CN2232922Y

CN2232922Y - 多功能真空镀膜装置

Info

Publication number: CN2232922Y
Application number: CN 95216406
Authority: CN
Inventors: 袁哲; 张树林
Original assignee: Individual
Current assignee: Individual
Priority date: 1995-07-13
Filing date: 1995-07-13
Publication date: 1996-08-14
Anticipated expiration: 2005-07-13

Abstract

一种多功能真空镀膜装置，包括真空室2和工件小车。真空室2上面装有与抽真设备连接的法兰1，后面有转动装置4、电极导入装置5和充气口6，前面设有密封门23。真空室2内侧壁上装有8-30个电弧蒸发源3。根据不同用途，工件小车构造有所区别。镀制塑料件的小车13和多离子弧镀制瓷砖及金属件的小车16均带有可以公转和自转的工件架14。镀制较长零件的工件小车20具有横向放置的长形的并可公转和自转的工件架22。本实用新型功能多，既可镀幕墙玻璃，又可镀制塑料件、陶瓷件和各种金属件。

Description

多功能真空镀膜装置

本实用新型涉及表面涂覆设备，尤其是一种利用电阻蒸发源和电弧蒸发源的多功能真空镀膜装置。

近几年，随着高档建筑的发展，幕墙玻璃得到广泛应用。电阻蒸发型玻璃镀膜设备由于造价低、操作简单、随之得到迅速发展。但是，建筑业，尤其是高档建筑的进展是受多种因素制约的，如气候等，使用幕墙玻璃的建筑更是如此。在建筑淡季时，对幕墙玻璃的需求大大减少，大多数玻璃镀膜厂家停产，致使这些大型镀膜设备搁置，既占较大面积，又要占用大量人力、物力、给厂家造成负担。

本实用新型的目的是针对目前生产幕墙玻璃设备存在的功能单一这一问题，提供一种既能利用电阻蒸发源镀制大的幕墙玻璃，又能利用电阻蒸发源镀制塑料等小型零件，也可以利用电弧蒸发源镀制瓷砖、不锈钢等金属零件。

本实用新型是这样实现的：多功能真空镀腊膜装置包括真空室、工件架小车。真空室上面具有抽真空装置连结的法兰。真空室的后侧具有将电源接入真空室的电极导入装置。比外，真空室的后侧上方有一个转动装置，和与该转动装置转动轴相连的曲拐。真空室后侧有一个充气口。电极导入装置具有一个低电压大电流的电源接头和一个连续可调的偏压直流电源。真空室的侧壁固定有电弧蒸发源。

电弧蒸发源可为直径60-120mm的小弧源，也可为直径200-400mm的大弧源，或为长400-1200mm、宽150-300mm的大面积矩形弧源，蒸发源一般为8-30个。

一种工件小车上装有能够公转和自转的工件架。工件架中间装有导电杆。导电杆之间安装电阻蒸发源。工件小车后侧下面有一个将电源引入的电极触头。工件小车后侧上方有一个由真空室中曲拐带动的拨叉。拨叉固定在齿轮Z1的转轴上。齿轮Z1与Z2啮合，Z3与Z4啮合，Z5与Z6啮合。

一种工件小车上装有能够公转和自转的工件架。工件架的主动齿轮轴上装有拨叉。工件架中间装有电阻加热器。工件小车后侧下面有一个导电触头。导电触头上的两个触头分别通过导电片与工件架相连和通过导电片与电阻加热器相连。

另一种工件小车装有一个横向纵长的能够公转和自转的工件架。工件小车后侧下方有一个通过导电片与工件架相连的导电触头。工件小车后侧上方有一个与齿轮Z7转轴固定的拨叉，齿轮Z7与Z8啮合，Z9与Z10啮合。

本实用新型的优点是只需对现有幕墙玻璃镀设备加以改进，就可实现一机多用，既可镀制幕墙玻璃，又可利用电阻蒸发镀制塑料材质的小型工件，还可利用多弧离子镀镀制陶瓷件，不锈钢镜面板和各种金属零部件。

图1是本实用新型真空室结构图；

图2是真空室的侧视图；

图3是镀制幕墙玻璃的工件小车结构图；

图4是镀制塑料件的工件小车结构图；

图5是用多弧离子镀镀制瓷砖及金属件的工件小车结构图；

图6是镀制较大较长零件的工件小车结构图。

下面结合附图所示的实施例对本实用新型作进一步说明：

如图1、图2所示，多功能真空镀膜装置的真空室2上部为与抽真空装置相连的法兰1，后侧上方具有一个转动装置4，后侧下方具有电极导入装置5和充气口6，转动装置4可以用变速电机或常规的减速器。转动装置的转轴上有一个曲拐24。电极导入装置5上设有两个电极触头，一个为电弧蒸发源用的触头，一个为偏压电源用的触头。真空室2的内侧壁设有电弧蒸发源3。真空室2前部为密封门23。真空室2内装有工件小车用导轨25。

在进行幕墙玻璃镀膜时，将如图3所示的装有平板玻璃7的工件小车8推入真空室2中。小车上的电极触头9与真空室的电极导入装置5上的电源触头接触，通过导电杆10将电阻蒸发源11通电加热，这样在真状态下，装入电阻蒸发源内的镀膜材料26被熔化蒸发，附着在玻璃上形成的所需膜层。

图4是利用电阻蒸发源镀制塑料件用工件小车。小车上装有能公转和自转的工件架14，工件架通过伞齿轮Z1、Z2，直齿轮Z3、Z4、Z5、Z6实现公转和自转运动。将装有被镀工件12的工件小车13推入真空室2后，装在伞齿轮Z1轴上的拨叉15与真空室2上转动装置4的曲拐24联动使公件架公转并自转。电阻蒸发源11通过导电杆10、电极触头9与真空室2上的电极导入装置5接触获得电能，对工件蒸发镀膜。

参照图5，在利用多弧离子镀镀制瓷砖、不锈钢镜面板及金属零件时，将装有零件12的工件架小车16推入真空室2中，小车上装有能公转和自转的工件架14。通过导电片17和导电极9与电极导入装置5的偏压电极触头给工件施加一定的直流负偏压。小车上还装有电阻加热装置18，给被镀工件加热。加热电源通过导电片19、导电触头9与电源导入装置5的电源触头接触获得。在进行离子镀膜过程中，通过充气孔6向真空室2内通入反应气体，使之与被蒸发的材料反应生成所需膜层。在镀膜过程中通过拨叉15与传动装置4的曲拐24衔接，使工件架14旋转，获得均匀一致的镀膜。

如图6所示，镀制较长的零件可将工件小车20制成长形的，以便装夹长形零件21。小车的工件架22可进行自转和公转，自转和公转通过相互啮合的齿轮Z7、Z8和Z9和Z10获得。转动装置4的动力通过曲拐24、拨叉15传动齿轮Z7的轴上。工件21通过导电片17、导电触头9及电极导入装置5的偏压电源触头获得直流负偏压。

本实用新型中，电弧蒸发源用低电压大电流的直流电弧电源，如天津振华电设备厂产的直流电弧电源；偏压电源为0-1000V的连续可调直流电源，电流为0-50A，大连生产。

使用本实用新型只需更换不同的工件架就可实现多种材质、多种工件的镀膜要求，达到了用一台设备代替几台设备的目的。通过调整不同的镀膜工艺就可镀制也多种所要求的颜色的膜层，既提高了设备利用率，提高了效率，又节省了大量人力、物力。

Claims

1、一种多功能真空镀膜装置，包括真空室、工件架小车，其特征在于真空室上面具有与真空装置连结的法兰；真空室的后侧具有将电源接入真空室的电极导入装置；真空室的后侧上方有一个转动装置和与该转动装置转动轴相连的曲拐；真空室后侧有一个充气口；电极导入装置具有一个低电压大电流的电源接头和一个连续可调的偏压直流电源；真空室的侧壁固定有电弧蒸发源。

2、根据权利要求1所述的多功能真空镀膜装置，其特征在于电弧蒸发源可为直径60-120mm的小弧源；直径200-400mm的大弧源；长400-1200mm、宽150-300mm的大面积矩形弧源；蒸发源一般为8-30个。

3、根据权利要求1所述的多功能真空镀膜装置，其特征在于所述的工件小车，其上装有能够公转和自转的工件架；工件架中间装有导电杆；导电杆之间安装电阻蒸发源；工件小车后侧下面有一个将电源引入的电极触头；工件小车后侧上方有一个由真空室中曲拐带动的拨叉；拨叉固定在齿轮Z1的转轴上；齿轮Z1与Z2啮合，Z3与Z4啮合，Z5与Z6啮合。

4、根据权利要求1所述的多功能真空镀膜装置，其特征在于所述的工件小车，其上装有能够公转和自转的工件架；工件架的主动齿轮轴上装有拨叉；工件架中间装有电阻加热器；工件小车后侧下面有一个导电触头；导电触头上的两个触头分别通过导电片与工件架相连和通过导电片与电阻加热器相连。

5、根据权利要求1所述的多功能真空镀膜装置，其特征在于所述的工件小车，其上装有一个横向纵长的能够公转和自转的工件架；工件小车后侧下方有一个通过导是电片与工件架相连的导电触头；工件小车后侧止方有一个与齿轮Z7转轴固定的拨叉；齿轮Z7与Z8啮合，Z9与Z10啮合。