CN87209178U - 耐高温抗振型电容压力传感器 - Google Patents
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Abstract
耐高温抗振型电容压力传感器由氧化铝陶瓷材料制成。其底座上同时镀有敏感电极和参比电极,在感应膜片上镀有公共电极,构成参比型电容压力传感器。其中敏感电容随压力变化而变化,而设置在边缘处的参比电容不随压力变化,可以起到温度补偿的作用。
Description
属于压力检测技术领域。
目前国内外用于压力测量的传感器主要是应变式、压电式、电容式几种。应变式不适于高温测量,因其温漂很大;压电式虽可用于较高温度场合,但信号处理复杂,价格昂贵,不适于广泛应用;以往研制电容式压力传感器一般用金属和非金属材料构成,抗振性差,不适用于高温场合测量。
本实用新型为了解决耐高温及抗振性问题,采用了耐高温材料-氧化铝陶瓷制成电容式压力传感器,如图1所示,其特征是敏感器件由感压膜片(1)和底座(2)两部分组成。在感压膜片上镀有一园形公共电极(3),在底座上镀有园形敏感电极(4)和环形参比电极(5)。位于中心的园电极与公共电极(3)构成压敏电容,位于边缘的环形电极(5)与公共电极构成参比电容。由于环形电极靠近边缘位置,其电容量几乎不随压力变化。因而提供了与压敏电容等温度系数的电容,便于实现温度的补偿。
为制造耐高温抗振传感器。选择理想的膜片材料是关键,氧化铝陶瓷是有熔点高、高温下性能稳定,可加工性能好等优点。因此敏感器件的膜片是采用95A1203陶瓷,用轧片方法制成,经排蜡,烧结后成型,烧结后的膜片经粗,精研磨,不平行度小于10μ,光洁度高于
6。基座采用75A1203陶瓷,经热压铸成型,排蜡烧结也经粗,精研磨后与膜片匹配。在制作的膜片和底座瓷片上,用印刷方法将银浆被在瓷片上进行焙烧,温度掌握在400-900℃为宜,保温15-20分钟后,可降温冷却。在基座上用25-40μ的云母片保证电容间隙,然后采用易熔玻璃(6)将膜片和底座封接在一起,考虑到封接的器件能承受较高的温度,所以易熔玻璃选择了TF01铅玻璃,能把95、75A1203陶瓷很好地匹配封接,封接温度500-700℃。
这种新型陶瓷电容压力传感器能在较高温度下工作,且性能稳定它可用于发动机进气口压力测量,实现空燃比调节以达到节能效果。还可用于飞机、风洞等压力测量,也可用于真空测量。
该传感器结构简单,价格便宜,适于大批量生产。
Claims (4)
1、一种由陶瓷材料制作敏感器件的电容压力传感器,其特征在于敏感器件是由感压膜片(1)和支承底座(2)两部分组成,在平膜片上镀有圆形公共电极(3),在底座上与之相对的平面上镀有圆形电极(4)和环形电极(5),在膜片与底座之间用易熔玻璃封接。
2、根据权利要求1所述的传感器,其特征在于所述的膜片是采用95A1203瓷,底座的材料是采用75A1203瓷。
3、根据权利要求1 所述的传感器,其特征在于形成金属银层电极的底座上用25-40μ的云母片与膜片间隔开、保证电容间隙。
4、根据权利要求1所述的传感器,其特征在于所述的易熔玻璃(6)是选用TF01铅玻璃。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN 87209178 CN87209178U (zh) | 1987-06-17 | 1987-06-17 | 耐高温抗振型电容压力传感器 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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CN 87209178 CN87209178U (zh) | 1987-06-17 | 1987-06-17 | 耐高温抗振型电容压力传感器 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
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CN87209178U true CN87209178U (zh) | 1987-12-30 |
Family
ID=4824314
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
CN 87209178 Ceased CN87209178U (zh) | 1987-06-17 | 1987-06-17 | 耐高温抗振型电容压力传感器 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
CN (1) | CN87209178U (zh) |
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