CN221174841U - 电子元件的离线检测装置 - Google Patents

Abstract

本申请提供一种电子元件的离线检测装置，主要包括：真空电磁阀的进气口通过第一真空管路分别与第一泄压阀和真空泵的出气口连接，真空电磁阀的出气口通过第二真空管路与第二泄压阀连接；继电器的一端与PLC电连接；继电器的另一端与真空电磁阀的信号控制端电连接；调速电路的信号输入端与PLC电连接，调速电路的信号输出端与真空泵的控制端电连接；第一真空传感器的压强检测端设置于第一真空管路内，第一真空传感器的压强输出端与PLC电连接；第二真空传感器的压强检测端设置于第二真空管路内，第二真空传感器的压强输出端与PLC电连接。如此，能够检测真空电磁阀是否损坏，从而确保AIO设备中使用未损坏的真空电磁阀，继而确保AIO设备传送POD的可靠性。

Description

电子元件的离线检测装置

技术领域

本申请涉及自动控制技术领域，尤其涉及一种电子元件的离线检测装置。

背景技术

自动物料搬运***(Automatic Material Handling System，AMHS)，也被称为天车***，包括天车、轨道、载具、控制***和物料存储仓库。如果AMHS应用于半导体晶圆加工行业，那么基于AMHS可以快速准确地将物料存储仓库中的晶圆搬送到目的地。在搬送晶圆过程中，自动输入输出(Automatic Input Output，AIO)设备利用真空电磁阀开启真空负压功能后，在真空传感器检测到晶圆盒(Package Outline Drawing，POD)被负压吸盘稳定吸附的情况下，利用传送机构将POD送入或搬出物料存储仓库。

在相关技术中，由于POD底盘经常会附带颗粒污染物，堵住真空电磁阀的通气口、堵住真空传感器的压强检测端、损坏真空电磁阀、或者、损坏真空传感器，都可能导致真空负压吸盘的吸力变小，甚至可能导致无法稳定吸附POD。如果颗粒污染物堵住通气口，则对真空电磁阀和真空传感器进行清理即可。如果真空电磁阀和/或真空传感器损坏，则需要更换电磁阀和/或真空传感器。

因此，为了确保AIO设备传送POD的可靠性，如何检测真空电磁阀和/或真空传感器是否损坏成为亟待解决的问题。

实用新型内容

本申请要解决的技术问题是如何检测真空电磁阀，以及，如何检测电磁阀和真空传感器是否损坏成为亟待解决的问题。

为解决上述技术问题，本申请提供了一种电子元件的离线检测装置，包括：检测模块、真空电磁阀、真空泵、第一泄压阀和第二泄压阀，其中，所述真空电磁阀的进气口通过第一真空管路分别与所述第一泄压阀和所述真空泵的出气口连接，所述真空电磁阀的出气口通过第二真空管路与所述第二泄压阀连接；所述检测模块包括继电器、可编程逻辑控制器PLC、调速电路、第一真空传感器和第二真空传感器；所述继电器用于控制所述真空电磁阀的开启或关闭，所述继电器的一端与所述PLC电连接；所述继电器的另一端与所述真空电磁阀的信号控制端电连接；所述调速电路用于控制所述真空泵调节所述第一真空管路的管路压强，所述调速电路的信号输入端与所述PLC电连接，所述调速电路的信号输出端与所述真空泵的控制端电连接；所述第一真空传感器用于检测所述第一真空管路的管路压强，所述第一真空传感器的压强检测端设置于所述第一真空管路内，所述第一真空传感器的压强输出端与所述PLC电连接；所述第二真空传感器用于检测所述第二真空管路的管路压强，所述第二真空传感器的压强检测端设置于所述第二真空管路内，所述第二真空传感器的压强输出端与所述PLC电连接。

本申请一些实施例中，还包括：直流供电电路；所述直流供电电路为交直流转换电路，用于将标准交流电压转换为预置幅值的直流电压；所述直流供电电路与所述检测模块和所述真空泵电连接；所述直流供电电路用于为所述检测模块和所述真空泵供电。

本申请一些实施例中，还包括：第一数字真空表和第二数字真空表；所述第一数字真空表包括所述第一真空传感器，用于检测并显示所述第一真空管路的管路压强；所述第二数字真空表包括所述第二真空传感器，用于检测并显示所述第二真空管路的管路压强。

本申请一些实施例中，还包括：第一指针真空表和第二指针真空表；所述第一指针真空表设置于所述第一真空管路内，用于检测并显示所述第一真空管路的管路压强；所述第二指针真空表设置于所述第二真空管路内，用于检测并显示所述第二真空管路的管路压强。

本申请一些实施例中，还包括：第一指示灯；所述第一指示灯的一端与所述继电器的另一端电连接，所述第一指示灯的另一端与所述真空电磁阀的信号控制端电连接；所述第一指示灯用于指示所述真空电磁阀开启或关闭。

本申请一些实施例中，还包括：触控屏；所述触控屏与所述PLC电连接；所述触控屏用于接收用户输入的用于控制所述PLC的控制指令，显示所述PLC存储的数据。

本申请一些实施例中，所述第一泄压阀为电动泄压阀，所述第二泄压阀为电动泄压阀；所述第一泄压阀与所述PLC电连接；所述第二泄压阀与所述PLC电连接。

本申请一些实施例中，还包括：风扇；所述风扇与所述直流供电电路电连接。

本申请一些实施例中，还包括：气阀开关和待测真空传感器；所述气阀开关设置于所述第二真空管路和第三真空管路之间，用于控制所述第二真空管路和所述第三真空管路的连接或断开；所述待测真空传感器的压强检测端设置于所述第三真空管路内，所述待测真空传感器的压强输出端与所述PLC电连接，所述待测真空传感器用于检测所述第三真空管路的管路压强。

本申请一些实施例中，还包括：第二指示灯和吸合开关；所述第二指示灯的一端与所述直流供电电路的正极电连接，所述二指示灯的另一端与所述吸合开关的一端电连接，所述吸合开关的另一端与所述直流供电电路的负极电连接；所述吸合开关与所述待测真空传感器相贴合，在所述待测真空传感器检测到负压吸力的情况下，所述吸合开关闭合，所述第二指示灯点亮，以便于指示所述第三真空管路的存在负压。

与现有技术相比，本申请技术方案通过设计真空负压管路和检测控制电路，共同实现对所述真空电磁阀的检测。其中，真空负压管路包括所述第一真空管路和所述第二真空管路。所述真空电磁阀的进气口通过第一真空管路分别与所述第一泄压阀和所述真空泵的出气口连接，所述真空电磁阀的出气口通过第二真空管路与所述第二泄压阀连接。检测控制电路包括：继电器、可编程逻辑控制器PLC、调速电路、第一真空传感器和第二真空传感器。通过所述检测模块中的所述PLC可以设置对所述真空电磁阀进行循环检测的测量时间和循环次数，并记录循环次数、与循环次数相应地所述第一真空传感器的检测到的管路压强，以及与循环次数相应地所述第二真空传感器的检测到的管路压强，以便于追溯待测试零件(所述真空电磁阀)的检测情况。如此，通过离线检测方式检测所述真空电磁阀是否损坏，以确保AIO设备中使用未损坏的所述真空电磁阀，继而确保AIO设备传送POD的可靠性。

附图说明

以下附图详细描述了本申请中披露的示例性实施例。其中相同的附图标记在附图的若干视图中表示类似的结构。本领域的一般技术人员将理解这些实施例是非限制性的、示例性的实施例，附图仅用于说明和描述的目的，并不旨在限制本申请的范围，其他方式的实施例也可能同样的完成本申请中的发明意图。应当理解，附图未按比例绘制。

图1是根据本申请一些实施例所示的第一种电子元件的离线检测装置的结构示意图；

图2是根据本申请一些实施例所示的真空电磁阀的结构示意图；

图3是根据本申请一些实施例所示的第二种电子元件的离线检测装置的结构示意图；

图4是根据本申请一些实施例所示的第三种电子元件的离线检测装置的结构示意图；

图5是根据本申请一些实施例所示的第四种电子元件的离线检测装置的结构示意图；

图6是根据本申请一些实施例所示的第五种电子元件的离线检测装置的结构示意图；

图7是根据本申请一些实施例所示的第六种电子元件的离线检测装置的结构示意图；

图8是根据本申请一些实施例所示的第七种电子元件的离线检测装置的结构示意图；

图9是根据本申请一些实施例所示的第八种电子元件的离线检测装置的结构示意图；

图10是根据本申请一些实施例所示的第二指示灯的电路结构示意图。

具体实施方式

为了更清楚地说明本申请实施例的技术方案，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单的介绍。显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本申请的一些示例或实施例，对于本领域的普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图将本申请应用于其它类似情景。除非从语言环境中显而易见或另做说明，图中相同标号代表相同结构或操作。应该清楚地理解，附图仅用于说明和描述的目的，并不旨在限制本说明书公开的范围。

应当理解，本文使用的“模块”、“电路”是用于区分不同级别的不同组件、元件、部件、部分或装配的一种方法。然而，如果其他词语可实现相同的目的，则可通过其他表达来替换所述词语。

本申请中使用的术语仅用于描述特定示例实施例的目的，而不是限制性的。当在本说明书中使用时，术语“包括”、“包含”和/或“含有”意思是指所关联的整数，步骤、操作、元素和/或组件存在，但不排除一个或多个其他特征、整数、步骤、操作、元素、组件和/或组的存在或在该装置中可以添加其他特征、整数、步骤、操作、元素、组件和/或组。在本说明书中描述不同组件发生关联时，可以是直接的关系也可以是间接的关系。比如，“A和B连接”可以是A和B直接连接，也可以是A和B通过其他组件间接发生连接。

在相关技术中，由于POD底盘经常会附带颗粒污染物，堵住真空电磁阀的通气口、堵住真空传感器的压强检测端、损坏真空电磁阀、或者损坏真空传感器，都可能导致真空负压吸盘的吸力变小，甚至可能导致无法稳定吸附POD。如果颗粒污染物堵住通气口或压强检测端，则对真空电磁阀或真空传感器进行清理即可。如果真空电磁阀和/或真空传感器损坏，则需要更换真空电磁阀和/或真空传感器。因此，为了确保AIO设备传送POD的可靠性，如何检测真空电磁阀，如何检测真空电磁阀和真空传感器是否损坏成为亟待解决的问题。

在实际应用中，可以采用线上测试的方法检测真空电磁阀和/或真空传感器是否损坏，针对线上运行过程中出现异常情况，往往需要排查AIO设备中的很多零部件。而且，对于出现异常的零件，需要较长时间才能测试期耐久性和稳定性，导致影响线上的正常使用。因此，可以采用线下的检测方法，避免占用线上的机台资源，避免影响线上生产。采用线下的检测方法，可以对特定零件进行测量，还可以对特定零件进行时间更长的持续性和耐久性测试，以使得在相同时间内对特定零件进行更多次的检测。

基于上述分析，如图1所示，本申请实施例提供的电子元件的离线检测装置可以包括：检测模块、真空电磁阀、真空泵、第一泄压阀和第二泄压阀，其中，

所述真空电磁阀的进气口通过第一真空管路分别与所述第一泄压阀和所述真空泵的出气口连接，所述真空电磁阀的出气口通过第二真空管路与所述第二泄压阀连接；

所述检测模块包括继电器、可编程逻辑控制器PLC、调速电路、第一真空传感器和第二真空传感器；

所述继电器用于控制所述真空电磁阀的开启或关闭，所述继电器的一端与所述PLC电连接；所述继电器的另一端与所述真空电磁阀的信号控制端电连接；

所述调速电路用于控制所述真空泵调节所述第一真空管路的管路压强，所述调速电路的信号输入端与所述PLC电连接，所述调速电路的信号输出端与所述真空泵的控制端电连接；

所述第一真空传感器用于检测所述第一真空管路的管路压强，所述第一真空传感器的压强检测端设置于所述第一真空管路内，所述第一真空传感器的压强输出端与所述PLC电连接；所述第二真空传感器用于检测所述第二真空管路的管路压强，所述第二真空传感器的压强检测端设置于所述第二真空管路内，所述第二真空传感器的压强输出端与所述PLC电连接。

在本申请实施例中，如图1所示，真空负压管路包括所述第一真空管路和所述第二真空管路。所述真空电磁阀的进气口通过第一真空管路分别与所述第一泄压阀和所述真空泵的出气口连接，所述真空电磁阀的出气口通过第二真空管路与所述第二泄压阀连接。

需要说明的是，所述第一真空管路和所述第二真空管路，还可以设置扩展接口，以便于对本申请实施例提供的电子元件的离线检测装置进行扩展。

在本申请实施例中，本申请实施例提供的电子元件的离线检测装置，用于检测所述真空电磁阀是否损坏。通过所述检测模块中的所述PLC可以设置对所述真空电磁阀进行循环检测的测量时间和循环次数，并记录循环次数、与循环次数相应地所述第一真空传感器的检测到的管路压强，以及与循环次数相应地所述第二真空传感器的检测到的管路压强，以便于追溯待测试零件(所述真空电磁阀)的检测情况。所述PLC还可以设置判断规则，判断所述真空电磁阀是否发生异常(如损坏)，并记录所述真空电磁阀发生异常的告警信息。

在本申请实施例中，可以通过检测所述真空电磁阀进气口和出气口的压力差，检测所述真空电磁阀是否损坏。如图2所示，假设所述真空电磁阀处于开启状态，所述真空电磁阀的进气口的压力为A，所述真空电磁阀的出气口的压力为B，那么所述真空电磁阀的压降为A-B，若所述压降大于预置阈值，则判定所述真空电磁阀损坏。假设所述真空电磁阀处于关闭状态，若所述真空电磁阀的出气口的压力随着进气口的压力不断变化，则判定所述真空电磁阀损坏。

在本申请实施例中，所述真空电磁阀的进气口通过所述第一真空管路与所述真空泵的出气口连接。通过设置所述真空泵的工作状态，改变所述第一真空管路的管路压强。

可以理解的是，根据所述物料存储仓库的仓库压强可知，所述真空泵产生的负压能够吸附POD即可，因此，所述真空泵可以为小型真空泵。

在本申请实施例中，所述调速电路的信号输入端与所述PLC电连接，所述调速电路的信号输出端与所述真空泵的控制端电连接。所述PLC通过所述调速电路控制所述真空泵调节所述第一真空管路的管路压强。即改变所述真空电磁阀的进气口的管路压强，也就是改变所述第一真空管路的管路压强。

其中，所述第一真空管路的管路压强可以通过设置于所述第一真空管路内的所述第一真空传感器的压强检测端检测得到。所述PLC与所述第一真空传感器的压强输出端电连接，能够获取并存储所述第一真空传感器检测到的所述第一真空管路的管路压强。

可以理解的是，在针对所述真空电磁阀的一次循环测试中，可以将所述第一真空管路的管路压强，调节至所述物料存储仓库的仓库压强(如25inHg)，以使得AIO设备在仓库压强的所述物料存储仓库中，负压吸盘能够稳定吸附POD，并且能够消除负压吸盘对POD的吸附。

在本申请实施例中，在所述PLC向所述继电器发送控制信号的情况下，所述继电器用于控制所述真空电磁阀的开启或关闭。在所述继电器控制所述真空电磁阀开启的情况下，所述第一真空传感器和所述第二真空管路通过所述真空电磁阀连通。如果所述PLC通过所述调速电路控制所述真空泵调节所述第一真空管路的管路压强未发生变化，那么在所述真空电磁阀未损坏的情况下，所述第二真空管路的管路电压逐渐变化，经过预置时间(如1秒、2秒或5秒)所述第二真空管路的管路压强稳定不再变化。

在所述第二真空管路的管路压强稳定后，所述第二真空管路的管路压强可以通过设置于所述第二真空管路内的所述第二真空传感器的压强检测端检测得到。所述PLC与所述第二真空传感器的压强输出端电连接，能够获取并存储所述第二真空传感器检测到的所述第二真空管路的管路压强。

在本申请实施例中，在获取并存储所述第一真空管路的管路压强和所述第二真空管路的管路压强之后，完成一次循环测试。再通过所述PLC控制所述调速电路使得所述真空泵增大或减少所述第一真空管路的管路压强，其后，将所述第一真空管路的管路压强再次调节至所述物料存储仓库的仓库压强，开始第二次循环测试。在循环次数满足预置循环次数的情况下，通过所述PLC控制所述调速电路使得所述真空泵停止工作，开启所述第一泄压阀和所述第二泄压阀，调节所述第二真空管路与所述第一真空管路中的残留负压，泄除负压后，卸除所述真空电磁阀。

本申请一些实施例中，在图1的基础上，如图3所示，本申请实施例提供的电子元件的离线检测装置还可以包括：直流供电电路；所述直流供电电路为交直流转换电路，用于将标准交流电压转换为预置幅值的直流电压；所述直流供电电路分别与所述检测模块和所述真空泵电连接；所述直流供电电路用于为所述检测模块和所述真空泵供电。

在本申请实施例中，预置幅值可以为24V。所述直流供电电路可以包括变压子电路、整流子电路和滤波子电路等等，以使得所述直流供电电路可以将标准交流电压转换为预置幅值的直流电压。在本申请实施例中，对所述直流供电电路选用的元器件，以及各个元器件的连接方式不做限定。

可以理解的是，在所述直流供电电路与所述检测模块电连接的情况下，所述检测模块中的电路，所述检测模块中的元器件，以及与所述检测模块连接的元器件，都能够与所述直流供电电路电连接。

需要说明的是，在本申请实施例中与所述直流供电电路的电连接，可以根据实际连接需求，以及直流电压的正负极进行连接。

在本申请实施例中，可以为所述直流供电电路设置独立的电源开关，在电源开关闭合的情况下，所述直流供电电路生成预置幅值的直流电压，在电源开关断开的情况下，所述直流供电电路停止生成预置幅值的直流电压。

如此，在标准交流电压的供电环境中，可以通过所述直流供电电路为电子元件的离线检测装置供电，以便于判断所述真空电磁阀是否损坏。

本申请一些实施例中，所述第一泄压阀和所述第二泄压阀可以为手动泄压阀，可以响应于用户手动操作通过手动方式泄压。

本申请一些实施例中，所述第一泄压阀为电动泄压阀，所述第二泄压阀为电动泄压阀；所述第一泄压阀与所述PLC电连接；所述第二泄压阀与所述PLC电连接。

具体的，所述第一泄压阀的泄压孔的一端设置于所述第一真空管路内侧，所述第一泄压阀的泄压孔的另一端设置于所述第一真空管路外侧，所述第一泄压阀的泄压开关的控制端与所述PLC电连接。类似的，所述第二泄压阀的泄压孔的一端设置于所述第二真空管路内侧，所述第二泄压阀的泄压孔的另一端设置于所述第二真空管路外侧，所述第二泄压阀的泄压开关的控制端与所述PLC电连接。

如此，通过所述PLC对所述第一泄压阀和所述第二泄压阀进行自动控制，以便于提高检测所述真空电磁阀的效率。

本申请一些实施例中，在图3的基础上，如图4所示，本申请实施例提供的电子元件的离线检测装置还可以包括：第一数字真空表和所述第二数字真空表；所述第一数字真空表包括所述第一真空传感器，用于检测并显示所述第一真空管路的管路压强；所述第二数字真空表包括所述第二真空传感器，用于检测并显示所述第二真空管路的管路压强。

在本申请实施例中，为避免因为所述第一真空传感器和所述第二真空传感器不能准确地检测所述第一真空管路和所述第二真空管路的管路压强，而导致得到的所述真空电磁阀是否损坏的检测结果有误，可以将所述第一真空传感器设置为所述第一数字真空表的传感器，通过所述第一数字真空表检测并显示所述第一真空管路的管路压强；将所述第二真空传感器设置为所述第二数字真空表的传感器，所述第二数字真空表检测并显示所述第二真空管路的管路压强。

如此，所述第一真空传感器和所述第二真空传感器既能够通过PLC进行自动检测，又能够通过直观显示的管路压强进行人工监测，以便于提高检测所述第一真空管路和所述第二真空管路的管路压强的准确性，进而提高所述真空电磁阀是否损坏的检测结果的准确性，进而确保AIO设备中使用未损坏的所述真空电磁阀，继而确保AIO设备传送POD的可靠性。

本申请一些实施例中，由于所述第一真空传感器和所述第二真空传感器，采集管路压强使用的压强单位，与所述物料存储仓库的仓库压强的压强单位，可能不相同。因此，在图4的基础上，如图5所示，本申请实施例提供的电子元件的离线检测装置还可以包括：第一指针真空表和所述第二指针真空表；所述第一指针真空表设置于所述第一真空管路内，用于检测并显示所述第一真空管路的管路压强；所述第二指针真空表设置于所述第二真空管路内，用于检测并显示所述第二真空管路的管路压强。

在本申请实施例中，通过所述第一指针真空表能够直接显示所述真空电磁阀进气口对应的第一真空管路的管路电压，以便于判断测试环境与实际应用环境是否相同。另外，如果本申请实施例提供的电子元件的离线检测装置包括所述第一数字真空表和所述第一指针真空表，还能够对比两个真空表显示的数值是否等同，以避免出现由于数字真空表的损坏导致得到的所述真空电磁阀是否损坏的检测结果有误，提高所述真空电磁阀是否损坏的检测结果的准确性，进而确保AIO设备中使用未损坏的所述真空电磁阀，继而确保AIO设备传送POD的可靠性。

与所述第一指针真空表类似，通过所述第二指针真空表能够直接显示所述真空电磁阀进气口对应的第二真空管路的管路电压，以便于判断测试环境与实际应用环境是否相同。另外，如果本申请实施例提供的电子元件的离线检测装置包括所述第二数字真空表和所述第二指针真空表，还能够对比两个真空表显示的数值是否等同，以避免出现由于数字真空表的损坏导致得到的所述真空电磁阀是否损坏的检测结果有误，提高所述真空电磁阀是否损坏的检测结果的准确性，进而确保AIO设备中使用未损坏的所述真空电磁阀，继而确保AIO设备传送POD的可靠性。

本申请一些实施例中，在图5的基础上，如图6所示，本申请实施例提供的电子元件的离线检测装置还可以包括：第一指示灯；所述第一指示灯的一端与所述继电器的另一端电连接，所述第一指示灯的另一端与所述真空电磁阀的信号控制端电连接；所述第一指示灯用于指示所述真空电磁阀开启或关闭。

在本申请实施例中，所述第一指示灯串联所述继电器与所述真空电磁阀之间。触发所述继电器后，所述第一指示灯发光。在所述第一指示灯发光的情况下，所述真空电磁阀处于开启状态，可以检测所述真空电磁阀是否损坏。

如此，可以避免由于所述真空电磁阀没有开启，导致得到的所述真空电磁阀是否损坏的检测结果有误，提高所述真空电磁阀是否损坏的检测结果的准确性，进而确保AIO设备中使用未损坏的所述真空电磁阀，继而确保AIO设备传送POD的可靠性。

本申请一些实施例中，在图6的基础上，如图7所示，本申请实施例提供的电子元件的离线检测装置还可以包括：触控屏；所述触控屏与所述PLC电连接；所述触控屏用于接收用户输入的用于控制所述PLC的控制指令，显示所述PLC存储的数据。

在本申请实施例中，对所述真空电磁阀的测试流程主要包括：

第一步：将所述真空电磁阀安装至所述电子元件的离线检测装置中。

第二步：为所述电子元件的离线检测装置供电。

第三步：打开所述真空泵，所述PLC通过所述调速电路控制所述真空泵调节所述第一真空管路的管路压强，以使得所述第一指针真空表指示所述第一真空管路的管路压强为25inHg(所述物料存储仓库的仓库压强)，所述第一数字真空表指示所述第一真空管路的管路压强为84.65KPa。

第四步：响应于用户通过所述触摸屏输入的闭合控制信号，指示所述PLC向所述继电器发送闭合控制信号，以使得所述继电器闭合开关继而开启所述真空电磁阀，此时所述真空电磁阀开始工作。

第五步：在接收到所述闭合控制信号之后开始计时，经过预置时长后，观察所述第二数字真空表和所述第二指针真空表的数值，并所述PLC获取并存储所述第一真空传感器和所述第二真空传感器检测到的压强值。

第六步：所述PLC响应于用户通过所述触摸屏输入的循环检测信号(包括预置循环次数和预置循环时长)，指示获取并存储预置循环次数的所述第一真空传感器和所述第二真空传感器检测到的压强值。针对每次循环，分别计算所述真空电磁阀的进出口压降，得到预置循环次数的进出口压降，然后将进出口压降平均值确定为所述真空电磁阀的最终压降，最后根据最终压降判断所述真空电磁阀是否损坏。

本申请一些实施例中，在图7的基础上，如图8所示，本申请实施例提供的电子元件的离线检测装置还可以包括：风扇；所述风扇与所述直流供电电路电连接。

在本申请实施例中，在所述直流供电电路生成预置幅值的直流电压开始供电的情况下，开启风扇，以便于为电子元件的离线检测装置中的各个部件散热。

本申请一些实施例中，在图8的基础上，如图9所示，本申请实施例提供的电子元件的离线检测装置还可以包括：气阀开关和待测真空传感器；所述气阀开关设置于所述第二真空管路和第三真空管路之间，用于控制所述第二真空管路和所述第三真空管路的连接或断开；所述待测真空传感器的压强检测端设置于所述第三真空管路内，所述待测真空传感器的压强输出端与所述PLC电连接，所述待测真空传感器用于检测所述第三真空管路的管路压强。

在本申请实施例中，所述气阀开关可以是电动气阀开关，还可以是手动气阀开关。在所述气阀开关是电动气阀开关的情况下，所述气阀开关与所述PLC电连接。

本申请一些实施例中，如图10所示，本申请实施例提供的电子元件的离线检测装置还可以包括：第二指示灯和吸合开关；所述第二指示灯的一端与所述直流供电电路的正极电连接，所述二指示灯的另一端与所述吸合开关的一端电连接，所述吸合开关的另一端与所述直流供电电路的负极电连接；所述吸合开关与所述待测真空传感器相贴合，在所述待测真空传感器检测到负压吸力的情况下，所述吸合开关闭合，所述第二指示灯所属的电路导通，所述第二指示灯点亮，用于指示所述第三真空管路存在负压。

如此，在所述第二指示灯点亮的情况下，指示所述第三真空管路的存在负压。在所述第二指示灯未点亮的情况下，指示所述第三真空管路不存在负压或负压较小、所述待测真空传感器未接入电子元件的离线检测装置、所述真空电磁阀未开启、所述真空电磁阀损坏导致所述第二真空管路不存在负压或负压较小、或者所述待测真空传感器损坏。

在本申请实施例中，在对所述真空电磁阀进行测试的过程中，还可以对所述待测真空传感器进行测试。对所述真空电磁阀和所述待测真空传感器的测试流程主要包括：

第一步：将所述真空电磁阀和所述待测真空传感器安装至所述电子元件的离线检测装置中。

第二步：为所述电子元件的离线检测装置供电。

第三步：打开所述真空泵，所述PLC通过所述调速电路控制所述真空泵调节所述第一真空管路的管路压强，以使得所述第一指针真空表指示所述第一真空管路的管路压强为25inHg(所述物料存储仓库的仓库压强)，所述第一数字真空表指示所述第一真空管路的管路压强为84.65KPa。

第四步：响应于用户通过所述触摸屏输入的闭合控制信号，指示所述PLC向所述继电器发送闭合控制信号，以使得所述继电器闭合开关继而开启所述真空电磁阀，此时所述真空电磁阀开始工作。

第五步：在接收到所述闭合控制信号之后开始计时，经过预置时长后，观察所述第二数字真空表和所述第二指针真空表的数值，并所述PLC获取并存储所述第一真空传感器和所述第二真空传感器检测到的压强值。

第六步：响应于用户针对所述气阀开关的手动开启操作，或者，接收所述PLC针对所述气阀开关的电动开启操作，使得所述待测真空传感器接入所属的所述第三真空管路，与所述真空电磁阀的出气口所属的第二真空管路连接。

第七步：在所述第二指示灯点亮的情况下，所述待测真空传感器检测到所述第三真空管路存在负压，所述待测真空传感器正常吸合，确定所述待测真空传感器未损坏。在所述第二指示灯未点亮的情况下，检测所述待测真空传感器是否未接入电子元件的离线检测装置、所述真空电磁阀是否开启或者所述第二真空管路的负压值是否正常，如果检测结果都为是，则确定所述待测真空传感器损坏，如果检测结果存在否，则检查元器件、电路、器件的情况，以使得检测结果都为是。

第八步：所述PLC响应于用户通过所述触摸屏输入的循环检测信号(包括预置循环次数和预置循环时长)，指示获取并存储预置循环次数的所述待测真空传感器检测到的压强值。针对每次循环，分别计算所述真空电磁阀的进出口压降，得到预置循环次数的进出口压降，然后将进出口压降平均值确定为所述真空电磁阀的最终压降，最后根据最终压降判断所述真空电磁阀是否损坏。针对每次循环，比较所述待测真空传感器检测到的压强值与所述第二真空传感器检测到的压强值是否相同，判断所述待测真空传感器是否损坏。

第九步：在得到所述真空电磁阀和所述待测真空传感器是否损坏的检测结果之后，通过所述PLC控制所述调速电路使得所述真空泵停止工作，开启所述第一泄压阀和所述第二泄压阀，调节所述第二真空管路与所述第一真空管路中的残留负压，泄除负压后，卸除所述真空电磁阀和所述待测真空传感器。

在本申请实施例中，本申请提供的电子元件的离线检测装置，可以根据器件紧凑、方便携带和方便操作的目的，设计其空间结构。

在本申请实施例中，本申请提供的电子元件的离线检测装置，还可以包括歧管块，所述歧管块用于连接不同口径的真空管。所述第一真空管路、所述第二真空管路和所述第三真空管路中连接的元器件，可能采用的真空管的口径不同，此时，可以通过歧管块连接不同口径的真空管。

在本申请实施例中，本申请提供的电子元件的离线检测装置还可以包括第一固定夹具，所述第一固定夹具用于固定所述真空电磁阀。本申请提供的电子元件的离线检测装置还可以包括第一固定夹具和第二固定夹具。所述第一固定夹具用于固定所述真空电磁阀，所述第二固定夹具用于固定所述待测真空传感器。如此，可以便于更换所述真空电磁阀和所述待测真空传感器。

具体的，通过所述真空泵模拟真空环境，再通过所述触控屏进行控制，获取并存储所述真空电磁阀的进气口所属的第一真空管路的管路压强，获取并存储所述真空电磁阀的出气口所属的第二真空管路的管路压强，进而所述真空电磁阀的压力差，由所述PLC根据压力差进行逻辑判断，进而判断出所述真空电磁阀是否损坏。

具体的，通过所述真空泵模拟真空环境，开启所述气阀开关，通过所述第二指示灯判断所述待测真空传感器是否被触发。最后由所述PLC根据压力差进行逻辑判断，比较真空吸力值和所述待测真空传感器的通断状态，进而判断出所述待测真空传感器是否损坏。

本申请实施例提供的电子元件的离线检测装置，通过设计真空负压管路和检测控制电路，共同实现对所述真空电磁阀是否损坏的检测。其中，真空负压管路所述第一真空管路和所述第二真空管路。所述真空电磁阀的进气口通过第一真空管路分别与所述第一泄压阀和所述真空泵的出气口连接，所述真空电磁阀的出气口通过第二真空管路与所述第二泄压阀连接。检测控制电路包括：继电器、可编程逻辑控制器PLC、调速电路、第一真空传感器和第二真空传感器。通过所述检测模块中的所述PLC可以设置对所述真空电磁阀进行循环检测的测量时间和循环次数，并记录循环次数、与循环次数相应地所述第一真空传感器的检测到的管路压强，以及与循环次数相应地所述第二真空传感器的检测到的管路压强，以便于追溯待测试零件(所述真空电磁阀)的检测情况。如此，通过离线检测方式检测所述真空电磁阀是否损坏，以确保AIO设备中使用未损坏的所述真空电磁阀，继而确保AIO设备传送POD的可靠性。

需要说明的是，不同实施例可能产生的有益效果不同，在不同的实施例里，可能产生的有益效果可以是以上任意一种或几种的组合，也可以是其他任何可能获得的有益效果。

综上所述，在阅读本申请内容之后，本领域技术人员可以明白，前述申请内容可以仅以示例的方式呈现，并且可以不是限制性的。尽管这里没有明确说明，本领域技术人员可以理解本申请意图囊括对实施例的各种合理改变，改进和修改。这些改变，改进和修改都在本申请的示例性实施例的精神和范围内。

还应当理解，尽管术语第一、第二、第三等可以在此用于描述各种元件，但是这些元件不应当被这些术语所限制。这些术语仅用于将一个元件与另一个元件区分开。因此，在没有脱离本申请的教导的情况下，在一些实施例中的第一元件在其他实施例中可以被称为第二元件。相同的参考标号或相同的参考标记符在整个说明书中表示相同的元件。

Claims (10)

1.一种电子元件的离线检测装置，其特征在于，包括：检测模块、真空电磁阀、真空泵、第一泄压阀和第二泄压阀，其中，

所述真空电磁阀的进气口通过第一真空管路分别与所述第一泄压阀和所述真空泵的出气口连接，所述真空电磁阀的出气口通过第二真空管路与所述第二泄压阀连接；

所述检测模块包括继电器、可编程逻辑控制器PLC、调速电路、第一真空传感器和第二真空传感器；

所述继电器用于控制所述真空电磁阀的开启或关闭，所述继电器的一端与所述PLC电连接；所述继电器的另一端与所述真空电磁阀的信号控制端电连接；

所述调速电路用于控制所述真空泵调节所述第一真空管路的管路压强，所述调速电路的信号输入端与所述PLC电连接，所述调速电路的信号输出端与所述真空泵的控制端电连接；

所述第一真空传感器用于检测所述第一真空管路的管路压强，所述第一真空传感器的压强检测端设置于所述第一真空管路内，所述第一真空传感器的压强输出端与所述PLC电连接；所述第二真空传感器用于检测所述第二真空管路的管路压强，所述第二真空传感器的压强检测端设置于所述第二真空管路内，所述第二真空传感器的压强输出端与所述PLC电连接。

2.如权利要求1所述的电子元件的离线检测装置，其特征在于，还包括：直流供电电路；

所述直流供电电路为交直流转换电路，用于将标准交流电压转换为预置幅值的直流电压；

所述直流供电电路与所述检测模块和所述真空泵电连接；所述直流供电电路用于为所述检测模块和所述真空泵供电。

3.如权利要求2所述的电子元件的离线检测装置，其特征在于，还包括：第一数字真空表和第二数字真空表；

所述第一数字真空表包括所述第一真空传感器，用于检测并显示所述第一真空管路的管路压强；

所述第二数字真空表包括所述第二真空传感器，用于检测并显示所述第二真空管路的管路压强。

4.如权利要求3所述的电子元件的离线检测装置，其特征在于，还包括：第一指针真空表和第二指针真空表；

所述第一指针真空表设置于所述第一真空管路内，用于检测并显示所述第一真空管路的管路压强；

所述第二指针真空表设置于所述第二真空管路内，用于检测并显示所述第二真空管路的管路压强。

5.如权利要求2所述的电子元件的离线检测装置，其特征在于，还包括：第一指示灯；

所述第一指示灯的一端与所述继电器的另一端电连接，所述第一指示灯的另一端与所述真空电磁阀的信号控制端电连接；

所述第一指示灯用于指示所述真空电磁阀开启或关闭。

6.如权利要求2所述的电子元件的离线检测装置，其特征在于，还包括：触控屏；

所述触控屏与所述PLC电连接；

所述触控屏用于接收用户输入的用于控制所述PLC的控制指令，显示所述PLC存储的数据。

7.如权利要求2所述的电子元件的离线检测装置，其特征在于，所述第一泄压阀为电动泄压阀，所述第二泄压阀为电动泄压阀；

所述第一泄压阀与所述PLC电连接；所述第二泄压阀与所述PLC电连接。

8.如权利要求2所述的电子元件的离线检测装置，其特征在于，还包括：风扇；

所述风扇与所述直流供电电路电连接。

9.如权利要求2至8任一项所述的电子元件的离线检测装置，其特征在于，还包括：气阀开关和待测真空传感器；

所述气阀开关设置于所述第二真空管路和第三真空管路之间，用于控制所述第二真空管路和所述第三真空管路的连接或断开；

所述待测真空传感器的压强检测端设置于所述第三真空管路内，所述待测真空传感器的压强输出端与所述PLC电连接，所述待测真空传感器用于检测所述第三真空管路的管路压强。

10.如权利要求9所述的电子元件的离线检测装置，其特征在于，还包括：第二指示灯和吸合开关；

所述第二指示灯的一端与所述直流供电电路的正极电连接，所述二指示灯的另一端与所述吸合开关的一端电连接，所述吸合开关的另一端与所述直流供电电路的负极电连接；

所述吸合开关与所述待测真空传感器相贴合，在所述待测真空传感器检测到负压吸力的情况下，所述吸合开关闭合，所述第二指示灯点亮，以便于指示所述第三真空管路的存在负压。