CN219995347U - 一种含氨硅烷废气排放治理*** - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开了一种含氨硅烷废气排放治理***，包括硅烷燃烧筒单元、除尘器单元、洗涤塔和排废风机，硅烷燃烧筒单元设有废气入口、助燃气入口、废气出口以及排渣口，硅烷燃烧筒单元的排渣口设置于硅烷燃烧筒单元的底部，硅烷燃烧筒单元的废气出口与除尘器单元的入口通过管道连接，除尘器单元的出口与洗涤塔的废气入口通过管道连接，洗涤塔的废气出口与排废风机的入口通过管道连接。通过本实用新型的处理方法，能够将含氨硅烷废气完全进行无害化处理，无二次污染，治理现场无异味，既经济又环保，实现了硅烷废气持续达标排放的治理目的。
Description
技术领域
本实用新型属于环境治理技术领域，具体涉及一种含氨硅烷废气排放治理***。
背景技术
太阳能光伏电池板制造行业在生产过程中，需要在太阳能电池表面沉积一层氮化硅减反射膜，以达到减少光线在电池片表面反射作用，提高太阳能电池的光电转换效率。制备氮化硅膜过程中，通过控制真空泵将腔体内过量的氨气和硅烷抽出来保证炉管腔体压力恒定。被抽出的氨气和硅烷作为废气(称作含氨硅烷废气)通过废气处理装置处理后排放。现有处理工艺普遍采取吸收法，处理效率低，由于硅烷以它特有的自燃、***性而著称，硅烷有非常宽的自发着火范围和极强的燃烧能量，决定了它是一种高危险性的气体，如何安全有效的处理含氨硅烷废气体是本领域亟待解决问题。
实用新型内容
为解决现有技术中存在的问题，本实用新型目的彩玉提供一种含氨硅烷废气排放治理***，本实用新型能有效处理含氨硅烷废气且无二次污染，既经济又环保。
本实用新型采用的技术方案如下：
一种含氨硅烷废气排放治理***，包括硅烷燃烧筒单元、除尘器单元、洗涤塔和排废风机，硅烷燃烧筒单元设有废气入口、助燃气入口、废气出口以及排渣口，硅烷燃烧筒单元的排渣口设置于硅烷燃烧筒单元的底部，硅烷燃烧筒单元的废气出口与除尘器单元的入口通过管道连接，除尘器单元的出口与洗涤塔的废气入口通过管道连接，洗涤塔的废气出口与排废风机的入口通过管道连接。
优选的，硅烷燃烧筒单元采用不锈钢硅烷燃烧筒，不锈钢硅烷燃烧筒设有废气入口、助燃气入口、废气出口以及排渣口，不锈钢硅烷燃烧筒的底部设有集渣斗，排渣口位于集渣斗的底部，且排渣口设有排渣阀。
优选的，所述不锈钢硅烷燃烧筒设置多个，所有不锈钢硅烷燃烧筒的废气出口通过管路连通后与除尘器单元的入口连接。
优选的，除尘器单元包括布袋除尘器，硅烷燃烧筒单元的废气出口与布袋除尘器的入口通过管道连接，布袋除尘器的出口与洗涤塔的废气入口通过管道连接。
优选的，布袋除尘器周围设有反吹气嘴，反吹气嘴连接压缩空气源。
优选的，布袋除尘器的入口端设有压差变送器，压差变送器与控制器相连，控制器还与压缩空气源连接。
优选的，除尘器单元还包括多管除尘器，多管除尘器设置于布袋除尘器的入口侧，多管除尘器的入口与硅烷燃烧筒单元的废气出口连接，多管除尘器的出口与布袋除尘器的入口连接。
优选的，洗涤塔的喷嘴采用无堵塞螺旋喷嘴。
优选的，洗涤塔采用一用一备的方式布置，除尘器单元的出口与洗涤塔的废气入口之间的管道上设有第一切换阀，第一切换阀用于切换两台洗涤塔的废气入口。
优选的，洗涤塔的废气出口与排废风机的入口之间的管道上设有第二切换阀，第二切换阀用于切换两台洗涤塔的废气出口。
本实用新型具有如下有益效果：
本实用新型含氨硅烷废气排放治理***中，能够将含氨硅烷废气在硅烷燃烧筒单元中与助燃气体混合并进行燃烧，燃烧能够将硅烷废气转化为SiO2粉尘，同时还会形成含有氨气的废气，在含氨硅烷废气燃烧的同时，燃烧产生的SiO2粉尘收集于硅烷燃烧筒单元的底部，可通过排渣口将硅烷燃烧筒单元底部沉积的SiO2粉尘排出，因此能够降低含有氨气的废气中粉尘的含量，进而降低后续除尘的难度；通过设置除尘器单元，能够将含有氨气的废气进行进一步除尘，使得含有氨气的废气进行洗涤除氨的要求；通过洗涤塔能够除去废气中的氨气，同时还有去除废气中的颗粒成分的作用，通过排废风机能够将洗涤塔3处理后的无害废气抽出排放掉。通过本实用新型的含氨硅烷废气排放治理***，能够将含氨硅烷废气完全进行无害化处理，无二次污染，治理现场无异味，既经济又环保，实现了硅烷废气持续达标排放的治理目的。
附图说明
图1为本实用新型实施例提供的含氨硅烷废气排放治理***的结构示意图。
图中，1-硅烷燃烧筒单元，2-除尘器单元，3-洗涤塔，4-排废风机，5-第一管道，6-爬梯，7-第二管道，8-第一切换阀，9-第二切换阀10-第三管道。
具体实施方式
下面结合附图和实施例来对本实用新型做进一步的说明。
参见图1，本实用新型含氨硅烷废气排放治理***，包括硅烷燃烧筒单元1、除尘器单元2、洗涤塔3和排废风机4，硅烷燃烧筒单元1设有废气入口、助燃气入口、废气出口以及排渣口，硅烷燃烧筒单元1的排渣口设置于硅烷燃烧筒单元1的底部，硅烷燃烧筒单元1的废气出口与除尘器单元2的入口通过管道连接，除尘器单元2的出口与洗涤塔3的废气入口通过管道连接，洗涤塔3的废气出口与排废风机4的入口通过管道连接。
本实用新型含氨硅烷废气排放治理***中，通过硅烷燃烧筒单元1能够将含氨硅烷废气进行燃烧，同时还能收集燃烧时生成的二氧化硅粉尘；硅烷燃烧筒单元1上设置的废气入口能够与硅烷废气排放管道连接，将含氨硅烷废气通入硅烷燃烧筒单元1内，通过助燃气入口能够向硅烷燃烧筒单元1内通入助燃气(如空气)，空气和含氨硅烷废气中的硅烷燃烧，生成二氧化硅粉尘，而氨无法燃烧而保留在废气中，生成的二氧化硅粉尘大部分沉积在硅烷燃烧筒单元1的底部并最终能够通过排渣口排出，而还有一小部分二氧化硅粉尘仍滞留在废气中、并随废气从废气出口一起流入除尘器单元2中进行除尘，在除尘器单元2中，剩余的绝大部分废气中的二氧化硅粉尘能够被除去，经除尘器单元2处理后的含有氨气的废气进入洗涤塔3进行洗涤，在洗涤塔3中，一方面将含有氨气的废气中的氨气洗脱掉，另一方面还能够将废气中残余的颗粒物清洗掉，使得废气达到无害的排放标准。利用排废风机4将洗涤塔3处理后的无害废气抽出排放掉，排废风机4抽出的废气可经烟囱达标排放。
本实用新型进一步的改进在于，硅烷燃烧筒单元1采用不锈钢硅烷燃烧筒，不锈钢硅烷燃烧筒设有废气入口、助燃气入口、废气出口以及排渣口，不锈钢硅烷燃烧筒的底部设有集渣斗，排渣口位于集渣斗的底部，且排渣口设有排渣阀。本实用新型采用不锈钢硅烷燃烧筒，利用其强度高的特点，对大量出现硅烷时起到应急保护、防爆的作用，因此本实用新型对硅烷气浓度波动适应范围广。
更具体的，不锈钢硅烷燃烧筒的材料可采用优质厚度不低于3mm的SUS304不锈钢材质。
本实用新型进一步的改进在于，所述不锈钢硅烷燃烧筒设置多个，所有不锈钢硅烷燃烧筒的废气出口通过管路连通后与除尘器单元2的入口连接。其中不锈钢硅烷燃烧筒中均是独立进行燃烧的，燃烧产生的含有氨气的废气经管道汇集后统一送入除尘器单元2进行除尘。本实用新型通过多个不锈钢硅烷燃烧筒能够同时处理较大量的含氨硅烷废气，对于大量出现硅烷时起到很好的缓冲作用，提高了整个硅烷燃烧筒单元1的安全定。因此本实用新型上述方案又更进一步的提高了对硅烷气浓度波动适应范围的适应能力，适应范围更广了，安全性更好。
本实用新型的上述方案中，除尘器单元2包括布袋除尘器，硅烷燃烧筒单元1的废气出口与布袋除尘器的入口通过管道连接，布袋除尘器的出口与洗涤塔3的废气入口通过管道连接。布袋除尘器结构简单、成本低，而且对于二氧化硅粉尘具有很好的去除效果。
本实用新型的进一步改进还在于，布袋除尘器周围设有反吹气嘴，反吹气嘴连接压缩空气源。反吹气嘴可连接高压气源，利用高压气源和反吹喷嘴对布袋除尘器进行定期反吹，或者当布袋除尘器中压差降低至预设范围值以下时进行反吹，能够将布袋除尘器滤袋上残留的粉尘吹掉，以保证布袋除尘器的除尘效率。当采用布袋除尘器中压差降低至预设范围值以下时进行反吹时，需要在布袋除尘器的入口端设置压差变送器，以检测布袋除尘器中压差，进而判断布袋除尘器中的积灰情况。
此外，本实用新型还可以设置检修平台，方便更换布袋除尘器的滤袋。
本实用新型的进一步改进还在于，除尘器单元2还包括多管除尘器，多管除尘器设置于布袋除尘器的入口侧，多管除尘器的入口与硅烷燃烧筒单元1的废气出口连接，多管除尘器的出口与布袋除尘器的入口连接。本实用新型采用多管除尘器和布袋除尘器两级除尘，除尘效率高，设备寿命长且运行成本低。
本实用新型的进一步改进还在于，洗涤塔3的喷嘴采用无堵塞螺旋喷嘴，采用无堵塞螺旋喷嘴的主要考量是，除尘器单元2中无法完全将二氧化硅粉尘处理干净，如果采用普通的喷嘴，容易将喷嘴的喷孔堵住，影响洗涤塔3的正常工作，而无堵塞螺旋喷嘴既能够保证洗涤塔3中脱液的正常雾化，还能够防止二氧化硅粉尘堵塞喷孔。
此外，本实用新型的进一步改进在于，洗涤塔可采用1用1备的方式布置，同时配置2台循环泵，运行方式为1开1备，除尘器单元2的出口与洗涤塔3的废气入口之间的管道上设有第一切换阀8，第一切换阀8用于切换两台洗涤塔3的废气入口，使得除尘器单元2除尘后的废气仅进入一台正在使用的洗涤塔3即可；本实用新型的洗涤塔还可以设置自动加药***，利用PH值进行控制，实现***自动加药。
本发明的进一步改进在于，在上述方案的基础上，洗涤塔3的废气出口与排废风机4的入口之间的管道上设有第二切换阀9，第二切换阀9用于切换两台洗涤塔3的废气出口，即两台洗涤塔3公用一个排废风机4，通过第二切换阀9的切换，能够使排废风机4将正在使用的洗涤塔3废气出口的废气及时排走。
本发明的进一步改进在于，在上述方案的基础上，排废风机4也可采用1用1备的布置形式，变频控制，两台排废风机4的入口均与两台洗涤塔3的废气出口连接，连接点位于第二切换阀9的下游。
此外，本实用新型的进一步改进在于，洗涤塔3还可配置循环水箱、耐腐蚀可空转直立式耐酸碱泵，洗涤塔3配有进水口、补水口、排污口、视窗，维修入孔及洗涤塔内部用以支撑及固定用的结构，以确保废气洗涤塔本身之耐蚀性增加其使用寿命。给排水管路设置电动阀，实现自动控制。
本实用新型的进一步改进在于，洗涤塔采用优质FRP材质，塔体表面做防紫外线处理，采用抗UVPP外做保温及伴热。塔内设置3层网格架以及填料，填料为PP海胆型鲍尔环，除雾器采用PP细球环。
综上可以看出，本实用新型技术方案工艺简单合理，安全可靠，硅烷废气处理效率高，无二次污染，既经济又环保。
Claims (10)
1.一种含氨硅烷废气排放治理***，其特征在于，包括硅烷燃烧筒单元(1)、除尘器单元(2)、洗涤塔(3)和排废风机(4)，硅烷燃烧筒单元(1)设有废气入口、助燃气入口、废气出口以及排渣口，硅烷燃烧筒单元(1)的排渣口设置于硅烷燃烧筒单元(1)的底部，硅烷燃烧筒单元(1)的废气出口与除尘器单元(2)的入口通过管道连接，除尘器单元(2)的出口与洗涤塔(3)的废气入口通过管道连接，洗涤塔(3)的废气出口与排废风机(4)的入口通过管道连接。
2.根据权利要求1所述的一种含氨硅烷废气排放治理***，其特征在于，硅烷燃烧筒单元(1)采用不锈钢硅烷燃烧筒，不锈钢硅烷燃烧筒设有废气入口、助燃气入口、废气出口以及排渣口，不锈钢硅烷燃烧筒的底部设有集渣斗，排渣口位于集渣斗的底部，且排渣口设有排渣阀。
3.根据权利要求2所述的一种含氨硅烷废气排放治理***，其特征在于，所述不锈钢硅烷燃烧筒设置多个，所有不锈钢硅烷燃烧筒的废气出口通过管路连通后与除尘器单元(2)的入口连接。
4.根据权利要求1所述的一种含氨硅烷废气排放治理***，其特征在于，除尘器单元(2)包括布袋除尘器，硅烷燃烧筒单元(1)的废气出口与布袋除尘器的入口通过管道连接，布袋除尘器的出口与洗涤塔(3)的废气入口通过管道连接。
5.根据权利要求4所述的一种含氨硅烷废气排放治理***，其特征在于，布袋除尘器周围设有反吹气嘴，反吹气嘴连接压缩空气源。
6.根据权利要求5所述的一种含氨硅烷废气排放治理***，其特征在于，布袋除尘器的入口端设有压差变送器，压差变送器与控制器相连，控制器还与压缩空气源连接。
7.根据权利要求4所述的一种含氨硅烷废气排放治理***，其特征在于，除尘器单元(2)还包括多管除尘器，多管除尘器设置于布袋除尘器的入口侧，多管除尘器的入口与硅烷燃烧筒单元(1)的废气出口连接，多管除尘器的出口与布袋除尘器的入口连接。
8.根据权利要求1所述的一种含氨硅烷废气排放治理***，其特征在于，洗涤塔(3)的喷嘴采用无堵塞螺旋喷嘴。
9.根据权利要求1所述的一种含氨硅烷废气排放治理***，其特征在于，洗涤塔(3)采用一用一备的方式布置，除尘器单元(2)的出口与洗涤塔(3)的废气入口之间的管道上设有第一切换阀(8)，第一切换阀(8)用于切换两台洗涤塔(3)的废气入口。
10.根据权利要求9所述的一种含氨硅烷废气排放治理***，其特征在于，洗涤塔(3)的废气出口与排废风机(4)的入口之间的管道上设有第二切换阀(9)，第二切换阀(9)用于切换两台洗涤塔(3)的废气出口。
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