JP2015150672A (en) | cutting method | |
| JPH11276965A (en) | Coating device |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| MM4A | Patent lapsed due to non-payment of fee |
Effective date: 20011017 |