CN219937005U - 一种新型药槽 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开了一种新型药槽，涉及晶片清洗装置技术领域，包括槽体，槽体下设有锥形漏斗，锥形漏斗与槽体连通；槽体内腔设有托架，托架可拆卸连接槽体，托架上设有若干第一漏孔，托架用于盛放晶片。本实用新型通过设置托架和在托架上设置漏孔，在清洗前后，方便操作人员对晶片的取放，同时也防止了破碎的晶片划伤操作人员的情况出现，也对破碎的晶片进行过滤，防止破碎晶片进入排液管道，进而防止了破碎晶片堵塞排液管道；通过设置锥形漏斗，防止了废液残留在药槽槽体底部的情况出现。
Description
技术领域
本实用新型涉及晶片清洗装置技术领域，尤其涉及一种新型药槽。
背景技术
由于集成电路内各元件及连线相当微细，因此制造过程中，如果遭到尘粒、金属的污染，很容易造成晶片内电路功能的损坏，形成短路或断路等，导致集成电路的失效以及影响几何特征的形成。因此在制作过程中除了要排除外界的污染源外，集成电路制造步骤如高温扩散、离子植入前等均需要进行湿法清洗或干法清洗工作。干、湿法清洗工作是在不破坏晶圆表面特性及电特性的前提下，有效地使用化学溶液或气体清除残留在晶圆上之微尘、金属离子及有机物之杂质。
现有以清洗湿法清洗晶片的装置结构简单，以传统药槽为主，传统药槽结构简单，整体为普通的药槽。工人使用传统药槽清洗晶片时，在取放晶片的过程中存在一定风险；清洗过程中破碎的晶片容易堵塞药槽出口以及排放管道；传统药槽还存在排放废清洗液不彻底的问题。
为此本实用新型提出一种新型药槽。
实用新型内容
本实用新型的目的是解决现有技术中存在的缺陷，而提出的一种新型药槽。
为了实现上述目的，本实用新型采用了如下技术方案：
一种新型药槽，其特征在于，包括槽体，所述槽体下设有锥形漏斗，所述锥形漏斗与所述槽体连通；所述槽体内腔设有托架，所述托架可拆卸连接所述槽体，所述托架上设有若干第一漏孔，所述托架用于盛放晶片。
进一步的，所述锥形漏斗与槽体连通处设有第二漏孔。
进一步的，所述锥形漏斗下端与管道连接，锥形漏斗与管道连接处设有阀门。
进一步的，所述托架的底部和侧壁上均设有若干第一漏孔，所述第一漏孔的直径小于最小晶片的直径。
进一步的，所述托架上还设有取放孔，所述取放孔用于取放托架。
进一步的，所述托架的高度分别为30mm、50mm和70mm。
进一步的，所述托架的底部设有十字型凹槽，所述十字型凹槽位于所述锥形漏斗的正上方。
有益效果
相比于现有技术，本实用新型的有益效果在于：本实用新型通过设置托架和在托架上设置漏孔，在清洗前后，方便操作人员对晶片的取放，同时也防止了破碎的晶片划伤操作人员的情况出现，也对破碎的晶片进行过滤，防止破碎晶片进入排液管道，进而防止了破碎晶片堵塞排液管道；通过设置锥形漏斗，防止了废液残留在药槽槽体底部的情况出现；第一漏孔与第一漏孔配合，对碎晶片起到双重过滤作用；通过设置不同高度的托架，满足了不同晶片的清洗；通过在托架上设置不同直径的漏孔，设置直径较大的第一漏孔用于取放托板，方便了操作人员取放托架。
附图说明
附图用来提供对本实用新型的进一步理解，并且构成说明书的一部分，与本实用新型的实施例一起用于解释本实用新型，并不构成对本实用新型的限制。
图1为本实用新型提供的一种新型药槽的整体结构示意图；
图2为本实用新型提供的一种托架的结构示意图；
图3为本实用新型提供的一种锥形漏斗的结构示意图。
图中：1、槽体；2、锥形漏斗；3、托架；4、第一漏孔；5、第二漏孔；6、十字型凹槽。
具体实施方式
下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。
在本实用新型的描述中，需要理解的是，术语“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。
参照图1-图3，本实用新型提供的一种新型药槽，包括槽体1，槽体1下设有锥形漏斗2，锥形装置与槽体1连通；槽体1内腔设有托架3，托架3可拆卸连接槽体1，托架3上设有若干第一漏孔4，托架3用于盛放晶片。
将待清洗的晶片放到托架3中，再将托架3放入药槽槽体1中，在槽体1中加入清洗药液，对晶片进行清洗；等待晶片清洗完毕后，打开锥形漏斗2的开关，废药液从托架3的第一漏口处流出，废药液经锥形漏斗2流向排液管道；操作人员将托架3从槽体1中拿起；对晶片完成清洗。
与现有技术相比，本实用新型通过设置托架3和在托架3上设置漏孔，在清洗前后，方便操作人员对晶片的取放，同时也防止了破碎的晶片划伤操作人员的情况出现，也对破碎的晶片进行过滤，防止破碎晶片进入排液管道，进而防止了破碎晶片堵塞排液管道；通过设置锥形漏斗2，防止了废液残留在药槽槽体1底部的情况出现。
在其他优选的实施例中，锥形漏斗2与槽体1连接处设有第二漏孔5。通过设置第二漏孔5，进一步加强了对破碎晶片的过滤，与第一漏孔4配合，对碎晶片起到双重过滤作用。
在其他优选的实施例中，托架的底部和侧壁上均设有若干第一漏孔4，第一漏孔4的直径小于最小晶片的直径。通过设置第一漏孔4，可以对破碎晶片起过滤作用。
在其他优选的实施例中，托架3上还设有取放孔，取放孔用于取放托架3。通过设置取放孔，方便操作人员取放托架3。
在其他优选的实施例中，托架3的高度分别为30mm、50mm和70mm。通过设置托架3的高度为30mm、50mm和70mm；满足了不同的晶片的清洗需求。
在其他优选的实施例中，托架3的底部设有十字型凹槽6，十字型凹槽6位于锥形漏斗2的正上方。通过在托架3底部设置十字型凹槽6，可以使废清洗液快速从托架3流出，达到快速过滤晶片的效果；通过设置十字型凹槽6设置在锥形漏斗2上方，使得废清洗液能够快速经锥形漏斗2排出。
以上所述，仅为本实用新型较佳的具体实施方式，但本实用新型的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本实用新型揭露的技术范围内，根据本实用新型的技术方案及其实用新型构思加以等同替换或改变，都应涵盖在本实用新型的保护范围之内。
Claims (7)
1.一种新型药槽，其特征在于，包括槽体，所述槽体下设有锥形漏斗，所述锥形漏斗与所述槽体连通；所述槽体内腔设有托架，所述托架可拆卸连接所述槽体，所述托架上设有若干第一漏孔，所述托架用于盛放晶片。
2.根据权利要求1中所述的一种新型药槽，其特征在于，所述锥形漏斗与槽体连通处设有第二漏孔。
3.根据权利要求1中所述的一种新型药槽，其特征在于，所述锥形漏斗下端与管道连接，锥形漏斗与管道连接处设有阀门。
4.根据权利要求1中所述的一种新型药槽，其特征在于，所述托架的底部和侧壁上均设有若干第一漏孔，所述第一漏孔的直径小于最小晶片的直径。
5.根据权利要求1中所述的一种新型药槽，其特征在于，所述托架上还设有取放孔，所述取放孔用于取放托架。
6.根据权利要求1中所述的一种新型药槽，其特征在于，所述托架的高度分别为30mm、50mm和70mm。
7.根据权利要求1中所述的一种新型药槽，其特征在于，所述托架的底部设有十字型凹槽，所述十字型凹槽位于所述锥形漏斗的正上方。
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