CN219802298U - 双脉冲产生电路以及氮化稼动态测试设备 - Google Patents

Abstract

本申请实施例提供的双脉冲产生电路以及氮化稼动态测试设备，包括调整模块以及跟随器模块。其中，调整模块可调整所述第一单脉冲信号的电平幅度以及放电时间，以形成第二单脉冲信号，跟随器模块可提高所述第一单脉冲信号的稳定性。第二单脉冲信号和第一单脉冲信号可以结合形成双脉冲信号。由于双脉冲产生电路可以将单脉冲信号转变为双脉冲信号，因此仅仅需要单脉冲信号发生器以及双脉冲产生电路既可产生氮化稼动态测试指标所需的双脉冲信号，而无需高端的双脉冲信号发生器。从而可以节省氮化稼动态测试指标的成本，且不会影响氮化稼动态测试指标的准确度。

Description

双脉冲产生电路以及氮化稼动态测试设备

技术领域

本申请涉及芯片封测领域，具体涉及一种双脉冲产生电路以及氮化稼动态测试设备。

背景技术

目前，在晶体管的封装测试时，通常需要进行氮化稼动态测试，从而获取准确的晶体管数据。其中，在氮化稼动态测试指标中，需要用到双脉冲信号来测试它的一部分特性。双脉冲信号不是普通的两个脉冲信号，而是两个开通时间完全不一样的脉冲信号。

其中，双脉冲信号需要用到比较高端的信号发生器才能实现，一般普通的信号发生器无法实现。但是高端的信号发生器价格较高。一般来讲，普通实验室最多有一台或没有，不利于晶体管的封装测试。

因此，如何不采用高端的信号发生器即可产生氮化稼动态测试所需的双脉冲信号是目前亟待解决的问题。

实用新型内容

本申请实施例的目的在于解决如何提供一种双脉冲产生电路以及氮化稼动态测试设备，不采用高端的信号发生器即可产生氮化稼动态测试所需的双脉冲信号。

本申请实施例提供一种双脉冲产生电路，包括调整模块以及跟随器模块；其中，

所述调整模块接入第一单脉冲信号以及第一电源信号，所述延时模块用于调整所述第一单脉冲信号的电平幅度以及放电时间，以形成第二单脉冲信号；

所述跟随器模块用于输出稳定的所述第一单脉冲信号；其中，

所述跟随器模块输出的所述第一单脉冲信号以及所述调整模块输出的所述第二单脉冲信号结合形成双脉冲信号。

在本申请所述的双脉冲产生电路中，所述调整模块包括第一调整子模块以及第二调整子模块，所述第一调整子模块电性连接于所述第二调整子模块，所述第一调整子模块接入所述第一单脉冲信号以及所述第一电源信号，所述第一调整子模块用于调整所述第一单脉冲信号的电平幅度以及放电时间，以形成过渡脉冲信号，并将所述过渡脉冲信号输出至所述第二调整子模块；所述第二调整子模块接入所述过渡脉冲信号以及所述第一电源信号，所述第二调整子模块用于调整所述过渡脉冲信号的电平幅度以及放电时间，以形成所述第二单脉冲信号。

在本申请所述的双脉冲产生电路中，所述第一调整子模块包括第一电阻、第一二极管、第一电容、第一可调电阻、第二二极管、第二电阻、第三电阻、第二电容和第一运算放大器；其中，所述第一电阻的一端接入所述第一单脉冲信号，所述第一电阻的另一端电性连接于所述第一二极管的阳极，所述第一二极管的阴极电性连接于第一节点，所述第一电容的一端电性连接于所述第一节点，所述第一电容的另一端接地，所述第一可调电阻的一端电性连接于所述第一节点，所述第一可调电阻的另一端接地，所述第二二极管的阳极接地，所述第二二极管的阴极电性连接于所述第一节点，所述第二电阻的一端接入所述第一电源信号，所述第二电阻的另一端电性连接于第二节点，所述第三电阻的一端电性连接于所述第二节点，所述第三电阻的另一端接地，所述第二电容的一端电性连接于所述第二节点，所述第二电容的另一端接地，所述第一运算放大器的供电端接入所述第一电源信号，所述第一运算放大器的第一输入端电连接于所述第一节点，所述第一运算放大器的第二输入端电性连接于所述第二节点，所述第一运算放大器的输出端电性连接于所述第二调整子模块。

在本申请所述的双脉冲产生电路中，所述第二调整子模块包括第四电阻、第三电容、第二可调电阻、第三二极管、第五电阻、第六电阻、第四电容、第二运算放大器、第七电阻、第五电容以及第四二极管；其中，所述第四电阻的一端电性连接于所述第一运算放大器的输出端，所述第四电阻的另一端电性连接于第三节点，所述第三电容的一端电性连接于所述第三节点，所述第三电容的另一端接地，所述第二可调电阻的一端电性连接于所述第三节点，所述第二可调电阻的另一端接地，所述第三二极管的阳极接地，所述第三二极管的阴极电性连接于所述第三节点，所述第五电阻的一端接入所述第一电源信号，所述第五电阻的另一端电性连接于第四节点，所述第六电阻的一端电性连接于所述第四节点，所述第六电阻的另一端接地，所述第四电容的一端电性连接于所述第四节点，所述第四电容的另一端接地，所述第二运算放大器的供电端接入所述第一电源信号，所述第二运算放大器的第一输入端电连接于所述第三节点，所述第二运算放大器的第二输入端电性连接于所述第四节点，所述运算放大器的输出端电性连接于第五节点，所述第七电阻的一端接地，所述第七电阻的另一端电性连接于所述第五节点，所述第五电容的一端接地，所述第五电容的另一端电性连接于所述第五节点，所述第四二极管的阳极电性连接于所述第五节点，所述第四二极管的阴极电性连接于所述第二调整子模块的输出端。

在本申请所述的双脉冲产生电路中，所述跟随器模块包括第八电阻、第六电容、第九电阻、驱动器以及第五二极管；其中，所述第八电阻的一端接入所述第一单脉冲信号，所述第八电阻的另一端电性连接于第六节点，所述第六电容的一端电性连接于所述第六节点，所述第六电容的另一端接地，所述第九电阻的一端电性连接于所述第六节点，所述第九电阻的另一端接地，所述驱动器的第一输入端电性连接于所述第六节点，所述驱动器的第二输入端接地，所述驱动器的供电端接入所述第一电源信号，所述驱动器的第一输出端以及第二输出端均电性连接于所述第五二极管的阳极，所述第五二极管的阴极电性连接于所述调整模块的输出端。

在本申请所述的双脉冲产生电路中，所述双脉冲产生电路还包括稳压模块，所述稳压模块接入第二电源信号，所述稳压模块用于调节所述第二电源信号的电压，生成所述第一电源信号，并将所述第一电源信号输出至所述调整模块以及所述跟随器模块。

在本申请所述的双脉冲产生电路中，所述稳压模块包括第七电容、电压调整器、第八电容、第九电容以及第十电容；其中，所述稳压模块的第二电源信号输入端电性连接于第七节点，所述第七电容的一端电连接于所述第七节点，第七电容的另一端接地，所述电压调整器的输入端电性连接于所述第七节点，所述电压调整器的接地端接地，所述电压调整器的输出端电性连接于第八节点，所述第八电容的一端电性连接于所述第八节点，所述第八电容的另一端接地，所述第九电容的一端电性连接于所述第八节点，所述第九电容的另一端接地，所述第十电容的一端电性连接于所述第八节点，所述第十电容的另一端接地，所述稳压模块的第一电源信号输出端电性连接于所述第八节点。

在本申请所述的双脉冲产生电路中，所述双脉冲产生电路还包括指示灯模块，所述指示灯模块电性连接于所述稳压模块，所述指示灯模块用于判断所述稳压模块是否生成所述第一电源信号。

在本申请所述的双脉冲产生电路中，所述指示灯模块包括第十电阻、发光二极管以及第十一电容；其中，所述第十电阻的一端接入所述第一电源信号，所述第十电阻的另一端电性连接于所述发光二极管的阳极，所述发光二极管的阴极接地，所述第十一电容的一端电性连接于所述发光二极管的阳极，所述第十一电容的另一端电性连接于所述发光二极管的阴极。

本申请实施例还提供一种氮化稼动态测试设备，所述氮化稼动态测试设备包括如上所述的双脉冲产生电路。

在本申请实施例提供的双脉冲产生电路以及氮化稼动态测试设备中，包括调整模块以及跟随器模块。其中，调整模块可调整所述第一单脉冲信号的电平幅度以及放电时间，以形成第二单脉冲信号，跟随器模块可提高所述第一单脉冲信号的稳定性。第二单脉冲信号和第一单脉冲信号可以结合形成双脉冲信号。由于双脉冲产生电路可以将单脉冲信号转变为双脉冲信号，因此仅仅需要单脉冲信号发生器以及双脉冲产生电路既可产生氮化稼动态测试指标所需的双脉冲信号，而无需高端的双脉冲信号发生器。从而可以节省氮化稼动态测试指标的成本，且不会影响氮化稼动态测试指标的准确度。

附图说明

为了更清楚地说明本申请实施例中的技术方案，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本申请的一些实施例，对于本领域技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本申请实施例提供的双脉冲产生电路的第一结构示意图。

图2为本申请实施例提供的双脉冲产生电路的第二结构示意图。

图3为本申请实施例提供的双脉冲产生电路的第一电路示意图。

图4为本申请实施例提供的双脉冲产生电路的时序图。

图5为本申请实施例提供的双脉冲产生电路的第三结构示意图。

图6为本申请实施例提供的双脉冲产生电路的第二电路示意图。

图7为本申请实施例提供的双脉冲产生电路的第四结构示意图。

图8为本申请实施例提供的双脉冲产生电路的第三电路示意图。

图9为本申请实施例提供的氮化稼动态测试设备的结构示意图。

具体实施方式

下面将结合本申请实施例中的附图，对本申请实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述。显然，所描述的实施例仅仅是本申请一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本申请中的实施例，本领域技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本申请保护的范围。

请参阅图1，图1为本申请实施例提供的双脉冲产生电路的第一结构示意图。如图1所示，本申请实施例提供的双脉冲产生电路10包括调整模块101以及跟随器模块102。

其中，调整模块101接入第一单脉冲信号PWM1以及第一电源信号V1,调整模块101用于调整第一单脉冲信号PWM1的电平幅度以及放电时间，以形成第二单脉冲信号PWM2。跟随器模块102接入第一单脉冲信号PWM1以及第一电源信号V1。跟随器模块102用于生成稳定的第一单脉冲信号PWM1。

其中，需要说明的是，通过提高第一单脉冲信号PWM1的稳定性，可以提高驱动能力和缩短驱动回路。

其中，需要说明的是，跟随器模块102输出的第一单脉冲信号PWM1以及调整模块101输出的第二单脉冲信号PWM2可以结合形成双脉冲信号PWM3。

其中，本申请实施例提供的双脉冲产生电路10，采用调整模块101可以改变第一单脉冲信号PWM1的电平幅度以及放电时间，使之延时输出，从而形成第二单脉冲信号PWM2，而跟随器模块102可以提高第一单脉冲信号PWM1的稳定性，使第一单脉冲信号PWM1以更稳定的形态输出。由于第二单脉冲信号PWM2为延时输出的第一单脉冲信号PWM1，因此，第一单脉冲信号PWM1和第二单脉冲信号PWM2可以结合形成双脉冲信号PWM3，从而供给氮化稼动态测试指标所需。因此，本申请实施例仅需单脉冲信号发生器以及双脉冲产生电路既可产生氮化稼动态测试指标所需的双脉冲信号，而无需高端的双脉冲信号发生器，从而可以节省氮化稼动态测试指标的成本，且不会影响氮化稼动态测试指标的准确度。

请参阅图2，图2为本申请实施例提供的双脉冲产生电路的第二结构示意图。如图2所示，调整模块101包括第一调整子模块1011以及第二调整子模块1012，第一调整子模块1011电性连接于第二调整子模块1012。

其中，需要说明的是，第一调整子模块1011接入第一单脉冲信号PWM1以及第一电源信号V1。第一调整子模块1011用于调整第一单脉冲信号PWM1的电平幅度以及放电时间，以形成过渡脉冲信号PWM4，并将过渡脉冲信号PWM4输出至第二调整子模块1012。

其中，需要说明的是，第二调整子模块1012接入过渡脉冲信号PWM4以及第一电源信号V1。第二调整子模块1012用于调整过渡脉冲信号PWM4的电平幅度以及放电时间，以形成第二单脉冲信号PWM2。

其中，需要说明的是，虽然仅仅对第一单脉冲信号PWM1调整一次也可获得符合要求的第二单脉冲信号PWM2。但是在实际调试中，由于器件参数的精度和电路特性的影响，导致产生的第二单脉冲信号PWM2在大部分时候不太符合预期。因此，通过设置两个调整子模块，即第一调整子模块1011以及第二调整子模块1012可以对第一单脉冲信号PWM1进行两次调节，从而提高获取符合要求的第二单脉冲信号PWM2的稳定性。当然，也可以采用三个、四个甚至更多的调整子模块来对第一单脉冲信号PWM1进行调整，以提高获取符合要求的第二单脉冲信号PWM2的稳定性，本申请实施例对此不作具体限定。

请参阅图3，图4，图3为本申请实施例提供的双脉冲产生电路的第一电路示意图。图4为本申请提供的双脉冲产生电路的时序图。如图3所述，第一调整子模块1011包括第一电阻R1、第一二极管D1、第一电容CS1、第一可调电阻R2、第二二极管D2、第二电阻R3、第三电阻R4、第二电容CS2和第一运算放大器U1。第二调整子模块1012包括第四电阻R5、第三电容CS3、第二可调电阻R6、第三二极管D3、第五电阻R7、第六电阻R8、第四电容CS4、第二运算放大器U2、第七电阻R9、第五电容CS5以及第四二极管D4。跟随器模块102包括第八电阻R10、第六电容CS6、第九电阻R11、驱动器U3以及第五二极管D5。

其中，第一电阻R1的一端接入第一单脉冲信号PWM1，第一电阻R1的另一端电性连接于第一二极管D1的阳极，第一二极管D1的阴极电性连接于第一节点P1，第一电容CS1的一端电性连接于第一节点P1，第一电容CS1的另一端接地，第一可调电阻R2的一端电性连接于第一节点P1，第一可调电阻R2的另一端接地，第二二极管D2的阳极接地，第二二极管D2的阴极电性连接于第一节点P1，第二电阻R3的一端接入第一电源信号，第二电阻R3的另一端电性连接于第二节点P2，第三电阻R4的一端电性连接于第二节点P2，第三电阻R4的另一端接地，第二电容CS2的一端电性连接于第二节点P2，第二电容CS2的另一端接地，第一运算放大器U1的供电端接入第一电源信号V1，第一运算放大器U1的第一输入端电连接于第一节点P1，第一运算放大器U1的第二输入端电性连接于第二节点P2，第一运算放大器U1的输出端电性连接于第二调整子模块1012。

其中，第四电阻R5的一端电性连接于第一运算放大器U1的输出端，第四电阻R5的另一端电性连接于第三节点P3，第三电容CS3的一端电性连接于第三节点P3，第三电容CS3的另一端接地，第二可调电阻R6的一端电性连接于第三节点P3，第二可调电阻R6的另一端接地，第三二极管D3的阳极接地，第三二极管D3的阴极电性连接于第三节点P3，第五电阻R7的一端接入第一电源信号V1，第五电阻R7的另一端电性连接于第四节点P4，第六电阻R8的一端电性连接于第四节点P4，第六电阻R8的另一端接地，第四电容CS4的一端电性连接于第四节点P4，第四电容CS4的另一端接地，第二运算放大器U2的供电端接入第一电源信号V1，第二运算放大器U2的第一输入端电连接于第三节点P3，第二运算放大器U2的第二输入端电性连接于第四节点P4，运算放大器U2的输出端电性连接于第五节点P5，第七电阻R9的一端接地，第七电阻R9的另一端电性连接于第五节点P5，第五电容CS5的一端接地，第五电容CS5的另一端电性连接于第五节点P5，第四二极管D4的阳极电性连接于第五节点P5，第四二极管D4的阴极电性连接于第二调整子模块1012的输出端。

其中，第八电阻R10的一端接入第一单脉冲信号PWM1，第八电阻R10的另一端电性连接于第六节点P6，第六电容CS6的一端电性连接于第六节点P6，第六电容CS6的另一端接地，第九电阻R11、的一端电性连接于第六节点P6，第九电阻R11、的另一端接地，驱动器U3的第一输入端电性连接于第六节点P6，驱动器U3的第二输入端接地，驱动器U3的供电端接入第一电源信号V1，驱动器U3的第一输出端以及第二输出端均电性连接于第五二极管D5的阳极，第五二极管D5的阴极电性连接于调整模块102的输出端。

其中，需要说明的是，当第一单脉冲信号PWM1无输入时，运算放大器U1、运算放大器U2以及驱动器U3输出都为低电平。

当第一单脉冲信号PWM1有输入时，驱动器U3首先输出为高电平，同时方波进入到第一运算放大器U1，经过第一电阻R1给第一电容CS1充电，同时第一可调电阻R2分压，可调电平幅度和放电的时间。当电压超过第一运算放大器U1接入的第一电源信号V1的电压时，第一运算放大器U1输出为高电平。当第一运算放大器U1输出为高电平时，经过第四电阻R5，输入到第二运算放大器U2，同样经过第三电容CS3充电，第二可调电阻分压R6进行延时，达到第二运算放大器U2的接入的第一电源信号V1的电压门限时，第二运算放大器U2输出为高电平。

其中，当第一单脉冲信号PWM1为低时，第一运算放大器U1延时后也会为低，第二运算放大器U2也会跟随着为低，这样，就跟随着PWM形成可控的第二单脉冲信号PWM2，只是经过延时了。第二运算放大器U2输出的第二单脉冲信号PWM2和驱动器U3输出的稳定的第一单脉冲信号PWM1，经过第四二极管D4和第五二极管D5结合在一起，就形成了一前一后两个脉冲，即形成了双脉冲信号PWM3。并且，第一个脉冲到第二个脉冲的延时，和第二个脉冲的宽度，可以根据第一运算放大器U1和第二运算放大器U2的输入参数来调整。

另外，需要说明的是，为了保持第一运算放大器U1输出为高电平，所以设置了第一二极管D1。目的是为了当第一单脉冲信号PWM1为低时，第一电容CS1上的电压只能经过第一可调电阻R2来放电，从而达到第二个脉冲电平可调状态。

请参阅图5，图5为本申请实施例提供的双脉冲产生电路的第三结构示意图。如图5所示，本申请实施例提供的双脉冲产生电路10还包括稳压模块103。

其中，需要说明的是，稳压模块103接入第二电源信号V2，稳压模块103用于调节第二电源信号V2的电压，生成第一电源信号V1，并将第一电源信号V1输出至调整模块101以及跟随器模块102。

其中，第二电源信号V2的电压值为11v-13v。具体地，第二电源信号V2的电压值为11V、11.2V、11.6V、12v、12.5v或13v。第二电源信号V2的具体电压值由本申请实施例提供的双脉冲产生电路10所确定。

其中，第一电源信号V1的电压值为4V-6v。具体地，第一电源信号V1的电压值为4V、4.2V、4.6V、5v、5.5v或6v。第一电源信号V12的具体电压值由本申请实施例提供的双脉冲产生电路10所确定。

其中，需要说明的是，在现有的实验室内，一般只能提供稳定的第二电源信号V2，而本申请实施例提供的双脉冲产生电路10的其他模块需要稳定的第一电源信号V1。因此，采用本申请实施例提供的稳压模块103可以提供稳定的电源信号给双脉冲电路10的其他模块使用，从而有利于保证双脉冲产生电路10稳定工作。

请参观图6，图6为本申请实施例提供的双脉冲产生电路的第二电路示意图。如图6所示，稳压模块103包括第七电容CS7、电压调整器U4、第八电容CS8、第九电容CS9以及第十电容CS10。

其中，稳压模块103的第二电源信号输入端电性连接于第七节点P7，第七电容CS7的一端电连接于第七节点P7，第七电容CS7的另一端接地，电压调整器U4的输入端电性连接于第七节点P7，电压调整器U4的接地端接地，电压调整器U4的输出端电性连接于第八节点P8，第八电容CS8的一端电性连接于第八节点P8，第八电容CS8的另一端接地，第九电容CS9的一端电性连接于第八节点P8，第九电容CS9的另一端接地，第十电容CS10的一端电性连接于第八节点P8，第十电容CS10的另一端接地，稳压模块103的第一电源信号输出端电性连接于第八节点P8。

请参阅图7，图7为本申请实施例提供的双脉冲产生电路的第四结构示意图。如图7所示，本申请实施例提供的双脉冲产生电路10还包括指示灯模块104。

其中，指示灯模块104电性连接于稳压模块103，指示灯模块104与调整模块101以及跟随器模块102并联摄者。指示灯模块104用于判断稳压模块103是否生成第一电源信号V1。

其中，需要说明的是，当稳压模块104未生成稳定的第一电源信号V1时，指示灯模块104为不亮的状态，当稳压模块104生成稳定的第一电源信号V1时，指示灯模块104为亮的状态。因此，本申请实施例可以在指示灯模块104亮时进行工作，在在指示灯模块104灭时停止工作，从而不仅能够避免双脉冲产生电路10损坏，还能够避免生成错误的双脉冲信号PWM3。

请参阅图8，图8为本申请实施例提供的双脉冲产生电路的第三电路示意图。如图8所示，指示灯模块104包括第十电阻R12、发光二极管LED以及第十一电容CS11。

其中，第十电阻R12的一端接入第一电源信号V1，第十电阻R12的另一端电性连接于发光二极管LED的阳极，发光二极管LED的阴极接地，第十一电容CS11的一端电性连接于发光二极管LED的阳极，第十一电容CS11的另一端电性连接于发光二极管LED的阴极。

在本申请实施例提供的双脉冲产生电路中，包括调整模块以及跟随器模块。其中，调整模块可调整所述第一单脉冲信号的电平幅度以及放电时间，以形成第二单脉冲信号，跟随器模块可提高所述第一单脉冲信号的稳定性。第二单脉冲信号和第一单脉冲信号可以结合形成双脉冲信号。由于双脉冲产生电路可以将单脉冲信号转变为双脉冲信号，因此仅仅需要单脉冲信号发生器以及双脉冲产生电路既可产生氮化稼动态测试指标所需的双脉冲信号，而无需高端的双脉冲信号发生器。从而可以节省氮化稼动态测试指标的成本，且不会影响氮化稼动态测试指标的准确度。

请参阅图9，图9为本申请实施例提供的氮化稼动态测试设备的结构示意图。本申请实施例还提供一种氮化稼动态测试设备200，包括以上所述的双脉冲产生电路10，具体可参照以上对该双脉冲产生电路10的描述，在此不做赘述。

在本申请实施例提供的氮化稼动态测试设备中，包括调整模块以及跟随器模块。其中，调整模块可调整所述第一单脉冲信号的电平幅度以及放电时间，以形成第二单脉冲信号，跟随器模块可提高所述第一单脉冲信号的稳定性。第二单脉冲信号和第一单脉冲信号可以结合形成双脉冲信号。由于双脉冲产生电路可以将单脉冲信号转变为双脉冲信号，因此仅仅需要单脉冲信号发生器以及双脉冲产生电路既可产生氮化稼动态测试指标所需的双脉冲信号，而无需高端的双脉冲信号发生器。从而可以节省氮化稼动态测试指标的成本，且不会影响氮化稼动态测试指标的准确度。

以上对本申请实施例所提供的一种双脉冲产生电路以及氮化稼动态测试设备进行了详细介绍，本文中应用了具体个例对本申请的原理及实施方式进行了阐述，以上实施例的说明只是用于帮助理解本申请的方法及其核心思想；同时，对于本领域的技术人员，依据本申请的思想，在具体实施方式及应用范围上均会有改变之处，综上所述，本说明书内容不应理解为对本申请的限制。

Claims (10)

1.一种双脉冲产生电路，其特征在于，包括调整模块以及跟随器模块；其中，

所述调整模块接入第一单脉冲信号以及第一电源信号，所述调整模块用于调整所述第一单脉冲信号的电平幅度以及放电时间，以形成第二单脉冲信号；

所述跟随器模块接入所述第一单脉冲信号以及所述第一电源信号，所述跟随器模块用于输出稳定的所述第一单脉冲信号；其中，

所述跟随器模块输出的所述第一单脉冲信号以及所述调整模块输出的所述第二单脉冲信号结合形成双脉冲信号。

2.根据权利要求1所述的双脉冲产生电路，其特征在于，所述调整模块包括第一调整子模块以及第二调整子模块，所述第一调整子模块电性连接于所述第二调整子模块，所述第一调整子模块接入所述第一单脉冲信号以及所述第一电源信号，所述第一调整子模块用于调整所述第一单脉冲信号的电平幅度以及放电时间，以形成过渡脉冲信号，并将所述过渡脉冲信号输出至所述第二调整子模块；所述第二调整子模块接入所述过渡脉冲信号以及所述第一电源信号，所述第二调整子模块用于调整所述过渡脉冲信号的电平幅度以及放电时间，以形成所述第二单脉冲信号。

3.根据权利要求2所述的双脉冲产生电路，其特征在于，所述第一调整子模块包括第一电阻、第一二极管、第一电容、第一可调电阻、第二二极管、第二电阻、第三电阻、第二电容和第一运算放大器；其中，所述第一电阻的一端接入所述第一单脉冲信号，所述第一电阻的另一端电性连接于所述第一二极管的阳极，所述第一二极管的阴极电性连接于第一节点，所述第一电容的一端电性连接于所述第一节点，所述第一电容的另一端接地，所述第一可调电阻的一端电性连接于所述第一节点，所述第一可调电阻的另一端接地，所述第二二极管的阳极接地，所述第二二极管的阴极电性连接于所述第一节点，所述第二电阻的一端接入所述第一电源信号，所述第二电阻的另一端电性连接于第二节点，所述第三电阻的一端电性连接于所述第二节点，所述第三电阻的另一端接地，所述第二电容的一端电性连接于所述第二节点，所述第二电容的另一端接地，所述第一运算放大器的供电端接入所述第一电源信号，所述第一运算放大器的第一输入端电连接于所述第一节点，所述第一运算放大器的第二输入端电性连接于所述第二节点，所述第一运算放大器的输出端电性连接于所述第二调整子模块。

4.根据权利要求3所述的双脉冲产生电路，其特征在于，所述第二调整子模块包括第四电阻、第三电容、第二可调电阻、第三二极管、第五电阻、第六电阻、第四电容、第二运算放大器、第七电阻、第五电容以及第四二极管；其中，所述第四电阻的一端电性连接于所述第一运算放大器的输出端，所述第四电阻的另一端电性连接于第三节点，所述第三电容的一端电性连接于所述第三节点，所述第三电容的另一端接地，所述第二可调电阻的一端电性连接于所述第三节点，所述第二可调电阻的另一端接地，所述第三二极管的阳极接地，所述第三二极管的阴极电性连接于所述第三节点，所述第五电阻的一端接入所述第一电源信号，所述第五电阻的另一端电性连接于第四节点，所述第六电阻的一端电性连接于所述第四节点，所述第六电阻的另一端接地，所述第四电容的一端电性连接于所述第四节点，所述第四电容的另一端接地，所述第二运算放大器的供电端接入所述第一电源信号，所述第二运算放大器的第一输入端电连接于所述第三节点，所述第二运算放大器的第二输入端电性连接于所述第四节点，所述运算放大器的输出端电性连接于第五节点，所述第七电阻的一端接地，所述第七电阻的另一端电性连接于所述第五节点，所述第五电容的一端接地，所述第五电容的另一端电性连接于所述第五节点，所述第四二极管的阳极电性连接于所述第五节点，所述第四二极管的阴极电性连接于所述第二调整子模块的输出端。

5.根据权利要求1所述的双脉冲产生电路，其特征在于，所述跟随器模块包括第八电阻、第六电容、第九电阻、驱动器以及第五二极管；其中，所述第八电阻的一端接入所述第一单脉冲信号，所述第八电阻的另一端电性连接于第六节点，所述第六电容的一端电性连接于所述第六节点，所述第六电容的另一端接地，所述第九电阻的一端电性连接于所述第六节点，所述第九电阻的另一端接地，所述驱动器的第一输入端电性连接于所述第六节点，所述驱动器的第二输入端接地，所述驱动器的供电端接入所述第一电源信号，所述驱动器的第一输出端以及第二输出端均电性连接于所述第五二极管的阳极，所述第五二极管的阴极电性连接于所述调整模块的输出端。

6.根据权利要求1所述的双脉冲产生电路，其特征在于，所述双脉冲产生电路还包括稳压模块，所述稳压模块接入第二电源信号，所述稳压模块用于调节所述第二电源信号的电压，生成所述第一电源信号，并将所述第一电源信号输出至所述调整模块以及所述跟随器模块。

7.根据权利要求6所述的双脉冲产生电路，其特征在于，所述稳压模块包括第七电容、电压调整器、第八电容、第九电容以及第十电容；其中，所述稳压模块的第二电源信号输入端电性连接于第七节点，所述第七电容的一端电连接于所述第七节点，第七电容的另一端接地，所述电压调整器的输入端电性连接于所述第七节点，所述电压调整器的接地端接地，所述电压调整器的输出端电性连接于第八节点，所述第八电容的一端电性连接于所述第八节点，所述第八电容的另一端接地，所述第九电容的一端电性连接于所述第八节点，所述第九电容的另一端接地，所述第十电容的一端电性连接于所述第八节点，所述第十电容的另一端接地，所述稳压模块的第一电源信号输出端电性连接于所述第八节点。

8.根据权利要求6所述的双脉冲产生电路，其特征在于，还包括指示灯模块，所述指示灯模块电性连接于所述稳压模块，所述指示灯模块用于判断所述稳压模块是否生成所述第一电源信号。

9.根据权利要求8所述的双脉冲产生电路，其特征在于，所述指示灯模块包括第十电阻、发光二极管以及第十一电容；其中，所述第十电阻的一端接入所述第一电源信号，所述第十电阻的另一端电性连接于所述发光二极管的阳极，所述发光二极管的阴极接地，所述第十一电容的一端电性连接于所述发光二极管的阳极，所述第十一电容的另一端电性连接于所述发光二极管的阴极。

10.一种氮化稼动态测试设备，其特征在于，包括如权利要求1-9任一项所述的双脉冲产生电路。