CN220537328U - 靶材吊装装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及吊装装置，公开了一种靶材吊装装置，其技术方案要点是包括底座，连接支架和吊具，底座可移动，底座底部设置有可伸缩的吸盘以固定底座，连接支架安装于底座的一侧，连接支架和底座之间形成有供靶材穿过的通行空间，连接支架包括工装支撑杆，工装支撑杆设置于通行空间的上方，吊具安装于工装支撑杆上，便于在吊装装置进行吊装工作时吸附在地面上，进而提供较好的固定效果，当需要移动吊装装置时，吸盘可以缩回，不会影响底座的移动，使用便利并且安全性更高，另外还能够使吊装装置整体保持较小的重量，便于吊装装置的移动；通过通行空间的设置，便于利用吊装装置对靶材进行提升或者下放，提高靶材搬运更换过程中的安全性。

Description

靶材吊装装置

技术领域

本实用新型涉及吊装装置，更具体的说是涉及一种靶材吊装装置。

背景技术

靶材是制备薄膜的主要材料之一，主要应用于集成电路、平板显示、太阳能电池、记录媒体、智能玻璃等，对材料纯度和稳定性要求高。溅射靶材的工作原理：溅射是制备薄膜材料的主要技术之一，它利用离子源产生的离子，在真空中经过加速聚集，而形成高速度能的离子束流，轰击固体表面，离子和固体表面原子发生动能交换，使固体表面的原子离开固体并沉积在基底表面，被轰击的固体即为溅射靶材。靶材发展趋势是：高溅射率、晶粒晶向控制、大尺寸、高纯金属。

在实际使用中，由于靶材的数量众多且靶材及其附件的整体重量较大，转运时通常需要利用行车进行转运。然而镀膜车间内空间受限，不便于安装行车，使用时需要操作人员人工进行搬运，极为不便且存在安全隐患。

实用新型内容

针对现有技术存在的不足，本实用新型的目的在于提供一种靶材吊装装置，用于克服现有技术中的上述缺陷，并具有使用便利且安全的特点。

为实现上述目的，本实用新型提供了如下技术方案：

靶材吊装装置，包括

底座，所述底座可移动，所述底座底部设置有可伸缩的吸盘以固定所述底座，

连接支架，所述连接支架安装于所述底座的一侧，所述连接支架和所述底座之间形成有供靶材穿过的通行空间，所述连接支架包括工装支撑杆，所述工装支撑杆设置于所述通行空间的上方，

吊具，所述吊具安装于所述工装支撑杆上。

在本实用新型中，优选的，所述连接支架包括两条竖向支撑杆和两条横向支撑杆，所述竖向支撑杆设置于所述工装支撑杆的两侧，所述横向支撑杆与所述竖向支撑杆一一对应，所述横向支撑杆固定连接于所述竖向支撑杆和所述底座之间，所述竖向支撑杆和对应的所述横向支撑杆之间固定连接有第一斜撑杆。

在本实用新型中，优选的，所述竖向支撑杆上设置有加强杆组，所述加强杆组包括斜向设置的第二斜撑杆和加强支杆，所述第二斜撑杆、竖向支撑杆和加强支杆之间依次连接形成三角形结构。

在本实用新型中，优选的，所述第二斜撑杆在所述竖向支撑杆长度方向上连接长度大于所述第一斜撑杆在所述竖向支撑杆长度方向上的连接长度。

在本实用新型中，优选的，所述底座上开设连接腰型孔，所述腰型孔的长轴竖向设置以供连接所述横杆。

在本实用新型中，优选的，所述底座具体为框架结构，所述框架结构包括若干横杆和若干竖杆，所述底座在框架的转角处设置有第三斜撑杆，所述第三斜撑杆的端部分别连接横杆以及对应于所述横杆相邻的竖杆。

在本实用新型中，优选的，所述吊具具体为手动葫芦。

本实用新型的有益效果：

本实用新型通过可伸缩的吸盘，便于在吊装装置进行吊装工作时吸附在地面上，进而提供较好的固定效果，当需要移动吊装装置时，吸盘可以缩回，不会影响底座的移动，使用便利并且安全性更高，另外还能够使吊装装置整体保持较小的重量，便于吊装装置的移动，整体结构简单，适用于不便于安装行车的空间；通过通行空间的设置，便于利用吊装装置对靶材进行提升或者下放，此时操作人员可以通过吊具避免直接与靶材接触，并且更加容易施加拉力，提高靶材搬运更换过程中的安全性。

附图说明

图1是本实施例的整体结构示意图；

图2是本实施例的主视结构示意图；

图3是本实施例的侧视结构示意图；

附图标记：

1、底座；11、吸盘；12、横杆；13、竖杆；14、第三斜撑杆；2、连接支架；201、通行空间；21、工装支撑杆；22、竖向支撑杆；221、加强支杆；222、第二斜撑杆；23、横向支撑杆；24、第一斜撑杆；3、手动葫芦。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

需要说明的是，当组件被称为“固定于”另一个组件，它可以直接在另一个组件上或者也可以存在居中的组件。当一个组件被认为是“连接”另一个组件，它可以是直接连接到另一个组件或者可能同时存在居中组件。当一个组件被认为是“设置于”另一个组件，它可以是直接设置在另一个组件上或者可能同时存在居中组件。本文所使用的术语“垂直的”、“水平的”、“左”、“右”以及类似的表述只是为了说明的目的。

除非另有定义，本文所使用的所有的技术和科学术语与属于本实用新型的技术领域的技术人员通常理解的含义相同。本文中在本实用新型的说明书中所使用的术语只是为了描述具体的实施例的目的，不是旨在于限制本实用新型。本文所使用的术语“及/或”包括一个或多个相关的所列项目的任意的和所有的组合。

请同时参见图1至图3，本实施例提供了一种靶材吊装装置，包括底座1，连接支架2和吊具，底座1可移动，底座1底部设置有可伸缩的吸盘11以固定底座1。底座1的底部设置有若干万向轮，当需要移动时，万向轮与地面接触，此时移动便利，当需要吊装靶材时，可伸缩的吸盘11伸出与地面接触，吸盘11在大气压强的作用下吸附在地上面，提高吊装装置的抓地能力，进而在吊装装置整体重量较小的情况下还能够具有较高的稳定性。其中，可伸缩的吸盘11在与地面脱离时，需先手动使得可伸缩的吸盘11的吸盘与地面之间产生缝隙，从而在后续进行伸缩时，与地面吸附的可伸缩的吸盘11不会对伸缩工作造成阻力。

并且，本实施例中吊具具体为手动葫芦3，具体用于人工吊装，另外还可以设置为电动吊具，在此不做具体限定，根据实际情况而定。

连接支架2安装于底座1的一侧，连接支架2和底座1之间形成有供靶材穿过的通行空间201。连接支架2包括工装支撑杆21，两条竖向支撑杆22和两条横向支撑杆23，吊具安装于工装支撑杆21上，工装支撑杆21设置于通行空间201的上方。竖向支撑杆22设置于工装支撑杆21的两侧，横向支撑杆23与竖向支撑杆22一一对应，横向支撑杆23固定连接于竖向支撑杆22和底座1之间，另外两条竖向支撑杆22远离工装支撑杆21的一侧还设置有连接杆，连接杆的端部分别于其中一个竖向支撑杆22固定连接。其中通行空间201形成于两条横向支撑杆23、竖向支撑杆22和底座1之间。竖向支撑杆22和对应的横向支撑杆23之间固定连接有第一斜撑杆24。第一斜撑杆24的作用是增强竖向支撑杆22和横向支撑杆23之间的连接强度。

竖向支撑杆22上设置有加强杆组，加强杆组包括斜向设置的第二斜撑杆222和加强支杆221，第二斜撑杆222、竖向支撑杆22和加强支杆221之间依次连接形成三角形结构。竖向支撑杆22由于整体长度较长，为避免使用过程中产生损伤，利用加强杆组能够提高其连接强度，减少竖向支撑杆22产生弯折断裂的可能。第二斜撑杆222在竖向支撑杆22长度方向上连接长度大于第一斜撑杆24在竖向支撑杆22长度方向上的连接长度。

底座1上开设连接腰型孔131，腰型孔131的长轴竖向设置以供连接横向支撑杆23。腰型孔131的设置便于提供连接的误差空间，使得安装时两侧横向支撑杆23的安装位置能够保持相对平衡。

底座1具体为框架结构，框架结构包括若干横杆12和若干竖杆13，底座1在框架的转角处设置有第三斜撑杆14，第三斜撑杆14的端部分别连接横杆12以及对应于横杆12相邻的竖杆13，提高底座1自身的稳定性。

工作原理：

使用时，首先将靶材吊装装置整体移动至设备旁，而后令吸盘11伸出，此时吸盘11支撑起底座1，并在大气压强的作用下吸附在地面上。将靶材利用外部连接件悬挂至吊具的一端，另一端人工施力或者利用电动吊具来抬升靶材使得脱离设备，而后将靶材下放，使其穿过通行空间201被放置在地面或者特定的运输工具上。完成靶材的吊装，此时解开靶材和吊具之间的连接，令吸盘11缩回，底座1回到可移动状态，移动吊装装置至下一位置进行工作或者移动至放置位置。

以上仅是本实用新型的优选实施方式，本实用新型的保护范围并不仅局限于上述实施例，凡属于本实用新型思路下的技术方案均属于本实用新型的保护范围。应当指出，对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型原理前提下的若干改进和润饰，这些改进和润饰也应视为本实用新型的保护范围。

Claims (7)

1.靶材吊装装置，其特征在于：包括

底座(1)，所述底座(1)可移动，所述底座(1)底部设置有可伸缩的吸盘(11)以固定所述底座(1)，

连接支架(2)，所述连接支架(2)安装于所述底座(1)的一侧，所述连接支架(2)和所述底座(1)之间形成有供靶材穿过的通行空间(201)，所述连接支架(2)包括工装支撑杆(21)，所述工装支撑杆(21)设置于所述通行空间(201)的上方，

吊具，所述吊具安装于所述工装支撑杆(21)上。

2.根据权利要求1所述的靶材吊装装置，其特征在于：所述连接支架(2)包括两条竖向支撑杆(22)和两条横向支撑杆(23)，所述竖向支撑杆(22)设置于所述工装支撑杆(21)的两侧，所述横向支撑杆(23)与所述竖向支撑杆(22)一一对应，所述横向支撑杆(23)固定连接于所述竖向支撑杆(22)和所述底座(1)之间，所述竖向支撑杆(22)和对应的所述横向支撑杆(23)之间固定连接有第一斜撑杆(24)。

3.根据权利要求2所述的靶材吊装装置，其特征在于：所述竖向支撑杆(22)上设置有加强杆组，所述加强杆组包括斜向设置的第二斜撑杆(222)和加强支杆(221)，所述第二斜撑杆(222)、竖向支撑杆(22)和加强支杆(221)之间依次连接形成三角形结构。

4.根据权利要求3所述的靶材吊装装置，其特征在于：所述第二斜撑杆(222)在所述竖向支撑杆(22)长度方向上连接长度大于所述第一斜撑杆(24)在所述竖向支撑杆(22)长度方向上的连接长度。

5.根据权利要求2所述的靶材吊装装置，其特征在于：所述底座(1)上开设连接腰型孔(131)，所述腰型孔(131)的长轴竖向设置以供连接所述横向支撑杆(23)。

6.根据权利要求1所述的靶材吊装装置，其特征在于：所述底座(1)具体为框架结构，所述框架结构包括若干横杆(12)和若干竖杆(13)，所述底座(1)在框架的转角处设置有第三斜撑杆(14)，所述第三斜撑杆(14)的端部分别连接横杆(12)以及对应于所述横杆(12)相邻的竖杆(13)。

7.根据权利要求1所述的靶材吊装装置，其特征在于：所述吊具具体为手动葫芦(3)。