CN220194471U - 废气洗涤装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型属于废气处理设备技术领域，涉及一种废气洗涤装置，洗涤塔本体设置有废气进口和废气出口，洗涤塔本体内部设置有废气处理区、一级除雾区和二级除雾区，废气处理区设置有填料层和第一喷淋层；一级除雾区设置有折流板除雾器，二级除雾区设置有丝网除雾器。通过设置两级除雾区进行高效除雾，可以保证排入管道或烟囱的净化气体含水量低，整体除雾效率可达98％以上；一级折流除雾可去除绝大部分废气中较大的液滴、雾滴及一些固体颗粒，二级丝网除雾可去除粒径大于3～5um的雾沫；除雾区使得废气洗涤装置排入管道或烟囱的净化气体含水量低，减轻后续处理***的运行负荷，提高后续处理***的运行效率，延长后续设备的使用寿命，防止设备被腐蚀。

Description

废气洗涤装置

技术领域

本实用新型涉及废气处理设备技术领域，尤其涉及一种废气洗涤装置。

背景技术

泛半导体行业，制造过程酸碱废气是常见的产生废气，酸性气体的主要组成为HF、HCl、Cl₂、H₂SO₄、SO₂等，碱性气体为NH₃、NaOH等。

酸碱废气通常采用喷淋洗涤工艺，利用酸碱中和反应原理进行去除。喷淋层净化后的气体其水分含量较大，容易产生粒径为小于60μm的水雾，水雾不仅含有水分，它还溶有未反应的酸碱物质、生产的盐类，以及粉尘颗粒等。

现用的洗涤装置除雾效率很低，经常在出口会出现漂水的现象，含湿量大的废气不仅会腐蚀管道，而且造成环境的二次污染。现用的洗涤装置除雾在除雾过程中，气体一般只经过一次除雾，除雾率较低，只能去除颗粒较大的雾粒，大部分微小的雾粒仍然会被排到空气中。

实用新型内容

本实用新型提供一种废气洗涤装置，是一种能进行高效除雾的洗涤装置，用以解决现有洗涤装置在处理酸碱废气过程中存在的缺陷，实现高效除雾，使废气洗涤装置排入管道或烟囱的净化气体含水量低，减轻后续处理***的运行负荷，提高后续处理***的运行效率，延长后续设备的使用寿命，防止设备被腐蚀。

本实用新型提供一种废气洗涤装置，包括洗涤塔本体，所述洗涤塔本体设置有废气进口和废气出口，所述洗涤塔本体内部设置有依次连通的废气处理区、一级除雾区和二级除雾区，所述废气处理区与所述废气进口连通，所述二级除雾区与所述废气出口连通；

所述废气处理区设置有填料层和第一喷淋层；所述一级除雾区设置有折流板除雾器，所述二级除雾区设置有丝网除雾器。

根据本实用新型提供的一种废气洗涤装置，所述废气处理区和所述一级除雾区之间区域设置变径区，且所述变径区的大径端与所述废气处理区连通，所述变径区的小径端与所述一级除雾区连通。

根据本实用新型提供的一种废气洗涤装置，所述变径区和所述二级除雾区的出口区域通过压差管道连通，所述压差管道上设置压差表。

根据本实用新型提供的一种废气洗涤装置，所述折流板除雾器包括多个并排布置的折流板，相邻所述折流板之间形成适于气流通过的折流通道，所述折流板上形成有多个梯形折流区。

根据本实用新型提供的一种废气洗涤装置，所述一级除雾区和所述二级除雾区之间设置有第二喷淋层，所述第二喷淋层用于对所述折流板除雾器进行喷淋冲洗。

根据本实用新型提供的一种废气洗涤装置，所述丝网除雾器由多层聚丙烯丝网组成，多层所述聚丙烯丝网倾斜排布，每个所述聚丙烯丝网形成有多个直径为φ0.10mm～φ0.28mm的网孔。

根据本实用新型提供的一种废气洗涤装置，所述废气处理区的进口和出口均设置有格栅板，所述填料层位于所述废气处理区进口处的所述格栅板上，所述填料层为固体吸附填料，所述格栅板适于气体和液体通过，并对所述固体吸附填料形成阻挡。

根据本实用新型提供的一种废气洗涤装置，所述洗涤塔本体底部设置有循环液体箱，所述循环液体箱与所述洗涤塔本体底部连通，并且所述循环液体箱通过管道分别与所述第一喷淋层以及所述第二喷淋层连通，用于提供喷淋液体。

根据本实用新型提供的一种废气洗涤装置，所述循环液体箱上设置有液位仪、PH仪和补液口。

根据本实用新型提供的一种废气洗涤装置，所述洗涤塔本体上自上而下设置有多个观察窗。

本实用新型提供的一种废气洗涤装置，通过设置两级除雾区进行高效除雾，可以保证排入管道或烟囱的净化气体含水量低，整体除雾效率可达98％以上；一级折流除雾可去除绝大部分废气中较大的液滴、雾滴及一些固体颗粒，二级丝网除雾可去除粒径大于3～5um的雾沫；两级除雾区使得废气洗涤装置排入管道或烟囱的净化气体含水量低，减轻后续处理***的运行负荷，提高后续处理***的运行效率，延长后续设备的使用寿命，防止设备被腐蚀。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作一简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1是本实用新型提供的废气洗涤装置的整体结构示意图。

附图标记：

1、洗涤塔本体；2、废气进口；3、废气出口；4、废气处理区；5、一级除雾区；6、二级除雾区；7、填料层；8、第一喷淋层；9、折流板除雾器；10、丝网除雾器；11、第二喷淋层；12、变径区；13、压差管道；14、压差表；15、格栅板；16、循环液体箱；17、液位仪；18、PH仪；19、补液口；20、观察窗；

9-1、折流板；9-2、折流通道；9-3、梯形折流区。

具体实施方式

为使本实用新型的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本实用新型中的附图，对本实用新型中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

在本实用新型实施例的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型实施例和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型实施例的限制。此外，术语“第一”、“第二”、“第三”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。

在本实用新型实施例的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本实用新型实施例中的具体含义。

在本实用新型实施例中，除非另有明确的规定和限定，第一特征在第二特征“上”或“下”可以是第一和第二特征直接接触，或第一和第二特征通过中间媒介间接接触。而且，第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”可是第一特征在第二特征正上方或斜上方，或仅仅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”可以是第一特征在第二特征正下方或斜下方，或仅仅表示第一特征水平高度小于第二特征。

在本说明书的描述中，参考术语“一个实施例”、“一些实施例”、“示例”、“具体示例”、或“一些示例”等的描述意指结合该实施例或示例描述的具体特征、结构、材料或者特点包含于本实用新型实施例的至少一个实施例或示例中。在本说明书中，对上述术语的示意性表述不必须针对的是相同的实施例或示例。而且，描述的具体特征、结构、材料或者特点可以在任一个或多个实施例或示例中以合适的方式结合。此外，在不相互矛盾的情况下，本领域的技术人员可以将本说明书中描述的不同实施例或示例以及不同实施例或示例的特征进行结合和组合。

本实用新型的一个实施例提供一种废气洗涤装置，参见图1所示，包括洗涤塔本体1，洗涤塔本体1设置有废气进口2和废气出口3，洗涤塔本体1内部设置有依次连通的废气处理区4、一级除雾区5和二级除雾区6，废气处理区4与废气进口2连通，二级除雾区6与废气出口3连通；废气处理区4设置有填料层7和第一喷淋层8；一级除雾区5设置有折流板除雾器9，二级除雾区6设置有丝网除雾器10。

酸碱废气由废气进口2进入洗涤塔本体1，经过废气处理区4，首先由填料层7进行填料吸附，吸附部分酸性和碱性气体，然后由第一喷淋层8喷淋洗涤溶液，酸碱废气与第一喷淋层8喷洒的洗涤溶液进行中和反应，净化后的气体经过两层高效除雾装置，即依次经过一级除雾区5和二级除雾区6，一级除雾区5设置有折流板除雾器9，去除绝大部分废气中较大的液滴、雾滴及固体颗粒；二级除雾区6设置有丝网除雾器10，去除3-5μm以上的雾滴及部分气溶胶颗粒，整体除雾效率可达98％以上，最后由废气出口3排出经过处理后的废气，实现进入后续管道或烟囱中气体含水量更低，雾气更小。

在上述实施例的基础上，本实施例中，废气处理区4和一级除雾区5之间区域设置变径区12，且变径区12的大径端与废气处理区4连通，变径区12的小径端与一级除雾区5连通。

可以理解的是，一级除雾区5和二级除雾区6中进行除雾过程中，气流流速提高有利于除雾的进行，本实施例中，从废气处理区4到一级除雾区5之间设置变径区12，就是为了提高气流进入除雾区的流速，提升除雾效率。在废气处理区4，气流面流速控制在2-2.5m/s，进入除雾区的过程中(包括一级除雾区5和二级除雾区6)，通过变径区12的作用，使得气流面流速达到4-4.5m/s，提高气流流速，继而提升除雾效率。本实施例的变径区12可以设置单独的变径管(图中未标出)，连通废气处理区4和一级除雾区5，也可以直接将该区域的洗涤塔本体1的塔身做成是变径的结构(图1所示结构)，变径区12可以起到引流作用，气流面由粗变细，并且均匀分布，以加快气流流速。

为方便判断洗涤塔除雾区的压损，本实用新型提供的一个实施例中，变径区12和二级除雾区6的出口区域(图1中为二级除雾区6上方区域)通过压差管道13连通，压差管道13上设置压差表14。压差表14上可以反映气流自进行除雾到完成整个除雾过程的压降，当压降超过一定数值，表示一级除雾区5和二级除雾区6的除雾效率降低，此时可以停机，对装置进行清洗，确保除雾作业的高效进行。

下面提供折流板除雾器9的实施例。

折流板除雾器9包括多个并排布置的折流板9-1，相邻折流板9-1之间形成适于气流通过的折流通道9-2，折流板9-1上形成有多个梯形折流区9-3。折流板除雾器9的分离原理在于雾粒在惯性作用下偏离气流的流向，撞击在折流板9-1叶片上，被捕集分离除去。流速是影响折流板除雾器9效率的主要因素，随着气流经过变径区12，截面气流速度得到增加，折流板除雾器9的除雾效率呈现先上升后下降的趋势。

可以理解的是，本实施例中，折流板9-1的板形为梯形，即在折流板9-1上形成有多个梯形折流区9-3，具体地，梯形夹角为120°，相邻折流板9-1之间间距为30mm，形成适于气流通过的折流通道9-2，当然折流板9-1也可以设置为折线形板和流线形板，本实施例的梯形折流板的除雾效率高于折线形板和流线形板，折流板除雾器9中气流面流速控制在4-4.5m/s之间，对于大于25μm的微粒的分离效率能达到最大值98％，而且可以将气体中携带的固体颗粒截住排出，减轻下一级丝网除雾器10的除雾量，并且可以防止固体杂物对丝网除雾器10的封堵。

在折流板除雾器9中，随着截面气流速度的增大，气流在折流通道9-2里方向转折会加快，而在惯性力的作用下，液滴随气流流动的特性会变差，所以随着截面气流速度的增大，液滴更容易被折流板9-1叶片壁面捕集，从而折流板9-1的分离效率会增加。但是当截面气流流速达到某一值后，折流板9-1分离下的液滴又会重新被气体夹带，折流板除雾器9效率开始下降，因此，折流板9-1上捕集的水雾、固体沉积物等需要定期进行冲洗。

基于上述折流板除雾器9需要进行定期冲洗，在本实施例中，一级除雾区5和二级除雾区6之间设置有第二喷淋层11，第二喷淋层11用于对折流板除雾器9进行喷淋冲洗。

下面提供丝网除雾器10的实施例。

本实用新型提供丝网除雾器10的一个具体实施例，丝网除雾器10由多层聚丙烯丝网组成，多层聚丙烯丝网倾斜排布，每个聚丙烯丝网形成有多个直径为φ0.10mm～φ0.28mm的网孔。

对于丝网除雾器10，气流速度是影响丝网除雾器10性能的主要因素，气速增大除雾效果增大。因此，二级除雾区6中气流速度与一级除雾区5取值一致，4～4.5m/s。丝网是聚丙烯材质，且规格为φ0.10mm～φ0.28mm的网块，床层厚度200mm，并且倾斜安装，以图1中的结构为例，洗涤塔本体1竖直放置，二级除雾区6为水平的区域，多层聚丙烯丝网与竖直的洗涤塔本体1呈现一定的倾斜角度，倾斜安装聚丙烯丝网，可以将过滤面积增大15％；对粒径大于3～5um的雾沫，捕集效率达98％-99.8％，而气流通过聚丙烯丝网的压力降却很小，只有250-500Pa，有利于提高设备的生产效率。

下面提供废气处理区4的实施例。

根据本实用新型提供的一种废气洗涤装置，在废气处理区4的进口和出口均设置有格栅板15，填料层7位于废气处理区4进口处的格栅板15上，填料层7为固体吸附填料，格栅板15适于气体和液体通过，并对固体吸附填料形成阻挡。

可以理解的是，酸碱废气从废气进口2进入洗涤塔本体1后，首先经过的是填料层7，填料层7为固体吸附填料，可以是聚丙烯塑料制成的空心球结构，在球中部沿整个周长有一道加固环，环的上下各有12片球瓣，沿中心轴呈放射形布置，比表面积大，可充分解决气液交换，叶片多，流体通透阻力小，气体流速高的优点。固体吸附填料位于两个格栅板15之间，独立进行吸附作业，不影响其他区域的工作。格栅板15可以通过气体和液体，对于气体，废气由废气处理区4的进口(图1中为废气处理区4下方)的格栅板15进入废气处理区4，进行填料层7的吸附和第一喷淋层8喷淋中和反应后，从废气处理区4的出口(图1中为废气处理区4上方)的格栅板15进入变径区12；对于液体，由第一喷淋层8和第二喷淋层11喷淋出的液体，包括水或者洗涤溶液，经过格栅板15的格栅孔，流到洗涤塔本体1底部。

洗涤塔本体1底部设置有循环液体箱16，循环液体箱16与洗涤塔本体1底部连通，并且循环液体箱16通过管道分别与第一喷淋层8以及第二喷淋层11连通，流到洗涤塔本体1底部的水或者洗涤溶液，进入循环液体箱16，然后由管道再次输送至第一喷淋层8或第二喷淋层11，继续进行喷淋作业，完成液体的在洗涤塔本体1的循环过程。为了保证循环过程的进行，循环液体箱16上设置有液位仪17、PH仪18和补液口19，通过液位仪17和PH仪18可以实时显示循环液体箱16中的液面高度和液体PH值，根据需要从补液口19向循环液体箱16补充水或者洗涤溶液，调整液面的高度和液体PH值，保证第一喷淋层8以及第二喷淋层11的正常工作。

本实施例还在洗涤塔本体1上，自上而下设置有多个观察窗20，参见图1所示，图1中有三个观察窗20，包括位于废气处理区4的两个观察窗20和位于二级除雾区6上方的观察窗20。废气处理区4的两个观察窗20，位于下方的观察窗20用于观察填料层7的吸附填料的工作状态，观察是否吸附饱和；位于上方的观察窗20用于观察第一喷淋层8的喷淋效果，观察是否有喷头阻塞等影响喷淋作业的情况。二级除雾区6上方的观察窗20可以用来观察经过除雾作业后的气流的情况。

综上所述，本实用新型提供的一种废气洗涤装置，通过上述多个实施例的单独作用或相互组合，两级除雾区进行高效除雾，可以保证排入管道或烟囱的净化气体含水量低，整体除雾效率可达98％以上；一级折流除雾可去除绝大部分废气中较大的液滴、雾滴及一些固体颗粒，二级丝网除雾可去除粒径大于3～5um的雾沫；变径区的设置能提高进入除雾区的流体速度，提升除雾效率；除雾区使得废气洗涤装置排入管道或烟囱的净化气体含水量低，减轻后续处理***的运行负荷，提高后续处理***的运行效率，延长后续设备的使用寿命，防止设备被腐蚀。

最后应说明的是：以上实施例仅用以说明本实用新型的技术方案，而非对其限制；尽管参照前述实施例对本实用新型进行了详细的说明，本领域的普通技术人员应当理解：其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换；而这些修改或者替换，并不使相应技术方案的本质脱离本实用新型各实施例技术方案的精神和范围。

Claims (9)

1.一种废气洗涤装置，其特征在于，包括洗涤塔本体(1)，所述洗涤塔本体(1)设置有废气进口(2)和废气出口(3)，所述洗涤塔本体(1)内部设置有依次连通的废气处理区(4)、一级除雾区(5)和二级除雾区(6)，所述废气处理区(4)与所述废气进口(2)连通，所述二级除雾区(6)与所述废气出口(3)连通；

所述废气处理区(4)设置有填料层(7)和第一喷淋层(8)；所述一级除雾区(5)设置有折流板除雾器(9)，所述二级除雾区(6)设置有丝网除雾器(10)；

所述废气处理区(4)和所述一级除雾区(5)之间区域设置变径区(12)，且所述变径区(12)的大径端与所述废气处理区(4)连通，所述变径区(12)的小径端与所述一级除雾区(5)连通。

2.根据权利要求1所述的废气洗涤装置，其特征在于，所述变径区(12)和所述二级除雾区(6)的出口区域通过压差管道(13)连通，所述压差管道(13)上设置压差表(14)。

3.根据权利要求1或2所述的废气洗涤装置，其特征在于，所述折流板除雾器(9)包括多个并排布置的折流板(9-1)，相邻所述折流板(9-1)之间形成适于气流通过的折流通道(9-2)，所述折流板(9-1)上形成有多个梯形折流区(9-3)。

4.根据权利要求3所述的废气洗涤装置，其特征在于，所述一级除雾区(5)和所述二级除雾区(6)之间设置有第二喷淋层(11)，所述第二喷淋层(11)用于对所述折流板除雾器(9)进行喷淋冲洗。

5.根据权利要求1或2所述的废气洗涤装置，其特征在于，所述丝网除雾器(10)由多层聚丙烯丝网组成，多层所述聚丙烯丝网倾斜排布，每个所述聚丙烯丝网形成有多个直径为φ0.10mm～φ0.28mm的网孔。

6.根据权利要求1或2所述的废气洗涤装置，其特征在于，所述废气处理区(4)的进口和出口均设置有格栅板(15)，所述填料层(7)位于所述废气处理区(4)进口处的所述格栅板(15)上，所述填料层(7)为固体吸附填料，所述格栅板(15)适于气体和液体通过，并对所述固体吸附填料形成阻挡。

7.根据权利要求4所述的废气洗涤装置，其特征在于，所述洗涤塔本体(1)底部设置有循环液体箱(16)，所述循环液体箱(16)与所述洗涤塔本体(1)底部连通，并且所述循环液体箱(16)通过管道分别与所述第一喷淋层(8)以及所述第二喷淋层(11)连通，用于提供喷淋液体。

8.根据权利要求7所述的废气洗涤装置，其特征在于，所述循环液体箱(16)上设置有液位仪(17)、PH仪(18)和补液口(19)。

9.根据权利要求1或2所述的废气洗涤装置，所述洗涤塔本体(1)上自上而下设置有多个观察窗(20)。