CN221133494U - 一种坩埚清洗槽 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种坩埚清洗槽，包括：槽体，所述槽体的左侧设置有水箱，且槽体的左壁安装有水泵，所述水泵进水端与水箱相互连通，且水泵的出水端连通有水管，且水管的顶部等间距连通有喷头；液压杆，所述槽体的左右两侧均安装有液压杆，且液压杆的活动端固定连接有安装板；支撑架，所述安装板的内部旋转安装有支撑架，且支撑架的底部左右两侧均滑动安装有移动架，所述安装板的顶部左侧安装有电机，且电机的输出端固定连接有轴杆，所述轴杆的外侧固定连接有主动齿轮。该坩埚清洗槽，便于对坩埚进行批量自动清洗，自动批量清洗，省时省力，而且便于对坩埚进行快速固定，防止清洗过程中坩埚容易脱落。

Description

一种坩埚清洗槽

技术领域

本实用新型涉及坩埚生产技术领域，具体为一种坩埚清洗槽。

背景技术

石英坩埚是硅片生产领域不可或缺的部件，用电弧法制的半透明石英坩埚是拉制大直径单晶硅，发展大规模集成电路必不可少的基础材料。当石英坩埚在生产完成后，石英坩埚需要经过清洗、干燥工序，保证石英坩埚内部洁净度。

目前常用的坩埚清洗槽存在以下缺陷，不便于对坩埚进行批量自动清洗，需要人工单独清洗，费时费力，而且不便于对坩埚进行快速固定，清洗过程中坩埚容易脱落，因此，我们提出一种坩埚清洗槽，以便于解决上述中提出的问题。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种坩埚清洗槽，以解决上述背景技术提出的目前常用的坩埚清洗槽，不便于对坩埚进行批量自动清洗，需要人工单独清洗，费时费力，而且不便于对坩埚进行快速固定，清洗过程中坩埚容易脱落的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种坩埚清洗槽，包括：

槽体，所述槽体的左侧设置有水箱，且槽体的左壁安装有水泵，所述水泵进水端与水箱相互连通，且水泵的出水端连通有水管，且水管的顶部等间距连通有喷头；

液压杆，所述槽体的左右两侧均安装有液压杆，且液压杆的活动端固定连接有安装板；

支撑架，所述安装板的内部旋转安装有支撑架，且支撑架的底部左右两侧均滑动安装有移动架。

优选的，所述安装板的顶部左侧安装有电机，且电机的输出端固定连接有轴杆。

优选的，所述轴杆的外侧固定连接有主动齿轮，且主动齿轮与从动齿轮之间的连接方式为啮合连接。

优选的，所述支撑架的底部旋转安装有连接杆，且连接杆的外表面呈双向螺纹状结构；

其中，所述连接杆与移动架之间的连接方式为螺纹连接，且移动架的内侧卡合放置有坩埚本体。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：该坩埚清洗槽，便于对坩埚进行批量自动清洗，自动批量清洗，省时省力，而且便于对坩埚进行快速固定，防止清洗过程中坩埚容易脱落；

将坩埚本体放置于移动架的内侧，通过转动连接杆使其带动移动架向内侧移动，使移动架对坩埚本体进行挤压固定，坩埚本体固定后通过液压杆带动安装板向下移动，使坩埚本体移动至喷头的外侧，水泵将水箱内的水抽出，使水管通过喷头向坩埚本体喷射清洗水，此时通过电机带动轴杆进行转动，使主动齿轮带动从动齿轮进行旋转，使支撑架带动坩埚本体进行转动，使坩埚本体内表面不同位置进行清洗，坩埚本体清洗后通过液压杆带动其向上移出。

附图说明

图1为本实用新型正面剖切结构示意图；

图2为本实用新型侧面剖切结构示意图；

图3为本实用新型移动架与坩埚本体连接俯视剖切结构示意图；

图4为本实用新型图1中A处放大结构示意图。

图中：1、槽体；2、水箱；3、水泵；4、水管；5、喷头；6、液压杆；7、安装板；8、电机；9、轴杆；10、主动齿轮；11、支撑架；12、从动齿轮；13、连接杆；14、移动架；15、坩埚本体。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

请参阅图1-4，本实用新型提供一种技术方案：一种坩埚清洗槽，包括：

槽体1，槽体1的左侧设置有水箱2，槽体1的左壁安装有水泵3，水泵3进水端与水箱2相互连通，水泵3的出水端连通有水管4，水管4的顶部等间距连通有喷头5；

液压杆6，槽体1的左右两侧均安装有液压杆6，液压杆6的活动端固定连接有安装板7；

支撑架11，安装板7的内部旋转安装有支撑架11，支撑架11的底部左右两侧均滑动安装有移动架14。

安装板7的顶部左侧安装有电机8，电机8的输出端固定连接有轴杆9，通过电机8带动轴杆9进行转动。

轴杆9的外侧固定连接有主动齿轮10，主动齿轮10与从动齿轮12之间的连接方式为啮合连接，使主动齿轮10带动从动齿轮12进行旋转。

支撑架11的底部旋转安装有连接杆13，连接杆13的外表面呈双向螺纹状结构；其中，连接杆13与移动架14之间的连接方式为螺纹连接，移动架14的内侧卡合放置有坩埚本体15，使连接杆13通过转动带动移动架14进行左右移动。

在使用该坩埚清洗槽时，如图1-图4将坩埚本体15放置于移动架14的内侧，通过转动连接杆13使其带动移动架14向内侧移动，使移动架14对坩埚本体15进行挤压固定，坩埚本体15固定后通过液压杆6带动安装板7向下移动，使坩埚本体15移动至喷头5的外侧，水泵3将水箱2内的水抽出，使水管4通过喷头5向坩埚本体15喷射清洗水，此时通过电机8带动轴杆9进行转动，使主动齿轮10带动从动齿轮12进行旋转，使支撑架11带动坩埚本体15进行转动，使坩埚本体15内表面不同位置进行清洗，坩埚本体15清洗后通过液压杆6带动其向上移出，这就是该坩埚清洗槽的整个工作过程。

本说明书中未作详细描述的内容属于本领域专业技术人员公知的现有技术。本实用新型使用到的标准零件均可以从市场上购买，异形件根据说明书的和附图的记载均可以进行订制，各个零件的具体连接方式均采用现有技术中成熟的螺栓、铆钉、焊接等常规手段，机械、零件和设备均采用现有技术中，常规的型号，加上电路连接采用现有技术中常规的连接方式，在此不再详述。

尽管参照前述实施例对本实用新型进行了详细的说明，对于本领域的技术人员来说，其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换，凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。

Claims (4)

1.一种坩埚清洗槽，其特征在于，包括：

槽体(1)，所述槽体(1)的左侧设置有水箱(2)，且槽体(1)的左壁安装有水泵(3)，所述水泵(3)进水端与水箱(2)相互连通，且水泵(3)的出水端连通有水管(4)，且水管(4)的顶部等间距连通有喷头(5)；

液压杆(6)，所述槽体(1)的左右两侧均安装有液压杆(6)，且液压杆(6)的活动端固定连接有安装板(7)；

支撑架(11)，所述安装板(7)的内部旋转安装有支撑架(11)，且支撑架(11)的底部左右两侧均滑动安装有移动架(14)。

2.根据权利要求1所述的一种坩埚清洗槽，其特征在于：所述安装板(7)的顶部左侧安装有电机(8)，且电机(8)的输出端固定连接有轴杆(9)。

3.根据权利要求2所述的一种坩埚清洗槽，其特征在于：所述轴杆(9)的外侧固定连接有主动齿轮(10)，且主动齿轮(10)与从动齿轮(12)之间的连接方式为啮合连接。

4.根据权利要求1所述的一种坩埚清洗槽，其特征在于：所述支撑架(11)的底部旋转安装有连接杆(13)，且连接杆(13)的外表面呈双向螺纹状结构；

其中，所述连接杆(13)与移动架(14)之间的连接方式为螺纹连接，且移动架(14)的内侧卡合放置有坩埚本体(15)。