CZ2006400A3 - Vícevrstvý povlak pro konečnou úpravu kalených ocelí - Google Patents
Vícevrstvý povlak pro konečnou úpravu kalených ocelí Download PDFInfo
- Publication number
- CZ2006400A3 CZ2006400A3 CZ20060400A CZ2006400A CZ2006400A3 CZ 2006400 A3 CZ2006400 A3 CZ 2006400A3 CZ 20060400 A CZ20060400 A CZ 20060400A CZ 2006400 A CZ2006400 A CZ 2006400A CZ 2006400 A3 CZ2006400 A3 CZ 2006400A3
- Authority
- CZ
- Czechia
- Prior art keywords
- cbn
- layer
- peak
- mei
- phase
- Prior art date
Links
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 title claims abstract description 21
- 238000000576 coating method Methods 0.000 title claims abstract description 21
- 229910000760 Hardened steel Inorganic materials 0.000 title abstract description 7
- 229910052719 titanium Inorganic materials 0.000 claims abstract description 18
- 229910052799 carbon Inorganic materials 0.000 claims abstract description 14
- 229910052757 nitrogen Inorganic materials 0.000 claims abstract description 14
- 229910052804 chromium Inorganic materials 0.000 claims abstract description 7
- 229910052726 zirconium Inorganic materials 0.000 claims abstract description 7
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 claims abstract description 6
- 229910052796 boron Inorganic materials 0.000 claims abstract description 5
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 claims abstract description 5
- 229910052720 vanadium Inorganic materials 0.000 claims abstract description 5
- 229910052758 niobium Inorganic materials 0.000 claims abstract description 4
- 229910052750 molybdenum Inorganic materials 0.000 claims abstract 2
- 238000005520 cutting process Methods 0.000 claims description 21
- FAPWRFPIFSIZLT-UHFFFAOYSA-M Sodium chloride Chemical compound [Na+].[Cl-] FAPWRFPIFSIZLT-UHFFFAOYSA-M 0.000 claims description 20
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 18
- 229910052582 BN Inorganic materials 0.000 claims description 13
- PZNSFCLAULLKQX-UHFFFAOYSA-N Boron nitride Chemical compound N#B PZNSFCLAULLKQX-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 13
- 238000003754 machining Methods 0.000 claims description 13
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 13
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 13
- 239000000203 mixture Substances 0.000 claims description 12
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 claims description 11
- 238000002441 X-ray diffraction Methods 0.000 claims description 10
- 239000011780 sodium chloride Substances 0.000 claims description 10
- 230000008020 evaporation Effects 0.000 claims description 8
- 238000001704 evaporation Methods 0.000 claims description 8
- 238000000992 sputter etching Methods 0.000 claims description 8
- 229910001018 Cast iron Inorganic materials 0.000 claims description 6
- 229910000831 Steel Inorganic materials 0.000 claims description 6
- 239000010959 steel Substances 0.000 claims description 6
- 229910052735 hafnium Inorganic materials 0.000 claims description 3
- 229910052715 tantalum Inorganic materials 0.000 claims description 3
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 claims description 2
- 238000003801 milling Methods 0.000 claims 2
- 239000007787 solid Substances 0.000 claims 1
- 239000010936 titanium Substances 0.000 description 31
- ATJFFYVFTNAWJD-UHFFFAOYSA-N Tin Chemical compound [Sn] ATJFFYVFTNAWJD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 11
- 238000000151 deposition Methods 0.000 description 11
- 230000008021 deposition Effects 0.000 description 11
- 238000005240 physical vapour deposition Methods 0.000 description 5
- 150000002500 ions Chemical class 0.000 description 4
- 239000012299 nitrogen atmosphere Substances 0.000 description 4
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 4
- SCVJRXQHFJXZFZ-KVQBGUIXSA-N 2-amino-9-[(2r,4s,5r)-4-hydroxy-5-(hydroxymethyl)oxolan-2-yl]-3h-purine-6-thione Chemical compound C1=2NC(N)=NC(=S)C=2N=CN1[C@H]1C[C@H](O)[C@@H](CO)O1 SCVJRXQHFJXZFZ-KVQBGUIXSA-N 0.000 description 3
- 125000004429 atom Chemical group 0.000 description 3
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 3
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 3
- 150000001247 metal acetylides Chemical class 0.000 description 3
- 150000004767 nitrides Chemical class 0.000 description 3
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 3
- 230000003746 surface roughness Effects 0.000 description 3
- 238000012360 testing method Methods 0.000 description 3
- 229910018072 Al 2 O 3 Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910016523 CuKa Inorganic materials 0.000 description 2
- RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N Titanium Chemical compound [Ti] RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 2
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 2
- 239000012298 atmosphere Substances 0.000 description 2
- 229910002091 carbon monoxide Inorganic materials 0.000 description 2
- 230000000875 corresponding effect Effects 0.000 description 2
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 2
- 229910003460 diamond Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000010432 diamond Substances 0.000 description 2
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 2
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 2
- 230000000737 periodic effect Effects 0.000 description 2
- 238000001878 scanning electron micrograph Methods 0.000 description 2
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 description 2
- ZOXJGFHDIHLPTG-UHFFFAOYSA-N Boron Chemical compound [B] ZOXJGFHDIHLPTG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- LFQSCWFLJHTTHZ-UHFFFAOYSA-N Ethanol Chemical compound CCO LFQSCWFLJHTTHZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- CWYNVVGOOAEACU-UHFFFAOYSA-N Fe2+ Chemical compound [Fe+2] CWYNVVGOOAEACU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910001060 Gray iron Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910000990 Ni alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000004677 Nylon Substances 0.000 description 1
- 229910004298 SiO 2 Inorganic materials 0.000 description 1
- NRTOMJZYCJJWKI-UHFFFAOYSA-N Titanium nitride Chemical compound [Ti]#N NRTOMJZYCJJWKI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000005299 abrasion Methods 0.000 description 1
- 239000006061 abrasive grain Substances 0.000 description 1
- 239000012670 alkaline solution Substances 0.000 description 1
- 238000005275 alloying Methods 0.000 description 1
- 238000000137 annealing Methods 0.000 description 1
- 238000007664 blowing Methods 0.000 description 1
- 239000013338 boron nitride-based material Substances 0.000 description 1
- 125000004432 carbon atom Chemical group C* 0.000 description 1
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 1
- 238000003486 chemical etching Methods 0.000 description 1
- 230000002301 combined effect Effects 0.000 description 1
- 239000002131 composite material Substances 0.000 description 1
- 230000002596 correlated effect Effects 0.000 description 1
- 230000032798 delamination Effects 0.000 description 1
- 238000013461 design Methods 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- -1 ferrous metals Chemical class 0.000 description 1
- 230000003116 impacting effect Effects 0.000 description 1
- 238000011065 in-situ storage Methods 0.000 description 1
- 238000001755 magnetron sputter deposition Methods 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 229920001778 nylon Polymers 0.000 description 1
- 230000003647 oxidation Effects 0.000 description 1
- 238000007254 oxidation reaction Methods 0.000 description 1
- 125000004430 oxygen atom Chemical group O* 0.000 description 1
- 239000003973 paint Substances 0.000 description 1
- 230000035515 penetration Effects 0.000 description 1
- 238000007781 pre-processing Methods 0.000 description 1
- 230000036316 preload Effects 0.000 description 1
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 1
- 238000000746 purification Methods 0.000 description 1
- 230000005855 radiation Effects 0.000 description 1
- 230000009257 reactivity Effects 0.000 description 1
- 238000005507 spraying Methods 0.000 description 1
- MTPVUVINMAGMJL-UHFFFAOYSA-N trimethyl(1,1,2,2,2-pentafluoroethyl)silane Chemical compound C[Si](C)(C)C(F)(F)C(F)(F)F MTPVUVINMAGMJL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910000859 α-Fe Inorganic materials 0.000 description 1
Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
- C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
- C04B41/00—After-treatment of mortars, concrete, artificial stone or ceramics; Treatment of natural stone
- C04B41/80—After-treatment of mortars, concrete, artificial stone or ceramics; Treatment of natural stone of only ceramics
- C04B41/81—Coating or impregnation
- C04B41/85—Coating or impregnation with inorganic materials
- C04B41/87—Ceramics
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23C—MILLING
- B23C5/00—Milling-cutters
- B23C5/16—Milling-cutters characterised by physical features other than shape
- B23C5/20—Milling-cutters characterised by physical features other than shape with removable cutter bits or teeth or cutting inserts
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
- C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
- C04B41/00—After-treatment of mortars, concrete, artificial stone or ceramics; Treatment of natural stone
- C04B41/009—After-treatment of mortars, concrete, artificial stone or ceramics; Treatment of natural stone characterised by the material treated
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
- C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
- C04B41/00—After-treatment of mortars, concrete, artificial stone or ceramics; Treatment of natural stone
- C04B41/45—Coating or impregnating, e.g. injection in masonry, partial coating of green or fired ceramics, organic coating compositions for adhering together two concrete elements
- C04B41/50—Coating or impregnating, e.g. injection in masonry, partial coating of green or fired ceramics, organic coating compositions for adhering together two concrete elements with inorganic materials
- C04B41/5053—Coating or impregnating, e.g. injection in masonry, partial coating of green or fired ceramics, organic coating compositions for adhering together two concrete elements with inorganic materials non-oxide ceramics
- C04B41/5062—Borides, Nitrides or Silicides
- C04B41/5068—Titanium nitride
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
- C23C14/0021—Reactive sputtering or evaporation
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
- C23C14/02—Pretreatment of the material to be coated
- C23C14/021—Cleaning or etching treatments
- C23C14/022—Cleaning or etching treatments by means of bombardment with energetic particles or radiation
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
- C23C14/06—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the coating material
- C23C14/0641—Nitrides
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
- C23C14/06—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the coating material
- C23C14/0641—Nitrides
- C23C14/0647—Boron nitride
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
- C23C14/06—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the coating material
- C23C14/0641—Nitrides
- C23C14/0658—Carbon nitride
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
- C23C14/06—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the coating material
- C23C14/0664—Carbonitrides
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
- C23C14/06—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the coating material
- C23C14/0676—Oxynitrides
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
- C23C14/22—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the process of coating
- C23C14/24—Vacuum evaporation
- C23C14/32—Vacuum evaporation by explosion; by evaporation and subsequent ionisation of the vapours, e.g. ion-plating
- C23C14/325—Electric arc evaporation
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
- C23C14/22—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the process of coating
- C23C14/54—Controlling or regulating the coating process
- C23C14/548—Controlling the composition
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C30/00—Coating with metallic material characterised only by the composition of the metallic material, i.e. not characterised by the coating process
- C23C30/005—Coating with metallic material characterised only by the composition of the metallic material, i.e. not characterised by the coating process on hard metal substrates
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23C—MILLING
- B23C2226/00—Materials of tools or workpieces not comprising a metal
- B23C2226/12—Boron nitride
- B23C2226/125—Boron nitride cubic [CBN]
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Materials Engineering (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Metallurgy (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- Ceramic Engineering (AREA)
- Structural Engineering (AREA)
- Inorganic Chemistry (AREA)
- Cutting Tools, Boring Holders, And Turrets (AREA)
- Physical Vapour Deposition (AREA)
- Drilling Tools (AREA)
- Paints Or Removers (AREA)
Abstract
Povlak pro konečnou úpravu kalených ocelí se skládá z jedné nebo více vrstev odrazivých sloučenin, z nichž alespoň jedna vrstva obsahuje kubickou (Me,Si)X fázi, kde Me je jeden nebo více prvků z Ti, V, Cr, Zr, Nb, Mo, Hf, TRa a Al a Xje jeden nebo více z prvků N, C, O nebo B. Poměr R = (% atomů X) / (% atomů Me) c-MeSiX fáze je mezi 0,5 a 1,0 a X obsahuje méně než 30 % atomů O + B.
Description
Vynález se týká řezacího nástroje pro třískové obrábění, který se skládá ze substrátu z materiálu založeného na kubickém nitridu boritém a tvrdého odrazivého povlaku odolného proti opotřebení, přičemž alespoň jedna jeho vrstva obsahuje Me-Si-X fázi vytvořenou během ukládání buď jako jednu fázi nebo složením s jinými fázemi nebo stejnými fázemi s jiným chemickým složením. Nástroj podle tohoto vynálezu je obzvláště užitečný pro obrábění kovů, při kterém je tloušťka třísek malá a obráběný materiál tvrdý, například při konečné úpravě kalených ocelí.
Dosavadní stav techniky
Kubický nitrid boritý, cBN, má tvrdost a tepelnou vodivost blízkou diamantu a takové vynikající vlastnosti, že jeho reaktivita se železnými materiály je nižší než u diamantu. Aby se zlepšila účinnost, používají se při obrábění kalené oceli, litého železa a slitin niklu místo slinutých karbidů nebo fernetů řezné nástroje využívající polykrystalický kubický nitrid boritý, PcBN, jako například slinutá tělesa obsahující cBN.
PcBN slinutá tělesa pro řezné nástroje obsahují cBN částice a spojovací materiál. Obecně se člení do následujících dvou skupin:
2789474 (2789474_CZ.doc) 5 7 2006
Slinutá tělesa s dobře vyváženou odolností proti opotřebení a pevností, používaná především pro kalené oceli, obsahující 30 až 80 objemových % cBN částic vázaných spojovacím materiálem, který obsahuje převážně titanovou keramiku, jako například TiN, TiC, Ti(C,N) atd.
- Slinutá tělesa s vynikající tepelnou vodivostí stejně jako pevností, používaná pro litinu, obsahující 80 až 90 objemových % přímo vázaných cBN částic a spojovací materiál ze sloučeniny Al nebo sloučeniny Co.
Nevýhodou cBN částic je ovšem jejich afinita vůči železným kovům, která je větší než u spojovacích materiálů s TiN, TiC a Ti(C,N). Proto mají řezné nástroje obsahující cBN často kratší životnost kvůli tepelné abrazi, která eventuálně způsobí, že se břit nástroje zlomí. Aby se dále zvýšila odolnost a pevnost PcBN nástroje, bylo navrženo pokrytí PcBN nástroje vrstvou TiN, Ti{C,N), (Ti,Al)N atd. viz. např. dokumenty US 5853879 a US 6737178.
U potaženého nástroje PcBN se ovšem vyskytuje problém s neočekávanou delaminaci vrstvy.
Dokumenty JP-A-1-96083 nebo JP-A-1-96084 popisují zlepšení adhezní pevnosti PcBN nástroje potaženého vrstvou, která obsahuje nitrid, karbid nebo karbonitrid titanu pomocí kovové titanové vrstvy s průměrnou tloušťkou 0,05 0,3 pm.
Dokument US-A-5 583 873 popisuje TiN vrstvu jako mezilehlou vrstvu mezi cBN substrátem a naneseným (Ti,Al)N filmem, aby vázala nanesený (Ti,Al)N film s vysokou adhezní pevností.
(2789474_CZ.doc) 5.7.2006
Dokument US 6 737 178 popisuje vrstvy TiN, Ti(C,N), {Ti,Al)N, A12O3, ZrN, ZrC, CrN, VN, HfN, HfC a Hf(C,N).
Dokument US 6 620 491 popisuje nástroj z nitridu boritého s potaženým povrchem, s nanesenou tvrdou vrstvou a mezilehlou vrstvou obsahující alespoň jeden z prvků vybraných ze skupin 4a, 5a a 6a periodické tabulky a o tloušťce alespoň 1 gm. Tvrdý povlak obsahuje alespoň jednu vrstvu obsahující alespoň jeden prvek vybraný ze skupiny prvků C, N a 0 o tloušťce 0,5-10 gm. Mezilehlá vrstva obsahuje alespoň jeden z prvku Cr, Zr a V.
Dokumenty US-B-6 811 580, US-B-6 382 951 popisují destičky z kubického nitridu boritého potažené A12O3.
Podstata vynálezu
Je tedy předmětem tohoto vynálezu poskytnout vylepšený řezný nástroj založený na slinutém tělese obsahujícím nitrid boritý ve fázi vysokého tlaku, jako například cBN s povlakem s výbornou adhezní pevností určený pro třískové obrábění kalené oceli nebo litiny.
Je dalším předmětem tohoto vynálezu poskytnout způsob pro nanášení povlaku založeného na PcBN na řezný nástroj s výbornou adhezní pevností pro třískové obrábění kalené oceli nebo litiny.
Bylo zjištěno, že tribologické vlastnosti potaženého nástroje lze výrazně zlepšit nanesením povlaku s optimalizovanými vlastnostmi a zpracováním na PcBN řezný nástroj. Vyvážením chemického složení, množstvím tepelné
Í2789474_CZ docl 5 7 2006 energie a stupněm iontově indukovaného povrchového napětí během růstu, mohou být získány vrstvy obsahující (Me,Si)X fázi, které ve srovnání se stavem techniky vykazují zlepšené vlastnosti při řezání kalené oceli. Adheze vrstvy je vysoká díky optimalizovanému předzpracování a podmínkám uložení. Vrstva (vrstvy) obsahují zrna (Me,Si)X s nebo bez koexistence se zrny ostatních fází. Vrstva (vrstvy) jsou naneseny použitím PVD technik, přednostně obloukovým odpařováním.
Přehled obrázků na výkresech
Vynález bude blíže vysvětlen prostřednictvím konkrétních příkladů provedení znázorněných na výkresech, na kterých představuje obr. 1 CuKa rentgenový difrakční obrazec v Θ-2Θ geometrii získaný z nanesené Ti0.77SÍQ.23N-vrstvy na PcBN substrátu podle tohoto vynálezu. Indexy na obrázku označují strukturu povlaku typu NaCl - např. (Ti,Si)N, obr. 2 CuKa rentgenový difrakční obrazec využívající konstantního incidentního elevačního úhlu 1° mezi primárním paprskem a vzorovým povrchem z nanesené Tio.77Sio.23N-vrstvy na PcBN substrátu podle tohoto vynálezu. Indexy na obrázku odkazují na strukturu povlaku typu NaCl, např. (Ti,SÍ)N, obr. 3 mikrograf SEM ukazující strukturu PcBN materiálu po běžném iontovém leptání před nanesením (2789474_CZ.doc) 5.7.2006 ťCKN materiálu vynálezu před povlaku, mikroyraf SEM ukazující strukturu po iontovém leptání podle tohoto nanesením povlaku.
Příklady provedení vynálezu
Tento vynález poskytuje řezný nástroj pro třískové obrábění, který se skládá z tělesa z materiálu založeného na polykrystalickém kubickém nitridu boritém (PcBN), na který se nanese vrstva odolná proti opotřebení. Povlak se skládá z jedné nebo více vrstev nepoddajných sloučenin, které obsahují alespoň jednu vrstvu s krystaly (Me,Si)X fáze, přednostně vytvořenou použitím fyzického nanášení odpařováním (PVD - physical vapour deposition). Další vrstvy se skládají z nitridů a/nebo karbidů a/nebo oxidů ze skupin 4-6 periodické tabulky. Nástroje podle tohoto vynálezu jsou obzvláště důležité v aplikacích řezání kovů při dokončování kalených ocelí nebo šedé litiny, kde hrubost povrchu obráběné části často omezuje životnost nástroje.
(Me,Si)X vrstva (vrstvy) obsahují krystaly Mei-aSiaXb fáze, kde Me je jeden nebo více prvků ze skupiny Ti, Zr, Hf, V, Nb, Ta, Cr a Al, přednostně Ti, Cr, Zr a Al, a je mezi 0,05 a 0,4, přednostně mezi 0,1 a 0,3, X je jeden nebo více prvků ze skupiny N, C, O a B a b je mezi 0,5 a 1,1, přednostně mezi 0,8 a 1,05.
Existence krystalické fáze Mex_aSiaXb se detekuje rentgenovou difrakcí (XRD - X-ray diffraction) za použití
CuKa záření v Θ-2Θ a/nebo elevační incidenční geometrií (2709474 CZ.doc) 5.7.2006 ukazující jeden nebo více z následujících znaků:
| (Me,Si)X(111) | špičku | pro | Tii-xSixN | na | přibližně | 36 | °2θ, |
| (Me,Si)X(200) | špičku | pro | Tii-xSixN | na | přibližně | 42 | °2θ, |
| (Me,Si)X(220) | špičku | pro | Tii-xSixN | na | přibližně | 61 | °2θ |
| Když není Me | Ti nebo | jsou relativní | množství | Me | a Si |
odlišná, mohou být polohy špiček posunuty.
- Struktura (Me,Si)X je přednostně typu NaCl
- Textura je definována jako poměr K plochy špičky MeiaSiaXb (111) (A (Mei_aSiaXb) m) a plochy špičky Mei-aSiaXb (200) {A (Mei-aSiaXb) 2oo) t t j . K = A (Mei_aSiaXb) m/ A (Mei_aSiaXb) 200, v rentgenovém difrakčním obrazci v Θ-2Θ geometrii mezi 0,0 a 1,0, přednostně mezi 0,0 a 0,3, a/nebo poměr špička-pozadí (počet zásahů v maximu špičky vydělený průměrným počtem zásahů na pozadí v blízkosti špičky) pro Mei-aSiaXb (200) špičku je větší než 2, přednostně větší než 4.
Hodnota rozšíření špičky FWHM (Full Width Haif Maximum) této vrstvy je dána především malou velikostí
| jejích zrn. | (Příspěvek z | nástroje je | v řádu | 2Θ = 0,05° | a | |
| proto je v | těchto výpočtech zanedbán.) | |||||
| - | FWHM (Me,SÍ)X | (111) | špičky | j e me z i | 0,4 a 1,5° | 2Θ |
| a/nebo | ||||||
| - | FWHM (Me,Si)X | (200) | špičky | je mezi | 0,4 a 1,5° | 2Θ |
| - X | obsahuje méně | než | 30 % | atomů | 0 a/nebo | B |
s rovnováhou N a/nebo C. Jsou upřednostňovány nitridy před karbonitridy a karbidy. X v (Me,Si)X by mělo být méně, než 15 % atomů C. Přidání 1-10 % atomů O podpoří tvorbu jemné zrnité struktury a zvýší odolnost vůči oxidaci, i když se tím zvýší riziko vzniku nevodivé komory v povlaku a tím problémů s výrobou.
- Amorfní fáze je identifikována jako široká špička (FWHM = 4° - 6°) nacházející se na 2Θ = 36° - 38°. Poměr (2789474_CZ.doc) 5.7.2006 mezi amorfní fází a krystalickou fází, měřeno intenzitou odrazu amorfní špičky Aa a intenzitou krystalické špičky (200) Ac, je typicky 0 Aa/Ac < 0,20.
Vrstva obsahující (Me,Si)X má podstatně větší tvrdost ve srovnání s kubickou vrstvou jedné fáze typu NaCl Tii-yAlyN struktury, viz příklad, jak je demonstrováno systémy TiixSixN a Tij.yAlyN.
Celková tloušťka pokrytí, pokud jsou vrstvy obsahující (Me,Si)X podle tohoto vynálezu zkombinovány s dalšími vrstvami, je od 0,1 do 5 pm, přednostně 0,1 do 3 pm, s tloušťkou vrstvy neobsahující (Me,Si)X mezi 0,1 a 3 pm. Pro dokončovací aplikace je tloušťka povlaku menší než 2 pm, přednostně menší než 1,2 pm.
V jednom provedení má vrstva (vrstvy) obsahující (Me,Si)X tloušťku 0,1 až 2 pm a obsahuje jeden z až pěti různých materiálů v 0,5 až 5 pm silné multivrstvě, která se skládá ze 2-100, přednostně 5-50 jednotlivých vrstev.
V jednom upřednostňovaném provedení je Me = Ti ve složení (Ti0,9-o,7Ξ10,ío-o,30) N, nej výhodněji (Ti0,85-o,75Sio,is0,2$) N .
V jiném upřednostňovaném provedení je Me = Ti a Al ve složení (Tio, e-ο, 35AI0,20-0,40SÍ0,15-0,30) N, nejvýhodněji (Tio,e0, 3sA1o,2 5-O, 3sSÍo,15-O,3o)N.
V dalším upřednostňovaném provedení je svrchní vrstva z TiN a/nebo CrN a/nebo ZrN nebo jejich směsí nanesena nej zevněji.
(2739474_CZ.doc) 5 7.2006
PcBN má obsah kubického nitridu boritého (cBN) mezi 30 a 80 objemovými % pro obrábění kalených ocelí a 80 a 90 objemovými % pro obrábění litiny, přednostně mezi 35 a 60 objemovými % cBN s velikostí zrn 0,5-2 μιη v Ti(C,N) spojovacím materiálu typu NaCl pro obrábění kalené oceli.
Přednostně je složení vrstvy podle tohoto vynálezu takové, že její parametr základní buňky je v rozsahu +/- 2% a nejvýhodněji v rozsahu +/- 1% NaCl-fáze strukturované fáze spojovacího materiálu, aby se zvýšil rozsah epitaxiálního růstu a maximum adhezní pevnosti. Parametr základní buňky NaCl-strukturované fáze spojovacího materiálu se měří použitím rentgenové difrakce na hlazeném řezu vzorku. Parametr základní buňky vrstvy se měří použitím rentgenové difrakce na potaženém vzorku. Tato vrstva je přednostně v přímém kontaktu se substrátem. Příklady takových složenin s vyrovnanými základními buňkami jsou (Ti0, es-o, 7sSio, 15-0,25) N a (Ti0,37Al0,2sZr0, ieSio,2o) N. Alternativně mezi sebou mohou mít mezilehlou vrstvu (vrstvy) o tloušťce <0.3 pm, která (které) nemá vyrovnané základní buňky.
Tento vynález se také týká způsobu tvorby vrstev obsahujících (Me,Si)X fázi na PcBN substrátu.
Nejprve se dosáhne optimalizovaného stavu povrchu použitím měkkého Ar iontového leptání, které umožňuje dobré leptání a čistění cBN zrn, stejně jako fáze spojovacího materiálu bez snížení povrchového obsahu fáze spojovacího materiálu preferenčním naprašovánim. Povrchový obsah fáze spojovacího materiálu by měl být stejný nebo větší než objem vnitřku fáze. Ar iontové leptání se provádí v Ar atmosféře nebo ve směsi Ar a H2, čímž se ve druhém případě dosáhne kombinovaného efektu fyzického naprašování a chemického (2789474_CZ.doc) 5.72006 leptání v sekvenci dvou nebo více kroku, kde průměrná energie dopadajících iontů je úspěšně snížena tak, že se pohybuje od zaverneho predpetr podložky Vs < — 500 V do Vs > -150 V. Mezilehlý(é) krok(y), pokud jsou provedeny, používají -500 V < Vs < -150 V. Nejvýhodněji závěrné předpětí podložky pulzuje s frekvencí > 5 kHz s bipolárním napětím. Záporný pulz je přednostně > 80 % následovaný kladným vybíjecím pulzem.
Na obrázku 3 je SEM mikrograf struktury PcBN materiálu se strukturou fáze spojovacího materiálu typu NaCl, po konvenčním iontovém leptání před potažením a obrázek 4 po iontovém leptání podle tohoto vynálezu před potažením. Jak je vidět ze srovnání obrázků 3 a 4, běžné iontové leptání odstraní příliš mnoho spojovacího materiálu, čímž se odkryjí cBN zrna. Poměr L, definovaný jako parciální průmět plochy cBN, AcBn, dělený parciálním objemem cBN, VcBN, (L= AcBN/ VcBN) , před nanesením, je < 1,15, přednostně < 1,0. Povrchový obsah cBN na obrázku 3 je 59 % (L = 1,18), a na obrázku 4 49 % (L = 0,98), ve srovnání s objemovým podílem hmoty 50 %.
Optimální povrch lze tedy získat chemickou a/nebo mechanickou úpravou, jako například ozařováním před nanesením a/nebo kombinací s in šitu procesem v nanášecím systému.
Aby se získala upřednostňovaná struktura vrstvy podle tohoto vynálezu, je třeba nastavit několik parametrů nanášeni. Faktory ovlivňující nanášení jsou teplota v korelaci s energií narážejících iontů, kterou lze měnit sklonem substrátu, vzdáleností katody od substrátu a parciálním tlakem N2 - PN2.
(2789474_CZ.doc) 5.7.2006
Způsob použití k tvorbě vrstev obsahujících (Me,Si)X fázi tohoto vynálezu, který je zde vysvětlen na příkladu systému Tii_xSixN, je založen na obloukovém odpařování legované nebo kombinované katody za následujících podmínek:
Ti+Si katoda obsahuje 60 až 90 % atomů Ti, přednostně 70 až 90 % atomů Ti a zbytek Si.
Odpařovací proud je mezi 50 A a 200 A v závislosti na velikosti katody a jejím materiálu. Při použití katod o průměru 63 mm je odpařovací proud přednostně mezi 60 A a 120 A.
Závěrné předpětí podložky je mezi -10 V a -150 V, přednostně mezi -40 V a -70 V.
Teplota nanášení je mezi 400°C a 700°C, přednostně mezi 500°C a 700°C.
Při tvorbě vrstvy (vrstev) obsahujících (Me,Si)X, kde X je N se použije Ar+N2 atmosféra obsahující 0-50 % obj. Ar,
| přednostně 0-20 % obj., za celkového tlaku 0,5 Pa až 9,0 Pa, | ||
| přednostně | 1,5 Pa | až 5,0 Pa. |
| Pro | tvorbu | (Me,Si)X kde X zahrnuje CaO, plyny |
| obsahuj ící | C a/nebo 0 je třeba přidat k N2 a/nebo Ar+N2 | |
| atmosféře | (např. | C2H2, CH4, CO, CO2, 02) . Pokud X obsahuje |
také B mohlo být přidáno buď legováním cíle B nebo přidáním plynu obsahujícího B do atmosféry.
Přesné parametry postupu závisejí na konstrukci a stavu použitého nanášecího vybavení. Rozhodnutí, zda byla získána požadovaná struktura a modifikace podmínek nanášení podle (2789474_CZ.doc) 5 7.2006 tohoto vynálezu je v kompetenci kvalifikovaného odborníka.
/ ττ ν’ r· + λ τ τ \ r * 'ί I·ϊ ι χ ί /» -ί λ V\ ( ΚΛ C* \ V F -4 η 4 \ * X U ót· * jl Ο ij- tJ. 1 A 7-4. _J _Ι_ _L V__r Á 1. (flC/ Uí / Λ J_ Q. Z_ J_ je zde riziko, že zbytkové napětí v tlaku velmi vzroste, což negativně ovlivní výkon při obrábění, když se použijí ostré břity a/nebo když je požadavek na dobrou adhezi na prvním místě. Vlastní pnutí lze snížit žíháním v atmosféře Ar a/nebo N2 při teplotách mezi 600°C a 1100°C po dobu 20 až 600 min.
Navíc se zlepšení dosáhne přidáním následného zpracování, které zvýší hrubost povrchu břitu. Toho lze dosáhnout vlhkým ofukováním. Lze také použít nylonové kartáče s brusnými zrny. Jinou cestou je pohybovat potaženým PcBN nástrojem brusným médiem, jako například omílání nebo dokončování odporu.
Tento vynález byl popsán s odkazem na vrstvu (vrstvy) obsahující (Me,Si)X fázi nanesenou pomocí obloukového vypařování. Je zřejmé, že (Me,Si)X fáze obsahující vrstvu (vrstvy) lze také vytvořit použitím jiných PVD technologií, jako například magnetronovým rozprašováním.
Příklad 1
Destičky z polykrystalického kubického nitridu boritého (PcBN) typu RCGN0803M0S s objemovým podílem cBN 50 % s průměrnou velikostí zrna 1 pm a spojovacím materiálem obsahujícím Ti(C,N) se vyčistily v ultrazvukových lázních za použití alkalického roztoku a alkoholu a následně se umístily do PVD-systému použitím upevnění trojčetné osy rotace. Nejmenší vzdálenost substrátu od katody byla 160 mm. Systém se vyčerpal na tlak menší než 2,0.10-3 Pa a poté byly destičky vyčištěny rozprašováním Ar iontů. Bipolární (2789474_CZ.doc) 5.7.2006 impulzní proces byl použit tam, kde se závěrné předpětí podložky měnilo mezi -Vs (80 %) a +50 V (20 %) za jednu periodu s frekvencí 20 kHz. Vs bylo na začátku procesu 550 V a následně klesalo na -120 V na konci procesu. Obrázek 4 ukazuje vzhled PcBN povrchu po leptání použitím tohoto procesu.
Varianta A byla vytvořena použitím obloukového odpařování Tio,7sSio,2s katod, 63 mm v průměru a varianta B použitím Tio,eoSio,2o katody. Nanesení bylo provedeno v 99, 995¾ čisté N2 atmosféře za celkového tlaku 4,0 Pa, použitím závěrného předpětí podložky -110 V po 60 minut. Teplota při nanášení byla okolo 530°C. Bezprostředně po nanesení se komora ventilovala čistým N2. Jako srovnání se použil povlak podle stavu techniky, Τίο,34Α1ο,66Ν, a nepotažená varianta.
Rentgenové difrakční obrazce nanesené Tii-xSixN vrstvy a TiN vrstvy jsou ukázány na obrázku 1 a obrázku 2. Kromě špiček odpovídajících PcBN substrátům, se objevují pouze špičky odpovídající kubické fázi Tii-xSixN typu NaCl a kubické fázi TiN typu NaCl, jak je vidět z identifikace (111), (200), (220), (311), (222), (400), (331), (420), (422), a (511) špiček. Textura, definovaná jako poměr (K) plochy (Me,Si)X (111) špičky a (Me,Si)X (200) špičky, je pro tuto variantu 0,28. FWHM (Me,Si)X (111) špičky je 1,30° 2Θ a {Me,SÍ)X (200) špičky 1.44° 2Θ.
Identifikace fáze Tii-xSixN provedena rentgenovou difrakcí v nanesenem s konstantním úhlem mezi primárním paprskem stavu byla incidenčním a povrchem elevačním vzorku 1° a skenováním detektoru, aby se zvětšily špičky pocházející z nátěru, viz. obr. 2. Přítomnost Tii-xSixN je (2789474_CZ.doc) 5.7.2006 potvrzena indexováním difrakčního obrazce ve struktuře typu
NaCl.
Poměr špičky k pozadí pro TÍ!-xSixN (200) špičku byl 24.
Tloušťka na břitu byla 1,0 pm TÍ!_xSixN vrstvy použitím skenovacího elektronového mikroskopu (SEM) v řezu.
Parametr základní buňky (Ti0,77Sio,23) N byl 4,29 A, PcBN spojovacího materiálu obsahujícího Ti(C,N) fázi 4,30 A a 4,14 A Tio,34AI0,6&N.
Vickersova tvrdost vrstev byla měřena nanoindentací použitím nástroje Nano Indenter™ II na leštěných zkosených řezech s maximální zátěží 25 mN vedoucí k maximální hloubce penetrace 200 nm. Tvrdost je uvedena v tabulce 1. Z tabulky 1 je vidět, že se tvrdost ve srovnání s Tii-yAlyN variantou značně zvýší, když je ve vrstvě přítomen Si.
Tabulka 1.
| Varianta | Tvrdost (GPa) | Detekované FWHM fáze (111) °2Θ | FWHM (200) °2G | Parametr textury K |
| A | 48 | Tío,77Sío, 23N, 1,30 TiN | 1,44 | 0,28 |
| B | 45 | Tio, 82Ξ i0, ιθΝ, 1,18 TiN | 1,20 | 0,34 |
| C | 32 | Tio,34-Alo,6gN, “ TiN | - | - |
| D | - | Nepotaženo | - | - |
Příklad 2
Potažené destičky řezného nástroje z příkladu 1, které (2789474_CZ doc) 5.7.2006 jsou destičky typu RCGNO803M0S z polykrystalického kubického nitridu boritého (PcBN) byly testovány při dokončovacích pracích na případu kalených převodových kol·. Parametry řezání byly následující:
• Materiál: SAE 5120 (20MnCr5), 59-61 HRC • vf = 190 m/min • ap = 0, 10 mm • f„ = 0,07 mm/rev.
Kritériem životnosti nástroje byl počet opracovaných převodových kol s minimální úrovní pružnosti opracovaných dílů 75 %. Výsledky jsou v tabulce 2.
Tabulka 2.
| Varianta | Počet opracovaných dílů |
| A | 525 |
| B | 500 |
| C | 200 |
| D | 80 |
Tento test ukazuje, že největší počet dílu lze opracovat variantami A a B (tento vynález), následovanými variantou C.
Příklad 3
Řezné destičky stíracího stylu potažené podobně jako v příkladu 1, které jsou destičkami typu CNGA120408S-L1-WZ z polykrystalického kubického nitridu boritého (PcBN) při dokončovacích pracech na případu kalené hnací násady. Parametry řezání byly následující:
(2789474_CZ.doc) 5.7.2006 • Materiál: SAE 5115 (16MnCrS5), 58 HRC • Vf = 190 rn/min • ap = 0,15/0,35 mm • fn - 0,3 mra/rev.
Kritériem životnosti nástroje byl počet opracovaných hnacích hřídelí s maximální povrchovou hrubostí. Výsledky jsou v tabulce 3.
Tabulka 3.
| Varianta | Počet opracovaných dílů |
| A | 236 |
| C | 170 |
Tento test ukazuje, že varianty A {tento vynález) mohou opracovat nejvyšší počet dílů.
Příklad 4
Řezné destičky potažené podobně které jsou destičkami typu z polykrystalického kubického nitridu jako v příkladu 1, CNGA120408S-LO-B boritého (PcBN) na průběžně kalené objímce. Parametry řezání byly následující:
Materiál: SAE 52100 (100Cr6), 63 HRC Vf = 220 m/min ap = 0,11/0,15 mm fn - 0,3 mm/rev.
Kritériem životnosti nástroje byl objímek s maximální povrchovou hrubost počet opracovaných
í. Výsledky jsou (2709474_CZ.doc) 5.7.2006
| v tabulce | 4. |
| Tabulka 4. | |
| Varianta | Počet opracovaných dílů |
| B | 175 |
| C | 124 |
Tento test ukazuje, že varianty B (tento vynález) mohou opracovat nejvyšší počet dílů.
Zastupuje:
Dr. Petr Kalenský v.r.
(2789474_CZ.doc) 5.7.2006
JUDr. Petr Kalenský - 17 advokát
120 00 Praha 2, Hálkova 2
Claims (11)
1. Břitová destička nástroje, pevná čelní válcová fréza nebo vrták, obsahující substrát z materiálu založeného na polykrystalickém kubickém nitridu boritém (PcBN) a povlak, vyznačující se tím, že se povlak skládá z jedné nebo více vrstev odrazivých sloučenin, z nichž alespoň jedna vrstva obsahuje (Me,Si)X fázi se složením Mei-aSiaXb, kde Me je jeden nebo několik prvků z Ti, Zr, Hf, V, Nb, Ta, Cr a Al, přednostně Ti, Cr, Zr a Al, a je mezi 0,05 a 0,4, přednostně mezi 0,1 a 0,3, a X je jeden nebo více z prvků N, C, O a B a b je mezi 0,5 a 1,1, přednostně mezi 0,8 a 1,05, a že X obsahuje méně než 30 % atomů O + B.
2. Břitová destička nástroje podle předcházejícího nároku, vyznačující se tím, že struktura Mei-aSiaXb je typu NaCl.
3. Řezný nástroj podle kteréhokoliv předcházejícího nároku, vyznačující se tím, že obsahuje vrstvu krystalické kubické fáze (Me,Si)X, rentgenovou difrakcí v Θ-2Θ a/nebo geometrii ukazující jeden nebo více z následujících rysů: (Me,Si)X (111) špička, (Me,Sí)X (200) špička, (Me,Si)X (220) špička.
jak byla detekována skloněné incidenční
4. Řezný nástroj podle nároku 3, vyznačující se tím, že poměr K mezi plochou Mei-aSiaXb (111) špičky (Α(ΜβχaSiaXbJm) a plochou Mex-aSiaXb (200) špičky (A (Mex_aSiaXb) 200) , t.j. K - A (Mex-aSiaXb) xxi/ A (Mex-aSiaXb) 2oo, v rentgenovém
2789474 (2789474_CZ.doc) 5 7.2006 difrakčním obrazci v Θ-2Θ geometrii z této vrstvy je mezi 0,0 a 1,0, přednostně mezi 0,0 a 0,3, a/nebo že poměr špička-pozadí (počet zásahů v maximu špičky vydělený počtem zásahů na pozadí v blízkosti špičky) pro Me1_dSiaXb (200) špičku je větší než 2, přednostně větší než 4.
5. Břitová destička nástroje podle kteréhokoliv z nároků 3 a 4, vyznačující se tím, že FWHM (Fuil Width Haif Maximum) hodnota Mei-aSiaXb (111) špičky v rentgenovém difrakčním obrazci v Θ-2Θ geometrii této vrstvy je mezi 0,4 a 1,5° 2Θ a Mei_aSiaXb (200) špička je mezi 0,4 a 1,5° 2Θ.
6. Břitová destička nástroje podle kteréhokoliv předcházejícího nároku, vyznačující se tím, že PcBN má obsah kubického nitridu boritého (cBN) mezi 30 a 90 objemovými % pro obrábění kalených ocelí a 80 a 90 objemovými % pro obrábění litiny, přednostně mezi 35 a 60 objemovými % cBN s velikostí zrna 0,5-2 pm v Ti(C,N) spojovacím materiálu typu NaCl pro obrábění kalených ocelí.
7. Břitová destička nástroje podle nároku 6, vyznačující se tím, že parametr základní buňky vrstvy je mezi +/- 2 %, přednostně mezi + /- 1 % parametru jednotkové buňky spojovacího materiálu typu NaCl, pokud je přítomen, přičemž uvedená vrstva je přednostně v přímém kontaktu se substrátem nebo s < 0.3 pm mezilehlou vrstvou (vrstvami) mezi nimi.
8. Břitová destička nástroje podle nároku 7, vyznačující se tím, že X = N se siožením (Me0,9o,7SÍ0,10-0,30) N.
(2789474_CZ.doc) 5.7.2006
9. Břitová destička nástroje podle nároku 8, vyznačující se tím, že Me = Ti se složením (Ti0,8sO,75SÍo, is-0,25) N .
10. Břitová destička nástroje podle nároku 7, vyznačující se tím, že Me = Ti a Al ve složení (Ti0,e. 0,35AI0,20-0, íoSio, 15-0,30) N, přednostně (Tio,6-o,3 5Alo,25-o,35Sio, 150,30)N.
(2789474_CZ.doc) 5.7.2006
-20-//
11. Způsob výroby potažené břitové destičky nástroje, pevné čelní válcové frézy nebo vrtáku obsahujícího substrát z materiálu založeného na polykrystalickém kubickém nitridu boritém (PcBN) a povlak, vyznačující se tím, že povlak se skládá z jedné nebo více vrstev odrazivých sloučenin, ze kterých alespoň jedna vrstva obsahuje Mei-aSiaXb fázi popsanou ve složení Mei-aSiaXb kde Me je jeden nebo více prvků z Ti, V, Cr, Zr, Nb, Mo, Hf, Ta a Al, a a je mezi 0,05 a 0,4, přednostně mezi 0,1 a 0,3, a X jeden nebo více prvků z N, C, O a B a b je mezi 0,5 a 1,1, přednostně mezi 0,8 a 1,05 a že X obsahuje méně než 30 % atomů 0 + B je nanesen technikou obloukového odpařování při odpařovacím proudu 50-200 A, závěrného předpětí podložky -10 - -150 V, teplotě 400-700 °C, celkovém tlaku 0,5-9 Pa čímž se povrch, který se má pokrýt, předzpracuje Ar iontovým leptáním provedeným v posloupnosti dvou a více kroků, začínající na závěrném přepětí podložky, Vs < -500V a končící s Vs > -150, aby se získal povrch s menší parciální promítnutou plochou cBN fáze ve srovnání s parciálním objemem cBN, poměr L, definovaný jako parciální promítnutá plocha cBN, AcBN, dělená parciálním objemem cBN, VcBN, (L= AcBn/VcBN) , před nanesením, přičemž tento poměr je < 1,15, přednostně < 1,0.
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| SE0501487A SE529161C2 (sv) | 2005-06-22 | 2005-06-22 | Skärverktyg med kompositbeläggning för finbearbetning av härdade stål |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CZ2006400A3 true CZ2006400A3 (cs) | 2007-01-31 |
Family
ID=36753938
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CZ20060400A CZ2006400A3 (cs) | 2005-06-22 | 2006-06-20 | Vícevrstvý povlak pro konečnou úpravu kalených ocelí |
Country Status (10)
| Country | Link |
|---|---|
| US (2) | US20060292399A1 (cs) |
| EP (1) | EP1736565B1 (cs) |
| JP (1) | JP2007001007A (cs) |
| KR (1) | KR20060134859A (cs) |
| CN (1) | CN100418679C (cs) |
| AT (1) | ATE418626T1 (cs) |
| BR (1) | BRPI0602327A (cs) |
| CZ (1) | CZ2006400A3 (cs) |
| DE (1) | DE602006004400D1 (cs) |
| SE (1) | SE529161C2 (cs) |
Families Citing this family (58)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| SE0602814L (sv) * | 2006-12-27 | 2008-06-28 | Sandvik Intellectual Property | Skärverktyg med multiskiktbeläggning |
| EP2147132B1 (en) * | 2007-04-18 | 2017-03-01 | Sandvik Intellectual Property AB | A coated cutting tool |
| JP2008279562A (ja) * | 2007-05-11 | 2008-11-20 | Sumitomo Electric Ind Ltd | 表面被覆切削工具 |
| US8557406B2 (en) * | 2007-06-28 | 2013-10-15 | Kennametal Inc. | Coated PCBN cutting insert, coated PCBN cutting tool using such coated PCBN cutting insert, and method for making the same |
| SE531704C2 (sv) * | 2007-07-13 | 2009-07-14 | Seco Tools Ab | Finkornig hårdmetall för svarvning av varmhållfasta superlegeringar (HRSA) |
| EP2098611B1 (en) | 2008-03-07 | 2013-02-13 | Seco Tools AB | Layered coated cutting tool |
| EP2262924B1 (en) * | 2008-03-07 | 2014-12-03 | Seco Tools AB | Thermally stabilized (ti, si)n layer for cutting tool insert |
| CN102099138B (zh) * | 2008-07-14 | 2013-06-05 | 株式会社图格莱 | 覆盖构件及其制造方法、包括该覆盖构件的覆盖切削工具 |
| SE533884C2 (sv) | 2009-06-01 | 2011-02-22 | Seco Tools Ab | Nanolaminerat belagt skärverktyg |
| SE533883C2 (sv) | 2009-06-01 | 2011-02-22 | Seco Tools Ab | Nanolaminerat belagt skärverktyg |
| JP2013537116A (ja) | 2010-09-08 | 2013-09-30 | エレメント シックス リミテッド | Ｅｄｍ切削可能な高ｃｂｎ含有率ソリッドｐｃｂｎコンパクト |
| WO2012079769A1 (en) | 2010-12-17 | 2012-06-21 | Seco Tools Ab | Coated cubic boron nitride tool for machining applications |
| CN102162084B (zh) * | 2011-03-08 | 2013-07-03 | 西安宇杰表面工程有限公司 | 一种模具用抗高温氧化纳米ZrOxN1-x薄膜及其制备工艺 |
| CN102560355B (zh) * | 2012-01-11 | 2014-01-01 | 中国科学院宁波材料技术与工程研究所 | 一种V-Si-N纳米复合硬质涂层及其制备方法 |
| EP2636764B1 (en) | 2012-03-07 | 2014-07-09 | Seco Tools Ab | Nanolaminated coated cutting tool |
| WO2013131943A1 (en) | 2012-03-07 | 2013-09-12 | Seco Tools Ab | A body with a metal based nitride layer and a method for coating the body |
| US9103036B2 (en) | 2013-03-15 | 2015-08-11 | Kennametal Inc. | Hard coatings comprising cubic phase forming compositions |
| CN103143761B (zh) * | 2013-03-22 | 2015-06-24 | 武汉大学 | 一种AlTiN-MoN纳米多层复合涂层铣刀及其制备方法 |
| RU2532632C1 (ru) * | 2013-07-12 | 2014-11-10 | Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Ульяновский государственный технический университет" | Способ получения износостойкого покрытия для режущего инструмента |
| RU2538058C1 (ru) * | 2013-07-12 | 2015-01-10 | Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Ульяновский государственный технический университет" | Способ получения многослойного покрытия для режущего инструмента |
| RU2538059C1 (ru) * | 2013-07-12 | 2015-01-10 | Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Ульяновский государственный технический университет" | Способ получения многослойного покрытия для режущего инструмента |
| RU2548864C2 (ru) * | 2013-07-19 | 2015-04-20 | Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Ульяновский государственный технический университет" | Способ получения многослойного покрытия для режущего инструмента |
| RU2548863C2 (ru) * | 2013-07-19 | 2015-04-20 | Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Ульяновский государственный технический университет" | Способ получения многослойного покрытия для режущего инструмента |
| RU2548859C2 (ru) * | 2013-07-23 | 2015-04-20 | Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Ульяновский государственный технический университет" | Способ получения многослойного покрытия для режущего инструмента |
| RU2545955C2 (ru) * | 2013-07-23 | 2015-04-10 | Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Ульяновский государственный технический университет" | Способ получения многослойного покрытия для режущего инструмента |
| RU2548559C2 (ru) * | 2013-07-23 | 2015-04-20 | Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Ульяновский государственный технический университет" | Способ получения износостойкого покрытия для режущего инструмента |
| RU2532620C1 (ru) * | 2013-07-23 | 2014-11-10 | Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Ульяновский государственный технический университет" | Способ получения износостойкого покрытия для режущего инструмента |
| RU2548860C2 (ru) * | 2013-07-23 | 2015-04-20 | Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Ульяновский государственный технический университет" | Способ получения износостойкого покрытия для режущего инструмента |
| RU2532622C1 (ru) * | 2013-07-23 | 2014-11-10 | Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Ульяновский государственный технический университет" | Способ получения многослойного покрытия для режущего инструмента |
| RU2545941C2 (ru) * | 2013-07-23 | 2015-04-10 | Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Ульяновский государственный технический университет" | Способ получения износостойкого покрытия для режущего инструмента |
| RU2548861C2 (ru) * | 2013-07-26 | 2015-04-20 | Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Ульяновский государственный технический университет" | Способ получения многослойного покрытия для режущего инструмента |
| RU2545958C2 (ru) * | 2013-07-26 | 2015-04-10 | Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Ульяновский государственный технический университет" | Способ получения многослойного покрытия для режущего инструмента |
| RU2545972C2 (ru) * | 2013-07-26 | 2015-04-10 | Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Ульяновский государственный технический университет" | Способ получения многослойного покрытия для режущего инструмента |
| RU2548553C2 (ru) * | 2013-08-02 | 2015-04-20 | Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Ульяновский государственный технический университет" | Способ получения многослойного покрытия для режущего инструмента |
| US9896767B2 (en) | 2013-08-16 | 2018-02-20 | Kennametal Inc | Low stress hard coatings and applications thereof |
| US9168664B2 (en) | 2013-08-16 | 2015-10-27 | Kennametal Inc. | Low stress hard coatings and applications thereof |
| CN103556119B (zh) * | 2013-10-28 | 2015-12-09 | 沈阳大学 | 一种氮化钛锆铌氮梯度硬质反应膜的制备方法 |
| RU2620528C2 (ru) * | 2015-10-27 | 2017-05-26 | федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего образования "Ульяновский государственный технический университет" | Способ получения многослойного покрытия для режущего инструмента |
| RU2616720C1 (ru) * | 2015-11-10 | 2017-04-18 | Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Ульяновский государственный технический университет" | Способ получения многослойного покрытия для режущего инструмента |
| RU2620532C2 (ru) * | 2015-11-10 | 2017-05-26 | федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего образования "Ульяновский государственный технический университет" | Способ получения многослойного покрытия для режущего инструмента |
| RU2620531C2 (ru) * | 2015-11-10 | 2017-05-26 | федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего образования "Ульяновский государственный технический университет" | Способ получения многослойного покрытия для режущего инструмента |
| RU2622531C1 (ru) * | 2015-12-15 | 2017-06-16 | федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего образования "Ульяновский государственный технический университет" | Способ получения многослойного покрытия для режущего инструмента |
| RU2622527C1 (ru) * | 2015-12-15 | 2017-06-16 | федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего образования "Ульяновский государственный технический университет" | Способ получения многослойного покрытия для режущего инструмента |
| RU2620529C1 (ru) * | 2015-12-15 | 2017-05-26 | федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего образования "Ульяновский государственный технический университет" | Способ получения многослойного покрытия для режущего инструмента |
| US11440102B2 (en) | 2015-12-22 | 2022-09-13 | Sandvik Intellectual Property Ab | Coated cutting tool and method |
| US10837100B2 (en) * | 2015-12-22 | 2020-11-17 | Sandvik Intellectual Property Ab | Method of producing a PVD layer and a coated cutting tool |
| CN107557755B (zh) * | 2016-07-01 | 2020-05-01 | 山特维克知识产权股份有限公司 | 具有{0 0 1}织构化κ-Al2O3层的CVD涂层切削工具 |
| RU2637862C1 (ru) * | 2016-10-11 | 2017-12-07 | федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего образования "Ульяновский государственный технический университет" | Способ получения многослойного покрытия для режущего инструмента |
| RU2630736C1 (ru) * | 2016-10-11 | 2017-09-12 | федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего образования "Ульяновский государственный технический университет" | Способ получения износостойкого покрытия для режущего инструмента |
| RU2637863C1 (ru) * | 2016-10-11 | 2017-12-07 | федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего образования "Ульяновский государственный технический университет" | Способ получения многослойного покрытия для режущего инструмента |
| CN110494240B (zh) * | 2017-03-30 | 2020-11-27 | 京瓷株式会社 | 切削镶刀及切削刀具 |
| JP6858347B2 (ja) * | 2017-07-28 | 2021-04-14 | 株式会社タンガロイ | 被覆切削工具 |
| KR102336097B1 (ko) * | 2017-09-27 | 2021-12-06 | 가부시키가이샤 몰디노 | 피복 절삭 공구 |
| CN108103454B (zh) * | 2017-11-30 | 2019-10-11 | 厦门金鹭特种合金有限公司 | 一种高光滑涂层刀具及其制作方法 |
| EP3865234A4 (en) * | 2018-10-10 | 2022-08-17 | Sumitomo Electric Hardmetal Corp. | CUTTING TOOL AND METHOD OF MANUFACTURE THEREOF |
| US20200406365A1 (en) * | 2018-10-10 | 2020-12-31 | Sumitomo Electric Hardmetal Corp. | Cutting tool and method for manufacturing same |
| JP7247452B2 (ja) * | 2019-03-25 | 2023-03-29 | 株式会社Moldino | 被覆工具 |
| JP2022533738A (ja) * | 2019-05-21 | 2022-07-25 | エリコン・サーフェス・ソリューションズ・アクチェンゲゼルシャフト，プフェフィコーン | マルチアニオン高エントロピー合金酸窒化物を含むｐｖｄコーティング |
Family Cites Families (15)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE3811907C1 (cs) * | 1988-04-09 | 1989-08-03 | Kernforschungszentrum Karlsruhe Gmbh, 7500 Karlsruhe, De | |
| US5431963A (en) * | 1993-02-01 | 1995-07-11 | General Electric Company | Method for adhering diamondlike carbon to a substrate |
| CZ301516B6 (cs) * | 1997-09-12 | 2010-03-31 | Oerlikon Trading Ag, Truebbach | Nástroj s ochranným vrstvovým systémem a zpusob jeho výroby |
| JP3637882B2 (ja) * | 2000-08-31 | 2005-04-13 | 住友電気工業株式会社 | 表面被覆窒化硼素焼結体工具 |
| JP3637883B2 (ja) * | 2000-08-31 | 2005-04-13 | 住友電気工業株式会社 | 表面被覆窒化硼素焼結体工具 |
| JP3996809B2 (ja) | 2002-07-11 | 2007-10-24 | 住友電工ハードメタル株式会社 | 被覆切削工具 |
| SE526339C2 (sv) * | 2002-09-04 | 2005-08-23 | Seco Tools Ab | Skär med slitstark refraktär beläggning med kompositstruktur |
| SE526338C2 (sv) * | 2002-09-04 | 2005-08-23 | Seco Tools Ab | Skär med utskiljningshärdad slitstark refraktär beläggning |
| ES2279050T3 (es) * | 2002-11-19 | 2007-08-16 | Hitachi Tool Engineering Ltd. | Pelicula dura y herramienta revestida con pelicula dura. |
| US7211138B2 (en) * | 2003-02-07 | 2007-05-01 | Kabushiki Kaisha Kobe Seiko Sho (Kobe Steel, Ltd.) | Hard film, method of forming the same and target for hard film formation |
| JP2004283930A (ja) * | 2003-03-20 | 2004-10-14 | Nachi Fujikoshi Corp | 切削用ホブ及び歯車加工方法 |
| SE526599C2 (sv) * | 2003-06-16 | 2005-10-18 | Seco Tools Ab | CVD-belagt hårdmetallskär |
| SE526602C2 (sv) * | 2003-10-27 | 2005-10-18 | Seco Tools Ab | Belagt skär för grovsvarvning |
| JP2005271190A (ja) * | 2003-12-05 | 2005-10-06 | Sumitomo Electric Hardmetal Corp | 表面被覆切削工具 |
| CN100419117C (zh) * | 2004-02-02 | 2008-09-17 | 株式会社神户制钢所 | 硬质叠层被膜、其制造方法及成膜装置 |
-
2005
- 2005-06-22 SE SE0501487A patent/SE529161C2/sv not_active IP Right Cessation
-
2006
- 2006-06-13 DE DE602006004400T patent/DE602006004400D1/de active Active
- 2006-06-13 AT AT06445043T patent/ATE418626T1/de not_active IP Right Cessation
- 2006-06-13 EP EP06445043A patent/EP1736565B1/en not_active Not-in-force
- 2006-06-20 US US11/455,842 patent/US20060292399A1/en not_active Abandoned
- 2006-06-20 CZ CZ20060400A patent/CZ2006400A3/cs unknown
- 2006-06-21 JP JP2006171538A patent/JP2007001007A/ja active Pending
- 2006-06-21 CN CNB2006100940116A patent/CN100418679C/zh not_active Expired - Fee Related
- 2006-06-22 BR BRPI0602327-4A patent/BRPI0602327A/pt not_active Application Discontinuation
- 2006-06-22 KR KR1020060056564A patent/KR20060134859A/ko not_active Application Discontinuation
-
2011
- 2011-01-27 US US12/931,211 patent/US20110123829A1/en not_active Abandoned
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| KR20060134859A (ko) | 2006-12-28 |
| US20060292399A1 (en) | 2006-12-28 |
| CN1883855A (zh) | 2006-12-27 |
| BRPI0602327A (pt) | 2007-02-21 |
| EP1736565A1 (en) | 2006-12-27 |
| JP2007001007A (ja) | 2007-01-11 |
| US20110123829A1 (en) | 2011-05-26 |
| CN100418679C (zh) | 2008-09-17 |
| EP1736565B1 (en) | 2008-12-24 |
| SE0501487L (sv) | 2006-12-23 |
| SE529161C2 (sv) | 2007-05-22 |
| ATE418626T1 (de) | 2009-01-15 |
| DE602006004400D1 (de) | 2009-02-05 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| CZ2006400A3 (cs) | Vícevrstvý povlak pro konečnou úpravu kalených ocelí | |
| JP6687390B2 (ja) | ＰＶＤによるＴｉＡｌＣｒＳｉＮ被膜を有する工具 | |
| EP3298176B1 (en) | Tool with multi-layer arc pvd coating | |
| JP5246165B2 (ja) | 硬質皮膜被覆部材の製造方法 | |
| EP1877595B1 (en) | Cutting tool insert, solid end mill or drill coated with wear resistant layer. | |
| JP5056949B2 (ja) | 被覆部材 | |
| JP5297388B2 (ja) | 表面被覆切削工具 | |
| JP6386457B2 (ja) | ＴｉＡｌＮ被覆工具 | |
| EP2638993B1 (en) | Surface-coated cutting tool | |
| US7989060B2 (en) | Oxide coated cutting insert | |
| US8075743B2 (en) | Oxide coated cutting insert | |
| JP2023506295A (ja) | 被覆切削工具 | |
| KR101590203B1 (ko) | 산화물 코팅된 절삭 인서트 | |
| IL214594A (en) | Coated surface cutting tool | |
| US8409732B2 (en) | Oxide coated cutting insert | |
| JP3404012B2 (ja) | 硬質皮膜被覆工具 | |
| CN111032913B (zh) | 经涂覆的切削刀具和涂覆所述切削刀具的方法 | |
| JP2004306216A (ja) | 被覆超硬エンドミル | |
| JP2004306237A (ja) | 被覆粗加工用エンドミル |