CN221166742U - 一种小型等离子体化学气相沉积用水冷装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及气相沉积装置技术领域，且公开了一种小型等离子体化学气相沉积用水冷装置，包括支撑架，支撑架的底部固定安装有水冷机构，水冷机构的顶部固定安装有罐体冷却机构。该小型等离子体化学气相沉积用水冷装置，通过设置的水冷机构，在使用过程中，驱动水泵一，使抽水管二从水箱的内部抽水，水经过抽水管一的传输，过滤盒的过滤，从进水管的内部进入到传热孔块的内部，气相沉积灌将内部的热量直接传到至传热孔块，经过水的流动被直接带走，增加了热传导的效率，从出水管的内部流出的水会到达过滤板的顶部，最终回到水箱,导热杆将水箱内部的热量传导至导热块，通过散热扇散发出去，提高了水冷装置对气相沉积灌进行冷却的效率。

Description

一种小型等离子体化学气相沉积用水冷装置

技术领域

本实用新型涉及气相沉积装置技术领域，具体为一种小型等离子体化学气相沉积用水冷装置。

背景技术

气相沉积是一种物理气相反应生长法，沉积过程是在真空或低气气体放电条件下，涂层物质源是固态物质，经过“蒸发或溅射”后，在零件表面生成与基材性能完全不同的新的固态物质涂层，在进行气相沉积后，通常需要对沉积炉进行冷却，而气相沉积用水冷装置则是利用水冷的方式使沉积炉快速降温已达到快速拆炉的功能。

根据专利网公开的一种旋转式气相沉积炉的冷却装置(授权公告号为：CN212253683U)中所描述“本实用新型公开了一种旋转式气相沉积炉的冷却装置，旋转式气相沉积炉呈中空的圆柱体，冷却装置包括热传导冷却机构和喷淋水冷却机构；热传导冷却机构包括多个均布于旋转式气相沉积炉外壁上的翅片；喷淋水冷却机构包括冷却筒，冷却筒包括圆筒以及与圆筒的两端部满焊连接的环形挡板I，旋转式气相沉积炉通过环形挡板I上的中心孔贯穿与其间隙配合的冷却筒，冷却筒的上部设有通过管路与储水池中的水泵连接的进水管，进水管上间隔设有多个喷头，冷却筒的下部竖直设有多个出水管，出水管远离冷却筒的一端与换热器管路连接后延伸至储水池中。该冷却装置将热传导冷却机构和喷淋水冷却机构相结合，提高了旋转式气相沉积炉的散热速度，实现了快速冷却”。

针对上述描述内容，申请人认为存在以下问题：

该实用新型在使用过程中，通过设置的热传导机构能够带走沉积炉内部的热量，冷却机构能够对沉积炉的炉体喷水，对冷却炉进行降温处理，但是在实际使用时，由于该冷却炉进行热传导是需要通过翅片进行传导，在通过翅片传导到冷却水，使得热传导效率过低，使得水冷装置在对沉积炉进行冷却时要花费较长时间，因此需要改进出一种小型等离子体化学气相沉积用水冷装置来解决上述问题。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种小型等离子体化学气相沉积用水冷装置，以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种小型等离子体化学气相沉积用水冷装置，包括支撑架，所述支撑架的底部固定安装有水冷机构，所述水冷机构的顶部固定安装有罐体冷却机构。

所述水冷机构包括水循环冷却组件与水冷降温组件，所述水冷降温组件设置在水循环冷却组件的顶部。

优选的，所述水循环冷却组件包括过滤板，所述过滤板固定安装在支撑架的底部，所述过滤板的外部固定安装有水箱，所述水箱的右侧固定安装有导热块，所述导热块的左侧固定安装有导热杆，所述导热块的右侧固定安装有散热扇，便于通过水循环冷却组件为水冷装置提供冷却水循环与收集。

优选的，所述水箱与导热杆的对应位置处开设有孔，且所述导热杆固定安装在水箱内部开设的孔内部，便于通过导热杆传导水箱内部的水的热量。

优选的，所述水冷降温组件包括气相沉积灌，所述气相沉积灌固定安装在支撑架的顶部，所述气相沉积灌的外侧固定安装有传热孔块，所述传热孔块的正面固定安装有出水管，所述传热孔块的背部固定安装有进水管，所述进水管远离出水管的一端固定安装有过滤盒，所述过滤盒的底部固定安装有抽水管一，所述抽水管一远离过滤盒的一端固定安装有水泵一，所述水泵一的左侧固定安装有抽水管二，便于通过水冷降温组件对气相沉积灌进行冷却降温。

优选的，所述过滤盒的正面与水箱的背部固定安装，所述抽水管二远离水泵一的一端固定安装在水箱的内部，便于在正常状态下达成水循环带走热量。

优选的，所述罐体冷却机构包括顶架，所述顶架固定安装在水箱的顶部，所述顶架的顶部内侧固定安装有喷水头，所述喷水头的顶部固定安装有输水管，所述输水管远离喷水头的一端固定安装有水泵二，所述水泵二的底部固定安装有抽水管三，便于通过罐体冷却机构对气相沉积灌的外部进行洒水降温。

优选的，所述水泵二的右侧与水箱的左侧固定安装，所述抽水管三远离水泵二的一端固定安装在水箱的内部，提高了稳定性。

与现有技术相比，本实用新型提供了一种小型等离子体化学气相沉积用水冷装置，具备以下有益效果：

1.该小型等离子体化学气相沉积用水冷装置，通过设置的水冷机构，在使用过程中，当需要进行气相沉积灌的冷却降温时，驱动水泵一，使抽水管二从水箱的内部抽水，水经过抽水管一的传输，过滤盒的过滤，从进水管的内部进入到传热孔块的内部，气相沉积灌将内部的热量直接传到至传热孔块，经过水的流动被直接带走，增加了热传导的效率，从出水管的内部流出的水会到达过滤板的顶部，最终回到水箱,导热杆将水箱内部的热量传导至导热块，通过散热扇散发出去，提高了水冷装置对气相沉积灌进行冷却的效率。

2.该小型等离子体化学气相沉积用水冷装置，通过设置的罐体冷却机构，在使用过程中，通过驱动水泵二，使得抽水管三将水箱内部的水抽出，经过输水管的传输，从喷水头的内部喷洒到气相沉积灌的外部，实现了降温，洒出的水会通过过滤板流回水箱，再次提高了对气相沉积灌进行冷却的效率。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例中的技术方案，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动性的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图：

图1为本实用新型外观结构示意图；

图2为本实用新型水冷机构外观结构示意图；

图3为本实用新型水循环冷却组件外观结构示意图；

图4为本实用新型水冷降温组件外观结构示意图；

图5为本实用新型罐体冷却机构外观结构示意图。

图中：1、支撑架；2、水冷机构；21、水循环冷却组件；211、过滤板；212、水箱；213、导热块；214、导热杆；215、散热扇；22、水冷降温组件；221、气相沉积灌；222、传热孔块；223、出水管；224、进水管；225、过滤盒；226、抽水管一；227、水泵一；228、抽水管二；3、罐体冷却机构；31、顶架；32、喷水头；33、输水管；34、水泵二；35、抽水管三。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

在本实用新型中，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”、“固定”等术语应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

实施例一：

请参阅图1-4，本实用新型提供一种技术方案：一种小型等离子体化学气相沉积用水冷装置，包括支撑架1，支撑架1的底部固定安装有水冷机构2，水冷机构2的顶部固定安装有罐体冷却机构3。

水冷机构2包括水循环冷却组件21与水冷降温组件22，水冷降温组件22设置在水循环冷却组件21的顶部。

进一步的，水循环冷却组件21包括过滤板211，过滤板211固定安装在支撑架1的底部，过滤板211的外部固定安装有水箱212，水箱212的右侧固定安装有导热块213，导热块213的左侧固定安装有导热杆214，导热块213的右侧固定安装有散热扇215，便于通过水循环冷却组件21为水冷装置提供冷却水循环与收集。

进一步的，水箱212与导热杆214的对应位置处开设有孔，且导热杆214固定安装在水箱212内部开设的孔内部，便于通过导热杆214传导水箱212内部的水的热量。

进一步的，水冷降温组件22包括气相沉积灌221，气相沉积灌221固定安装在支撑架1的顶部，气相沉积灌221的外侧固定安装有传热孔块222，传热孔块222的正面固定安装有出水管223，传热孔块222的背部固定安装有进水管224，进水管224远离出水管223的一端固定安装有过滤盒225，过滤盒225的底部固定安装有抽水管一226，抽水管一226远离过滤盒225的一端固定安装有水泵一227，水泵一227的左侧固定安装有抽水管二228，便于通过水冷降温组件22对气相沉积灌221进行冷却降温。

进一步的，过滤盒225的正面与水箱212的背部固定安装，抽水管二228远离水泵一227的一端固定安装在水箱212的内部，便于在正常状态下达成水循环带走热量。

实施例二:

请参阅图5，并结合实施例一，进一步得到，罐体冷却机构3包括顶架31，顶架31固定安装在水箱212的顶部，顶架31的顶部内侧固定安装有喷水头32，喷水头32的顶部固定安装有输水管33，输水管33远离喷水头32的一端固定安装有水泵二34，水泵二34的底部固定安装有抽水管三35，便于通过罐体冷却机构3对气相沉积灌221的外部进行洒水降温。

进一步的，水泵二34的右侧与水箱212的左侧固定安装，抽水管三35远离水泵二34的一端固定安装在水箱212的内部，提高了稳定性。

在实际操作过程中，当此装置使用时，当需要进行气相沉积灌221的冷却降温时，驱动水泵一227，使抽水管二228从水箱212的内部抽水，水经过抽水管一226的传输，过滤盒225的过滤，从进水管224的内部进入到传热孔块222的内部，气相沉积灌221将内部的热量直接传到至传热孔块222，经过水的流动被直接带走，增加了热传导的效率，从出水管223的内部流出的水会到达过滤板211的顶部，最终回到水箱212,通过驱动水泵二34，使得抽水管三35将水箱212内部的水抽出，经过输水管33的传输，从喷水头32的内部喷洒到气相沉积灌221的外部，实现了降温，洒出的水会通过过滤板211流回水箱212，导热杆214将水箱212内部的热量传导至导热块213，通过散热扇215散发出去。

需要说明的是，在本文中，诸如第一和第二等之类的关系术语仅仅用来将一个实体或者操作与另一个实体或操作区分开来，而不一定要求或者暗示这些实体或操作之间存在任何这种实际的关系或者顺序。而且，术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含，从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者设备不仅包括那些要素，而且还包括没有明确列出的其他要素，或者是还包括为这种过程、方法、物品或者设备所固有的要素。在没有更多限制的情况下，由语句“包括一个......”限定的要素，并不排除在包括所述要素的过程、方法、物品或者设备中还存在另外的相同要素。

Claims (4)

1.一种小型等离子体化学气相沉积用水冷装置，包括支撑架(1)，其特征在于：所述支撑架(1)的底部固定安装有水冷机构(2)，所述水冷机构(2)的顶部固定安装有罐体冷却机构(3)；

所述水冷机构(2)包括水循环冷却组件(21)与水冷降温组件(22)，所述水冷降温组件(22)设置在水循环冷却组件(21)的顶部；

所述水循环冷却组件(21)包括过滤板(211)，所述过滤板(211)固定安装在支撑架(1)的底部，所述过滤板(211)的外部固定安装有水箱(212)，所述水箱(212)的右侧固定安装有导热块(213)，所述导热块(213)的左侧固定安装有导热杆(214)，所述导热块(213)的右侧固定安装有散热扇(215)；

所述水冷降温组件(22)包括气相沉积灌(221)，所述气相沉积灌(221)固定安装在支撑架(1)的顶部，所述气相沉积灌(221)的外侧固定安装有传热孔块(222)，所述传热孔块(222)的正面固定安装有出水管(223)，所述传热孔块(222)的背部固定安装有进水管(224)，所述进水管(224)远离出水管(223)的一端固定安装有过滤盒(225)，所述过滤盒(225)的底部固定安装有抽水管一(226)，所述抽水管一(226)远离过滤盒(225)的一端固定安装有水泵一(227)，所述水泵一(227)的左侧固定安装有抽水管二(228)；

所述罐体冷却机构(3)包括顶架(31)，所述顶架(31)固定安装在水箱(212)的顶部，所述顶架(31)的顶部内侧固定安装有喷水头(32)，所述喷水头(32)的顶部固定安装有输水管(33)，所述输水管(33)远离喷水头(32)的一端固定安装有水泵二(34)，所述水泵二(34)的底部固定安装有抽水管三(35)。

2.根据权利要求1所述的一种小型等离子体化学气相沉积用水冷装置，其特征在于：所述水箱(212)与导热杆(214)的对应位置处开设有孔，且所述导热杆(214)固定安装在水箱(212)内部开设的孔内部。

3.根据权利要求1所述的一种小型等离子体化学气相沉积用水冷装置，其特征在于：所述过滤盒(225)的正面与水箱(212)的背部固定安装，所述抽水管二(228)远离水泵一(227)的一端固定安装在水箱(212)的内部。

4.根据权利要求1所述的一种小型等离子体化学气相沉积用水冷装置，其特征在于：所述水泵二(34)的右侧与水箱(212)的左侧固定安装，所述抽水管三(35)远离水泵二(34)的一端固定安装在水箱(212)的内部。