CN219647985U - 料座表面自动涂胶机构 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开了料座表面自动涂胶机构，包括平板、涂胶机构、运输机构和检测机构，涂胶机构和运输机构均安装于平板上，检测机构安装于涂胶机构上，本实用新型设计了可进行左右移动和升降的涂料机构，以及可前后移动和转向的运输机构，可以在预设指定位置准确涂胶，提高了涂胶速度和涂胶粘接的稳定性，降低了工人的劳动强度，为自动化粘接工艺提供了技术上的支持，还对胶阀进行了设计，采用螺杆胶阀加压盘泵的组合，在同样的使用条件下节约了胶水的用量，提高了胶水混合比例的准确性，保证了粘接效果的一致性，可以更准确的控制出胶量和出胶速度。
Description
技术领域
本实用新型属于晶圆加工中的涂胶技术领域，特别提供了料座表面自动涂胶机构。
背景技术
晶圆加工过程中定向切割工序是必不可少的，定向切割工序是以垫板为媒介固定连接料座和晶体，然后以料座为基准对晶体进行切割成片。其中固定连接料座和晶体的方式是胶水粘接，粘接用的胶水为AB双组分胶水。常规是由操作工人进行手动作业，通过电子秤称量按比例混合胶水后，涂抹到垫板与料座之间、及垫板与晶体之间。由于是人工手动涂抹，胶水用量无法准确控制，胶水混合比例不能保持准确，涂抹均匀性稳定性无法保证，涂胶后垫条位置的准确性也没有保障。
实用新型内容
为解决上述问题，本实用新型提供了料座表面自动涂胶机构。
为实现上述目的，本实用新型采用的技术方案是：料座表面自动涂胶机构，包括平板、涂胶机构、运输机构和检测机构，所述涂胶机构和运输机构均安装于平板上，所述检测机构安装于涂胶机构上。
所述涂胶机构包括支腿、左右平移组件、升降组件和胶阀，所述支腿固定安装于平板上，且左右平移组件固定安装于支腿的上端，所述升降组件移动装配于左右平移组件上，且胶阀移动装配于升降组件上。
所述运输机构包括前后平移组件和料座安装机构，所述前后平移组件固定安装于平板上，且料座安装机构移动装配于前后平移组件上。
进一步地，所述胶阀内设有两个阀芯，且阀芯为精密螺杆阀，所述胶阀的下端装配有与两个精密螺杆阀联通的静态混合管，所述静态混合管的下端为出胶口。
进一步地，所述胶阀倾斜装配于升降组件上，且出胶口的最外端位于胶阀阀体外壳的外侧，所述检测机构位于出胶口最外端的上方。
进一步地，所述料座安装机构包括移动主体，且移动主体移动装配于前后平移组件上，所述移动主体的上端转动装配有旋转组件，所述旋转组件的上端固定安装有底板，所述底板的上表面中部后侧固定安装有定位板，所述底板的前端中部固定安装有后气缸，且后气缸的输出端装配有后气缸推板。
进一步地，所述底板的上表面左右对称装配有气缸，且气缸的输出端装配有气缸推板。
进一步地，所述支腿的前表面装配有排胶垃圾桶。
进一步地，所述检测机构包括工业相机，且工业相机固定安装于升降组件的前端。
使用本实用新型的有益效果是：
本实用新型设计了可进行左右移动和升降的涂料机构，以及可前后移动和转向的运输机构，可以在预设指定位置准确涂胶，提高了涂胶速度和涂胶粘接的稳定性，降低了工人的劳动强度，为自动化粘接工艺提供了技术上的支持。
还对胶阀进行了设计，采用螺杆胶阀加压盘泵的组合，在同样的使用条件下节约了胶水的用量，提高了胶水混合比例的准确性，保证了粘接效果的一致性，可以更准确的控制出胶量和出胶速度。
此外还增加了检测机构，能够在涂胶过程中或涂胶完成后，检测被涂胶面胶线的完整性，如果发现断线或其他风险可以使涂胶机构在相对应位置进行二次补涂。
附图说明
图1为本实用新型的立体图。
图2为本实用新型的主视图。
图3为本实用新型的左视图。
图4为本实用新型的俯视图。
图5为本实用新型运输机构的立体图。
图6为本实用新型运输机构的主视图。
图7为本实用新型运输机构的左视图。
图8为本实用新型运输机构的俯视图。
附图标记包括：1、平板，2、支腿，3、左右平移组件，4、升降组件，5、胶阀，6、静态混合管，7、前后平移组件，8、料座安装机构，81、移动主体，82、旋转组件，83、底板，84、定位板，85、后气缸，86、气缸，9、工业相机，10、排胶垃圾桶。
具体实施方式
下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
参照图1至图4，料座表面自动涂胶机构，包括平板1、涂胶机构、运输机构和检测机构，涂胶机构和运输机构均安装于平板1上，检测机构安装于涂胶机构上。
涂胶机构包括支腿2、左右平移组件3、升降组件4和胶阀5，支腿2固定安装于平板1上，且左右平移组件3固定安装于支腿2的上端，升降组件4移动装配于左右平移组件3上，且胶阀5移动装配于升降组件4上。
运输机构包括前后平移组件7和料座安装机构8，前后平移组件7固定安装于平板1上，且料座安装机构8移动装配于前后平移组件7上。
检测机构包括工业相机9，且工业相机9固定安装于升降组件4的前端。
在左右平移组件3和升降组件4的作用下，令胶阀5能够进行左右方向和上下方向的移动，进而便于调整胶阀5的位置。
需要涂胶的料座安装在料座安装机构8上，且料座安装机构8能够通过前后平移组件7进行前后方向的移动。
胶阀5的移动与料座安装机构8的移动，能够实现对料座在平面内任意位置任意轨迹的涂胶。
工业相机9用于检测涂胶胶线的完整性，如果发现断线或其他风险，可以传递信号后通过控制中心令涂胶机构在相对应位置进行二次补涂。
进行涂胶工作时，升降组件4带动胶阀5下降，使出胶口靠近被涂胶表面的附近，左右平移组,3和前后平移组件7配合运动，使料座相对胶阀5的出胶口发生位移，胶阀5不断出胶，胶水承线条状分布在被涂胶表面，当被涂胶表面非平面时，升降组件4也参与联动，保证涂胶线条的稳定性。
由于涂胶机构在竖直方向有升降组件4，所以可以兼容涂胶面的高度位移的变化，也可以兼容料座上表面放置垫板垫条后的二次涂胶。
具体而言，胶阀5内设有两个阀芯，且阀芯为精密螺杆阀，胶阀5的下端装配有与两个精密螺杆阀联通的静态混合管6，静态混合管6的下端为出胶口。
胶阀5的两个阀芯分别通有AB两种胶水，精密螺杆阀用于控制AB两种胶水的出胶量，通过精密螺杆阀的转子转速控制出胶速度，AB两种胶水出胶后到达静态混合管6并混合，之后即可进行涂胶。
由于静态混合管6里面的胶水是混合好的，因此有固化的风险，所以当工作节拍大于一个预设的时间时，胶阀5需要到对应工位进行自动排胶，防止混合管里面的胶水固化。
为了避免浪费胶水，当自动排胶执行预设次数后，胶阀5停止工作，避免忘记关机而将胶水排净的情况发生。
具体而言，如图1和图2所示，胶阀5倾斜装配于升降组件4上，且出胶口的最外端位于胶阀5阀体外壳的外侧，检测机构位于出胶口最外端的上方。
胶阀5倾斜且令出胶口位于外侧，可以避免对工业相机9形成遮挡，令工业相机9更有效的对涂胶胶线的完整性进行检测，此外，在对半成品进行涂胶时避免胶阀5与晶体发生碰撞，半成品为已经粘接晶体的可以继续粘接晶体的料座。
若胶阀5的阀体尺寸足够小，也可以将胶阀5进行竖直固定安装。
具体而言，如图5至图8所示，料座安装机构8包括移动主体81，且移动主体81移动装配于前后平移组件7上，移动主体81的上端转动装配有旋转组件82，旋转组件82的上端固定安装有底板83，底板83的上表面中部后侧固定安装有定位板84，底板83的前端中部固定安装有后气缸85，且后气缸85的输出端装配有后气缸推板，底板83的上表面左右对称装配有气缸86，且气缸86的输出端装配有气缸推板。
底板83用于承接料座，放置料座前，后气缸85与气缸86缩回，放置料座后，后气缸85推动料座与定位板84靠紧，左右气缸86同时作业，使料座处于居中位置，左右气缸不是过行程定位，固定料座后前后平移组件7载着料座运动到涂胶预设位置进行待机。
移动主体81内安装有电机，用于带动旋转组件82偏转，进而能够带动底板83及料座偏转，便于之后涂胶工作的顺利进行。
通过旋转组件82可实现涂胶胶线与料座轴向平行，也可以实现涂胶胶线与料座轴向成一定夹角。
具体而言，如图1和图2所示，支腿2的前表面装配有排胶垃圾桶10。
胶阀5自动排胶时，涂胶机构将出胶口带到排胶垃圾桶10上方，并将胶排在排胶垃圾桶10内。
自动排胶的方法为：
方案1：AB胶水同时排出，排出量大于等于静态混合管6的容积。
优点：可以快速进入涂胶工作状态。
缺点：等待节拍的时间较短。
方案2：排单管A胶，用A胶将静态混合管6内的胶水全部顶出。
优点：成本低，等待节拍的时间较长。
缺点：再次涂胶前需要AB同时排胶将静态混合管6内的A胶全部排出。
注：AB双组分胶水，A为催化剂，B为固化剂，催化剂成本较低，所以以A胶为主体进行排胶。
以上内容仅为本实用新型的较佳实施例，对于本领域的普通技术人员，依据本实用新型的思想，在具体实施方式及应用范围上可以作出许多变化，只要这些变化未脱离本实用新型的构思，均属于本实用新型的保护范围。
Claims (7)
1.料座表面自动涂胶机构，其特征在于：包括平板(1)、涂胶机构、运输机构和检测机构，所述涂胶机构和运输机构均安装于平板(1)上，所述检测机构安装于涂胶机构上；
所述涂胶机构包括支腿(2)、左右平移组件(3)、升降组件(4)和胶阀(5)，所述支腿(2)固定安装于平板(1)上，且左右平移组件(3)固定安装于支腿(2)的上端，所述升降组件(4)移动装配于左右平移组件(3)上，且胶阀(5)移动装配于升降组件(4)上；
所述运输机构包括前后平移组件(7)和料座安装机构(8)，所述前后平移组件(7)固定安装于平板(1)上，且料座安装机构(8)移动装配于前后平移组件(7)上。
2.根据权利要求1中所述的料座表面自动涂胶机构，其特征在于：所述胶阀(5)内设有两个阀芯，且阀芯为精密螺杆阀，所述胶阀(5)的下端装配有与两个精密螺杆阀联通的静态混合管(6)，所述静态混合管(6)的下端为出胶口。
3.根据权利要求2中所述的料座表面自动涂胶机构，其特征在于：所述胶阀(5)倾斜装配于升降组件(4)上，且出胶口的最外端位于胶阀(5)阀体外壳的外侧，所述检测机构位于出胶口最外端的上方。
4.根据权利要求1中所述的料座表面自动涂胶机构，其特征在于：所述料座安装机构(8)包括移动主体(81)，且移动主体(81)移动装配于前后平移组件(7)上，所述移动主体(81)的上端转动装配有旋转组件(82)，所述旋转组件(82)的上端固定安装有底板(83)，所述底板(83)的上表面中部后侧固定安装有定位板(84)，所述底板(83)的前端中部固定安装有后气缸(85)，且后气缸(85)的输出端装配有后气缸推板。
5.根据权利要求4中所述的料座表面自动涂胶机构，其特征在于：所述底板(83)的上表面左右对称装配有气缸(86)，且气缸(86)的输出端装配有气缸推板。
6.根据权利要求1中所述的料座表面自动涂胶机构，其特征在于：所述支腿(2)的前表面装配有排胶垃圾桶(10)。
7.根据权利要求1中所述的料座表面自动涂胶机构，其特征在于：所述检测机构包括工业相机(9)，且工业相机(9)固定安装于升降组件(4)的前端。
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| CN117066069A (zh) * | 2023-05-26 | 2023-11-17 | 丹东新东方晶体仪器有限公司 | 垫板自动涂胶工艺方法及垫板自动涂胶机 |
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