CN221079979U - 一种双面摆放铜片氮化硅治具 - Google Patents
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Abstract
本实用新型涉及半导体芯片制造相关技术领域，具体涉及一种双面摆放铜片氮化硅治具，包括：底座，为装置的底部构件，在表面开设有滑槽，滑杆，滑动安装在滑槽内，固定板，固定连接在滑杆顶部，夹具，活动安装在固定板内侧，一号旋钮，活动安装在底座侧面。通过转动二号旋钮，二号齿轮转动，传动并使一号齿轮旋转，从而带动转盘和内侧的夹具转动，进而带动夹具中间的芯片转动，达到调整角度的效果，提高了制造的精准性，减少调整芯片角度的操作性，进而提升人员工作效率；通过在连接块两端固定连接子夹具，再通过传动结构将两块待处理半导体芯片夹持在上下两子夹具之间，实现同时夹持并处理两个芯片或元件，提高了生产效率。
Description
技术领域
本实用新型涉及半导体芯片制造相关技术领域，具体涉及一种双面摆放铜片氮化硅治具。
背景技术
半导体芯片是一种由半导体材料制成的电子器件，也被称为集成电路。它是现代电子设备的关键组成部分，广泛应用于计算机、通信、消费电子、医疗设备、汽车等各个领域。在生产制造中会用到一种双面摆放铜片氮化硅治具，是一种用于半导体芯片制造中的工装夹具，用于在制造过程中将芯片或其他元件固定在特定位置进行加工和测试。
根据中国专利：CN215240194U一种氮化硅陶瓷件生产加工用夹具，包括：底板，所述底板包括底板本体和滑轨，所述底板本体的顶面中部固定连接有两组平行设置的滑轨，夹持机构，所述夹持机构包括夹紧螺栓、限位套、夹持块、第一卡槽、第二卡槽和第三卡槽，所述夹持块的一侧面开设有第一卡槽、第二卡槽和第三卡槽，所述第二卡槽分别与第一卡槽和第三卡槽相互贯通，所述夹紧螺栓贯穿第三卡槽且与夹持块螺纹连接，所述限位套与夹紧螺栓的一端套接。基于上述公开专利及结合现有技术发现：
1、在半导体芯片的制造生产中使用的夹具或治具，作用是将芯片或其他元件固定在特定位置进行加工和测试，而部分的治具不具备角度调整的结构，治具可能无法提供精确的定位，导致加工偏差和误差，并且每次更换工装夹具时都需要重新调整晶圆的位置和角度，增加了操作的复杂性和花费的时间；
2、并且，多数的治具为单项夹持，一次能固定芯片的数量为一，而在处理多枚芯片时会增加固定芯片的工作量，增加工作量的同时进而降低工作效率。
实用新型内容
本实用新型的目的在于提供一双面摆放铜片氮化硅治具，以解决上述背景技术中提出现有的半导体芯片生产设备在使用过程中的问题。
为了实现上述技术问题，本实用新型提供了如下的技术方案：
一种双面摆放铜片氮化硅治具，包括：
底座，其为装置的底部构件，在其表面开设有滑槽；
滑杆，其滑动安装在所述滑槽内；
固定板，其固定连接在所述滑杆顶部；
夹具，其活动安装在所述固定板内侧；
一号旋钮，其活动安装在所述底座侧面。
优选的，底座包括：
螺纹杆，其活动安装在所述底座内，同时位于滑槽的内部，并且其两侧的开设的螺纹方向相反，实际为双向螺纹杆，而滑杆均螺纹安装在螺纹杆的两端，而一号旋钮与螺纹杆固定连接。
优选的，底座还包括：
固定杆，其均固定连接在所述底座上方，并位于滑槽的两端；
限位杆，其固定连接在所述固定杆的中间。
优选的，夹具还包括：
连接块，其为所述夹具的组成构件之一；
子夹具，固定连接在所述连接块两端。
优选的，连接块还包括：
转盘，其固定连接在所述连接块外侧，同时活动安装在固定板内；
限位槽，其开设在所述转盘侧面，通过限位槽将转盘限位在固定板内；
一号齿轮，其固定连接在所述转盘外侧，且位于固定板内；
安装孔，其开设在所述一号齿轮、转盘、固定板和连接块内，并将固定杆活动安装在安装孔内。
优选的，一号齿轮还包括：
二号齿轮，其设置在所述一号齿轮侧面，并与其相啮合，同时二号齿轮同样活动安装在固定板内；
二号旋钮，其通过连接轴与所述二号齿轮固定连接，并活动安装在固定板侧面。
优选的，子夹具还包括：
所述子夹具，整体为半圆筒状，同时在圆筒内壁上装有铜片，增强子夹具的导电性。
本实用新型实施例提供了一双面摆放铜片氮化硅治具，具备以下有益效果：
1、通过转动二号旋钮，二号齿轮转动，传动并使一号齿轮旋转，从而带动转盘和内侧的夹具转动，进而带动夹具中间的芯片转动，达到调整角度的效果，提高了制造的精准性，减少调整芯片角度的操作性，进而提升人员工作效率。
2、通过在连接块两端固定连接子夹具，再通过传动结构将两块待处理半导体芯片夹持在上下两子夹具之间，实现同时夹持并处理两个芯片或元件，提高了生产效率。
附图说明
附图用来提供对本实用新型的进一步理解，并且构成说明书的一部分，与本实用新型的实施例一起用于解释本实用新型，并不构成对本实用新型的限制。在附图中：
图1是本实用新型一种双面摆放铜片氮化硅治具整体结构示意图；
图2是本实用新型一种双面摆放铜片氮化硅治具滑杆结构示意图；
图3是本实用新型一种双面摆放铜片氮化硅治具剖面结构示意图；
图4是本实用新型一种双面摆放铜片氮化硅治具夹具结构示意图。
图中：1、底座；2、滑槽；3、滑杆；4、固定板；5、夹具；6、固定杆；7、限位杆；8、螺纹杆；9、一号旋钮；10、二号旋钮；11、二号齿轮；12、一号齿轮；13、安装孔；14、转盘；15、限位槽；16、子夹具；17、连接块。
具体实施方式
以下结合附图对本实用新型的优选实施例进行说明，应当理解，此处所描述的优选实施例仅用于说明和解释本实用新型，并不用于限定本实用新型。
实施例：如图1-2所示，一种双面摆放铜片氮化硅治具，包括：底座1，其为装置的底部组件，在装置使用时提供稳定的工作环境，在其表面开设滑槽2，在其内部两端滑动安装滑杆3，滑槽2使滑杆3在底座1上自由滑动且防止其脱轨，在滑杆3顶部固定连接固定板4，并在固定板内侧活动安装夹具5，夹具5采用氮化硅作为基底材料，氮化硅具有优异的高温稳定性、机械强度和绝缘性能，适合用于半导体工艺中的高温和腐蚀环境，通过移动两侧的滑杆3使固定板4与夹具5移动，从而将半导体芯片固定在底座1上方，在底座1上方固定连接固定杆6并在两根固定杆6之间固定连接限位杆7，而限位杆7同时贯穿固定板4和夹具5并与两者滑动安装，限位杆7使夹具5移动时更加稳定和起到限位的作用。
如图3所示，包括：螺纹杆8，其活动安装在底座1内，并位于滑槽2的内部，同时与其固定连接的一号旋钮9活动安装在底座1侧面，在螺纹杆8两端开设有朝向相反的螺纹，同时滑杆3螺纹安装在螺纹杆8的两端，通过转动一号旋钮9使螺纹杆8转动，进而使滑杆3可以带动上方的夹具5相向而动。
如图4所示，包括：连接块17，其为夹具5组成结构之一，在其上下两端固定连接子夹具16，子夹具16整体为半圆筒状，同时在圆筒内壁上装有铜片，增强子夹具16的导电性，夹具5侧面固定连接转盘14，并在转盘14上开设限位槽15，通过限位槽15将转盘14活动安装在固定板4内并将其限位，转盘14外侧固定连接一号齿轮12，并在一号齿轮12侧面设置与其相啮合的二号齿轮11，两块齿轮均活动安装在固定板4内，二号齿轮11与二号旋钮10固定连接，通过转动二号旋钮10，再通过齿轮间的传动，最终会使夹具5转动，贯穿连接块17、转盘14和一号齿轮12开设有安装孔13，而限位杆7活动安装在安装孔13内。
工作原理：通过转动一号旋钮9，使螺纹杆8转动，螺纹安装在螺纹杆8上的滑杆3根据螺纹在滑槽2内相向移动，将半导体芯片夹持在子夹具16之间，通过在连接块17两端固定连接子夹具16，再通过传动结构将两块待处理半导体芯片夹持在上下两子夹具16之间，实现同时夹持并处理两个芯片或元件，提高了生产效率，通过转动二号旋钮10，二号齿轮11转动，传动并使一号齿轮12旋转，从而带动转盘14和内侧的夹具5转动，进而带动夹具5中间的芯片转动，达到调整角度的效果，提高了制造的精准性，减少调整芯片角度的操作性，进而提升人员工作效率，子夹具内壁安装有铜片，铜片用于与芯片接触，并通过电极或导线连接到外部电路，以进行测试、测量或其他加工操作。
尽管参照前述实施例对本实用新型进行了详细的说明，对于本领域的技术人员来说，其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换，凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。
Claims (2)
1.一种双面摆放铜片氮化硅治具，其特征在于，包括：
底座(1)，其为装置的底部构件，在其表面开设有滑槽(2)；
滑杆(3)，其滑动安装在所述滑槽(2)内；
固定板(4)，其固定连接在所述滑杆(3)顶部；
夹具(5)，其活动安装在所述固定板(4)内侧；
一号旋钮(9)，其活动安装在所述底座(1)侧面；
固定杆(6)，其均固定连接在所述底座(1)上方，并位于滑槽(2)的两端；
限位杆(7)，其固定连接在所述固定杆(6)的中间；
二号旋钮(10)，其通过连接轴与二号齿轮(11)固定连接，并活动安装在固定板(4)侧面；
二号齿轮(11)，其设置在一号齿轮(12)侧面，并与其相啮合，同时二号齿轮(11)同样活动安装在固定板(4)内；
所述夹具(5)还包括：
连接块(17)，其为所述夹具(5)的组成构件之一；
子夹具(16)，固定连接在所述连接块(17)两端；
限位槽(15)，其开设在转盘(14)侧面，通过限位槽(15)将转盘(14)限位在固定板(4)内；
一号齿轮(12)，其固定连接在所述转盘(14)外侧，且位于固定板(4)内；
安装孔(13)，其开设在一号齿轮(12)、转盘(14)、固定板(4)和连接块(17)内，并将限位杆(7)活动安装在安装孔(13)内；
所述转盘(14)，其固定连接在所述连接块(17)外侧，同时活动安装在固定板(4)内；
所述子夹具(16)，整体为半圆筒状，同时在圆筒内壁上装有铜片，增强子夹具(16)的导电性。
2.根据权利要求1所述的双面摆放铜片氮化硅治具，其特征在于，所述底座(1)包括：
螺纹杆(8)，其活动安装在所述底座(1)内，同时位于滑槽(2)的内部，并且其两侧的开设的螺纹方向相反，实际为双向螺纹杆，而滑杆(3)均螺纹安装在螺纹杆(8)的两端，而一号旋钮(9)与螺纹杆(8)固定连接。
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