CN2626593Y

CN2626593Y - 外气水洗装置

Info

Publication number: CN2626593Y
Application number: CN 03261727
Authority: CN
Inventors: 杨政谕
Original assignee: Yaxiang Engineering Co ltd
Current assignee: L&K Engineering (Suzhou) Co., Ltd.
Priority date: 2003-05-26
Filing date: 2003-05-26
Publication date: 2004-07-21
Anticipated expiration: 2013-05-26

Abstract

本实用新型涉及一种外气水洗装置，特别是指一种做为例如无尘室使用且大幅提升其水洗空气的洗涤效果的外气水洗装置，其包括：一洗滤单元、分别设置于该洗滤单元两侧的两温控单元及分别设置于该两温控单元相对外侧的前、后空调箱，该洗滤单元则包括第一、二水洗组、第一、二挡水体、第一、二容器及第一泵体，该第一、二水洗组、挡水体四者是设置于第一容器上，该第一泵体是连接于第一水洗组与第一容器间，借以利用脏水来洗脏污的空气，而该容装纯水的第二容器则连接于该第二水洗组，借以直接利用极干净的纯水来洗干净的空气，而使水中含气体的浓度绝不致于达到临界，该洗滤单元能形成逆向流的洗涤模式。

Description

外气水洗装置

技术领域

本实用新型涉及一种外气水洗装置，特别是指一种能将外界空气净化到适用于例如无尘室使用且大幅提升其水洗空气的洗条效果、洗涤效率并进而省水、省电与降低成本的外气水洗装置。

背景技术

芯片在生产过程中的环境要求，是相当严苛的，除了必须精确的控制温度、湿度以外，还必须达到无尘标准及免于化学物质的干扰，因此必须对空气(指所输入的外界空气，即：外气)品质进行严格的控管。

请参阅图1、图2所示，即为目前用以严格控管外气品质的外气水洗装置，该外气水洗装置1包括一洗滤单元15、分别设置于该洗滤单元15两相对侧的两盘管单元13、14、及分别设置于该两盘管单元13、14相对外侧的前、后空调箱11、12。其中，该前、后空调箱11、12是用以抽、送外界空气，该两盘管单元13、14是用以适度的调节空气温度，至于该洗滤单元15则包括：一具有多数喷嘴1511的水洗组151，一用以过滤、拦截脏污的蜂巢板152、一用以回收水而提供再利用的第一容器154、一借由管路1531、1532而连接于所述水洗组151与第一容器154间的第二泵体153、一用以先行储存纯水的第二容器155、及一借由管路157、158而连接于所述第一、二容器154、155间的第一泵体156，故该第二泵体153可借由第一容器154所回收的水而提供该水洗组151的喷水供应，借以使空气含水而达到所需湿度要求，还能达到洗涤空气、并使其洗涤后的水可被第一容器154所回收的目的，而第一泵体156则能将第二容器155内的纯水补入第一容器154之内，借以稀释该第一容器154内的脏污浓度。如此，以便外界空气具有一定的洁净度，而适用于无尘室，并利于芯片或半导体等的生产、制造。

但是，现今半导体制程不断朝向纳米化发展，不但已由过往的0.18μm而至0.13μm，甚至于还发展到90nm，因此，其对于无机性气体的防污染要求程度亦相对愈高，然而前述的外气水洗装置1，其洗滤单元15的第一泵体156是将第二容器155内的纯水补入第一容器154之内，而其第二泵体153则使用该第一容器154内的回收水来供其水洗组151喷水，因此，其是利用脏污的水来洗脏污的空气，所述空气的洁净度当然会无法提升。请参阅图3所示的浓度变化趋势的简要示意图(其中，A：出口，B：入口，C：被洗下的空气浓度，D：水中含气体的浓度，Y：浓度)，即揭示了所述洗滤单元15的前端(入口)、后端(出口)间的“被洗下的空气浓度”是愈来愈低，而“水中含气体(指可溶于水的气体)的浓度”则愈来愈高，并终将导致其水中含气体的浓度达到临界而无法再洗去空气中的脏污，水洗的洗涤效果乃大打折扣，影响空气的洁净度。

同时，基于成本的考虑，还必须有效降低其在用水与运转上的成本，但是该公知的外气水洗装置1，其为了能够加强其洗涤的空气的洗净效果，因此其水洗组151的喷水量必然极大，相对使其第二泵体153的耗电量大增，造成浪费水、浪费电的缺点。

发明内容

本实用新型的主要目的是提供一种外气水洗装置，其具有的第二水洗组是使用纯水净化空气，并形成逆向流的洗涤模式，以有效的大幅提升其水洗的洗涤效果，并能达到既省水又省电以降低成本的功效。

为达上述的目的，本实用新型可通过如下措施实现：

一种外气水洗装置，包括：一洗滤单元、设置于该洗滤单元两侧的两温控单元、及分别设置于该两温控单元外侧的前、后空调箱；

该洗滤单元则包括：

一第一挡水体；

一第一水洗组，其具有多个喷水器；

一第二水洗组，其具有多个喷水器；

一第一容器，回收来自于所述第一、二水洗组与第一挡水体的水；

一第一泵体，其连接于所述第一水洗组与第一容器之间，并对该第一水洗组供水；及

一第二容器，其内容装干净的水且连接于所述的第二水洗组，并对该第二水洗组供水。

所述的外气水洗装置中，该第一水洗组是设置于该第一挡水体的前侧，该第二水洗组则设置于该第一挡水体的后侧。

所述的外气水洗装置中，该洗滤单元是进一步增设一第二挡水体，该第二挡水体是设置于该洗滤单元的最后侧。

所述的外气水洗装置中，该第一、二水洗组及第一、二挡水体，是设置于所述第一容器之上。

所述的外气水洗装置中，该第一、二水洗组的喷水器的喷水方向，是为：与空气成顺向、与空气成逆向、由上往下喷水及由下往上喷水的多种方式的不规则配置运用。

所述的外气水洗装置中，该第二容器是为一设置于高处的重力式供水装置。

所述的外气水洗装置中，该洗滤单元是进一步包括一第二泵体，该第二泵体是连接于所述第二容器与第二水洗组之间，并对该第二水洗组供水。

所述的外气水洗装置中，该第一、二水洗组是为单排的型式。

所述的外气水洗装置中，该第一、二水洗组是进一步为多排的型式。

所述的外气水洗装置中，该第一、二挡水体是为蜂巢板。

所述的外气水洗装置中，该第一、二挡水体是为挡水帘。

所述的外气水洗装置中，该喷水器是为喷嘴。

所述的外气水洗装置中，该第二容器内是容装纯水。

本实用新型的优点在于：

本实用新型的第二水洗组是直接利用高纯度的纯水来进行喷水，因此可有效提升其水洗的洗涤效果。本实用新型位于前端的第一水洗组是利用第一容器内所回收的脏污的水来洗脏污的空气，而其位于后端的第二水洗组却是直接以极干净的纯水来洗干净的空气，因此其水中含气体的浓度乃绝不致于达到临界。本实用新型借由逆向流的洗涤模式，除能更进一步大幅提升其洗涤效果以外，还能减少前端第一水洗组的喷水量，而同时达到省水、省电的功效，并因此而提升其水洗的洗涤效率且还能降低成本。

附图说明

图1为公知外气水洗装置的立体示意图；

图2为公知外气水洗装置中的洗滤单元的示意图；

图3为公知外气水洗装置中的洗滤单元的浓度变化趋势的简要示意图；

图4为本实用新型外气水洗装置的立体示意图；

图5为本实用新型外气水洗装置中的洗滤单元的示意图；

图6为本实用新型外气水洗装置中的洗滤单元的浓度变化趋势的简要示意图；

图7为本实用新型外气水洗装置中的洗滤单元的另一实施例示意图。

附图标记说明：

公知

1 外气水洗装置

11 前空调箱 12 后空调箱

13 盘管单元 14 盘管单元

15 洗滤单元 151 水洗组 1511 喷嘴

152 蜂巢板

153 第二泵体 1531 管路

1532 管路

154 第一客器

155 第二容器 157 管路

156 第一泵体 158 管路

本实用新型

2 前空调箱

3 后空调箱

4 温控单元

5 控单元

6 洗滤单元

61 第一水洗组 611 喷水器

62 第一挡水体

63 第二水洗组 631 喷水器

64 第二挡水体

65 第一容器

66 第二容器

67 第二泵体 671 管路 672 管路

68 第一泵体 681 管路 682 管路

具体实施方式

请参阅图4、图5所示，本实用新型是提供一种外气水洗装置，包括：一洗滤单元6、分别设置于该洗滤单元6两相对侧的两温控单元4、5，及分别设置于该两温控单元4、5相对外侧的前、后空调箱2，3。其中，所述前、后空调箱2、3是用以抽、送外界空气，该两可为冷却盘管的温控单元4、5是为用以适度调节空气的温度。

至于该洗滤单元6则包括各具有多个喷水器611、631的第一、二水洗组61、63、用以过滤，拦截脏污的第一、二挡水体62、64、一用以回收水而提供再利用的第一容器65、一用以循环供水的第一泵体68、一用以供应纯水的第二泵体67、及一储存有纯水的第二容器66。

其中，该第一、二水洗组61、63及第一、二挡水体62、64除均设置于所述第一容器65上方以外，还彼此交叉设置。而所述的第一泵体68是借由管路681、682而连接于该第一水洗组61与第一容器65之间，所述的第二泵体67则借由管路671、672而连接于该第二水洗组63与第二容器66之间。如此，即能利用高纯度的纯水来供第二水洗组63直接喷出干净的水雾，本实用新型即是借由该第二水洗组63的设置于所述洗滤单元6的后端，而使该洗滤单元6形成逆向流的洗涤模式。

请参阅图6所示的本实用新型浓度变化趋势的简要示意图(其中，A：出口，B：入口，C：被洗下的空气浓度，D：水中含气体的浓度，Y：浓度)，其揭示了所述洗滤单元6的前、后端(入、出口)间的“被洗下的空气浓度”是愈来愈低，但是，“水中含气体的浓度”却是逆向愈来愈高，因此本实用新型的第一水洗组61是利用第一容器65内所回收的脏污的水来洗“脏污的空气”，而其第二水洗组63却是直接以极干净的纯水来洗“干净的空气”，则其水中含气体的浓度乃不断被直接稀释而绝不致于达到临界，并借以使本实用新型洗滤单元6形成逆向流的洗涤模式。

所述的洗滤单元6虽在上述具体实施例中是包括了第一、二水洗组61、63、第一、二挡水体62、64、第一、二容器65、66及第一、二泵体68、67，但此只是为较佳的实施型态，实际上该第二挡水体64亦可不设置。

所述的第一、二水洗组61、63，其喷水方向均可为顺或逆向，如图5所示的该第一、二水洗组61、63即分别为与空气成顺、逆向喷水，而如图7所示则分别为与空气成顺、顺向喷水，本实用新型并不限定该第一水洗组61一定要顺向喷水，亦不限定其第二水洗组63一定要逆向喷水，换言之，本实用新型的第一、二水洗组61、63的喷水方向，均可为：由上往下喷水、由下往上喷水、与空气成顺向喷水、或与空气成逆向喷水，还可分别为：一上(下)喷而另一下(上)喷、或一顺(逆)向喷水而另一逆(顺)向喷水，甚至还能混合配置运用(图未示)。

所述的第二容器66除能如上述借由第二泵体67来提供该第二水洗组63的喷水供应外，还能在不使用该第二泵体67的情况下，将该第二容器66设于高处而利用重力原理来提供该第二水洗组63的喷水供应(图未示)。

所述的第一、二水洗组61、63除可为如上述的单排型式外，还可进一步为多排的型式(图未示)。所述的第一、二挡水体62、64，其可为蜂巢板或挡水帘。而所述的喷水器611，631是可为喷嘴。本实用新型的优点在于：

一、本实用新型的第二水洗组63是直接利用高纯度的纯水未进行喷水，因此可有效提升其水洗的洗涤效果。

二、本实用新型位于前端的第一水洗组61是利用第一容器65内所回收的脏污的水来洗脏污的空气，而其位于后端的第二水洗组63却是直接以极干净的纯水来洗干净的空气，因此其水中含气体的浓度乃绝不致于达到临界，本实用新型的洗滤单元6乃形成逆向流的洗涤模式，并借以更进一步大幅提升其洗涤效果。

三、本实用新型借由可成为逆向流的洗涤模式，除能更进一步大幅提升其洗涤效果以外，还能减少前端第一水洗组61的喷水量，而同时达到省水、省电的功效，并因此而提升其水洗的洗涤效率且还能降低成本。

综上所陈，本实用新型所提供的一种外气水洗装置，确可解决先前技术的洗涤效果不佳、洗涤效率不佳、浪费水且浪费电的缺点，实属于一具有高度实用价值的实用新型产品。

以上所述，仅是本实用新型的一较佳可行的实施例，并非因此即局限本实用新型的权利范围，凡运用本实用新型说明书及图式内容所作的等效结构变化，均应包含于本实用新型所要保护的权利范围内。

Claims

1、一种外气水洗装置，包括：一洗滤单元、设置于该洗滤单元两侧的两温控单元、及分别设置于该两温控单元外侧的前、后空调箱；

其特征在于该洗滤单元则包括：

一第一挡水体；

一第一水洗组，其具有多个喷水器；

一第二水洗组，其具有多个喷水器；

2、如权利要求1所述的外气水洗装置，其特征在于该第一水洗组是设置于该第一挡水体的前侧，该第二水洗组则设置于该第一挡水体的后侧。

3、如权利要求1或2所述的外气水洗装置，其特征在于该洗滤单元是进一步增设一第二挡水体，该第二挡水体是设置于该洗滤单元的最后侧。

4、如权利要求3所述的外气水洗装置，其特征在于该第一、二水洗组及第一、二挡水体，是设置于所述第一容器之上。

5、如权利要求1所述的外气水洗装置，其特征在于该第一、二水洗组的喷水器的喷水方向，是为：与空气成顺向、与空气成逆向、由上往下喷水及由下往上喷水的多种方式的不规则配置运用。

6、如权利要求1所述的外气水洗装置，其特征在于该第二容器是为一设置于高处的重力式供水装置。

7、如权利要求1所述的外气水洗装置，其特征在于该洗滤单元是进一步包括一第二泵体，该第二泵体是连接于所述第二容器与第二水洗组之间，并对该第二水洗组供水。

8、如权利要求1所述的外气水洗装置，其特征在于该第一、二水洗组是为单排的型式。

9、如权利要求1所述的外气水洗装置，其特征在于该第一、二水洗组是进一步为多排的型式。

10、如权利要求1所述的外气水洗装置，其特征在于该第一、二挡水体是为蜂巢板。

11、如权利要求1所述的外气水洗装置，其特征在于该第一、二挡水体是为挡水帘。

12、如权利要求1所述的外气水洗装置，其特征在于该喷水器是为喷嘴。

13、如权利要求1所述的外气水洗装置，其特征在于该第二容器内是容装纯水。