CN219280095U - 一种单晶炉冷却机构 - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及单晶炉辅助机构技术领域，尤其涉及一种单晶炉冷却机构。一种单晶炉冷却机构，包括炉体、散热部、驱动部；所述散热部包括底板、第一散热管、第二散热管、第三散热管、风扇、第一水泵、第二水泵、第二隔热板、水箱，所述底板表面设有撑杆，所述撑杆顶部设有顶板，所述第一散热管缠绕在炉体表面，所述第二散热管贯穿水箱，所述水箱与底板滑动连接，所述第三散热管两端分别连通有第一连接管、第二连接管，本实用新型通过散热部能够将冷却用水与炉体隔开，避免冷却用水同炉体一起被加热，通过三组换热结构保证对炉体的降温冷却效果，驱动部方便带动水箱靠近和远离炉体，并能带动第二隔热板移动，保证隔热效果。

Description

一种单晶炉冷却机构

技术领域

本实用新型涉及单晶炉辅助机构技术领域，尤其涉及一种单晶炉冷却机构。

背景技术

单晶炉是一种在惰性气体(氮气、氦气为主)环境中，用石墨加热器将多晶硅等多晶材料熔化，用直拉法生长无错位单晶的设备。直拉硅单晶制备过程中，单晶炉热场处于高温状态中，拉晶完成后，需将热场温度降至300℃以下确保热场部件不受氧化再进行拆炉。

经检索，现有技术中申请号为CN202220118944.9的实用新型公开了单晶炉快速冷却装置，包括炉体，所述炉体的内壁固定连接有石墨加热器，所述炉体内部的顶部固定连接有导流筒，所述炉体的底部固定连接有电机，所述电机的输出端延伸至炉体的内部并固定连接有连接架，所述连接架的顶部活动连接有坩埚，所述炉体内部的顶部固定连接有位于导流筒外部的环形排喷，所述炉体的右侧固定连接有储液箱，所述储液箱的顶部固定连接有电磁阀，所述电磁阀的进液口通过管道延伸至储液箱的内部。该实用新型通过设置储液箱，来储存液态二氧化碳，并利用电磁阀和环形排喷，来将液体二氧化碳输送进炉体内，从而对炉体的内部进行快速降温，最终提高了冷却装置的工作效率。

但是该实用新型由于用于储存液态二氧化碳的储液箱离炉体较近，在石墨加热器加热的过程中会使得液态二氧化碳的温度升高，部分液态二氧化碳会汽化，影响冷却效果。

实用新型内容

本实用新型要解决的技术问题是提供一种冷却效果好的一种单晶炉冷却机构。

本实用新型为了解决上述问题，所提出的技术方案为：一种单晶炉冷却机构，包括炉体、散热部、驱动部；所述散热部包括底板、第一散热管、第二散热管、第三散热管、风扇、第一水泵、第二水泵、第二隔热板、水箱，所述底板表面设有撑杆，所述撑杆顶部设有顶板，所述第一散热管缠绕在炉体表面，所述第二散热管贯穿水箱，所述水箱与底板滑动连接，所述第三散热管两端分别连通有第一连接管、第二连接管，所述第一连接管、第二连接管均贯穿水箱并与水箱相连通，所述第二隔热板贯穿底板并与底板滑动连接，所述驱动部包括电机、第一带轮、第二带轮、收卷辊，所述顶板表面设有第一安装座、第二安装座，所述第一带轮与第一安装座转动连接，所述第二带轮与第二安装座转动连接，所述电机的输出轴与第一带轮相连接，所述第一带轮与第二带轮之间通过设有皮带相连接，所述水箱与皮带相连接，所述第二带轮与收卷辊相连接，所述收卷辊与第二隔热板相连接。

所述第一散热管呈螺旋状，所述第一散热管、第二散热管两端均设有法兰，所述第二散热管呈U形。

所述第一散热管、水箱表面均连通有排水阀，所述第二散热管、第三散热管均连通有进水阀。

所述第一水泵与第二散热管相连通，所述第二水泵与第一连接管相连通，所述第一水泵、第二水泵均与水箱相固接。

所述第三散热管与顶板之间通过设有竖杆相连接，所述顶板表面设有第一隔热板，所述风扇位于第三散热管下方。

所述水箱与皮带之间通过设有连接件相连接，所述收卷辊与第二隔热板之间通过设有绳索相连接。

所述底板底部设有撑腿，所述水箱、第三散热管内部均设有水。

本实用新型的有益效果为：本实用新型通过散热部能够将冷却用水与炉体隔开，避免冷却用水同炉体一起被加热，通过三组换热结构保证对炉体的降温冷却效果，驱动部方便带动水箱靠近和远离炉体，并能带动第二隔热板移动，保证隔热效果。

附图说明

图1为本实用新型的结构示意图；

图2为本实用新型的正视示意图；

图3为本实用新型A处的放大示意图。

(1、炉体；2、第一隔热板；3、第三散热管；4、第一连接管；5、第二连接管；6、第一安装座；7、第一带轮；8、皮带；9、连接件；10、水箱；11、第二散热管；12、底板；13、第二隔热板；14、第一散热管；15、撑杆；16、收卷辊；17、第二安装座；18、顶板)

具体实施方式

下面将结合附图，对本实用新型的优选实施例进行详细的描述。

一种单晶炉冷却机构，包括炉体1、散热部、驱动部；所述散热部包括底板12、第一散热管14、第二散热管11、第三散热管3、风扇、第一水泵、第二水泵、第二隔热板13、水箱10，所述底板12表面设有撑杆15，所述撑杆15顶部设有顶板18，所述第一散热管14缠绕在炉体1表面，所述第二散热管11贯穿水箱10，所述水箱10与底板12滑动连接，所述第三散热管3两端分别连通有第一连接管4、第二连接管5，所述第一连接管4、第二连接管5均贯穿水箱10并与水箱10相连通，所述第二隔热板13贯穿底板12并与底板12滑动连接，第二隔热板13能够将炉体1与水箱10隔开，散热部能够将冷却用水与炉体1隔开，避免冷却用水同炉体1一起被加热，通过两组换热结构保证对炉体1的降温冷却效果，所述驱动部包括电机、第一带轮7、第二带轮、收卷辊16，所述顶板18表面设有第一安装座6、第二安装座17，所述第一带轮7与第一安装座6转动连接，所述第二带轮与第二安装座17转动连接，所述电机的输出轴与第一带轮7相连接，所述第一带轮7与第二带轮之间通过设有皮带8相连接，所述水箱10与皮带8相连接，所述第二带轮与收卷辊16相连接，所述收卷辊16与第二隔热板13相连接，驱动部方便带动水箱10靠近和远离炉体1，并能带动第二隔热板13移动，保证隔热效果。

本实用新型所述第一散热管14呈螺旋状，所述第一散热管14、第二散热管11两端均设有法兰，所述第二散热管11呈U形。

本实用新型所述第一散热管14、水箱10表面均连通有排水阀，所述第二散热管11、第三散热管3均连通有进水阀，方便注水和排水，所述第一散热管14、第三散热管3表面连通有排气阀。

本实用新型所述第一水泵与第二散热管11相连通，所述第二水泵与第一连接管4相连通，所述第一水泵、第二水泵均与水箱10相固接。

本实用新型所述第三散热管3与顶板18之间通过设有竖杆相连接，所述顶板18表面设有第一隔热板2，所述风扇位于第三散热管3下方，能够加快第三散热管3周围空气的流动速率。

本实用新型所述水箱10与皮带8之间通过设有连接件9相连接，所述收卷辊16与第二隔热板13之间通过设有绳索相连接，所述绳索收卷在收卷辊16表面。

本实用新型所述底板12底部设有撑腿，所述水箱10、第三散热管3内部均设有水，所述顶板内部设有与第一连接管4、第二连接管5相对应的通槽。

工作原理：炉体1需要降温时，如图1所示，电机带动第一带轮7顺时针在转动，第一带轮7带动皮带8转动并通过连接件9带动水箱10左移，同时，皮带8带动第二带轮顺时针转动，皮带8带动收卷辊16顺时针转动将绳索放下，第二隔热板13在重力作用下下移，水箱10继续左移直至第一散热管14的法兰与第二散热管11的法兰相抵，将第一散热管14与第二散热管11连通并向第二散热管11内注水，启动第一水泵、第二水泵、风扇，第一水泵使得第一散热管14、第二散热管11内的水在第一散热管14、第二散热管11内循环，第二水泵使得水箱10内的水在，水到达第一散热管14时与炉体1进行换热，从而对炉体1进行冷却，当水到达第二散热管11时与水箱10内的水进行换热，水箱10内的水对第二散热管11内的水进行冷却，当水箱10内的水进入到第三散热管3时，风扇加速第三散热管3周围空气的流动速率，从而使得第三散热管3内的水与空气进行换热，通过三次换热保证冷却效果。

以上对本实用新型及其实施方式进行了描述，这种描述没有限制性，附图中所示的也只是本实用新型的实施方式之一，实际的结构并不局限于此。总而言之如果本领域的普通技术人员受其启示，在不脱离本实用新型创造宗旨的情况下，不经创造性的设计出与该技术方案相似的结构方式及实施例，均应属于本实用新型的保护范围。

Claims (7)

1.一种单晶炉冷却机构，其特征在于：包括炉体(1)、散热部、驱动部；所述散热部包括底板(12)、第一散热管(14)、第二散热管(11)、第三散热管(3)、风扇、第一水泵、第二水泵、第二隔热板(13)、水箱(10)，所述底板(12)表面设有撑杆(15)，所述撑杆(15)顶部设有顶板(18)，所述第一散热管(14)缠绕在炉体(1)表面，所述第二散热管(11)贯穿水箱(10)，所述水箱(10)与底板(12)滑动连接，所述第三散热管(3)两端分别连通有第一连接管(4)、第二连接管(5)，所述第一连接管(4)、第二连接管(5)均贯穿水箱(10)并与水箱(10)相连通，所述第二隔热板(13)贯穿底板(12)并与底板(12)滑动连接，所述驱动部包括电机、第一带轮(7)、第二带轮、收卷辊(16)，所述顶板(18)表面设有第一安装座(6)、第二安装座(17)，所述第一带轮(7)与第一安装座(6)转动连接，所述第二带轮与第二安装座(17)转动连接，所述电机的输出轴与第一带轮(7)相连接，所述第一带轮(7)与第二带轮之间通过设有皮带(8)相连接，所述水箱(10)与皮带(8)相连接，所述第二带轮与收卷辊(16)相连接，所述收卷辊(16)与第二隔热板(13)相连接。

2.根据权利要求1所述的一种单晶炉冷却机构，其特征在于：所述第一散热管(14)呈螺旋状，所述第一散热管(14)、第二散热管(11)两端均设有法兰，所述第二散热管(11)呈U形。

3.根据权利要求1所述的一种单晶炉冷却机构，其特征在于：所述第一散热管(14)、水箱(10)表面均连通有排水阀，所述第二散热管(11)、第三散热管(3)均连通有进水阀。

4.根据权利要求1所述的一种单晶炉冷却机构，其特征在于：所述第一水泵与第二散热管(11)相连通，所述第二水泵与第一连接管(4)相连通，所述第一水泵、第二水泵均与水箱(10)相固接。

5.根据权利要求1所述的一种单晶炉冷却机构，其特征在于：所述第三散热管(3)与顶板(18)之间通过设有竖杆相连接，所述顶板(18)表面设有第一隔热板(2)，所述风扇位于第三散热管(3)下方。

6.根据权利要求1所述的一种单晶炉冷却机构，其特征在于：所述水箱(10)与皮带(8)之间通过设有连接件(9)相连接，所述收卷辊(16)与第二隔热板(13)之间通过设有绳索相连接。

7.根据权利要求1所述的一种单晶炉冷却机构，其特征在于：所述底板(12)底部设有撑腿，所述水箱(10)、第三散热管(3)内部均设有水。

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