CN2912878Y - 环形锯丝线锯床 - Google Patents

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Abstract

本实用新型涉及一种环形锯丝线锯床，主要有底座、水盘、电机、工作台、锯丝、导轮和机体组成，水盘设在底座上，机体安装在水盘上，在机体的侧面上安装有呈三角形状分布的三个导轮，环形无缝锯丝绕在三个导轮的外面，与导轮在机体同一侧面上设有锯丝张紧调节装置，在机体正面与锯丝相对应位置设有工作台，在机体的正面下部和背面上部分别设有伺服电机和主电机。工作时，通过调节锯丝张紧调节装置将锯丝涨紧，电机通过皮带传动使环形锯丝单方向运动，调整皮带在塔式带轮上位置，或者更换带轮，可改变传动速度大小，适应不同加工方式和不同硬度的零件。本实用新型适合于硬脆材料的切片加工，如：硅晶体切片试验。

Description

环形锯丝线锯床
技术领域
本实用新型涉及一种机床设备，具体地说是一种能够消除切割速度变化对加工表面粗糙度及表面损伤层影响的环形锯丝线锯床。
背景技术
我们知道，目前绝大部分集成电路的芯片都要采用硅材料。芯片的制造包括：切片、研磨、抛光等机械加工过程。其切片工序要求有好的面形、细的表面粗糙度。Φ200mm以下小直径硅晶体切片，普遍采用金刚石内径切片机。但是，随着硅片直径的增大，内径切片机不适合大直径硅晶体切割。对于大直径硅晶体切割，一般采用往复式线锯切割。由于线锯是往复式运动，速度变化会在切割表面上留下波纹，降低表面加工质量。
发明内容
本实用新型为克服上述现有技术的不足，提供一种结构简单、使用方便、能够消除切割速度变化对加工表面粗糙度及表面损伤层影响的环形锯丝线锯床。
本实用新型的目的是采用下述技术方案实现的：一种环形锯丝线锯床，主要有底座、水盘、电机、工作台、锯丝、导轮和机体组成，水盘安装在底座上，机体安装在水盘上，在机体的侧面上安装有呈三角形状分布的三个导轮，环形无缝锯丝绕在三个导轮的外面，在机体同一侧面上设有锯丝张紧调节装置，在机体正面与锯丝相对应位置设有工作台，在机体的正面上部和背面下部分别设有主电机和伺服电机。
所述的导轮通过主轴安装在机体侧面上，主轴支承采用两个角接触球轴承背对背安装。
所述的锯丝张紧调节装置是杠杆加力机构，其包括有涨紧轮、加力砝码、加力杆、摆动摇臂，摆动摇臂的两端分别与涨紧轮和加力杆铰接，加力杆的另一端设置加力砝码。
在机体上设有配重。
主电机通过皮带与导轮同轴的皮带轮相连接。
伺服电机与滚珠丝杠机构相连接，滚珠丝杠机构与工作台相连接。
本实用新型采用在机体侧面安装有呈三角形状分布的三个导轮和锯丝张紧调节装置，锯丝绕在导轮的外面。将三个导轮主轴全部安装在一个机体零件上，完全由加工设备的精度保证三轴之间的平行度，减小因装配造成的误差。三个导轮的主轴支承采用两个角接触球轴承背对背安装配合使用，装配时修磨轴承内隔套轴向尺寸调节轴承间隙，可以提高主轴的回转精度及精度保持性。一般情况下，增大锯丝的涨紧力，可减小锯丝的振幅；但涨紧力过大，又会使锯丝变形过大，减短其使用寿命，本实用新型使用杠杆加力机构，可以定量调节锯丝涨紧力的大小。工作时，通过调节锯丝张紧调节装置将锯丝涨紧，电机通过皮带传动使环形锯丝单方向运动，调整皮带在塔式带轮上位置，或者更换带轮，可改变传动速度大小，适应不同加工方式和不同硬度的零件。本实用新型的进给驱动有两种方式：一种是伺服电机驱动滚珠丝杠机构，带动工作台进给运动，进给速度可自动调节；另一种是加载恒力驱动工作台，即将滚珠丝杠轴端定位连接脱开，配重可直接驱动工作台，根据需要，可选择合适的重量。本实用新型适合于硬脆材料的切片加工，如：硅晶体切片试验，验证各种工艺参数对切割过程的影响，进一步完善线锯床设计及制造技术，从而形成系列化产品。
附图说明
图1为本实用新型结构示意图；
图2为本实用新型导轮轴结构示意图；
图3为本实用新型锯丝张紧调节装置结构示意图。
图中1.底座，2.水盘，3.伺服电机，4.工作台，5.锯丝，6.导轮，7.机体，8.锯丝张紧调节装置，9.主电机，10.配重，11.主轴，12.角接触球轴承，13.内隔套，14.涨紧轮，15.加力砝码，16.加力杆，17.摆动摇臂。
具体实施方式
下面结合附图和实施例对本实用新型进一步说明。
实施例：结构如图1所示，水盘2安装在底座1上，机体7安装在水盘2上，在机体1的侧面上安装有呈三角形状分布的三个导轮6，环形无缝锯丝5绕在三个导轮6的外面，与导轮6在机体7同一侧面上设有锯丝张紧调节装置8，如图3所示，加力砝码15使摆动摇臂17顺时针转动，涨紧轮14将锯丝5张紧。改变加力砝码15的质量，可定量调节张紧力，在机体7正面与锯丝5相对应位置设有工作台4，在机体7的正面下部和背面上部分别设有伺服电机3和主电机9。在机体7上设有配重10。如图2所示，导轮6的主轴11支承采用两个角接触球轴承12背对背安装配合使用，装配时修磨轴承内隔套13轴向尺寸调节轴承间隙，可以提高主轴的回转精度及精度保持性。本实用新型的进给驱动有两种方式：一种是伺服电机3驱动滚珠丝杠机构，带动工作台4进给运动，进给速度可自动调节；另一种是加载恒力驱动工作台，即将滚珠丝杠轴端定位连接脱开，配重可直接驱动工作台，根据需要，可选择合适的重量。

Claims (6)

1.一种环形锯丝线锯床，其特征在于：主要有底座、水盘、电机、工作台、锯丝、导轮和机体组成，水盘安装在底座上，机体安装在水盘上，在机体的侧面上安装有呈三角形状分布的三个导轮，环形无缝锯丝绕在三个导轮的外面，与导轮在机体同一侧面上设有锯丝张紧调节装置，在机体正面与锯丝相对应位置设有工作台，在机体的正面下部和背面上部分别设有伺服电机和主电机。
2.根据权利要求1所述的环形锯丝线锯床，其特征在于：所述的导轮通过主轴安装在机体侧面上，主轴支承采用两个角接触球轴承背对背安装。
3.根据权利要求1所述的环形锯丝线锯床，其特征在于：所述的锯丝张紧调节装置是杠杆加力机构，其包括有涨紧轮、加力砝码、加力杆、摆动摇臂，摆动摇臂的两端分别与涨紧轮和加力杆铰接，加力杆的另一端设置加力砝码。
4.根据权利要求1所述的环形锯丝线锯床，其特征在于：在机体上设有配重。
5.根据权利要求1所述的环形锯丝线锯床，其特征在于：主电机通过皮带与导轮同轴的皮带轮相连接。
6.根据权利要求1所述的环形锯丝线锯床，其特征在于：伺服电机与滚珠丝杠机构相连接，滚珠丝杠机构与工作台相连接。
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