CN220318032U - 一种单晶硅拉制炉用炭炭复合材料筒状产品预制体固化工装 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开了一种单晶硅拉制炉用炭炭复合材料筒状产品预制体固化工装，涉及单晶炉的加工领域，包括单晶炉本体，所述单晶炉本体顶部的正中固定连接有气体管，气体管顶部的正中固定连接有第一伺服电机，第一伺服电机的底部通过联轴器固定连接有转动轴，转动轴的底部固定连接有籽晶夹持组件，单晶炉本体的内腔中活动连接有石墨托板，石墨托板的内腔中固定连接有坩埚，单晶炉本体底部的左右两侧对称固定连接有电极，单晶炉本体底部的右侧固定连接有排气管。本实用新型所述的一种单晶硅拉制炉用炭炭复合材料筒状产品预制体固化工装，此工装便于对晶体的夹持，同时便于对气体进行排出和输入，且具有较好的监测传感器，以此可以提高固化的精度。
Description
技术领域
本实用新型涉及单晶炉的加工领域，特别涉及一种单晶硅拉制炉用炭炭复合材料筒状产品预制体固化工装。
背景技术
单晶炉是一种在惰性气体，包括氮气、氦气为主的环境中，用石墨加热器将多晶硅等多晶材料熔化，用直法拉生长无错位单晶的设备。
使用单晶硅拉制炉进行加工时，其桶装产品的预制体工装，缺少较好的辅助组件帮助其成品的精度进行提高，且不能对其内部的工作状况进行监测工作。
因此，提出一种单晶硅拉制炉用炭炭复合材料筒状产品预制体固化工装来解决上述问题很有必要。
实用新型内容
本实用新型的主要目的在于提供一种单晶硅拉制炉用炭炭复合材料筒状产品预制体固化工装，可以有效解决背景技术中的问题。
为实现上述目的，本实用新型采取的技术方案为：
一种单晶硅拉制炉用炭炭复合材料筒状产品预制体固化工装，包括单晶炉本体，所述单晶炉本体顶部的正中固定连接有气体管，所述气体管顶部的正中固定连接有第一伺服电机，所述第一伺服电机的底部通过联轴器固定连接有转动轴，所述转动轴的底部固定连接有籽晶夹持组件；
所述单晶炉本体的内腔中活动连接有石墨托板，所述石墨托板的内腔中固定连接有坩埚，所述单晶炉本体底部的左右两侧对称固定连接有电极，所述单晶炉本体底部的右侧固定连接有排气管。
优选的，所述气体管右侧的顶部固定连接有惰性气体进气管，所述惰性气体进气管外壁的正中法兰连接有第一阀门，所述单晶炉本体右侧的底部固定连接有真空泵，所述气体管与单晶炉本体的内腔相通。
优选的，所述籽晶夹持组件为底部与外界相通的空腔结构，所述转动轴和籽晶夹持组件活动连接在气体管和单晶炉本体的内腔中，所述籽晶夹持组件正面和背面的正中对称固定连接有固定块，所述籽晶夹持组件内腔的正面和背面对称活动连接有弧形夹持块。
优选的，两个所述固定块相背一侧的正中对称固定连接有第二伺服电机，两个所述第二伺服电机相对一侧的正中通过第一转轴对称固定连接有螺纹杆，两个所述弧形夹持块相背一侧的正中对称固定连接有连接柱，两个所述连接柱均为空腔结构，两个所述连接柱对称螺纹连接在两个螺纹杆的外壁，所述连接柱和螺纹杆设置在固定块和籽晶夹持组件的内腔中。
优选的，所述单晶炉本体顶部的右侧固定连接有温度传感器，所述单晶炉本体顶部的左侧固定连接有直径控制传感器，所述单晶炉本体左侧的顶部固定连接有进料管，所述进料管外壁的正中法兰连接有第二阀门。
优选的，所述单晶炉本体的内壁固定连接有保温壁，所述保温壁的内壁固定连接有石墨加热器，所述石墨托板底部的正中通过第二转轴固定连接有第三伺服电机，所述第三伺服电机的底部固定连接在单晶炉本体内腔的底部。
有益效果
与现有技术相比，本实用新型具有如下有益效果：
该单晶硅拉制炉用炭炭复合材料筒状产品预制体固化工装，通过设置的设置的惰性气体进气管，能将惰性气体通过气体管导入至单晶炉本体的内腔，通过设置的真空泵，可以起到抽真空的效果，通过设置的籽晶夹持组件，能对晶体进行夹持工作，配合启动设置的第一伺服电机，能通过转动轴带动其进行转动。
该单晶硅拉制炉用炭炭复合材料筒状产品预制体固化工装，通过启动设置的第二伺服电机，能带动螺纹杆进行转动，使得连接柱能与螺纹杆螺纹连接，此时即可带动弧形夹持块进行移动，此时可以对晶体起到夹持工作，以此方便对晶体进行拆卸和安装。
该单晶硅拉制炉用炭炭复合材料筒状产品预制体固化工装，通过设置的温度传感器和直径控制传感器，在单晶炉本体工作时，能对其内腔的温度和成品的直径进行监测处理，通过设置的排气管，方便单晶炉本体进行排气工作，通过设置的保温壁在单晶炉本体工作时能防止热量的流失，通过设置的石墨加热器能起到加热效果。
附图说明
图1是本实用新型正面的结构示意图；
图2是本实用新型籽晶夹持组件的仰视图；
图3是本实用新型单晶炉本体的俯视图；
图4是本实用新型单晶炉本体的仰视图。
图中：1、单晶炉本体；2、气体管；3、惰性气体进气管；4、真空泵；5、第一阀门；6、温度传感器；7、直径控制传感器；8、第一伺服电机；9、转动轴；10、籽晶夹持组件；11、固定块；12、第二伺服电机；13、螺纹杆；14、连接柱；15、弧形夹持块；16、进料管；17、第二阀门；18、电极；19、保温壁；20、石墨加热器；21、第三伺服电机；22、石墨托板；23、坩埚；24、排气管。
实施方式
为使本实用新型实现的技术手段、创作特征、达成目的与功效易于明白了解，下面结合具体实施方式，进一步阐述本实用新型。
如图1-2所示，一种单晶硅拉制炉用炭炭复合材料筒状产品预制体固化工装，包括单晶炉本体1，单晶炉本体1顶部的正中固定连接有气体管2，气体管2顶部的正中固定连接有第一伺服电机8，第一伺服电机8的底部通过联轴器固定连接有转动轴9，转动轴9的底部固定连接有籽晶夹持组件10，气体管2右侧的顶部固定连接有惰性气体进气管3，惰性气体进气管3外壁的正中法兰连接有第一阀门5，单晶炉本体1右侧的底部固定连接有真空泵4，气体管2与单晶炉本体1的内腔相通，籽晶夹持组件10为底部与外界相通的空腔结构，转动轴9和籽晶夹持组件10活动连接在气体管2和单晶炉本体1的内腔中，籽晶夹持组件10正面和背面的正中对称固定连接有固定块11，籽晶夹持组件10内腔的正面和背面对称活动连接有弧形夹持块15，两个固定块11相背一侧的正中对称固定连接有第二伺服电机12，两个第二伺服电机12相对一侧的正中通过第一转轴对称固定连接有螺纹杆13，两个弧形夹持块15相背一侧的正中对称固定连接有连接柱14，两个连接柱14均为空腔结构，两个连接柱14对称螺纹连接在两个螺纹杆13的外壁，连接柱14和螺纹杆13设置在固定块11和籽晶夹持组件10的内腔中，通过设置的设置的惰性气体进气管3，能将惰性气体通过气体管2导入至单晶炉本体1的内腔，通过设置的真空泵4，可以起到抽真空的效果，通过设置的籽晶夹持组件10，能对晶体进行夹持工作，配合启动设置的第一伺服电机8，能通过转动轴9带动其进行转动，通过启动设置的第二伺服电机12，能带动螺纹杆13进行转动，使得连接柱14能与螺纹杆13螺纹连接，此时即可带动弧形夹持块15进行移动，此时可以对晶体起到夹持工作，以此方便对晶体进行拆卸和安装。
如图1、3、4所示，一种单晶硅拉制炉用炭炭复合材料筒状产品预制体固化工装，单晶炉本体1的内腔中活动连接有石墨托板22，石墨托板22的内腔中固定连接有坩埚23，单晶炉本体1底部的左右两侧对称固定连接有电极18，单晶炉本体1底部的右侧固定连接有排气管24，单晶炉本体1顶部的右侧固定连接有温度传感器6，单晶炉本体1顶部的左侧固定连接有直径控制传感器7，单晶炉本体1左侧的顶部固定连接有进料管16，进料管16外壁的正中法兰连接有第二阀门17，单晶炉本体1的内壁固定连接有保温壁19，保温壁19的内壁固定连接有石墨加热器20，石墨托板22底部的正中通过第二转轴固定连接有第三伺服电机21，第三伺服电机21的底部固定连接在单晶炉本体1内腔的底部，通过设置的温度传感器6和直径控制传感器7，在单晶炉本体1工作时，能对其内腔的温度和成品的直径进行监测处理，通过设置的排气管24，方便单晶炉本体1进行排气工作，通过设置的保温壁19在单晶炉本体1工作时能防止热量的流失，通过设置的石墨加热器20能起到加热效果。
需要说明的是，本实用新型为一种单晶硅拉制炉用炭炭复合材料筒状产品预制体固化工装，使用时将原料通过进料管16倒入至坩埚23的内腔中，关闭第二阀门17，将第一阀门5打开，将惰性气体通过惰性气体进气管3输入至气体管2的内腔，使得惰性气体能与原料混合，启动第二伺服电机12，带动螺纹杆13进行转动，使得连接柱14能与其螺纹连接，以此带动弧形夹持块15对晶体进行夹持工作，夹持完毕后，启动第一伺服电机8和第三伺服电机21，带动晶体和坩埚23进行转动，同时启动电极18，对石墨加热器20进行加热处理，此时即可进行工作，工作时，温度传感器6和直径控制传感器7可以对其内部的状态进行监测。
以上显示和描述了本实用新型的基本原理和主要特征和本实用新型的优点。本行业的技术人员应该了解，本实用新型不受上述实施例的限制，上述实施例和说明书中描述的只是说明本实用新型的原理，在不脱离本实用新型精神和范围的前提下，本实用新型还会有各种变化和改进，这些变化和改进都落入要求保护的本实用新型范围内。本实用新型要求保护范围由所附的权利要求书及其等效物界定。
Claims (6)
1.一种单晶硅拉制炉用炭炭复合材料筒状产品预制体固化工装，包括单晶炉本体（1），其特征在于：所述单晶炉本体（1）顶部的正中固定连接有气体管（2），所述气体管（2）顶部的正中固定连接有第一伺服电机（8），所述第一伺服电机（8）的底部通过联轴器固定连接有转动轴（9），所述转动轴（9）的底部固定连接有籽晶夹持组件（10）；
所述单晶炉本体（1）的内腔中活动连接有石墨托板（22），所述石墨托板（22）的内腔中固定连接有坩埚（23），所述单晶炉本体（1）底部的左右两侧对称固定连接有电极（18），所述单晶炉本体（1）底部的右侧固定连接有排气管（24）。
2.根据权利要求1所述的一种单晶硅拉制炉用炭炭复合材料筒状产品预制体固化工装，其特征在于：所述气体管（2）右侧的顶部固定连接有惰性气体进气管（3），所述惰性气体进气管（3）外壁的正中法兰连接有第一阀门（5），所述单晶炉本体（1）右侧的底部固定连接有真空泵（4），所述气体管（2）与单晶炉本体（1）的内腔相通。
3.根据权利要求2所述的一种单晶硅拉制炉用炭炭复合材料筒状产品预制体固化工装，其特征在于：所述籽晶夹持组件（10）为底部与外界相通的空腔结构，所述转动轴（9）和籽晶夹持组件（10）活动连接在气体管（2）和单晶炉本体（1）的内腔中，所述籽晶夹持组件（10）正面和背面的正中对称固定连接有固定块（11），所述籽晶夹持组件（10）内腔的正面和背面对称活动连接有弧形夹持块（15）。
4.根据权利要求3所述的一种单晶硅拉制炉用炭炭复合材料筒状产品预制体固化工装，其特征在于：两个所述固定块（11）相背一侧的正中对称固定连接有第二伺服电机（12），两个所述第二伺服电机（12）相对一侧的正中通过第一转轴对称固定连接有螺纹杆（13），两个所述弧形夹持块（15）相背一侧的正中对称固定连接有连接柱（14），两个所述连接柱（14）均为空腔结构，两个所述连接柱（14）对称螺纹连接在两个螺纹杆（13）的外壁，所述连接柱（14）和螺纹杆（13）设置在固定块（11）和籽晶夹持组件（10）的内腔中。
5.根据权利要求1所述的一种单晶硅拉制炉用炭炭复合材料筒状产品预制体固化工装，其特征在于：所述单晶炉本体（1）顶部的右侧固定连接有温度传感器（6），所述单晶炉本体（1）顶部的左侧固定连接有直径控制传感器（7），所述单晶炉本体（1）左侧的顶部固定连接有进料管（16），所述进料管（16）外壁的正中法兰连接有第二阀门（17）。
6.根据权利要求1所述的一种单晶硅拉制炉用炭炭复合材料筒状产品预制体固化工装，其特征在于：所述单晶炉本体（1）的内壁固定连接有保温壁（19），所述保温壁（19）的内壁固定连接有石墨加热器（20），所述石墨托板（22）底部的正中通过第二转轴固定连接有第三伺服电机（21），所述第三伺服电机（21）的底部固定连接在单晶炉本体（1）内腔的底部。
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