CN219945875U - 用于加工半导体零部件的工装夹具 - Google Patents

Abstract

本实用新型属于机械加工技术领域，公开了用于加工半导体零部件的工装夹具，该工装夹具包括夹爪机构、固定板和连接件，夹爪机构安装于工作台，固定板开设有通孔，夹爪机构卡接于通孔，固定板具有第一端面和第二端面，第一端面朝向夹爪机构，第二端面用于固定待夹工件，第二端面开设有连接孔，待夹工件设置有第一通孔，连接件穿过第一通孔并连接于连接孔，夹爪机构卡接固定板的通孔，使得固定板固定在夹爪机构，然后待夹工件对准并放置在固定板的第二端面，连接件穿过第一通孔并与固定板的连接孔锁紧装夹，快速完成对待夹工件的固定夹紧，保证待夹工件与固定板的相对位置准确，满足工装夹具在调整或更换过程中重复定位的可靠性。

Description

用于加工半导体零部件的工装夹具

技术领域

本实用新型涉及机械加工技术领域，尤其涉及用于加工半导体零部件的工装夹具。

背景技术

工装是制造过程中所用的刀具、模具、夹具等工具的总称，其中，夹具是加工时用来迅速紧固工件，使工件保持正确相对位置的工艺装置。在机床技术向高速、精密、高效方向发展的带动下，夹具技术正朝着模块、组合、通用的方向发展。

在车床上加工半导体薄壁零部件时，为使该待夹工件的表面能达到图纸规定的尺寸、几何形状以及与其他表面的相互位置精度等技术要求，加工前必须将工件定位装好并夹紧。但是，此类待夹工件在车床加工完成后同心度误差较大，无法保证侧孔的相对位置准确，导致其定位可靠性较差。

因此，亟需用于加工半导体零部件的工装夹具，以解决上述问题。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供用于加工半导体零部件的工装夹具，快速完成对待夹工件的固定夹紧，保证待夹工件与固定板的相对位置准确，满足工装夹具在调整或更换过程中重复定位的可靠性。

为了解决现有技术存在的上述问题，本实用新型采用以下技术方案：

用于加工半导体零部件的工装夹具，包括：

夹爪机构，所述夹爪机构安装于工作台；

固定板，所述固定板开设有通孔，所述夹爪机构卡接于所述通孔，所述固定板具有第一端面和第二端面，所述第一端面朝向所述夹爪机构，所述第二端面用于固定待夹工件，所述第二端面开设有连接孔，所述待夹工件设置有第一通孔；

连接件，所述连接件穿过所述第一通孔并连接于所述连接孔。

优选地，所述连接件的数量设置有多个，所述连接孔的数量和所述第一通孔的数量均与所述连接件的数量相同，多个所述连接孔和多个所述第一通孔均沿所述固定板的圆周方向间隔设置，多个所述连接件分别穿过对应的所述第一通孔并连接于对应的所述连接孔。

优选地，所述固定板为圆环结构。

优选地，所述固定板的中轴线和所述待夹工件的中轴线重合。

优选地，所述固定板的直径大于所述待夹工件的直径。

优选地，所述连接孔的内侧壁设置有内螺纹，所述连接件穿过所述第一通孔并与所述连接孔螺纹连接。

优选地，所述用于加工半导体零部件的工装夹具还包括定位销，所述第二端面还开设有定位孔，所述待夹工件还设置有第二通孔，所述定位销穿过所述第二通孔并连接于所述定位孔。

优选地，所述夹爪机构包括底座和夹爪，所述底座安装于所述工作台，所述夹爪滑动连接于所述底座，所述夹爪用于固定所述固定板。

优选地，所述夹爪的数量设置有多个，多个所述夹爪沿所述底座的圆周方向间隔设置，多个所述夹爪能够抵接于所述通孔的侧壁。

优选地，所述用于加工半导体零部件的工装夹具还包括固定件，所述底座设置有固定槽，所述固定件穿过所述固定槽并连接于所述工作台。

本实用新型的有益效果为：

本实用新型提供的用于加工半导体零部件的工装夹具，夹爪机构安装于工作台，固定板开设有通孔，夹爪机构卡接于通孔，固定板具有第一端面和第二端面，第一端面朝向夹爪机构，第二端面用于固定待夹工件，第二端面开设有连接孔，待夹工件设置有第一通孔。固定板位于夹爪机构和待夹工件之间，夹爪机构卡接固定板的通孔，使得固定板固定在夹爪机构，然后待夹工件对准并放置在固定板的第二端面，连接件穿过第一通孔并与固定板的连接孔锁紧装夹，快速完成对待夹工件的固定夹紧，保证待夹工件与固定板的相对位置准确，满足工装夹具在调整或更换过程中重复定位的可靠性。

附图说明

图1为本实用新型实施例中工装夹具的***示意图一；

图2为本实用新型实施例中工装夹具的***示意图二。

附图标记：

1、夹爪机构；11、底座；12、夹爪；

2、固定板；21、通孔；22、第一端面；23、第二端面；24、连接孔；25、定位孔；

3、待夹工件；31、第一通孔；32、第二通孔；

4、连接件；

5、定位销。

具体实施方式

下面结合附图和实施例对本实用新型作进一步的详细说明。可以理解的是，此处所描述的具体实施例仅仅用于解释本实用新型，而非对本实用新型的限定。另外还需要说明的是，为了便于描述，附图中仅示出了与本实用新型相关的部分而非全部结构。

在本实用新型的描述中，除非另有明确的规定和限定，术语“相连”、“连接”、“固定”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

在本实用新型中，除非另有明确的规定和限定，第一特征在第二特征之“上”或之“下”可以包括第一和第二特征直接接触，也可以包括第一和第二特征不是直接接触而是通过它们之间的另外的特征接触。而且，第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”包括第一特征在第二特征正上方和斜上方，或仅仅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”包括第一特征在第二特征正下方和斜下方，或仅仅表示第一特征水平高度小于第二特征。

在本实施例的描述中，术语“上”、“下”、“左”、“右”等方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述和简化操作，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。此外，术语“第一”、“第二”仅仅用于在描述上加以区分，并没有特殊的含义。

在车床上加工半导体薄壁零部件时，为使该待夹工件的表面能达到图纸规定的尺寸、几何形状以及与其他表面的相互位置精度等技术要求，加工前必须将工件定位装好并夹紧。但是，此类待夹工件在车床加工完成后同心度误差较大，无法保证侧孔的相对位置准确，导致其定位可靠性较差。对此，本实用新型提供了用于加工半导体零部件的工装夹具，快速完成对待夹工件的固定夹紧，保证待夹工件与固定板的相对位置准确，满足工装夹具在调整或更换过程中重复定位的可靠性。

如图1-图2所示，在本实施例中，用于加工半导体零部件的工装夹具包括夹爪机构1、固定板2以及连接件4。其中，夹爪机构1安装于工作台，固定板2开设有通孔21，夹爪机构1卡接于通孔21，固定板2具有第一端面22和第二端面23，第一端面22朝向夹爪机构1，第二端面23用于固定待夹工件3，第二端面23开设有连接孔24，待夹工件3设置有第一通孔31，连接件4穿过第一通孔31并连接于连接孔24。具体地，固定板2位于夹爪机构1和待夹工件3之间，优选地，固定板2为圆环结构，与待夹工件3的横截面形状相同，均为圆形。连接件4设置为螺丝，通孔21位于固定板2的中心位置，夹爪机构1卡接固定板2的通孔21，使得固定板2固定在夹爪机构1，然后待夹工件3对准并放置在固定板2的第二端面23，连接件4穿过第一通孔31并与固定板2的连接孔24锁紧装夹，快速完成对待夹工件3的固定夹紧，保证待夹工件3与固定板2的相对位置准确，满足工装夹具在调整或更换过程中重复定位的可靠性。

进一步地，继续参照图1-图2，连接件4的数量设置有多个，连接孔24的数量和第一通孔31的数量均与连接件4的数量相同，多个连接孔24和多个第一通孔31均沿固定板2的圆周方向间隔设置，多个连接件4分别穿过对应的第一通孔31并连接于对应的连接孔24。具体地，连接件4、连接孔24以及第一通孔31的数量均为三个，三个连接件4依次穿过各自对应的第一通孔31并固定连接于固定板2的连接孔24，进一步提升待夹工件3的同心度要求，满足装夹过程中简单与快速操作。

进一步地，继续参照图1-图2，固定板2的中轴线和待夹工件3的中轴线重合。具体地，在多个连接件4的作用下，将待夹工件3与固定板2锁紧装夹，满足待夹工件3的定位准确性和待夹工件3与固定板2的同轴度较高的要求。

进一步地，继续参照图1-图2，固定板2的直径大于待夹工件3的直径，在保证有足够的承载力在固定板2上进行加工的前提下，待夹工件3能够完全压紧在固定板2上。

进一步地，继续参照图1-图2，连接孔24的内侧壁设置有内螺纹，连接件4穿过第一通孔31并与连接孔24螺纹连接，便于快速拆卸安装和更换。

进一步地，继续参照图1-图2，用于加工半导体零部件的工装夹具还包括定位销5，第二端面23还开设有定位孔25，待夹工件3还设置有第二通孔32，定位销5穿过第二通孔32并连接于定位孔25，定位销5具有定位防呆的作用，保证了待夹工件3与固定板2之间侧面孔的角度公差，满足使用过程中待夹工件3的定位准确性和防呆措施。

进一步地，继续参照图1-图2，夹爪机构1包括底座11和夹爪12，底座11安装于工作台，夹爪12滑动连接于底座11，夹爪12用于固定固定板2。具体地，夹爪12抵接于固定板2的通孔21，使得固定板2能够固定在底座11上，夹持牢固，不易松脱。

进一步地，继续参照图1-图2，夹爪12的数量设置有多个，多个夹爪12沿底座11的圆周方向间隔设置，多个夹爪12能够抵接于通孔21的侧壁。具体地，在多个夹爪12的卡接作用下，固定板2的中轴线与底板的中轴线重合，同轴度较高，同时，进一步提高固定板2相对底板的牢固性，安装可靠。

进一步地，继续参照图1-图2，用于加工半导体零部件的工装夹具还包括固定件，底座11设置有固定槽，固定件穿过固定槽并连接于工作台。具体地，固定件设置为螺栓，工作台开设有凹槽，凹槽为长条形结构。在固定件的作用下，固定件穿过固定槽并固定连接于工作台的凹槽，拧紧固定件，使得底座11固定在工作台上，安装牢固，同时便于拆卸更换。

显然，本实用新型的上述实施例仅仅是为了清楚说明本实用新型所作的举例，而并非是对本实用新型的实施方式的限定。对于所属领域的普通技术人员来说，能够进行各种明显的变化、重新调整和替代而不会脱离本实用新型的保护范围。这里无需也无法对所有的实施方式予以穷举。凡在本实用新型的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换和改进等，均应包含在本实用新型权利要求的保护范围之内。

Claims (10)

1.用于加工半导体零部件的工装夹具，其特征在于，包括：

夹爪机构(1)，所述夹爪机构(1)安装于工作台；

固定板(2)，所述固定板(2)开设有通孔(21)，所述夹爪机构(1)卡接于所述通孔(21)，所述固定板(2)具有第一端面(22)和第二端面(23)，所述第一端面(22)朝向所述夹爪机构(1)，所述第二端面(23)用于固定待夹工件(3)，所述第二端面(23)开设有连接孔(24)，所述待夹工件(3)设置有第一通孔(31)；

连接件(4)，所述连接件(4)穿过所述第一通孔(31)并连接于所述连接孔(24)。

2.根据权利要求1所述的用于加工半导体零部件的工装夹具，其特征在于，所述连接件(4)的数量设置有多个，所述连接孔(24)的数量和所述第一通孔(31)的数量均与所述连接件(4)的数量相同，多个所述连接孔(24)和多个所述第一通孔(31)均沿所述固定板(2)的圆周方向间隔设置，多个所述连接件(4)分别穿过对应的所述第一通孔(31)并连接于对应的所述连接孔(24)。

3.根据权利要求1所述的用于加工半导体零部件的工装夹具，其特征在于，所述固定板(2)为圆环结构。

4.根据权利要求1所述的用于加工半导体零部件的工装夹具，其特征在于，所述固定板(2)的中轴线和所述待夹工件(3)的中轴线重合。

5.根据权利要求1所述的用于加工半导体零部件的工装夹具，其特征在于，所述固定板(2)的直径大于所述待夹工件(3)的直径。

6.根据权利要求1所述的用于加工半导体零部件的工装夹具，其特征在于，所述连接孔(24)的内侧壁设置有内螺纹，所述连接件(4)穿过所述第一通孔(31)并与所述连接孔(24)螺纹连接。

7.根据权利要求1所述的用于加工半导体零部件的工装夹具，其特征在于，所述用于加工半导体零部件的工装夹具还包括定位销(5)，所述第二端面(23)还开设有定位孔(25)，所述待夹工件(3)还设置有第二通孔(32)，所述定位销(5)穿过所述第二通孔(32)并连接于所述定位孔(25)。

8.根据权利要求1所述的用于加工半导体零部件的工装夹具，其特征在于，所述夹爪机构(1)包括底座(11)和夹爪(12)，所述底座(11)安装于所述工作台，所述夹爪(12)滑动连接于所述底座(11)，所述夹爪(12)用于固定所述固定板(2)。

9.根据权利要求8所述的用于加工半导体零部件的工装夹具，其特征在于，所述夹爪(12)的数量设置有多个，多个所述夹爪(12)沿所述底座(11)的圆周方向间隔设置，多个所述夹爪(12)能够抵接于所述通孔(21)的侧壁。

10.根据权利要求8所述的用于加工半导体零部件的工装夹具，其特征在于，所述用于加工半导体零部件的工装夹具还包括固定件，所述底座(11)设置有固定槽，所述固定件穿过所述固定槽并连接于所述工作台。