CN2314365Y - 半导体光学测量真空辅助低温装置 - Google Patents
半导体光学测量真空辅助低温装置 Download PDFInfo
- Publication number
- CN2314365Y CN2314365Y CN 97246539 CN97246539U CN2314365Y CN 2314365 Y CN2314365 Y CN 2314365Y CN 97246539 CN97246539 CN 97246539 CN 97246539 U CN97246539 U CN 97246539U CN 2314365 Y CN2314365 Y CN 2314365Y
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- vacuum
- low temperature
- specimen chamber
- steel container
- utility
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Images
Landscapes
- Investigating, Analyzing Materials By Fluorescence Or Luminescence (AREA)
Abstract
一种半导体光学测量真空辅助低温装置,属于光学测试辅助设备。由聚四氟乙烯盖(11)密封并装有间隙为6mm的上下两个导光玻璃窗口(8、9)把真空样品室(4)密封,间隙中装有电阻加热丝(10)保证玻璃窗口不结霜,样品室(4)与无氧铜散热器做成一体,并放入有夹层真空的不锈钢容器(2)中形成样品(7)的低温,从而实现了样品的现场光学测量。本装置价格低,易制作,方便实用适于在低温状态下各种低温光学***使用。
Description
本实用新型属于半导体光学测试辅助设备，具体地讲是一种方便进行光学测量的真空辅助低温装置。
在有些半导体材料及器件的光-荧光测量中，为了获得表征其特征的参数和曲线，通常需要所测样品保持在液氮温度下，在光-荧光测量中现场(in situ)完成。目前，除了使用进口温控装置外，一般是把样品直接浸泡在杜瓦瓶的液氮里，在测量过程中每隔几分种就要用电吹风吹化杜瓦瓶测壁小窗口上的霜来测量。液氮的补充也是手工操作，需把盖子拿下补充液氮。这种简便设备，这种测量方法使得样品很难保持测量温度，测量需断续进行。
本设计的目的是采用无氧铜散热器并制成带双层光学窗口的真空样品室实现了光-荧光的现场测量。
本设计的主要技术特征是将上部做成为敞口圆筒形真空样品室(4)，下部为同心园柱的无氧铜散热器(3)，通过绝热硬质泡沫盖(12)同心地放入带真空夹层的不锈钢容器(2)中，真空样品室(4)的中心突台(6)上放置样品(7)，其一侧并向外连通有真空管路(5)，通过真空油脂密封在真空样品室(4)的上方盖有下层导光玻璃窗口(9)，置放有上层导光玻璃窗口(8)和电阻加热丝(10)的聚四氟乙烯盖(11)通过螺纹与真空样品室(4)密封联结，穿过绝热硬质泡沫盖(12)开有连通不锈钢容器(2)的放气孔(13)和补充液氮孔(14)。
下面配合附图，详细描述本设计的特征及操作。
附图是本设计真空辅助低温装置的结构示意图，也是摘要附图。
图中：1．外壳、2．带真空夹层的不锈钢容器、3．无氧铜散热器、
4．真空样品室、5．真空管路、6．突台、7．样品、
8．上层导光玻璃窗口、9．下层导光玻璃窗口、10．电阻加热丝、
11．聚四氟乙烯盖、12．绝热硬质泡沫盖、13．放气孔、
14．补充液氮孔
本设计采用带外壳(1)的真空夹层不锈钢容器(2)，其上口，密封的盖有绝热硬质泡沫塑料的盖(12)保证了液氮温度，防止了多余的热交换，无氧铜制成的散热器(3)，通过绝热硬质泡沫盖(12)，装入不锈钢容器(2)中，由于(3)的下部是园柱形的导热极好的材质，故可将低温很好的传递到与(3)做成一体的开口园筒状的真空样品室(4)中，与(3)做成一体的突台(6)和样品(7)上。密封盖在样品室(4)顶上的上层导光玻璃窗口(8)用聚四氟乙烯盖(11)通过螺丝与样品室(4)连接压紧并密封，上层导光玻璃窗口(9)和电阻加热丝(10)密封安装在聚四氟乙烯盖(11)的上部，并使两层导光玻璃窗口之间有一定空间。通过绝热硬质泡沫盖(12)开出的补充液氮孔(14)、放气孔(13)直接与不锈钢容器(2)连通，连接真空样品室(4)的真空管路可由真空泵抽真空并保持在10-3乇。
本设计的一个实施例如下：上、下层导光玻璃窗口采用k9玻璃，直径为30毫米，厚为1.5毫米，两层玻璃窗之间间距为6毫米，电阻加热丝为2欧姆电阻，无氧铜散热器直径为20毫米，突台直径10毫米，台高5毫米，真空样品室直径30毫米，壁厚2毫米，抽真室至10-3乇，直流15V加热电阻丝，功率为112瓦。
本设计的真空辅助低温装置可用在各种低温光学测量***配合光学仪器进行现场测量，是一种廉价、简便、实用性极强的低温装置。
Claims (1)
1、一种半导体光学测量真空辅助低温装置，包括有外部套有保温外壳(1)的带真空夹层的园桶形不锈钢容器(2)，绝热硬质泡沫盖(12)，补充液氮孔(14)以及放气孔(13)等，其特征在于将上部做成为敞口园筒形真空样品室(4)，下部为同心园柱的无氧铜散热器(3)，通过绝热硬质泡沫盖(12)同心地放入带真空夹层的不锈钢容器(2)中，真空样品室(4)的中心突台(6)上放置样品(7)，(4)的一侧向外连通有真空管路(5)，通过油脂密封在真空样品室(4)的上方盖有下层导光玻璃窗口(9)，置放有上层导光玻璃窗口(8)和电阻加热丝(10)的聚四氟乙烯盖(11)通过螺纹与真空样品室(4)密封连接，穿过绝缘硬质泡沫盖(12)开有连通不锈钢容器(2)的放气孔(13)和补充液氮孔(14)。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN 97246539 CN2314365Y (zh) | 1997-12-27 | 1997-12-27 | 半导体光学测量真空辅助低温装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN 97246539 CN2314365Y (zh) | 1997-12-27 | 1997-12-27 | 半导体光学测量真空辅助低温装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN2314365Y true CN2314365Y (zh) | 1999-04-14 |
Family
ID=33954709
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN 97246539 Expired - Fee Related CN2314365Y (zh) | 1997-12-27 | 1997-12-27 | 半导体光学测量真空辅助低温装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN2314365Y (zh) |
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN102636256A (zh) * | 2012-04-12 | 2012-08-15 | 南京大学 | 可移动式低温弱光检测***及检测方法 |
| CN105299439A (zh) * | 2015-09-16 | 2016-02-03 | 浙江大学 | 可拆卸低温流体可视化视窗、装置和容器 |
| EP3133384A3 (de) * | 2015-07-28 | 2017-05-17 | Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. | Vorrichtung und verfahren zur thermo-optischen untersuchung von proben |
| CN107064004A (zh) * | 2017-06-08 | 2017-08-18 | 东北石油大学 | 一种液体介质低温环境下光学特性测量光学腔 |
| CN108896495A (zh) * | 2018-09-14 | 2018-11-27 | 贵州电网有限责任公司 | 一种环保绝缘气体与金属相容性试验模拟装置及试验方法 |
| CN110132925A (zh) * | 2019-06-03 | 2019-08-16 | 河海大学 | 一种泵浦-探测时间分辨荧光***样品环境温度调节装置 |
| CN113884062A (zh) * | 2021-09-24 | 2022-01-04 | 中国科学院电工研究所 | 一种液氦温度下大温差温度保持装置 |
-
1997
- 1997-12-27 CN CN 97246539 patent/CN2314365Y/zh not_active Expired - Fee Related
Cited By (11)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN102636256A (zh) * | 2012-04-12 | 2012-08-15 | 南京大学 | 可移动式低温弱光检测***及检测方法 |
| EP3133384A3 (de) * | 2015-07-28 | 2017-05-17 | Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. | Vorrichtung und verfahren zur thermo-optischen untersuchung von proben |
| CN105299439A (zh) * | 2015-09-16 | 2016-02-03 | 浙江大学 | 可拆卸低温流体可视化视窗、装置和容器 |
| CN105299439B (zh) * | 2015-09-16 | 2018-06-19 | 浙江大学 | 可拆卸低温流体可视化视窗、装置和容器 |
| CN107064004A (zh) * | 2017-06-08 | 2017-08-18 | 东北石油大学 | 一种液体介质低温环境下光学特性测量光学腔 |
| CN107064004B (zh) * | 2017-06-08 | 2019-08-23 | 东北石油大学 | 一种液体介质低温环境下光学特性测量光学腔 |
| CN108896495A (zh) * | 2018-09-14 | 2018-11-27 | 贵州电网有限责任公司 | 一种环保绝缘气体与金属相容性试验模拟装置及试验方法 |
| CN108896495B (zh) * | 2018-09-14 | 2024-04-12 | 贵州电网有限责任公司 | 一种环保绝缘气体与金属相容性试验模拟装置及试验方法 |
| CN110132925A (zh) * | 2019-06-03 | 2019-08-16 | 河海大学 | 一种泵浦-探测时间分辨荧光***样品环境温度调节装置 |
| CN113884062A (zh) * | 2021-09-24 | 2022-01-04 | 中国科学院电工研究所 | 一种液氦温度下大温差温度保持装置 |
| CN113884062B (zh) * | 2021-09-24 | 2024-06-11 | 中国科学院电工研究所 | 一种液氦温度下大温差温度保持装置 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| CN2314365Y (zh) | 半导体光学测量真空辅助低温装置 | |
| CN104458798B (zh) | 一种高压低温导热系数、传热系数的原位测试方法 | |
| Grigoryev et al. | Surface tension of normal pentane, hexane, heptane, and octane | |
| CN110577025B (zh) | 用于土壤样品的保存装置 | |
| CN102305804A (zh) | 一种高温超导材料超导转变温度测量装置及测量方法 | |
| CN112485198A (zh) | 一种高低温原位光谱反应池 | |
| CN105044142B (zh) | 一种宽温区可控的材料热物性测量*** | |
| CN110501368A (zh) | 一种用于气体与固体材料相容性的热电联合试验装置 | |
| CN110702599B (zh) | 一种顶部腐蚀监测实验***及监测方法 | |
| CN107035675A (zh) | 真空绝热保护的小型低温液体泵性能测试*** | |
| CN101856630B (zh) | 超流氦恒温浴装置 | |
| CN207379686U (zh) | 真空堵头真空密封性能试验装置 | |
| CN206420683U (zh) | 一种用于空气氚化水的便携式取样装置 | |
| CN2844905Y (zh) | 低温现场红外反射光谱电化学池 | |
| CN210376204U (zh) | 一种液氦贮存以及液氦温区下多层绝热材料测试的装置 | |
| CN109799163B (zh) | 一种用于物理吸附仪的制冷装置及无需使用制冷剂的物理吸附仪 | |
| CN200942930Y (zh) | 一种恒温真空贮物器械 | |
| Morrison et al. | The measurement of the thermal properties of gases and vapours adsorbed on solid surfaces | |
| CN100497123C (zh) | 一种恒温真空贮物器械 | |
| CN206911370U (zh) | 一种检验样本低温储存柜 | |
| CN217171684U (zh) | 一种土壤采样用存储装置 | |
| CN201874567U (zh) | 煤层、页岩含气量测试多样品实验箱 | |
| CN212539407U (zh) | 一种紫外线试验设备 | |
| CN207650179U (zh) | 一种新能源气体检测装置 | |
| CN217084320U (zh) | 一种食品和化妆品检测取样装置 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| C14 | Grant of patent or utility model | ||
| GR01 | Patent grant | ||
| C19 | Lapse of patent right due to non-payment of the annual fee | ||
| CF01 | Termination of patent right due to non-payment of annual fee |