CN220507959U - 一种新型在线测量的激光椭偏仪 - Google Patents

Abstract

本实用新型提供一种新型在线测量的激光椭偏仪，包括支架及安装在支架上端的主机体、设置在主机体上端的控制箱，所述主机体内固定安装有Z轴运动机构，Z轴运动机构的下端水平安装有底板，以控制底板升降移动，所述底板的下端设有用于安装测试片的调试台。本发明提出了一种使用便捷、结构稳定牢固、测试位可见的在线激光椭偏仪结构。取消了转动轴承的设计、简化了设备的生产工艺，提高生产效率，同时也提高了设备的性能。测试位可见，易于判断测试状态，提高了实用性。

Description

一种新型在线测量的激光椭偏仪

技术领域

本实用新型涉及激光椭偏仪技术领域，具体为一种新型在线测量的激光椭偏仪。

背景技术

椭偏仪是基于椭圆偏振测试技术，通过测试线偏振光经过样品反射后偏振态振幅和相位的改变，建立样品相应光学模型，计算出薄膜的厚度、折射率和消光系数的测试设备。

现有的在线激光椭偏仪的结构较为复杂，安装和使用不便；在线激光椭偏仪的两光模块轴带有转动机构，会受安装精度、转动机构精度的影响，导致设备之间一致性变差；墙板是倾斜方式，随着时间的延长，转动轴等易出现位置偏离，影响测试准确性；测试片被机器完全遮挡，无法判断测试位置。

实用新型内容

本实用新型所解决的技术问题在于提供一种使用便捷、结构稳定牢固、测试位可见的在线激光椭偏仪结构，以解决上述背景技术中提出的问题。

本实用新型所解决的技术问题采用以下技术方案来实现：一种新型在线测量的激光椭偏仪，包括支架及安装在支架上端的主机体、设置在主机体上端的控制箱，所述主机体内固定安装有Z轴运动机构，Z轴运动机构的下端水平安装有底板，以控制底板升降移动，避免了常规在线激光椭偏仪墙板倾斜引起的不良影响，提高了设备稳定性，所述底板的下端设有用于安装测试片的调试台，底板的一侧对应调试台设有光信号发出模块，另一侧设有光信号接收模块，所述光信号发出模块、光信号接收模块和调试台通过底板同步上下移动，以实现Z轴方向的对焦，所述调试台伸出主机体底部，以便于人员安装测试片，并观察测试片的位置。

作为本实用新型进一步方案：所述主机体包括并列安装在两侧支架上的侧板、用于连接两端侧板一侧的前面板及用于连接两端侧板后端的背板，所述主机体的上端还设有顶盖，以用于封闭主机体内腔；所述主机体内设有若干个安装在两端侧板之间的支撑横梁。

作为本实用新型进一步方案：所述前面板为折弯结构，前面板的下端标注有刻度线，以对调试台放置的测试片进行精准定位，且便于观察测试片是否发生了移位。

作为本实用新型进一步方案：所述主机体两侧的侧板分别设有观察窗。

作为本实用新型进一步方案：所述Z轴运动机构包括墙板及固定安装在墙板上的框架、设置在框架上的运动组件，所述运动组件包括滑块、转动安装在框架上的丝杆及驱动丝杆转动的电机，框架位于丝杆的两侧分别设有滑杆，所述滑块的两侧分别滑动安装在滑杆上，滑块的中间设有螺孔，并通过螺孔螺纹套设安装在丝杆上，以通过电机驱动丝杆控制滑块的升降调节，滑块的下端通过连接件与底板固定连接，以带动底板的移动。

作为本实用新型进一步方案：所述框架的一侧安装有用于限位的定位传感器，滑块的一侧对应定位传感器设有定位板，以控制滑块的移动距离。

作为本实用新型进一步方案：所述调试台上端设有用于夹持固定住测试片的弹性压片，弹性压片设有若干个。

作为本实用新型进一步方案：所述控制箱包括安装在主机体上端的层板及环绕在层板四周的箱板，所述箱板的连接处固定设有立柱，盖板安装在箱板的上端，并通过螺丝固定在立柱上，所述层板上安装有电器零件，箱板的一侧分布设有若干个接口。

作为本实用新型进一步方案：所述层板和盖板对应电机分别开口，电机贯穿层板伸入至控制箱内，盖板对应电机安装有罩盖，以用于罩住电机的上端。

作为本实用新型进一步方案：所述支架的下端设有底座，底座与支架垂直设置，以提高设备安装的稳定性。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：Z轴运动机构通过电机控制丝杆旋转，从而通过滑块带动底板升降移动，底板水平安装在连接件的下端，避免了常规在线激光椭偏仪墙板倾斜引起的不良影响，提高了设备稳定性，行为传感器用于限定Z轴运动区间及确定零位位置。光信号收集模块、光信号发出模块和调试台均安装于底板上，与其一起上下运动，实现Z轴方向的对焦。弹性压片安装于调试台上，具有一定的弹性力，用于调试时压住测试片，前面板对应测试片设有刻度线，以对调试台放置的测试片进行精准定位，且便于观察测试片是否发生了移位。本发明提出了一种使用便捷、结构稳定牢固、测试位可见的在线激光椭偏仪结构。取消了转动轴承的设计、简化了设备的生产工艺，提高生产效率，同时也提高了设备的性能。测试位可见，易于判断测试状态，提高了实用性。

附图说明

图1为本实用新型的结构示意图；

图2为本实用新型的主机体结构示意图；

图3为本实用新型的主机体内部结构示意图；

图4为本实用新型的Z轴运动机构结构示意图；

图5为本实用新型的控制箱结构示意图；

图中标识：1、支架；2、主机体；3、控制箱；4、调试台；5、墙板；11、底座；20、观察窗；21、底板；22、光信号发出模块；23、光信号接收模块；24、侧板；25、前面板；26、背板；27、顶盖；28、支撑横梁；29、刻度线；31、箱板；32、层板；33、立柱；34、盖板；35、罩盖；41、测试片；42、弹性压片；51、框架；52、滑块；53、丝杆；54、电机；55、滑杆；56、连接件；57、定位传感器。

具体实施方式

为了使本实用新型的实现技术手段、创作特征、达成目的与功效易于明白了解，下面结合具体图示，进一步阐述本实用新型。

如图1～5所示，

本实施例提供了一种新型在线测量的激光椭偏仪，包括支架1及安装在支架1上端的主机体2、设置在主机体2上端的控制箱3，所述主机体2内固定安装有Z轴运动机构，Z轴运动机构的下端水平安装有底板21，以控制底板21升降移动，避免了常规在线激光椭偏仪墙板5倾斜引起的不良影响，提高了设备稳定性，所述底板21的下端设有用于安装测试片41的调试台4，底板21的一侧对应调试台4设有光信号发出模块22，另一侧设有光信号接收模块23，所述光信号发出模块22、光信号接收模块23和调试台4通过底板21同步上下移动，以实现Z轴方向的对焦，所述调试台4伸出主机体2底部，以便于人员安装测试片41，并观察测试片41的位置。

本实施例中，主机体2包括并列安装在两侧支架1上的侧板24、用于连接两端侧板24一侧的前面板25及用于连接两端侧板24后端的背板26，所述主机体2的上端还设有顶盖27，以用于封闭主机体2内腔；所述主机体2内设有若干个安装在两端侧板24之间的支撑横梁28。所述前面板25为折弯结构，前面板25的下端标注有刻度线29，以对调试台4放置的测试片41进行精准定位，且便于观察测试片41是否发生了移位。所述主机体2两侧的侧板24分别设有观察窗20，利于设备故障时拆除，对设备内部进行观察及检测。

本实施例中，Z轴运动机构包括墙板5及固定安装在墙板5上的框架51、设置在框架51上的运动组件，所述运动组件包括滑块52、转动安装在框架51上的丝杆53及驱动丝杆53转动的电机54，框架51位于丝杆53的两侧分别设有滑杆55，所述滑块52的两侧分别滑动安装在滑杆55上，滑块52的中间设有螺孔，并通过螺孔螺纹套设安装在丝杆53上，以通过电机54驱动丝杆53控制滑块52的升降调节，滑块52的下端通过连接件56与底板21固定连接，以带动底板21的移动。所述框架51的一侧安装有用于限位的定位传感器57，滑块52的一侧对应定位传感器57设有定位板，以控制滑块52的移动距离。所述调试台4上端设有用于夹持固定住测试片41的弹性压片42，弹性压片42设有若干个。

本实施例中，控制箱3包括安装在主机体2上端的层板32及环绕在层板32四周的箱板31，所述箱板31的连接处固定设有立柱33，盖板34安装在箱板31的上端，并通过螺丝固定在立柱上，所述层板32上安装有电器零件，箱板31的一侧分布设有若干个接口。所述层板32和盖板34对应电机54分别开口，电机54贯穿层板32伸入至控制箱3内，盖板34对应电机54安装有罩盖35，以用于罩住电机54的上端。所述支架1的下端设有底座11，底座11与支架1垂直设置，以提高设备安装的稳定性。

本实用新型的工作原理为：Z轴运动机构通过电机54控制丝杆53旋转，从而通过滑块52带动底板21升降移动，底板21水平安装在连接件56的下端，避免了常规在线激光椭偏仪墙板5倾斜引起的不良影响，提高了设备稳定性，行为传感器用于限定Z轴运动区间及确定零位位置。光信号收集模块、光信号发出模块22和调试台4均安装于底板21上，与其一起上下运动，实现Z轴方向的对焦。弹性压片42安装于调试台4上，具有一定的弹性力，用于调试时压住测试片41，前面板25对应测试片41设有刻度线29，以对调试台4放置的测试片41进行精准定位，且便于观察测试片41是否发生了移位。

以上显示和描述了本实用新型的基本原理和主要特征和本实用新型的优点。本行业的技术人员应该了解，本实用新型不受上述实施例的限制，上述实施例和说明书中描述的只是说明本实用新型的原理，在不脱离本实用新型精神和范围的前提下，本实用新型还会有各种变化和改进，这些变化和改进都落入要求保护的本实用新型范围内。本实用新型的要求保护范围由所附的权利要求书及其等效物界定。需要说明的是，在本文中，如若存在第一和第二等之类的关系术语仅仅用来将一个实体或者操作与另一个实体或操作区分开来，而不一定要求或者暗示这些实体或操作之间存在任何这种实际的关系或者顺序。而且，术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含，从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者设备不仅包括那些要素，而且还包括没有明确列出的其他要素，或者是还包括为这种过程、方法、物品或者设备所固有的要素。在没有更多限制的情况下，由语句“包括一个……”限定的要素，并不排除在包括所述要素的过程、方法、物品或者设备中还存在另外的相同要素。

Claims (10)

1.一种新型在线测量的激光椭偏仪，包括支架及安装在支架上端的主机体、设置在主机体上端的控制箱，所述主机体内固定安装有Z轴运动机构，其特征在于：Z轴运动机构的下端水平安装有底板，以控制底板升降移动，所述底板的下端设有用于安装测试片的调试台，底板的一侧对应调试台设有光信号发出模块，另一侧设有光信号接收模块，所述光信号发出模块、光信号接收模块和调试台通过底板同步上下移动，以实现Z轴方向的对焦，所述调试台伸出主机体底部，以便于人员安装测试片，并观察测试片的位置。

2.根据权利要求1所述的一种新型在线测量的激光椭偏仪，其特征在于：所述主机体包括并列安装在两侧支架上的侧板、用于连接两端侧板一侧的前面板及用于连接两端侧板后端的背板，所述主机体的上端还设有顶盖，以用于封闭主机体内腔；所述主机体内设有若干个安装在两端侧板之间的支撑横梁。

3.根据权利要求2所述的一种新型在线测量的激光椭偏仪，其特征在于：所述前面板为折弯结构，前面板的下端标注有刻度线，以对调试台放置的测试片进行精准定位。

4.根据权利要求2所述的一种新型在线测量的激光椭偏仪，其特征在于：所述主机体两侧的侧板分别设有观察窗。

5.根据权利要求2所述的一种新型在线测量的激光椭偏仪，其特征在于：所述Z轴运动机构包括墙板及固定安装在墙板上的框架、设置在框架上的运动组件，所述运动组件包括滑块、转动安装在框架上的丝杆及驱动丝杆转动的电机，框架位于丝杆的两侧分别设有滑杆，所述滑块的两侧分别滑动安装在滑杆上，滑块的中间设有螺孔，并通过螺孔螺纹套设安装在丝杆上，以通过电机驱动丝杆控制滑块的升降调节，滑块的下端通过连接件与底板固定连接，以带动底板的移动。

6.根据权利要求5所述的一种新型在线测量的激光椭偏仪，其特征在于：所述框架的一侧安装有用于限位的定位传感器，滑块的一侧对应定位传感器设有定位板，以控制滑块的移动距离。

7.根据权利要求5所述的一种新型在线测量的激光椭偏仪，其特征在于：所述调试台上端设有用于夹持固定住测试片的弹性压片，弹性压片设有若干个。

8.根据权利要求5所述的一种新型在线测量的激光椭偏仪，其特征在于：所述控制箱包括安装在主机体上端的层板及环绕在层板四周的箱板，所述箱板的连接处固定设有立柱，盖板安装在箱板的上端，并通过螺丝固定在立柱上，所述层板上安装有电器零件，箱板的一侧分布设有若干个接口。

9.根据权利要求8所述的一种新型在线测量的激光椭偏仪，其特征在于：所述层板和盖板对应电机分别开口，电机贯穿层板伸入至控制箱内，盖板对应电机安装有罩盖，以用于罩住电机的上端。

10.根据权利要求1所述的一种新型在线测量的激光椭偏仪，其特征在于：所述支架的下端设有底座，底座与支架垂直设置，以提高设备安装的稳定性。