CN219873479U - 基板反转装置 - Google Patents

Abstract

提供一种基板反转装置。一种基板反转装置包括：手部，包括第一手及第二手；向上/向下部，结合到手部以固定第一手并且使第二手沿第一方向及第一方向的相反方向移动；翻转部，结合到向上/向下部并使向上/向下部旋转；移送部，结合到翻转部并使翻转部沿第二方向及第二方向的相反方向进行线性移动；以及高度调节部，结合到移送部并使移送部沿第一方向及第一方向的相反方向移动。

Description

基板反转装置

技术领域

本实用新型涉及一种基板反转装置。

背景技术

有机发光显示器(OLED：Organic Light Emitting Display)作为自发光型显示器，与液晶显示装置(LCD：Liquid Crystal Display)相比，视角和对比度等优异，不需要背光(backlight)，因此能够实现轻量薄型，在耗电方面也具有优势。并且，具有能够进行直流低电压驱动且响应速度快的优点，尤其，在制造费用方面也具有优势的优点。

通常，在有机发光显示器的制造装置中，需要用于反转基板的基板反转装置。若在基板反转装置中所需的时间增加，则良率及生产率降低，因此基板的反转应尽可能快速、稳定、准确地实现。以往，当基板在基板反转装置中破损时，中断工艺，并从基板反转装置回收所述基板。这会存在因工艺进行停止而导致基板反转装置所需的时间的增加且良率及生产率降低的问题。并且，与移动基板的装置分开地，追加需要用于反转基板的反转器，因此存在投资成本增加并且需要确保足够的空间的问题。

实用新型内容

本实用新型所要解决的技术问题在于防止因需要与以简单的结构移动基板的装置分开的用于反转基板的反转器而导致的费用及所需空间增加的问题。

本实用新型所要解决的另一技术问题在于以简单的结构在不损伤布置于基板上的元件层的情况下稳定地反转基板。

本实用新型的技术问题并不限于以上提及的技术问题，本领域技术人员可以通过以下记载明确理解未提及的其他技术问题。

用于解决所述技术问题的根据一实施例的一种基板反转装置包括：手部，包括第一手及第二手；向上/向下部，结合到所述手部以固定所述第一手并且使所述第二手沿第一方向及所述第一方向的相反方向移动；翻转部，结合到所述向上/向下部并使所述向上/向下部旋转；移送部，结合到所述翻转部并使所述翻转部沿第二方向及所述第二方向的相反方向进行线性移动；以及高度调节部，结合到所述移送部并使所述移送部沿所述第一方向及所述第一方向的相反方向移动，其中，所述第一手包括：第一结合部，连接到所述向上/向下部；第一主干部，连接到所述第一结合部并沿所述第二方向延伸；以及第一分支部，从所述第一主干部的末端沿与所述第二方向交叉的第三方向及所述第三方向的相反方向延伸，所述第二手包括：第二结合部，连接到所述向上/向下部；第二主干部，连接到所述第二结合部并沿所述第二方向延伸；以及第二分支部，从所述第二主干部的末端沿所述第三方向及所述第三方向的相反方向延伸。

所述向上/向下部可以包括：连接部，与所述翻转部连接；以及主体部，与所述手部连接。

所述翻转部可以以所述连接部为旋转轴使所述向上/向下部旋转。

所述基板反转装置还可以包括：第一真空垫，布置于所述第一分支部的一表面上；以及第二真空垫，布置于与所述第一分支部的所述一表面对向的所述第二分支部的一表面上。

所述基板反转装置还可以包括：支撑部件，布置于与所述第一主干部对向的所述第二主干部的一表面上。

所述支撑部件可以具有岛状结构。

所述支撑部件可以以线状结构覆盖所述第二主干部的一表面的一部分。

所述第一主干部可以包括：第1-1主干，布置于所述第三方向；以及第1-2主干，布置于所述第三方向的相反方向，所述第二主干部可以包括：第2-1主干，布置于所述第三方向；以及第2-2主干，布置于所述第三方向的相反方向。

所述第一分支部可以包括：多个第1-1分支，在所述第1-1主干的侧表面上沿所述第三方向延伸；以及多个第1-2分支，在所述第1-2主干的侧表面上沿所述第三方向的相反方向延伸，所述第二分支部可以包括：多个第2-1分支，在所述第2-1主干的侧表面上沿所述第三方向延伸；以及多个第2-2分支，在所述第2-2主干的侧表面上沿所述第三方向的相反方向延伸。

所述多个第1-1分支、所述多个第1-2分支、所述多个第2-1分支以及所述多个第2-2分支可以分别彼此隔开。

所述第一主干部及所述第二主干部所延伸的所述第二方向与所述第一分支部及所述第二分支部所延伸的第三方向可以彼此垂直。

所述高度调节部可以在与所述第一方向垂直的平面上使所述移送部旋转。

所述基板反转装置还可以包括：控制部，控制所述向上/向下部、所述翻转部、所述移送部及所述高度调节部的运动。

所述控制部可以控制所述翻转部的运动，使得第二手布置于基板的上表面上并且第一手布置于所述基板的下表面上。

所述控制部控制所述手部的运动，使得在第二手布置于基板的上表面上且第一手布置于所述基板的下表面上之后由所述手部夹持基板。

所述控制部控制所述向上/向下部的运动，使得所述手部在基板夹持于所述手部的状态下进行旋转。

用于解决所述技术问题的根据另一实施例的一种基板反转装置包括：移送部；翻转部，布置于所述移送部的一表面上；向上/向下部，布置于所述翻转部的一侧表面上，并包括连接部及主体部；手部，连接到所述主体部并布置于所述向上/向下部的一侧；以及高度调节部，布置于所述移送部的另一表面上，其中，所述连接部与所述翻转部直接结合，所述手部包括：第一手，固定到所述主体部的一侧；以及第二手，布置于所述主体部的内侧并与所述第一手沿第一方向隔开而布置，所述第一手包括：第一结合部，连接到所述向上/向下部；第一主干部，连接到所述第一结合部并沿第二方向延伸；以及第一分支部，从所述第一主干部的末端沿与所述第二方向交叉的第三方向及所述第三方向的相反方向延伸，所述第二手包括：第二结合部，连接到所述向上/向下部；第二主干部，连接到所述第二结合部并沿所述第二方向延伸；以及第二分支部，从所述第二主干部的末端沿所述第三方向及所述第三方向的相反方向延伸。

所述第一主干部及所述第二主干部可以与所述移送部沿第一方向重叠而布置。

所述基板反转装置还可以包括：第一真空垫，布置于所述第一分支部的一表面上；以及第二真空垫，布置于与所述第一分支部的所述一表面对向的所述第二分支部的一表面上。

所述第一真空垫和所述第二真空垫可以具有彼此对称的结构。

根据实施例的基板反转装置，借由一个装置移送基板并反转基板的上下面，从而能够防止投资成本及所需空间增加的问题。并且，可以在不损坏布置于基板上的元件层的情况下稳定地执行基板的再次反转。

根据实施例的效果不受以上例示的内容的限制，在本说明书中包括更加多样的效果。

附图说明

图1是根据一实施例的基板反转装置的立体图。

图2是基板反转装置的示意性的剖面图。

图3是示出第一手的形状的示意图。

图4是示出第二手的形状的示意图。

图5是根据一实施例的基板反转装置的驱动方法的顺序图。

图6是示出提供基板及基板反转装置的步骤的立体图。

图7至图10是示出将基板与支撑件分离的步骤的立体图及剖面图。

图11是示出将基板移动到反转位置的步骤的立体图。

图12及图13是示出利用第一手及第二手吸附基板的步骤的立体图及剖面图。

图14是示出反转基板的步骤的立体图。

图15至图17是示出拆卸基板的步骤的立体图及剖面图。

图18是示出将基板布置于支撑件的步骤的立体图。

图19及图20是示出将基板反转装置恢复原状的步骤的立体图。

附图标记的说明

100：移送部 200：翻转部

300：向上/向下部 400：手部

410：第一手 412：第一主干部

413：第一分支部 420：第二手

422：第二主干部 423：第二分支部

500：高度调节部 800：控制部

具体实施方式

参照与附图一起详细后述的实施例，可以明确本实用新型的优点和特征以及达成这些的方法。然而本实用新型可以实现为彼此不同的多样的形态，而不限于以下公开的实施例，并且提供本实施例仅是为了使本实用新型公开完整并向本实用新型所属技术领域中具有普通知识的人员完整地告知实用新型的范围，本实用新型仅由权利要求的范围所定义。

当元件(element)或层被描述为位于其他元件或层“上(on)”时，包括在其他元件或其他层的紧邻的上方或中间夹设有其他层或其他元件的情况。在说明书全文中，相同的附图标记表示相同的构成要素。由于在用于说明实施例的附图中公开的形状、尺寸、比率、角度、数量等是示例性的，因此不限于本实用新型示出的事项。

虽然“第一”、“第二”等用于叙述多样的构成要素，但这些构成要素显然不受限于这些术语。这些术语仅用于将一个构成要素与其他构成要素进行区分。因此，以下提及的第一构成要素在本实用新型的技术思想内，显然也可以是第二构成要素。

以下，参照附图对具体实施例进行说明。

图1是根据一实施例的基板反转装置的立体图。

参照图1，根据一实施例的基板反转装置包括手部400、移送部100、翻转部200、向上/向下部300、高度调节部500及控制部800。在高度调节部500的一表面上可以布置有移送部100，在移送部100的一表面上可以布置有翻转部200，在翻转部200的侧表面上可以布置有向上/向下部300，并且手部400可以与向上/向下部300直接接触并被向上/向下部300固定。

控制部800起到调节移送部100、翻转部200、向上/向下部300及高度调节部500的运动的作用。控制部800可以向移送部100施加信号，使得移送部100可以使翻转部200沿移送部100的一表面而移动。控制部800可以向翻转部200施加信号，使得翻转部200可以使向上/向下部300旋转和/或上下运动。控制部800可以向向上/向下部300施加信号，使得向上/向下部300可以使第二手420沿第三方向DR3或第三方向DR3的相反方向移动。

控制部800可以向高度调节部500施加信号，使得高度调节部500可以使移送部100沿第三方向DR3或第三方向DR3的相反方向移动。据此，连接到移送部100的翻转部200、向上/向下部300及手部400也可以沿第三方向DR3或第三方向DR3的相反方向整体地移动。并且，控制部800可以向高度调节部500施加信号而使移送部100旋转，在若干实施例中，高度调节部500也可以使整个基板反转装置行进。在附图中，高度调节部500以圆柱形态示出，但不限于此，高度调节部500可以具有公知的多样的形状。

移送部100可以具有长方体形状。更具体地讲，移送部100的六个面可以具有四边形形状，移送部100的上表面及下表面可以是第一方向DR1上的长度大于第二方向DR2上的长度的矩形形状。即，移送部100的上表面在第一方向DR1上具有足够长的长度，从而能够确保在移送部100的上表面上沿第一方向DR1或第一方向DR1的相反方向移动的翻转部200的足够的移动距离。

翻转部200可以具有长方体形状。翻转部200的下表面可以与移送部100的上表面直接接触。翻转部200的下表面的第二方向DR2上的长度可以与移送部100的上表面的第二方向DR2上的长度相同。

翻转部200的侧表面中位于第一方向DR1的侧表面定义为第一侧表面210。在第一侧表面210上可以布置有向上/向下部300。向上/向下部300的连接部310可以与第一侧表面210直接接触，并可以布置于第一侧表面210上以支撑向上/向下部300，使得向上/向下部300布置于第一侧表面210上。

第一侧表面210的第三方向DR3上的长度可以是足以使向上/向下部300旋转的长度。

翻转部200可以使布置于第一侧表面210上的向上/向下部300旋转。更具体地讲，翻转部200可以在第一侧表面210上旋转向上/向下部300。翻转部200可以将连接部310作为旋转轴沿顺时针方向或逆时针方向旋转向上/向下部300。据此，向上/向下部300可以将连接部310作为旋转轴而旋转，并且与向上/向下部300结合的手部400也可以与向上/向下部300一起旋转。

向上/向下部300可以布置于翻转部200的第一侧表面210上。向上/向下部300可以包括连接部310、主体部320。连接部310可以与翻转部200直接接触以支撑向上/向下部300，使得翻转部200布置于向上/向下部300的第一侧表面210上，在向上/向下部300在第一侧表面210上旋转的情况下，连接部310可以起到旋转轴的作用。主体部320是与手部400直接接触并与手部400连接的构成。主体部320可以将第一手410固定到向上/向下部300的一侧，并可以使第二手420沿第三方向DR3或第三方向DR3的相反方向移动。主体部320可以固定手部400，使得手部400不沿第三方向DR3及第三方向DR3相反方向移动。在若干实施例中，向上/向下部300可以包括伺服马达(Servo motor)。

手部400包括第一手410及第二手420。

第一手410可以固定到向上/向下部300的一侧并且可以不移动。第一手410可以包括第一结合部411、第一主干部412及第一分支部413。在图3中详细后述关于第一手410的具体形状。

第一结合部411布置于向上/向下部300的一侧，固定到向上/向下部300的一侧，可以起到固定第一主干部412及第一分支部413的作用。第一结合部411与第一主干部412直接接触，第一结合部411的与第一主干部412直接接触的部分可以具有和第一主干部412的与第一结合部411直接接触的部分互补的形状。

第一主干部412布置于第一结合部411的一侧，固定到第一结合部411的一侧，并可以固定第一分支部413。第一主干部412利用具有沿第一方向DR1较长地延伸的形状的两个主干构成，各主干可以具有彼此相同的形状。即，第一主干部412包括第1-1主干及第1-2主干，第1-1主干和第1-2主干具有相同的形状。

第一主干部412的一端可以与第一结合部411连接，第一主干部412的另一端可以与第一分支部413连接。

第一分支部413可以包括连接到第一主干部412的另一端的多个第一分支。即，第一分支部413可以包括沿第二方向DR2的相反方向连接到第1-1主干的另一端的四个第一分支和沿第二方向DR2连接到第1-2主干的另一端的四个第一分支。第一分支部413所包括的多个第一分支均可以具有相同的大小和相同的形状。虽然在附图中示出了第一分支部413包括总共八个第一分支的情形，但不限于此。例如，第一分支部413可以包括总共六个第一分支，或者也可以包括十个第一分支。

第一分支支撑基板700以将基板700与支撑件(holder)600分离，并且吸附基板700以将基板700固定到第一手410上，从而起到在反转基板700时基板700不从基板反转装置分离的作用。

第二手420可以布置于向上/向下部300的一侧，并且可以沿第三方向DR3或第三方向DR3的相反方向移动。由于第一手410固定到向上/向下部300并且第二手420移动，因此可以通过第二手420的运动来调整第一手410与第二手420之间的距离。即，在附图中，当第二手420沿第三方向DR3的相反方向移动时，第一手410与第二手420之间的距离减小，并且在手部400之间(即，第一手410与第二手420之间)布置基板700时，据此，可以利用手部400固定基板700。并且，在附图中，当第二手420沿第三方向DR3移动时，第一手410与第二手420之间的距离增加，据此，可以解除由手部400固定的基板700的固定。

第二手420可以包括第二结合部421、第二主干部422及第二分支部423。在图4中详细后述关于第二手420的具体形状。

第二结合部421可以布置于向上/向下部300的一侧，并可以沿向上/向下部300的一侧移动。并且，第二结合部421可以起到固定第二主干部422及第二分支部423的作用。据此，第二结合部421可以沿向上/向下部300的一侧移动整个第二手420。第二结合部421与第二主干部422直接接触，第二结合部421的与第二主干部422直接接触的部分可以具有和第二主干部422的与第二结合部421直接接触的部分互补的形状。

第二主干部422布置于第二结合部421的一侧，固定到第二结合部421的一侧，并可以固定第二分支部423。第二主干部422利用具有沿第二方向DR2较长地延伸的形状的两个主干构成，各主干可以具有彼此相同的形状。即，第二主干部422包括第2-1主干及第2-2主干，第2-1主干和第2-2主干具有相同的形状。

第二主干部422的一端可以与第二结合部421连接，第二主干部422的另一端可以与第二分支部423连接。

第二分支部423可以包括连接到第二主干部422的另一端的多个第二分支。即，第二分支部423可以包括沿第二方向DR2的相反方向连接到第2-1主干的另一端的四个第二分支和沿第二方向DR2连接到第2-2主干的另一端的四个第二分支。第二分支部423所包括的多个第二分支均可以具有相同的尺寸和相同的形状。虽然在附图中示出了第二分支部423包括总共八个第二分支的情形，但不限于此。例如，第二分支部423可以包括总共六个第二分支，或者也可以包括十个第二分支。

第二分支可以与第一分支一起支撑基板700以将基板700与支撑件600分离，并且可以吸附基板700以将基板700固定到第二手420上，从而起到在反转基板700时基板700不从基板反转装置分离的作用。

第二手420可以包括止动装置。在向上/向下部300为圆筒形态的情况下，需要调整第二手420的运动半径，据此，第二手420可以追加配备限制第二手420的移动半径的止动装置。相反，由于向上/向下部300在包括伺服马达的情况下能够进行位置控制，因此第二手420也可以不包括单独的止动装置。

第一手410和第二手420可以沿第三方向DR3完全重叠而布置。即，除了在第二手420的一表面上布置有支撑部件425的情形之外，第一手410和第二手420可以彼此对向且可以具有相同的形状。并且，第一手410的第一主干部412和第二手420的第二主干部422可以与移送部100沿第三方向DR3重叠而布置。

基板反转装置用于反转具有作为基板700的工艺对象面的基板700的一表面和作为基板700的一表面的相反面的基板700的另一表面的基板700，主要用于有机发光显示元件等的制造。这是因为，在有机发光显示元件的情况下，在使作为工艺对象面的基板700的一表面朝向下侧而布置的状态下，在基板700的一表面沉积薄膜，之后为了密封基板700，基板700的一表面需要再次朝向上侧而布置。因此，可以理解为，基板反转装置布置于在制造有机发光显示元件时执行沉积工艺的沉积装置的前端和/或后端。

图2是基板反转装置的示意性的剖面图。

参照图2，基板反转装置包括移送部100、翻转部200、向上/向下部300以及手部400。翻转部200可以布置于移送部100的一表面上。翻转部200可以在移送部100的一表面上沿第一方向DR1和/或第一方向DR1的相反方向移动。由于翻转部200的运动，连接到翻转部200的向上/向下部300以及连接到向上/向下部300的手部400也可以与翻转部200一起沿第一方向DR1及第一方向DR1的相反方向移动。

向上/向下部300可以在翻转部200的第一侧表面210上进行旋转运动。向上/向下部300的连接部310可以在第一侧表面210上沿顺时针方向或逆时针方向进行旋转运动。据此，与连接部310直接连接的向上/向下部300的主体部320以及与主体部320直接连接的手部400也可以与连接部310一起沿顺时针方向或逆时针方向进行旋转。

手部400直接连接到向上/向下部300。第一手410可以固定到主体部320的一侧，第二手420可以在向上/向下部300的主体部320内沿第三方向DR3和/或第三方向DR3的相反方向移动。由于第一手410固定到主体部320的一侧并且第二手420移动，因此第一手410和第二手420的相对位置可以借由第二手420的移动而改变。换言之，在附图中，当第二手420沿第三方向DR3移动时，第一手410和第二手420的距离可以增加，并且当第二手420沿第三方向DR3的相反方向移动时，第一手410和第二手420的距离可以减小。

高度调节部500可以使移送部100沿第三方向DR3或第三方向DR3的相反方向移动。据此，连接到移送部100的翻转部200、向上/向下部300及手部400也可以沿第三方向DR3或第三方向DR3的相反方向整体地移动。

图3是示出第一手的形状的示意图。

参照图3，第一手410包括在平面图中具有“”形状的第一结合部411、连接到第一结合部411的一端并具有沿第一方向DR1较长地延伸的形状的第一主干部412以及连接到第一主干部412的侧表面并从内侧向外侧方向延伸的第一分支部413。

第一结合部411连接到向上/向下部300而起到将第一手410固定到向上/向下部300的作用。在第一主干部412的一表面及第一分支部413的一表面上可以布置有第一真空垫414。第一真空垫414可以布置于第一主干部412的一表面上的第一方向DR1上的末端部以及第一主干部412的一表面上的中端部，并可以布置于第一分支部413的一表面中的连接到第一主干部412的区域的相反区域。第一真空垫414可以起到吸附基板700的一表面而使基板700可以稳定地固定在第一手410上的作用。尽管在附图中示出了第一手410包括十个第一真空垫414的情形，但不限于此，第一真空垫414可以应用公知的多样的真空垫。

图4是示出第二手的形状的示意图。

参照图4，第二手420包括在平面图中具有“”形状的第二结合部421、连接到第二结合部421的一端并具有沿第一方向DR1较长地延伸的第二主干部422以及连接到第二主干部422的侧表面并从内侧向外侧方向延伸的第二分支部423。

第二结合部421可以连接到向上/向下部300以固定第二主干部422及第二分支部423，使得向上/向下部300可以使整个第二手420在向上/向下部300内侧沿第三方向DR3和/或第三方向DR3的相反方向移动。

在第二主干部422的一表面及第二分支部423的一表面上可以布置有第二真空垫424。第二真空垫424可以布置于第二主干部422的一表面上的第一方向DR1上的末端部以及第二主干部422的一表面上的中端部，并可以布置于第二分支部423的一表面中的连接到第二主干部422的区域的相反区域。第二真空垫424可以起到吸附基板700的另一表面而使基板700可以稳定地固定在第二手420上的作用。尽管在附图中示出了第二手420包括十个第二真空垫424的情形，但不限于此，第二真空垫424可以应用公知的多样的真空垫。

在第二主干部422的一表面上可以布置有支撑部件425。在平面图中，支撑部件425可以具有四边形形状且沿第二主干部422的一表面布置为多个。虽然在附图中示出了具有四边形形状的总共八个支撑部件425以岛状结构布置的情形，但不限于此。例如，支撑部件425在平面图中可以具有三角形、圆形等多样的形状，而不是四边形形状，也可以以线状结构而不是岛状结构覆盖主干部的一表面。

支撑部件425可以在第二主干部422的另一表面上支撑基板700的另一表面。更具体地讲，在基板700的一表面的活性区域中可以布置有元件层，在基板700的另一表面上未布置有元件层。因此，为了不与元件层接触，在工艺期间与基板700的一表面接触的第一手410在布置有元件层的活性区域中不与基板700的一表面接触，应仅在非活性区域中支撑基板700的一表面。相反，基板700的未布置有元件层的另一表面没有如上所述的限制，因此，在工艺期间与基板700的另一表面接触的第二手420可以无限制地与基板700的另一表面接触以支撑基板700的另一表面。因此，除了真空垫之外，第二手420可以包括支撑基板700的多个支撑部件425，以支撑基板700的另一表面。

图5是根据一实施例的基板反转装置的驱动方法的顺序图。

参照图5，根据一实施例的基板反转装置的驱动方法包括如下步骤：提供基板及基板反转装置(S1)；将基板与支撑件分离(S2)；将基板移动到反转位置(S3)；用第一手及第二手吸附基板(S4)；反转基板(S5)；拆卸基板(S6)；将基板布置于支撑件(S7)；以及将基板反转装置恢复原状(S8)。

图6至图20是依次示出基板反转装置的操作的示意图。

以下，一起参照图5的顺序图和图6至图20的示意图进行叙述。

图6是示出提供基板及基板反转装置的步骤的立体图。

提供基板及基板反转装置的步骤(S1)是准备支撑件600、基板700及基板反转装置的步骤。支撑件600可以包括安置部、标记及安置点。安置部构成支撑件600的外形。在安置部的一表面上可以布置有标记及安置点。标记可以是用于将基板700安置于支撑件600内的准确位置并且将支撑件600与基板反转装置的第一手410及第二手420对齐的识别标记。安置点是基板700和支撑件600彼此直接接触的部分。支撑件600以中心部空并且包围外廓部的形态构成。据此，即使在包括布置有元件层的活性区域的基板700的一表面与支撑件600对向而布置的情况下，仅基板700的非活性区域可以布置于支撑件600，从而防止元件层损坏。

基板700可以利用高分子树脂、玻璃等的绝缘物质构成。例如，基板700可以包括聚酰亚胺(polyimide)。在这种情况下，基板700可以是能够进行弯曲(bending)、折叠(folding)、卷曲(rolling)等的柔性(flexible)基板700。

基板700的一表面可以划分为活性区域和非活性区域。在基板700的一表面的活性区域上可以布置有元件层。在本步骤中，基板700可以在支撑件600上布置为另一表面朝向第三方向DR3并且一表面朝向第三方向DR3的相反方向。换言之，基板700可以处于在有机发光显示装置的制造工艺中完成密封步骤之前的步骤的状态。

基板反转装置可以是图1至图4中所述的基板反转装置。基板反转装置可以布置为使手部400朝向支撑件600及基板700。即，基板反转装置可以布置为使移送部100的上表面的长边平行于第一方向DR1，并且基板反转装置可以布置为与支撑件600沿第一方向DR1隔开。

基板反转装置包括第一手410及第二手420。如上所述，布置有第一真空垫414的第一手410的一表面和布置有第二真空垫424及支撑部件425的第二手420的一表面可以彼此对向而布置。

图7至图10是示出将基板与支撑件分离的步骤的立体图及剖面图。

参照图7，将基板与支撑件分离的步骤(S2)包括如下步骤：移送部100使翻转部200沿第一方向DR1移动；第一手410吸附基板700；以及移动手部400。

移送部100使翻转部200沿第一方向DR1移动的步骤是移送部100使布置于移送部100的上表面上的翻转部200沿第一方向DR1移动的步骤。翻转部200沿第一方向DR1移动，并且固定到翻转部200的向上/向下部300及手部400也与翻转部200一起沿第一方向DR1移动。翻转部200在移动之后的位置可以通过第一手410及第二手420与布置于支撑件600的安置区域中的标记之间的相对布置来确定。

参照图8，通过翻转部200的移动，支撑件600及基板700布置于基板反转装置的第一手410与第二手420之间。即，第一手410的一表面与基板700的一表面对向，第二手420的一表面与基板700的另一表面对向，并且第一手410的一表面、基板700及第二手420的一表面分别布置为彼此隔开。

参照图9，第一手410吸附基板700的步骤是如下的步骤：高度调节部500使移送部100沿第三方向DR3移动，使得连接到移送部100的翻转部200、向上/向下部300、第一手410及第二手420沿第三方向DR3一起移动，布置于第一手410的一表面上的第一真空垫414与基板700的一表面接触，并且第一真空垫414吸附基板700的一表面。第一手410的一表面与基板700的一表面中的非活性区域完全接触，且不与活性区域接触。据此，可以防止布置于基板700的一表面上的元件层损坏。由于布置于第一手410的一表面上的第一真空垫414吸附基板700的一表面，从而基板700可以稳定地安置于第一手410的一表面上。

参照图10，移动手部400的步骤是高度调节部500使移送部100沿第三方向DR3移动的步骤。更具体地讲，高度调节部500可以使移送部100沿第三方向DR3移动，使得连接到移送部100的翻转部200、向上/向下部300沿第三方向DR3移动，据此，可以使连接到向上/向下部300的第一手410及第二手420以及布置于第一手410的一表面上的基板700移动到支撑件600的外侧。

高度调节部500使移送部100沿第三方向DR3移动的距离可以是至少足以使布置于手部400下侧的第一手410相对于支撑件600布置于第三方向DR3的距离。由于手部400的移动，吸附于第一手410的一表面上的基板700从支撑件600分离。

图11是示出将基板移动到反转位置的步骤的立体图。

参照图11，将基板移动到反转位置的步骤(S3)是移送部100使翻转部200沿第一方向DR1的相反方向移动的步骤。翻转部200沿第一方向DR1的相反方向移动，固定到翻转部200的向上/向下部300、手部400及吸附于第一手410的一表面上的基板700也与翻转部200一起沿第一方向DR1的相反方向移动。翻转部200移动之后的位置可以与图6的翻转部200的位置相同，但不限于此。

图12及图13是示出利用第一手及第二手吸附基板的步骤的立体图及剖面图。

参照图12及图13，用第一手及第二手吸附基板的步骤(S4)是如下的步骤：向上/向下部300使第二手420沿第三方向DR3的相反方向移动，第二手420的第二真空垫424及支撑部件425与基板700的另一表面接触，第二真空垫424吸附基板700的另一表面，第一真空垫414吸附基板700的一表面。

更具体地讲，向上/向下部300可以使连接到向上/向下部300的第二手420沿第三方向DR3的相反方向移动。据此，固定到向上/向下部300的第一手410与第二手420之间的距离可以减小。向上/向下部300可以使第二手420沿第三方向DR3的相反方向移动，直到布置于第二手420的一表面上的第二真空垫424及支撑部件425与布置于第一手410上的基板700的另一表面直接接触为止。

由于元件层布置于基板700的一表面上的活性区域中，因此存在第一真空垫414应仅与除了布置有元件层的活性区域之外的非活性区域接触的限制，相反，由于基板700的另一表面与基板700的一表面不同地未布置有元件层，因此其他构成可以在没有这种限制的情况下接触于基板700的另一表面的整个区域中的任意部分。因此，如图所示，第二真空垫424可以与基板700的另一表面中的与非活性区域相对应的区域接触，支撑部件425可以与基板700的另一表面中的与活性区域相对应的区域接触，但不限于此。

当基板700的一表面与布置于第一手410上的第一真空垫414接触并且基板700的另一表面与布置于第二手420上的第二真空垫424及支撑部件425接触时，第一真空垫414可以吸附基板700的一表面，并且第二真空垫424可以吸附基板700的另一表面。第一真空垫414及第二真空垫424可以利用公知的多样的吸附垫构成。例如，第一真空垫414及第二真空垫424可以通过去除吸附对象物与真空垫之间的空气来使吸附对象物吸附于真空垫。

据此，基板700的一表面固定到第一手410的布置有第一真空垫414的一表面上，基板700的另一表面固定到第二手420的布置有第二真空垫424的一表面上。即，基板700可以布置于第一手410与第二手420之间，并可以由第一手410及第二手420夹持并被固定。据此，即使在向上/向下部300、第一手410及第二手420一起旋转以使基板700上下反转的情况下，也可以防止基板700从基板反转装置分离而损坏的问题。

图14是示出反转基板的步骤的立体图。

参照图14，反转基板的步骤(S5)是旋转基板反转装置的一部分来反转基板700的上下的步骤。更具体地讲，向上/向下部300的连接部310可以与翻转部200直接接触以将向上/向下部300固定到翻转部200的第一侧表面210上，翻转部200可以使向上/向下部300以连接部310为轴进行旋转。当向上/向下部300旋转时，连接到向上/向下部300的手部400也可以一起旋转，并且布置于手部400的第一手410与第二手420之间而被固定的基板700也可以与手部400一起旋转。即，翻转部200可以在翻转部200的第一侧表面210上使向上/向下部300、第一手410、基板700及第二手420以连接部310为轴进行旋转。向上/向下部300进行旋转的旋转轴平行于第一方向DR1。在附图中，当从第一方向DR1观察时，向上/向下部300被示出为沿逆时针方向旋转，但不限于此。例如，翻转部200也可以使向上/向下部300沿顺时针方向旋转。

旋转运动进行到旋转角度达到180°为止。据此，在进行旋转运动的构成中，朝向第三方向DR3的部分朝向第三方向DR3的相反方向，朝向第三方向DR3的相反方向的部分朝向第三方向DR3。

另一表面朝向第三方向DR3且一表面朝向第三方向DR3的相反方向的基板700在执行反转基板的步骤(S5)之后，另一表面朝向第三方向DR3的相反方向且一表面朝向第三方向DR3。即，基板反转装置可以使在显示装置的制造工艺中上下被反转而进行沉积的显示装置重新反转，使得布置有元件层的基板700的一表面朝向第三方向DR3。

虽然叙述了基板反转装置使被反转的基板700再次反转的情形，但不限于此。例如，基板反转装置不仅可以执行基板700的再反转，还可以执行基板700的反转，在若干实施例中，也可以仅在基板700的反转时利用。

图15至图17是示出拆卸基板的步骤的立体图及剖面图。

参照图15至图17，拆卸基板的步骤(S6)可以是吸附基板700的第一手410及第二手420解除吸附并且第二手420沿第一手410的相反方向移动的步骤。更具体地讲，在布置于第一手410上的第一真空垫414与基板700的一表面之间引入空气，在布置于第二手420上的第二真空垫424与基板700的另一表面之间引入空气。据此，基板700的一表面从第一手410分离，并且基板700的另一表面从第二手420分离。

向上/向下部300使第二手420沿第三方向DR3的相反方向移动。据此，第一手410与第二手420之间的距离可以增加。由于第二手420通过反转而布置于作为与重力方向相同的方向的第三方向DR3的相反方向，因此布置于第一手410与第二手420之间的基板700可以与第二手420的一表面接触，且与第一手410的一表面隔开。换言之，第一手410和第二手420彼此远离，基板700可以与第二真空垫424及支撑部件425直接接触且可以布置于第二手420的一表面上，从而基板700与第一手410之间的距离也可以增加。

在移动之后，在第三方向DR3上测量的从移送部100的上表面到第二手420的另一表面为止的距离可以大于在第三方向DR3上测量的从移送部100的上表面到支撑件600为止的距离。因此，即使在移动之后，基板700仍然可以位于比支撑件600更高的位置。

图18是示出将基板布置于支撑件的步骤的立体图。

参照图18，将基板布置于支撑件的步骤(S7)是将布置于第二手420的一表面上的基板700再次布置于支撑件600上的步骤。更具体地讲，移送部100使翻转部200沿第一方向DR1移动。据此，直接或间接连接到翻转部200的向上/向下部300、手部400及基板700也可以沿第一方向DR1一起移动。当布置于第二手420的一表面上的基板700到达支撑件600的上表面上时，可以停止沿第一方向DR1的运动。

高度调节部500可以使移送部100沿第三方向DR3的相反方向移动。据此，直接或间接连接到移送部100的翻转部200、向上/向下部300及手部400也可以沿第三方向DR3的相反方向一起移动。由于基板700的另一表面处于从第二真空垫424分离的状态，由此，基板700可以从第二手420的一表面分离，并可以安置于支撑件600的一表面。

高度调节部500仅使移送部100移动使第一手410的一表面不与基板700的一表面接触的距离程度的距离。结果，基板700与支撑件600直接接触而安置，且与第一手410及第二手420隔开而布置。换言之，沿第三方向DR3，按第二手420、支撑件600、基板700、第一手410的顺序布置。

图19及图20是示出将基板反转装置恢复原状的步骤的立体图。

参照图19，将基板反转装置恢复原状的步骤(S8)是基板反转装置回到初始状态的步骤。更具体地讲，移送部100使翻转部200沿第一方向DR1的相反方向移动。据此，直接或间接连接到翻转部200的向上/向下部300及手部400也可以沿第一方向DR1的相反方向一起移动。当翻转部200到达初始位置时，可以停止翻转部200沿第一方向DR1的相反方向的运动。在该状态下，从移送部100到第二手420的距离可以小于移送部100到第一手410的距离。

参照图20，翻转部200可以使向上/向下部300旋转。更具体地将，翻转部200可以以直接连接到翻转部200的连接部310为旋转轴使向上/向下部300沿逆时针方向旋转。据此，连接到向上/向下部300的手部400也可以与向上/向下部300一起沿逆时针方向旋转。旋转运动进行到旋转角度达到180°为止。据此，在进行旋转运动的构成中，朝向第三方向DR3的部分朝向第三方向DR3的相反方向，朝向与第三方向DR3相反的方向的部分朝向第三方向DR3。当完成旋转运动时，基板反转装置可以处于与初始状态相同的状态。即，在该状态下，从移送部100到第二手420的距离可以大于从移送部100到第一手410的距离。

以上，参照附图对本实用新型的实施例进行了说明，但只要是在本实用新型所属技术领域中具有普通知识的人员，便可以理解在不改变本实用新型的其技术思想或必要特征的情况下能够以其他具体形态实施。因此，应当理解，以上记述的实施例在所有方面均为示例性的，而不是限制性的。

Claims (10)

1.一种基板反转装置，其特征在于，包括：

手部，包括第一手及第二手；

向上/向下部，结合到所述手部以固定所述第一手并且使所述第二手沿第一方向及所述第一方向的相反方向移动；

翻转部，结合到所述向上/向下部并使所述向上/向下部旋转；

移送部，结合到所述翻转部并使所述翻转部沿第二方向及所述第二方向的相反方向进行线性移动；以及

高度调节部，结合到所述移送部并使所述移送部沿所述第一方向及所述第一方向的相反方向移动。

2.根据权利要求1所述的基板反转装置，其特征在于，

所述向上/向下部包括：连接部，与所述翻转部连接；以及主体部，与所述手部连接。

3.根据权利要求2所述的基板反转装置，其特征在于，

所述翻转部以所述连接部为旋转轴使所述向上/向下部旋转。

4.根据权利要求1所述的基板反转装置，其特征在于，

所述第一手包括：第一结合部，连接到所述向上/向下部；第一主干部，连接到所述第一结合部并沿所述第二方向延伸；以及第一分支部，从所述第一主干部的末端沿与所述第二方向交叉的第三方向及所述第三方向的相反方向延伸，

所述第二手包括：第二结合部，连接到所述向上/向下部；第二主干部，连接到所述第二结合部并沿所述第二方向延伸；以及第二分支部，从所述第二主干部的末端沿所述第三方向及所述第三方向的相反方向延伸。

5.根据权利要求4所述的基板反转装置，其特征在于，还包括：

第一真空垫，布置于所述第一分支部的一表面上；以及

第二真空垫，布置于与所述第一分支部的所述一表面对向的所述第二分支部的一表面上。

6.根据权利要求5所述的基板反转装置，其特征在于，还包括：

支撑部件，布置于与所述第一主干部对向的所述第二主干部的一表面上。

7.根据权利要求4所述的基板反转装置，其特征在于，

所述第一主干部包括：第1-1主干，布置于所述第三方向；以及第1-2主干，布置于所述第三方向的相反方向，

所述第二主干部包括：第2-1主干，布置于所述第三方向；以及第2-2主干，布置于所述第三方向的相反方向，

所述第一分支部包括：多个第1-1分支，在所述第1-1主干的侧表面上沿所述第三方向延伸；以及多个第1-2分支，在所述第1-2主干的侧表面上沿所述第三方向的相反方向延伸，

所述第二分支部包括：多个第2-1分支，在所述第2-1主干的侧表面上沿所述第三方向延伸；以及多个第2-2分支，在所述第2-2主干的侧表面上沿所述第三方向的相反方向延伸。

8.一种基板反转装置，其特征在于，包括：

移送部；

翻转部，布置于所述移送部的一表面上；

向上/向下部，布置于所述翻转部的一侧表面上，并包括连接部及主体部；

手部，连接到所述主体部并布置于所述向上/向下部的一侧；以及

高度调节部，布置于所述移送部的另一表面上，

其中，所述连接部与所述翻转部直接结合，

所述手部包括：第一手，固定到所述主体部的一侧；以及第二手，布置于所述主体部的内侧并与所述第一手沿第一方向隔开而布置。

9.根据权利要求8所述的基板反转装置，其特征在于，

所述手部与所述移送部沿所述第一方向至少部分地重叠而布置。

10.根据权利要求9所述的基板反转装置，其特征在于，

所述第一手包括：第一结合部，连接到所述向上/向下部；第一主干部，连接到所述第一结合部并沿第二方向延伸；以及第一分支部，从所述第一主干部的末端沿与所述第二方向交叉的第三方向及所述第三方向的相反方向延伸，

所述第二手包括：第二结合部，连接到所述向上/向下部；第二主干部，连接到所述第二结合部并沿所述第二方向延伸；以及第二分支部，从所述第二主干部的末端沿所述第三方向及所述第三方向的相反方向延伸。