JPS6332333A - 圧力測定缶 - Google Patents
圧力測定缶Info
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- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 23
- 239000012528 membrane Substances 0.000 claims description 15
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 claims description 9
- 229910010293 ceramic material Inorganic materials 0.000 claims description 5
- 239000011521 glass Substances 0.000 claims description 4
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims description 4
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 claims description 4
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 claims description 3
- 238000005485 electric heating Methods 0.000 claims description 2
- 238000009530 blood pressure measurement Methods 0.000 description 7
- 238000000034 method Methods 0.000 description 5
- 239000003086 colorant Substances 0.000 description 3
- 239000004020 conductor Substances 0.000 description 3
- 238000010304 firing Methods 0.000 description 3
- 239000000463 material Substances 0.000 description 3
- 238000002485 combustion reaction Methods 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 2
- 239000002241 glass-ceramic Substances 0.000 description 2
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 2
- 241000430525 Aurinia saxatilis Species 0.000 description 1
- 230000002411 adverse Effects 0.000 description 1
- 238000005219 brazing Methods 0.000 description 1
- 239000003990 capacitor Substances 0.000 description 1
- 239000000969 carrier Substances 0.000 description 1
- 238000010276 construction Methods 0.000 description 1
- 230000008878 coupling Effects 0.000 description 1
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 description 1
- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 description 1
- 230000001419 dependent effect Effects 0.000 description 1
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 1
- 238000011161 development Methods 0.000 description 1
- 230000018109 developmental process Effects 0.000 description 1
- 238000011156 evaluation Methods 0.000 description 1
- 239000000945 filler Substances 0.000 description 1
- 239000012530 fluid Substances 0.000 description 1
- PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N gold Chemical compound [Au] PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000010931 gold Substances 0.000 description 1
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000006259 organic additive Substances 0.000 description 1
- 230000001590 oxidative effect Effects 0.000 description 1
- 210000000496 pancreas Anatomy 0.000 description 1
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 1
- 230000001681 protective effect Effects 0.000 description 1
- 238000005096 rolling process Methods 0.000 description 1
- 238000007650 screen-printing Methods 0.000 description 1
- 238000005245 sintering Methods 0.000 description 1
- 238000005476 soldering Methods 0.000 description 1
- 239000007787 solid Substances 0.000 description 1
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
- G01L19/00—Details of, or accessories for, apparatus for measuring steady or quasi-steady pressure of a fluent medium insofar as such details or accessories are not special to particular types of pressure gauges
- G01L19/04—Means for compensating for effects of changes of temperature, i.e. other than electric compensation
-
- G—PHYSICS
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- G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
- G01L9/00—Measuring steady of quasi-steady pressure of fluid or fluent solid material by electric or magnetic pressure-sensitive elements; Transmitting or indicating the displacement of mechanical pressure-sensitive elements, used to measure the steady or quasi-steady pressure of a fluid or fluent solid material, by electric or magnetic means
- G01L9/0001—Transmitting or indicating the displacement of elastically deformable gauges by electric, electro-mechanical, magnetic or electro-magnetic means
- G01L9/0005—Transmitting or indicating the displacement of elastically deformable gauges by electric, electro-mechanical, magnetic or electro-magnetic means using variations in capacitance
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
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- G01L9/00—Measuring steady of quasi-steady pressure of fluid or fluent solid material by electric or magnetic pressure-sensitive elements; Transmitting or indicating the displacement of mechanical pressure-sensitive elements, used to measure the steady or quasi-steady pressure of a fluid or fluent solid material, by electric or magnetic means
- G01L9/0041—Transmitting or indicating the displacement of flexible diaphragms
- G01L9/0072—Transmitting or indicating the displacement of flexible diaphragms using variations in capacitance
- G01L9/0075—Transmitting or indicating the displacement of flexible diaphragms using variations in capacitance using a ceramic diaphragm, e.g. alumina, fused quartz, glass
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、セラミック、ガラスまたはほうろう引きされ
た金属から成る板片状基板の前面の縁区域に固定的に結
合されるセラミック材料から成り圧力に関係して変形可
能な膜を有する、特に市両用内燃磯関の吸入空気圧力の
検出用圧力測定子に関する。
た金属から成る板片状基板の前面の縁区域に固定的に結
合されるセラミック材料から成り圧力に関係して変形可
能な膜を有する、特に市両用内燃磯関の吸入空気圧力の
検出用圧力測定子に関する。
このような公知の圧力測定缶は、その構造が非常に簡単
で、多量に安価に製造できるが、温度が測定結果に不利
な影響を及ぼすという欠点をもっている。
で、多量に安価に製造できるが、温度が測定結果に不利
な影響を及ぼすという欠点をもっている。
本発明の課題は、このような欠点のない圧力測定缶を提
供することである。
供することである。
この課題を解決するため本発明によれば、基板の裏面に
電気加熱抵抗体が設けられている。
電気加熱抵抗体が設けられている。
本発明による圧力測定缶は、基板が埼−な温度に保持さ
れるので、信号の処理および評価への温度の影響が回避
されるという利点をもっている。
れるので、信号の処理および評価への温度の影響が回避
されるという利点をもっている。
特許請求の範囲の従属項にあげた手段によって、特許請
求の範囲第１項に示した特徴の有利な展開と改良が可能
である。例えば基板の前面に大きい温度係数の抵抗体を
設けて、加熱抵抗体の電流用側ｗＪ素子として利用し、
それにより周囲温度の変動の際基板の特に精確な一定温
度を得るのがよい。
求の範囲第１項に示した特徴の有利な展開と改良が可能
である。例えば基板の前面に大きい温度係数の抵抗体を
設けて、加熱抵抗体の電流用側ｗＪ素子として利用し、
それにより周囲温度の変動の際基板の特に精確な一定温
度を得るのがよい。
本発明の実施例が図面に示されており、以下これについ
て説明する。
て説明する。
第１図に断面で示す圧力？ｌ！Ｉ定缶の実施例では、セ
ラミック、ガラスまたは表面にほうろう引きされた金属
板片から成る約１ｃｒＩｔの大きさの板片状長方形基板
ｌ上には、厚膜技術の印刷−焼成法で作られるかまたは
蒸着される金属層４が設けられて、間隔をおいて設けら
れた膜２により覆われている。膜２は約６０ｐｍの厚さ
で、約０．５ｃｍの直径をもち、なるべくペーストとし
てスクリン印刷法で設けられるガラスセラミックから成
るセラミック材料からできている。圧力測定色の範囲で
膵２と金屑層４との間に空所を維持できるよにするため
、例えば有機添加物を含む・謀から成る充填材３が印刷
される。続いて約９５０°Ｃの温度で保護ガス雰囲気中
で行なわれる焼結過程で、この充填材３により、圧力測
定色の範囲で８］刷された膜２のセラミック材料が基板
ｌに結合するのを防止され、同時に膜２のセラミック材
料が変形可能な固体素地となるように焼結する。酸化性
雰囲気中における第２の焼成過程で、充填材３が残渣な
しに燃焼するが、その際重要なことは、ガラスセラミッ
クから成る膜２が充分薄く作られ、かさすぎない気孔率
をもつことである。続く印刷−焼成過程で片持ち膜２が
所望の厚さに厚くされ、別の層６例えば無定形ガラス層
を設けることにより、生ずる空隙が気密に閉じられる。
ラミック、ガラスまたは表面にほうろう引きされた金属
板片から成る約１ｃｒＩｔの大きさの板片状長方形基板
ｌ上には、厚膜技術の印刷−焼成法で作られるかまたは
蒸着される金属層４が設けられて、間隔をおいて設けら
れた膜２により覆われている。膜２は約６０ｐｍの厚さ
で、約０．５ｃｍの直径をもち、なるべくペーストとし
てスクリン印刷法で設けられるガラスセラミックから成
るセラミック材料からできている。圧力測定色の範囲で
膵２と金屑層４との間に空所を維持できるよにするため
、例えば有機添加物を含む・謀から成る充填材３が印刷
される。続いて約９５０°Ｃの温度で保護ガス雰囲気中
で行なわれる焼結過程で、この充填材３により、圧力測
定色の範囲で８］刷された膜２のセラミック材料が基板
ｌに結合するのを防止され、同時に膜２のセラミック材
料が変形可能な固体素地となるように焼結する。酸化性
雰囲気中における第２の焼成過程で、充填材３が残渣な
しに燃焼するが、その際重要なことは、ガラスセラミッ
クから成る膜２が充分薄く作られ、かさすぎない気孔率
をもつことである。続く印刷−焼成過程で片持ち膜２が
所望の厚さに厚くされ、別の層６例えば無定形ガラス層
を設けることにより、生ずる空隙が気密に閉じられる。
変形可能で負圧または正圧を受ける膜２は、可変空気コ
ンデンサの一部を形成する。このため膜２上に印刷導体
面５が設けられて、金ｉＺ４と共にコンデンサを形成し
ている。
ンデンサの一部を形成する。このため膜２上に印刷導体
面５が設けられて、金ｉＺ４と共にコンデンサを形成し
ている。
測定される圧力値を精確に求めて処理するために、基板
ｌを一定温度に保つのがよい。この目的のため特に第４
図かられかるように、基板の下面に加熱抵抗体７が設け
られて、印刷導体端子８に接続されている。この加熱抵
抗体７により基板１を、現われる最高周囲温度以上にあ
る温度例えば９０°Ｃの温度に加熱して、この温度に保
つことができる。加熱抵抗体７は膜２とは反対にある基
板の側すなわち下面に大きい面積で設けられている。基
板の上面したがって膜２のある側には、膜のすぐ近くに
、大きい温度係数をもつ１つまたは複数の温度センサ１
０が印刷されている。）この温度センサは加熱低流体７
中の電流の制？Ｉ！Ｊ素子として利用されるので、変動
する周囲温度でも基板の一定温度が得られる。第４図は
基板の下面を示し、ここに加熱抵抗体７の面が記入され
ている５電流は印刷導体端子８をもつろう付は面を介し
て供給される。
ｌを一定温度に保つのがよい。この目的のため特に第４
図かられかるように、基板の下面に加熱抵抗体７が設け
られて、印刷導体端子８に接続されている。この加熱抵
抗体７により基板１を、現われる最高周囲温度以上にあ
る温度例えば９０°Ｃの温度に加熱して、この温度に保
つことができる。加熱抵抗体７は膜２とは反対にある基
板の側すなわち下面に大きい面積で設けられている。基
板の上面したがって膜２のある側には、膜のすぐ近くに
、大きい温度係数をもつ１つまたは複数の温度センサ１
０が印刷されている。）この温度センサは加熱低流体７
中の電流の制？Ｉ！Ｊ素子として利用されるので、変動
する周囲温度でも基板の一定温度が得られる。第４図は
基板の下面を示し、ここに加熱抵抗体７の面が記入され
ている５電流は印刷導体端子８をもつろう付は面を介し
て供給される。
第２図には圧力測定色の感圧抵抗体（圧力センサ）が１
１で示されている。第３図には９でろう付は面と熊手状
接続片が示されている。
１で示されている。第３図には９でろう付は面と熊手状
接続片が示されている。
さらに本発明による装置は、圧力センサ１１と温度セン
サ１０を隣接して基板上に設けることができるので、両
者の間に温度差が実際上ないという利点をもっている。
サ１０を隣接して基板上に設けることができるので、両
者の間に温度差が実際上ないという利点をもっている。
加熱抵抗体と温度センサと圧力センサとの熱的結合は、
これらがすべて同じ基板に設けられているので、最適で
ある。基板の熱抵担と熱容量は少ないので、加熱電力は
小さい。
これらがすべて同じ基板に設けられているので、最適で
ある。基板の熱抵担と熱容量は少ないので、加熱電力は
小さい。
第１図による実施例は容量的に動作する圧力測定色であ
る。異なる検出中心軸線をもつ圧力測定色、例えば膜内
にある感圧紙担体でも、抵抗体の撓みはもちろん可能で
ある。
る。異なる検出中心軸線をもつ圧力測定色、例えば膜内
にある感圧紙担体でも、抵抗体の撓みはもちろん可能で
ある。
【図面の簡単な説明】
第１図は圧力測定色の垂直断面図、第２図は圧力測定色
の簡略化した平面図、第３図は圧力測定色の概略側面図
、第４図は圧力測定色の基板の下面図である。 １・・・基板、２・・・膜、７・・・加熱延払体。 ＦＩＧ、Ｉ ＦＩＧ、２
の簡略化した平面図、第３図は圧力測定色の概略側面図
、第４図は圧力測定色の基板の下面図である。 １・・・基板、２・・・膜、７・・・加熱延払体。 ＦＩＧ、Ｉ ＦＩＧ、２
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １ セラミック、ガラスまたはほうろう引きされた金属
から成る板片状基板（１）の前面の縁区域に固定的に結
合されるセラミック材料から成り圧力に関係して変形可
能な膜（２）を有するものにおいて、基板（１）の裏面
に電気加熱抵抗体（７）が設けられていることを特徴と
する、圧力測定缶。 ２ 加熱抵抗体が基板（１）に印刷されていることを特
徴とする、特許請求の範囲第１項に記載の圧力測定缶。 ３ 基板（１）の前面において膜（２）外に、加熱抵抗
体用電流を制御する大きい温度係数の少なくとも１つの
感温抵抗体が設けられていることを特徴とする、特許請
求の範囲第１項または第２項に記載の圧力測定缶。
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| DE3528520.6 | 1985-08-08 | ||
| DE19853528520 DE3528520A1 (de) | 1985-08-08 | 1985-08-08 | Druckmessdose |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6332333A true JPS6332333A (ja) | 1988-02-12 |
Family
ID=6278063
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP61174007A Pending JPS6332333A (ja) | 1985-08-08 | 1986-07-25 | 圧力測定缶 |
Country Status (4)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US4711130A (ja) |
| JP (1) | JPS6332333A (ja) |
| DE (1) | DE3528520A1 (ja) |
| IT (1) | IT1189546B (ja) |
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5980664A (en) * | 1997-04-28 | 1999-11-09 | Wilson, Sr.; Jack H. | Pavement marking material and method of marking pavement |
| JP2000321161A (ja) * | 1999-05-14 | 2000-11-24 | Anelva Corp | 静電容量型真空センサ |
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| DE3634742A1 (de) * | 1986-10-11 | 1988-04-21 | Bosch Gmbh Robert | Druckmessdose |
| US4823230A (en) * | 1988-03-04 | 1989-04-18 | General Electric Company | Pressure transducer |
| DE4031791A1 (de) * | 1990-10-08 | 1992-04-09 | Leybold Ag | Sensor fuer ein kapazitaetsmanometer |
| US5317920A (en) * | 1991-06-07 | 1994-06-07 | Maclean-Fogg Company | Resistive strain gauge pressure sensor with increased sensitivity |
| US5473938A (en) * | 1993-08-03 | 1995-12-12 | Mclaughlin Electronics | Method and system for monitoring a parameter of a vehicle tire |
| US5585554A (en) * | 1994-10-31 | 1996-12-17 | Handfield; Michael | System and method for monitoring a pneumatic tire |
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| US7161476B2 (en) | 2000-07-26 | 2007-01-09 | Bridgestone Firestone North American Tire, Llc | Electronic tire management system |
| US6698294B2 (en) * | 2000-09-07 | 2004-03-02 | Vega Grieshaber Kg | Pressure cell with temperature sensors and pressure measuring method |
| DE10227479A1 (de) * | 2002-06-19 | 2004-01-08 | Endress + Hauser Gmbh + Co. Kg | Druckmeßgerät |
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| DE102008033337A1 (de) * | 2008-07-16 | 2010-01-21 | Endress + Hauser Gmbh + Co. Kg | Druckmittler und Druckmessgerät mit einem solchen Druckmittler |
| US20160264403A1 (en) * | 2015-03-12 | 2016-09-15 | Freescale Semiconducto, Inc. | Sensor device with multi-stimulus sensing and method of fabrication |
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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| US3715638A (en) * | 1971-05-10 | 1973-02-06 | Bendix Corp | Temperature compensator for capacitive pressure transducers |
| US4198868A (en) * | 1979-02-12 | 1980-04-22 | Rockwell International Corporation | Strain gauge apparatus and means for treating temperature dependency |
| DE3008572C2 (de) * | 1980-03-06 | 1982-05-27 | Robert Bosch Gmbh, 7000 Stuttgart | Druckmeßdose |
| US4481497A (en) * | 1982-10-27 | 1984-11-06 | Kulite Semiconductor Products, Inc. | Transducer structures employing ceramic substrates and diaphragms |
| GB8314846D0 (en) * | 1983-05-27 | 1983-07-06 | Bell & Howell Co | Temperature controlled electronic devices |
-
1985
- 1985-08-08 DE DE19853528520 patent/DE3528520A1/de not_active Ceased
-
1986
- 1986-06-13 IT IT20777/86A patent/IT1189546B/it active
- 1986-06-30 US US06/880,006 patent/US4711130A/en not_active Expired - Fee Related
- 1986-07-25 JP JP61174007A patent/JPS6332333A/ja active Pending
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5980664A (en) * | 1997-04-28 | 1999-11-09 | Wilson, Sr.; Jack H. | Pavement marking material and method of marking pavement |
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Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| DE3528520A1 (de) | 1987-02-19 |
| IT1189546B (it) | 1988-02-04 |
| IT8620777A0 (it) | 1986-06-13 |
| IT8620777A1 (it) | 1987-12-13 |
| US4711130A (en) | 1987-12-08 |
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