CN221240364U - 检测装置 - Google Patents

Abstract

本申请涉及一种检测装置。包括：基座；支撑机构，所述支撑机构设置在所述基座上并包括支撑台，所述支撑台用于承载带待检测的工件；及检测机构，所述检测机构设置在所述基座上并包括检测驱动组件、检测台和多个检测头，所述检测驱动组件与所述检测台连接并驱动所述检测台沿X轴方向运动，所述检测头固定在所述检测头上，且多个所述检测头沿X轴方向间隔设置；当所述检测台沿X轴方向运动时，多个所述检测头依次对工件的不同参数进行检测。如此一方面将省去对工件进行多次定位和卸载的时间，另一方面也省去工件的转移时间，从而延减少工件的检测时间，最终提高工件的检测效率。

Description

检测装置

技术领域

本申请涉及检测技术领域，特别是涉及一种检测装置。

背景技术

发光芯片可以用于信号传输，使得发光芯片在通讯技术领域有着极为广泛的应用。一般地，需要通过检测装置对发光功率和光谱等参数进行检测，以便测试发光芯片是否合格。但是，对于传统的检测装置，将使得发光芯片的检测时间延长，从而存在检测效率偏低的缺陷。

发明内容

本申请解决的一个技术问题是如何提高检测装置的检测效率。

一种检测装置，包括：

基座；

支撑机构，所述支撑机构设置在所述基座上并包括支撑台，所述支撑台用于承载带待检测的工件；及

检测机构，所述检测机构设置在所述基座上并包括检测驱动组件、检测台和多个检测头，所述检测驱动组件与所述检测台连接并驱动所述检测台沿X轴方向运动，所述检测头固定在所述检测头上，且多个所述检测头沿X轴方向间隔设置；当所述检测台沿X轴方向运动时，多个所述检测头依次对工件的不同参数进行检测。

在其中一个实施例中，所述检测驱动组件包括检测驱动器和检测滑块，所述检测驱动器设置在所述基座上，所述检测滑块与所述基座沿X轴方向滑动连接，所述检测驱动器驱动所述检测滑块运动，所述检测台能够与所述检测滑块连接。

在其中一个实施例中，所述检测机构还包括检测微调组件，所述检测微调组件连接在所述检测台和所述检测滑块之间，所述检测微调组件用于驱动所述检测台沿X轴方向、Y轴方向和Z轴方向运动以对所述检测台的位置进行微调。

在其中一个实施例中，所述支撑台上开设有真空孔，所述真空孔能够产生真空以用于将工件吸附在支撑台上。

在其中一个实施例中，所述支撑机构还包括第一支撑驱动器、第二支撑驱动器和支撑滑块，所述第一支撑驱动器设置在所述基座上并用于驱动所述支撑滑块运动，所述支撑滑块沿Y轴方向与所述基座滑动连接；所述支撑台与所述支撑滑块沿X轴方向滑动连接，所述第二支撑驱动器设置在所述支撑滑块上并用于驱动所述支撑台滑动。

在其中一个实施例中，所述支撑机构还包括控温器，所述控温器设置在支撑台上并用于调节工件的温度。

在其中一个实施例中，还包括加电机构，所述加电机构包括加电台、探针和加电微调组件，所述加电微调组件设置在所述基座上，所述加电台与所述加电微调组件连接，所述探针设置在所述加电台上并用于对工件加电，所述加电微调组件用于驱动所述加电台沿X轴方向、Y轴方向和Z轴方向运动以对所述探针的位置进行微调。

在其中一个实施例中，还包括视觉机构，所述视觉机构包括视觉微调组件和相机，所述视觉微调组件设置在所述基座上，所述相机设置在所述视觉微调组件上，所述视觉微调组件用于驱动所述相机沿X轴方向、Y轴方向和Z轴方向运动以对所述相机的位置进行微调，所述相机用于对所述探针采集图像。

在其中一个实施例中，所述基座采用大理石材料制成。

在其中一个实施例中，所述支撑台和所述检测台沿Y轴方向间隔设置。

本申请的一个实施例的一个技术效果是：鉴于检测台沿X轴方向运动并使多个检测头依次对工件的不同参数进行检测，使得当其中一个检测头对工件的一个参数检测完毕之后，通过检测驱动组件带动检测台运动小段距离，使得与该检测头相邻的下一个检测头运动到与工件相对的位置以便能接收工件的光线，继而使得下一个检测头能够对工件的另外一个参数进行检测。因此，当全部检测头经过该工件后，可以使得全部检测头对工件所对应的所有参数进行检测。在工件的检测过程中，工件始终固定在支撑台上而无需相对支撑台产生多次装载和卸载，如此一方面将省去对工件进行多次定位和卸载的时间，另一方面也省去工件的转移时间，从而延减少工件的检测时间，最终提高工件的检测效率。

附图说明

图1为一实施例提供的检测装置的立体结构示意图。

图2为图1所述检测装置中支撑机构的立体结构示意图。

图3为图1所述检测装置中检测机构的立体结构示意图。

图4为图1所述检测装置中加电机构的立体结构示意图。

图5为图1所述检测装置中视觉机构的立体结构示意图。

具体实施方式

为使本申请的上述目的、特征和优点能够更加明显易懂，下面结合附图对本申请的具体实施方式做详细的说明。在下面的描述中阐述了很多具体细节以便于充分理解本申请。但是本申请能够以很多不同于在此描述的其它方式来实施，本领域技术人员可以在不违背本申请内涵的情况下做类似改进，因此本申请不受下面公开的具体实施例的限制。

在本申请的描述中，需要理解的是，若有出现这些术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”、“顺时针”、“逆时针”、“轴向”、“径向”、“周向”等，这些术语指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本申请和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本申请的限制。

此外，若有出现这些术语“第一”、“第二”，这些术语仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括至少一个该特征。在本申请的描述中，若有出现术语“多个”，“多个”的含义是至少两个，例如两个，三个等，除非另有明确具体的限定。

在本申请中，除非另有明确的规定和限定，若有出现术语“安装”、“相连”、“连接”、“固定”等，这些术语应做广义理解。例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系，除非另有明确的限定。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本申请中的具体含义。

在本申请中，除非另有明确的规定和限定，若有出现第一特征在第二特征“上”或“下”等类似的描述，其含义可以是第一和第二特征直接接触，或第一和第二特征通过中间媒介间接接触。而且，第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”可是第一特征在第二特征正上方或斜上方，或仅仅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”可以是第一特征在第二特征正下方或斜下方，或仅仅表示第一特征水平高度小于第二特征。

需要说明的是，若元件被称为“固定于”或“设置于”另一个元件，它可以直接在另一个元件上或者也可以存在居中的元件。若一个元件被认为是“连接”另一个元件，它可以是直接连接到另一个元件或者可能同时存在居中元件。如若存在，本申请所使用的术语“垂直的”、“水平的”、“上”、“下”、“左”、“右”以及类似的表述只是为了说明的目的，并不表示是唯一的实施方式。

参阅图1、图2和图3，本申请一实施例中提供的一种检测装置10用于对发光芯片为代表的工件20进行检测，例如可以对发光芯片的发光功率和光谱两个参数进行检测。检测装置10包括基座100、支撑机构200、检测机构300、加电机构400和视觉机构500。支撑机构200、检测机构300、加电机构400和视觉机构500四者均设置在基座100上，基座100可以作为支撑机构200、检测机构300、加电机构400和视觉机构500四者的承载载体，支撑机构200、检测机构300、加电机构400和视觉机构500四者均设置在基座100厚度方向上的同一表面。

参阅图1和图2，在一些实施例中，支撑机构200包括第一支撑驱动器210、第二支撑驱动器220、支撑台230和支撑滑块240。第一支撑驱动器210设置在基座100上，支撑滑块240与基座100滑动连接，支撑滑块240能够相对基座100沿Y轴方向往复滑动，第一支撑驱动器210为支撑滑块240的运动提供动力，使得第一支撑驱动器210驱动支撑滑块240相对基座100沿Y轴方向往复滑动。第二支撑驱动器220设置在支撑滑块240上，支撑台230与支撑滑块240滑动连接，支撑台230能够相对支撑滑块240沿X轴方向往复滑动，第二支撑驱动器220为支撑台230的运动提供动力，使得第二支撑驱动器220驱动支撑台230相对支撑滑块240沿X轴方向往复滑动。因此，在第一支撑驱动器210和第二支撑驱动器220的共同作用下，可以使得支撑台230相对基座100沿X轴方向和Y轴方向运动，从而调节支撑台230在X轴方向和Y轴方向上的位置。第一支撑驱动器210和第二支撑驱动器220均可以为直线模组。

待检测的工件20放置在支撑台230上，支撑台230上开设有真空孔231，当工件20放置在支撑台230上时，工件20将覆盖真空孔231，此时可以对真空孔231进行抽真空处理，从而使得真空孔231产生真空，继而使得工件20在真空的作用下固定在支撑台230上，以便检测机构300对工件20进行检测。支撑台230上可以承载多个工件20，多个工件20可以沿X轴方向呈直线排列。

参阅图1和图2，支撑机构200还可以包括控温器250，控温器250可以为TEC(Thermo-Electric Cooler)控温器250，控温器250设置在支撑台230上。控制器可以进行制热，也可以制冷，从而使得控温器250对支撑台230的温度进行调节，使得工件20在所需的环境温度下进行检测，提高检测精度。

参阅图1和图3，在一些实施例中，检测机构300包括检测驱动组件310、检测台320、检测头330和检测微调组件340。检测驱动组件310包括检测驱动器311和检测滑块312，检测驱动器311设置在基座100上，检测驱动器311可以为气缸，检测滑块312与基座100滑动连接，使得检测滑块312可以相对基座100沿沿X轴方向往复滑动，检测驱动器311用于为检测滑块312提供电力，使得检测驱动器311驱动检测滑块312相对基座100沿X轴方向往复滑动。检测微调组件340连接在检测台320和检测滑块312之间，检测微调组件340用于驱动检测台320沿X轴方向、Y轴方向和Z轴方向运动以对检测台320在三维空间内的位置进行微调，检测微调组件340可以为手动千分尺。因此，通过检测驱动组件310的作用，可以使得检测台320相对基座100沿X轴方向做长距离运动，而检测微调组件340驱动检测台320沿X轴方向做小距离的运动，显然，检测微调组件340驱动检测台320沿X轴方向的距离远远小于检测驱动组件310驱动检测台320沿X轴方向的距离。

在一些实施例中，检测头330的数量为多个，例如检测头330的数量可以为两个。多个检测头330沿X轴方向间隔设置在检测台320上，不同检测头330用于对工件20的不同参数进行检测。在检测头330为两个的情况下，其中一个检测头330可以用于对工件20的发光功率进行检测，另外一个检测头330可以对工件20的光谱进行检测。检测台320和支撑台230可以沿Y轴方向间隔设置，以便检测头330对工件20进行检测。

在检测过程中，通过检测驱动组件310带动检测台320运动到与工件20对应的位置，并通过检测微调组件340驱动检测台320运动以对其中一个检测头330的位置进行微调，使得该检测头330能够接收到工件20所发出的光线。当其中一个检测头330对工件20的一个参数检测完毕之后，通过检测驱动组件310带动检测台320运动小段距离，使得与该检测头330相邻的下一个检测头330运动到与工件20相对的位置以便能接收工件20的光线，继而使得下一个检测头330能够对工件20的另外一个参数进行检测。因此，当全部检测头330经过该工件20后，可以使得全部检测头330对工件20所对应的参数进行检测。

假如采用不同的检测装置10对工件20的不同参数进行检测的模式，当工件20的一个参数检测完毕之后，需要工件20转移至下一个检测装置10进行下一个参数的检测，故工件20需要在不同的检测装置10之间进行转移，如此一方面将需要对工件20进行多次定位和卸载，从而增加定位和卸载时间，另一方面也将增加转移时间，从而延长工件20的检测时间，最终降低工件20的检测效率。

而对于上述实施例中的检测装置10，工件20在检测台320上可以固定不动即可完成不同参数的检测，并且在对不同参数进行检测的切换过程中，无需将工件20进行转移，从而可以省去工件20的定位和卸载时间，也节省了工件20的转移时间，最终提高检测装置10的检测效率。

可以理解，可以在支撑台230上设置多个工件20，多个工件20沿X轴方向排列在支撑台230上，当检测头330沿X轴方向运动时，当一个检测头330对一个工件20进行检测时，可以使得其他的检测头330对其他的不同工件20进行检测，故多个检测头330可以同时对不同工件20进行检测，如此可以消除等待时间，从而进一步提高检测装置10的检测效率。故当全部检测头330沿X轴方向经过支撑台230上的全部工件20后，全部工件20将检测完毕。通过支撑台230沿X轴方向和Y轴方向上的运动，可以提高工件20与各个检测头330的对位精度和对位效率，以便检测头330能够准确接收到工件20的合理强度的光线，从而提高检测效率和检测精度。

参阅图1和图4，在一些实施例中，加电机构400包括加电台410、探针420和加电微调组件430，加电微调组件430设置在基座100上，加电台410与加电微调组件430连接，探针420设置在加电台410上并用于对工件20加电，加电微调组件430用于驱动加电台410沿X轴方向、Y轴方向和Z轴方向运动以对探针420的位置进行微调，加电微调组件430可以为手动千分尺。通过手动调节的方式可以对加电微调组件430进行调节，从而使得加电微调组件430驱动加电台410运动以对探针420的位置进行微调，确保探针420运动到指定位置以准确接触工件20的加电部位，提高探针420对工件20加电的稳定性和可靠性。

参阅图1和图5，在一些实施例中，视觉机构500包括视觉微调组件510和相机520，视觉微调组件510设置在基座100上，相机520设置在视觉微调组件510上，视觉微调组件510用于驱动相机520沿X轴方向、Y轴方向和Z轴方向运动以对相机520的位置进行微调，相机520用于对探针420采集图像。视觉微调组件510可以为手动千分尺，通过对视觉微调组件510进行手动调节，可以对相机520的空间位置进行精确调定，以便相机520能够准确采集到探针420的图像，确保探针420在正确的位置与工件20的加电部位接触以对工件20进行加电，进一步提高探针420对工件20加电的稳定性和可靠性。

在一些实施例中，基座100可以采用大理石材料制成。基座100具有合理的厚度和重量，使得基座100起到良好的震动吸收和隔离作用，避免检测头330因在检测过程中产生摇摆而无法准确接收到工件20的光线，从而提高检测头330在检测过程中的平稳性，最终提高检测头330和整个检测装置10的检测精度。

需要说明的是，X轴方向、Y轴方向和Z轴方向为空间直角坐标系的三根坐标轴所代表的方向。X轴方向和Y轴方向可以理解为水平面内垂直的两个方向，Z轴方向则可以理解为垂直水平面的竖直方向。

以上所述实施例的各技术特征可以进行任意的组合，为使描述简洁，未对上述实施例中的各个技术特征所有可能的组合都进行描述，然而，只要这些技术特征的组合不存在矛盾，都应当认为是本说明书记载的范围。

以上所述实施例仅表达了本申请的几种实施方式，其描述较为具体和详细，但并不能因此而理解为对申请专利范围的限制。应当指出的是，对于本领域的普通技术人员来说，在不脱离本申请构思的前提下，还可以做出若干变形和改进，这些都属于本申请的保护范围。因此，本申请专利的保护范围应以所附权利要求为准。

Claims (10)

1.一种检测装置，其特征在于，包括：

基座；

支撑机构，所述支撑机构设置在所述基座上并包括支撑台，所述支撑台用于承载带待检测的工件；及

检测机构，所述检测机构设置在所述基座上并包括检测驱动组件、检测台和多个检测头，所述检测驱动组件与所述检测台连接并驱动所述检测台沿X轴方向运动，所述检测头固定在所述检测头上，且多个所述检测头沿X轴方向间隔设置；当所述检测台沿X轴方向运动时，多个所述检测头依次对工件的不同参数进行检测。

2.根据权利要求1所述的检测装置，其特征在于，所述检测驱动组件包括检测驱动器和检测滑块，所述检测驱动器设置在所述基座上，所述检测滑块与所述基座沿X轴方向滑动连接，所述检测驱动器驱动所述检测滑块运动，所述检测台能够与所述检测滑块连接。

3.根据权利要求2所述的检测装置，其特征在于，所述检测机构还包括检测微调组件，所述检测微调组件连接在所述检测台和所述检测滑块之间，所述检测微调组件用于驱动所述检测台沿X轴方向、Y轴方向和Z轴方向运动以对所述检测台的位置进行微调。

4.根据权利要求1所述的检测装置，其特征在于，所述支撑台上开设有真空孔，所述真空孔能够产生真空以用于将工件吸附在支撑台上。

5.根据权利要求1所述的检测装置，其特征在于，所述支撑机构还包括第一支撑驱动器、第二支撑驱动器和支撑滑块，所述第一支撑驱动器设置在所述基座上并用于驱动所述支撑滑块运动，所述支撑滑块沿Y轴方向与所述基座滑动连接；所述支撑台与所述支撑滑块沿X轴方向滑动连接，所述第二支撑驱动器设置在所述支撑滑块上并用于驱动所述支撑台滑动。

6.根据权利要求1所述的检测装置，其特征在于，所述支撑机构还包括控温器，所述控温器设置在支撑台上并用于调节工件的温度。

7.根据权利要求1所述的检测装置，其特征在于，还包括加电机构，所述加电机构包括加电台、探针和加电微调组件，所述加电微调组件设置在所述基座上，所述加电台与所述加电微调组件连接，所述探针设置在所述加电台上并用于对工件加电，所述加电微调组件用于驱动所述加电台沿X轴方向、Y轴方向和Z轴方向运动以对所述探针的位置进行微调。

8.根据权利要求7所述的检测装置，其特征在于，还包括视觉机构，所述视觉机构包括视觉微调组件和相机，所述视觉微调组件设置在所述基座上，所述相机设置在所述视觉微调组件上，所述视觉微调组件用于驱动所述相机沿X轴方向、Y轴方向和Z轴方向运动以对所述相机的位置进行微调，所述相机用于对所述探针采集图像。

9.根据权利要求1所述的检测装置，其特征在于，所述基座采用大理石材料制成。

10.根据权利要求1所述的检测装置，其特征在于，所述支撑台和所述检测台沿Y轴方向间隔设置。