CN217298083U - 单晶炉冷却设备 - Google Patents
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- 239000013078 crystal Substances 0.000 title claims abstract description 136
- 238000001816 cooling Methods 0.000 title claims abstract description 133
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 189
- 239000000498 cooling water Substances 0.000 claims abstract description 57
- 238000007789 sealing Methods 0.000 claims abstract description 15
- 238000003860 storage Methods 0.000 claims description 50
- 239000007789 gas Substances 0.000 claims description 30
- 239000011261 inert gas Substances 0.000 claims description 4
- 238000005086 pumping Methods 0.000 claims description 2
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 10
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 3
- 238000000034 method Methods 0.000 description 3
- 238000007664 blowing Methods 0.000 description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 238000000605 extraction Methods 0.000 description 2
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000004308 accommodation Effects 0.000 description 1
- QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N atomic oxygen Chemical compound [O] QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000009286 beneficial effect Effects 0.000 description 1
- 238000002425 crystallisation Methods 0.000 description 1
- 230000008025 crystallization Effects 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 230000014509 gene expression Effects 0.000 description 1
- 239000012535 impurity Substances 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 239000001301 oxygen Substances 0.000 description 1
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000002360 preparation method Methods 0.000 description 1
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 1
- 238000004804 winding Methods 0.000 description 1
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- Crystals, And After-Treatments Of Crystals (AREA)
Abstract
本实用新型公开了一种单晶炉冷却设备，包括冷却设备本体，冷却设备本***于密封箱内，密封箱的第一侧包括开口；冷却设备本体包括：冷却水管、直线滑轨和电机；冷却水管包括至少一个沿第一方向延伸的U型水管，用于循环水流通，电机用于驱动直线滑轨带动冷却水管沿第一方向移动，冷却设备本体在第一状态下，部分冷却水管位于密封箱外部用于***与冷却设备连接的单晶炉的进料口中，冷却设备在第二状态下，冷却水管位于密封箱内部；通过将部分冷却水管位于密封箱外部用于***与冷却设备连接的单晶炉的进料口中，对单晶炉进行冷却处理，有效提高冷却效率。
Description
技术领域
本实用新型涉及单晶炉冷却技术领域，更具体地，涉及一种单晶炉冷却设备。
背景技术
直拉硅单晶制备过程中，单晶炉热场处于高温状态中，拉晶完成后，需将热场温度降至300℃以下确保热场部件不受氧化再进行拆炉。但是单晶炉自然冷却的时间需要8-10小时方可进行拆炉工作，拆炉前提需要自行冷却较长时间，影响单晶炉的冷却效率。
实用新型内容
有鉴于此，本实用新型提供一种单晶炉冷却设备，通过将部分所述冷却水管位于所述密封箱外部用于***与冷却设备连接的单晶炉的进料口中，对单晶炉进行冷却处理，有效提高冷却效率。
一方面，本实用新型提供一种单晶炉冷却设备，包括冷却设备本体，所述冷却设备本***于密封箱内，所述密封箱的第一侧包括开口；
所述冷却设备本体包括：冷却水管、直线滑轨和电机；
所述冷却水管包括至少一个沿第一方向延伸的U型水管，用于循环水流通，所述冷却水管包括进水口和出水口，所述进水口和所述出水口位于所述密封箱的第二侧，所述第一侧与第二侧分别位于所述冷却设备两侧；
所述直线滑轨沿所述第一方向延伸，所述直线滑轨分别与所述冷却水管和所述电机连接，所述电机用于驱动所述直线滑轨带动所述冷却水管沿所述第一方向移动，所述冷却设备本体在第一状态下，部分所述冷却水管位于所述密封箱外部用于***与冷却设备连接的单晶炉的进料口中，所述冷却设备在第二状态下，所述冷却水管位于所述密封箱内部；
其中，所述第一方向为所述第二侧指向所述第一侧的方向。
可选的，所述冷却设备本体还包括连接件，所述连接件包括相连接的第一面和第二面；
所述第一面与所述直线滑轨垂直，且所述第一面包括进水孔和出水孔，所述冷却水管的所述进水口一侧贯穿所述进水孔，所述出水口一侧贯穿所述出水孔；
所述第二面与所述直线滑轨平行，且所述第二面与所述直线滑轨连接。
可选的，所述第一面和第二面形成一个存储空间；
所述冷却设备本体还包括蓄水箱，所述蓄水箱位于所述存储空间内，所述蓄水箱包括第一蓄水箱和第二蓄水箱，所述进水口和所述第一蓄水箱连接，所述出水口和所述第二蓄水箱连接。
可选的，所述密封箱包括沿第二方向相对设置的第一侧壁和第二侧壁；
所述冷却设备本体还包括水管定位棒、进水管和出水管，所述定位棒位于所述密封箱靠近所述第二侧，所述水管定位棒包括第一水管定位棒和第二水管定位棒；
所述第一水管定位棒的一端和所述第一侧壁固定连接，所述进水管的第一端和所述第一蓄水箱连接，且所述进水管缠绕在所述第一水管定位棒上；
所述第二水管定位棒的一端和所述第二侧壁固定连接，所述出水管的第一端和所述第二蓄水箱连接，且所述出水管缠绕在所述第二水管定位棒上；
其中，所述第一方向和所述第二方向相交。
可选的，所述第一侧壁包括第一开口，所述进水管的第二端贯穿所述第一开口并伸出所述密封箱；
所述第二侧壁包括第二开口，所述出水管贯穿所述第二开口并伸出所述密封箱。
可选的，还包括外部框架、顶板、底板和多个滚轮；
沿第三方向上，所述外部框架包括顶侧和底侧，所述底侧与所述滚轮连接；
所述顶板位于所述顶侧远离所述底侧的一侧，且与所述外部框架固定连接，所述顶板通过升降器件与所述密封箱连接；
所述底板位于所述底侧靠近所述顶侧的一侧，且与所述外部框架搭接，所述密封箱位于所述底板上；
其中，所述第一方向和所述第三方向相交，且所述第三方向和所述直线滑轨相交。
可选的，所述外部框架还包括多个限位杆；
所述顶板包括多个限位孔，所述限位杆贯穿所述限位孔与所述顶板连接。
可选的，所述底板远离所述顶板的一侧包括多个限位卡件，通过所述限位卡件与地面的限位坑卡合。
可选的，所述密封箱包括第一通气孔和第二通气孔，所述第一通气孔和所述第二通气孔分别位于所述密封箱的两侧；
所述第一通气孔用于抽出所述密封箱内的空气，所述第二通气孔用于输入与单晶炉内相同的惰性气体。
可选的，所述密封箱还包括气体通道，所述气体通道的一端与所述第二通气孔连接，所述气体通道与所述冷却水管相邻，所述冷却设备本体在第一状态下，所述气体通道的另一端位于所述密封箱外部用于***单晶炉内并输入循环气体至单晶炉内。
与现有技术相比，本实用新型提供的单晶炉冷却设备，设置直线滑轨分别与冷却水管和电机连接，通过电机驱动直线滑轨带动冷却水管沿第一方向移动，确保单晶炉冷却设备可以使得部分冷却水管位于密封箱外部，并***与冷却设备连接的单晶炉的进料口中，对单晶炉进行有效降温，可以缩短3个小时左右的停炉冷却时间，提高了单晶炉的利用率及生产效率，并且还可以在对单晶炉冷却处理后，通过电机使得冷却水管收纳于单晶炉冷却设备的密封箱内部，便于操作，易于收纳。
当然，实施本实用新型的任一产品必不特定需要同时达到以上的所有技术效果。
通过以下参照附图对本实用新型的示例性实施例的详细描述，本实用新型的其它特征及其优点将会变得清楚。
附图说明
被结合在说明书中并构成说明书的一部分的附图示出了本实用新型的实施例，并且连同其说明一起用于解释本实用新型的原理。
图1为本实用新型提供的一种单晶炉冷却设备的结构示意图；
图2为本实用新型提供的一种单晶炉冷却设备在第二状态下的主视图；
图3为图2中单晶炉冷却设备的放大图；
图4为本实用新型提供的一种单晶炉冷却设备在第一状态下的主视图；
图5为本实用新型提供的又一种单晶炉冷却设备的结构示意图；
图6为图5中W的一种结构放大图。
具体实施方式
现在将参照附图来详细描述本实用新型的各种示例性实施例。应注意到：除非另外具体说明，否则在这些实施例中阐述的部件和步骤的相对布置、数字表达式和数值不限制本实用新型的范围。
以下对至少一个示例性实施例的描述实际上仅仅是说明性的，决不作为对本实用新型及其应用或使用的任何限制。
对于相关领域普通技术人员已知的技术、方法和设备可能不作详细讨论，但在适当情况下，技术、方法和设备应当被视为说明书的一部分。
在这里示出和讨论的所有例子中，任何具体值应被解释为仅仅是示例性的，而不是作为限制。因此，示例性实施例的其它例子可以具有不同的值。
应注意到：相似的标号和字母在下面的附图中表示类似项，因此，一旦某一项在一个附图中被定义，则在随后的附图中不需要对其进行进一步讨论。
目前在拆炉前，32寸热场需8h左右，36寸热场需停炉10h左右，也即单晶炉在自然冷却的状态下需要冷却8-10小时方可进行拆炉工作，拆炉前提需要自行冷却较长时间，影响单晶炉的单位时间产能。
为了解决上述技术问题，本实用新型提出了一种单晶炉冷却设备。关于本实用新型提供的单晶炉冷却设备的实施例，下文将详述。
结合图1至图6所示，图1为本实用新型提供的一种单晶炉冷却设备的结构示意图，图2为本实用新型提供的一种单晶炉冷却设备在第二状态下的主视图，图3为图2中单晶炉冷却设备的放大图，图4为本实用新型提供的一种单晶炉冷却设备在第一状态下的主视图，图5为本实用新型提供的又一种单晶炉冷却设备的结构示意图，图6为图5中W的一种结构放大图。本实施例提供的一种单晶炉冷却设备100，包括冷却设备本体10，冷却设备本体10位于密封箱20内，密封箱20的第一侧21包括开口Q；冷却设备本体10包括：冷却水管11、直线滑轨12和电机13；冷却水管 11包括至少一个沿第一方向X延伸的U型水管111，用于循环水流通，冷却水管11包括进水口S1和出水口S2，进水口S1和出水口S2位于密封箱 20的第二侧22，第一侧21与第二侧22分别位于冷却设备两侧；直线滑轨12沿第一方向X延伸，直线滑轨12分别与冷却水管11和电机13连接，电机13用于驱动直线滑轨12带动冷却水管11沿第一方向X移动，冷却设备本体10在第一状态下，部分冷却水管11位于密封箱20外部用于***与冷却设备连接的单晶炉200的进料口中，冷却设备在第二状态下，冷却水管11位于密封箱20内部；其中，第一方向X为第二侧22指向第一侧21 的方向。
可以理解的是，本实施例提供的单晶炉冷却设备100中冷却设备本体 10沿第一方向X包括相对设置的第一侧21和第二侧22，第一侧21包括开口Q，冷却设备本体10还包括冷却水管11，用于循环水流通，冷却水管 11包括至少一个沿第一方向X延伸的U型水管111，冷却水管11包括进水口S1和出水口S2，进水口S1和出水口S2位于密封箱20的第二侧22，还包括远离进水口S1和出水口S2的封闭管道，封闭管道远离进水口S1 和出水口S2的一端与开口Q相对设置，利用电机13驱动直线滑轨12带动冷却水管11沿第一方向X向靠近单晶炉200的一侧移动，可以使得封闭管道远离进水口S1和出水口S2的一端位于密封箱20外部，并且该部分冷却水管11***与冷却设备连接的单晶炉200的进料口中，对单晶炉200进行有效的冷却降温处理，可以缩短3个小时左右的停炉冷却时间，提高了单晶炉的利用率及生产效率，并且还可以在对单晶炉冷却处理后，利用电机13驱动直线滑轨12带动冷却水管11沿第一方向X向远离单晶炉200 的一侧移动，使得冷却水管11位于密封箱20内部，也即将冷却水管11收纳于单晶炉冷却设备100的密封箱20内部，便于操作，易于收纳。同时，本实施例提供的单晶炉冷却设备100全程通过电机实现冷却水管11的伸出和缩回，自动化设计无需工作人员手动操作，更加便于操作，以及由于单晶炉200的进料口是单晶炉200本身就存在的结构，利用这个结构，将部分冷却水管11***单晶炉200的内部，对其进行降温，无需对单晶炉200 的结构进行改动，可以匹配多种型号的单晶炉。
其中，冷却水管11包括至少一个沿第一方向X延伸的U型水管111， U型水管可以采用硬性的材质水管，确保冷却水管11形状固定，避免冷却水管11发生形变，保证冷却水管可以顺利***单晶炉200的内部，对单晶炉200进行有效降温冷却处理。以及，本实用新型对U形水管的数量不做具体限定，可以根据实际情况设置。
在一些可选的实施例中，继续结合图1至图6，本实施例提供的单晶炉冷却设备100，冷却设备本体10还包括连接件14，连接件14包括相连接的第一面L1和第二面L2；第一面L1与直线滑轨12垂直，且第一面L1 包括进水孔K1和出水孔K2，冷却水管11的进水口S1一侧贯穿进水孔K1，出水口S2一侧贯穿出水孔K2；第二面L2与直线滑轨12平行，且第二面 L2与直线滑轨12连接。
可以理解的是，本实施例提供的单晶炉冷却设备100，冷却设备本体10还包括连接件14，连接件14包括相连接的第一面L1和第二面L2，第二面L2和直线滑轨12连接，第一面L1和冷却水管11连接，进而当电机 13驱动直线滑轨12沿第一方向X移动时，可以推动冷却水管11向靠近单晶炉200运动或者向远离单晶炉200运动，实现单晶炉冷却设备100全程通过电机实现冷却水管11的伸出和缩回。其中，第一面L1包括进水孔K1 和出水孔K2，冷却水管11的进水口S1一侧贯穿进水孔K1，出水口S2一侧贯穿出水孔K2，避免第一面L1影响冷却水管11内液体的循环流动。
在一些可选的实施例中，继续结合图1至图6，本实施例提供的单晶炉冷却设备100，第一面L1和第二面L2形成一个存储空间；冷却设备本体10还包括蓄水箱15，蓄水箱15位于存储空间内，蓄水箱15包括第一蓄水箱151和第二蓄水箱152，出水口S2和第一蓄水箱151连接，出水口 S2和第二蓄水箱152连接。
可以理解的是，本实施例提供的单晶炉冷却设备100，连接件14包括相连接的第一面L1和第二面L2，第一面L1和第二面L2形成一个存储空间；冷却设备本体10还包括蓄水箱15，蓄水箱15位于存储空间内，便于蓄水箱15的固定，其中，蓄水箱15包括第一蓄水箱151和第二蓄水箱152，进水口S1和第一蓄水箱151连接，出水口S2和第二蓄水箱152连接。其中，第一蓄水箱151和第二蓄水箱152可以外接水塔，当液体从水塔进入第一蓄水箱151，第一蓄水箱151蓄满液滴后向冷却水管11的进水口S1 流入，并在冷却水管11中流动，由于单晶炉冷却设备100在使用时，部分冷却水管11***单晶炉200的内部，第一蓄水箱151不断提供温度较低的液滴通入冷却水管11，冷却水管11吸收单晶炉200的热量对单晶炉200 进行冷却降温处理，并且将温度升高后的液体通过出水口S2流入第二蓄水箱152，第二蓄水箱152蓄满水后流入水塔，实现水循环，并且由于水塔中液滴容量较大，对于输入的温度升高后的液体对水塔中液体水温的影响不大，可以继续对单晶炉200进行冷却降温处理。其中，设置第一蓄水箱 151和第二蓄水箱152，可以用于预存一些液体，避免液体供应不连续的问题。
在一些可选的实施例中，继续结合图1至图6所示，本实施例提供的单晶炉冷却设备100，密封箱20包括沿第二方向Y相对设置的第一侧壁23 和第二侧壁24；冷却设备本体10还包括水管定位棒16、进水管17和出水管18，定位棒位于密封箱20靠近第二侧22，水管定位棒16包括第一水管定位棒161和第二水管定位棒162；第一水管定位棒161的一端和第一侧壁23固定连接，进水管17的第一端和第一蓄水箱151连接，且进水管17 缠绕在第一水管定位棒161上；第二水管定位棒162的一端和第二侧壁24 固定连接，出水管18的第一端和第二蓄水箱152连接，且出水管18缠绕在第二水管定位棒162上；其中，第一方向X和第二方向Y相交。
可以理解的是，本实施例提供的单晶炉冷却设备100，冷却设备本体 10还包括水管定位棒16、进水管17和出水管18，水管定位棒16包括第一水管定位棒161和第二水管定位棒162；第一水管定位棒161的一端和第一侧壁23固定连接，进水管17的第一端和第一蓄水箱151连接，且进水管17缠绕在第一水管定位棒161上，第二水管定位棒162的一端和第二侧壁24固定连接，出水管18的第一端和第二蓄水箱152连接，且出水管 18缠绕在第二水管定位棒162上。当冷却水管11***单晶炉200内部时，冷却水管11向靠近单晶炉200的一侧移动，此时会带动进水管17和出水管18从水管定位棒16脱离，保证水管的长度，而当冷却水管11收回至密封箱20的内部时，冷却水管11向远离单晶炉200的一侧移动，此时会带动进水管17和出水管18分别缠绕在第一水管定位棒161和第二水管定位棒162上，便于进水管17和出水管18收纳，避免进水管17和出水管18 在密封箱20内部互相缠绕，影响冷却水管11的水循环。以及，设置第一水管定位棒161和第二水管定位棒162分别位于密封箱200相对设置的两个侧壁上，可以进一步避免进水管17和出水管18接触导致缠绕的问题。
在一些可选的实施例中，继续结合图1至图6所示，本实施例提供的单晶炉冷却设备100，第一侧壁23包括第一开口231，进水管17的第二端贯穿第一开口231并伸出密封箱20；第二侧壁24包括第二开口241，出水管18贯穿第二开口241并伸出密封箱20。
可以理解的是，本实施例提供的单晶炉冷却设备100，密封箱20的第一侧壁23包括第一开口231，第二侧壁24包括第二开口241，进水管17 和出水管18可以分别通过第一开口231和第二开口241伸出密封箱20，确保冷却水管11的水循环。
在一些可选的实施例中，继续结合图1至图6所示，本实施例提供的单晶炉冷却设备100，还包括外部框架30、顶板40、底板50和多个滚轮 60；沿第三方向Z上，外部框架30包括顶侧和底侧，底侧与滚轮60连接；顶板40位于顶侧远离底侧的一侧，且与外部框架30固定连接，顶板40通过升降器件70与密封箱20连接；底板50位于底侧靠近顶侧的一侧，且与外部框架30搭接，密封箱20位于底板50上；其中，第一方向X和第三方向Z相交，且第三方向Z和直线滑轨12相交。
可以理解的是，本实施例提供的单晶炉冷却设备100，还包括外部框架30和多个滚轮60，将密封箱20放置在外部框架20内，以及设置外部框架30的下方和多个滚轮60连接，可以利用多个滚轮60便于推动外部框架30移动。同时，单晶炉冷却设备100还包括顶板40和底板50，顶板40 和底板50分别位于外部框架30的顶侧和底侧，底板50用于放置在外部框架30的底侧，用于承接放置密封箱20。而顶板40设置在外部框架30的顶侧，设置顶板40和密封箱20通过升降器件70连接，利用升降器件70 可以使得密封箱20沿第三方向Z向靠近或者远离顶板40的一侧移动，调节密封箱20的位置，确保冷却水管11可以与单晶炉200的进料口的位置对应，使得后续冷却水管11可以顺利***单晶炉200内部。可选的，升降器件70可以为千斤顶，但并不限制于此，其他可以带动密封箱20移动的器件也属于本实用新型的保护范围。
在一些可选的实施例中，继续结合图1至图6所示，本实施例提供的单晶炉冷却设备100，外部框架30还包括多个限位杆31；顶板40包括多个限位孔41，限位杆31贯穿限位孔41与顶板40连接。
可以理解的是，本实施例提供的单晶炉冷却设备100，顶板40包括多个限位孔41，外部框架30还包括多个限位杆31，限位杆31和限位孔41 一一对应，使得限位杆31贯穿限位孔41，可以在利用升降器件70使得密封箱20沿第三方向Z向靠近或者远离顶板40的一侧移动时，限位杆31 贯穿限位孔41互相卡合可以起到限位的作用，防止密封箱20发生晃动，保证密封箱20的稳定。
在一些可选的实施例中，继续结合图1至图6所示，本实施例提供的单晶炉冷却设备100，底板50远离顶板40的一侧包括多个限位卡件51，通过限位卡件51与地面的限位坑卡合。
可以理解的是，本实施例提供的单晶炉冷却设备100，底板50远离顶板40的一侧包括多个限位卡件51，通过限位卡件51与地面的限位坑卡合，可以在单晶炉冷却设备100移动到目标位置后，利用限位卡件51与地面的限位坑相互卡合，确保外部框架30位置的稳定性，也即确保单晶炉冷却设备100的稳定性。其中，单晶炉冷却设备100和单晶炉进料设备均对接单晶炉200的进料口，进而地面的限位坑可以复用单晶炉上料设备时的地面的限位坑，无需再次在地面打坑。
在一些可选的实施例中，继续结合图1至图6所示，本实施例提供的单晶炉冷却设备100，密封箱20包括第一通气孔25和第二通气孔26，第一通气孔25和第二通气孔26分别位于密封箱20的两侧，第一通气孔25 用于抽出密封箱20内的空气，第二通气孔26用于抽出与单晶炉200内相同的惰性气体。
可以理解的是，本实施例提供的单晶炉冷却设备100，密封箱20两侧包括第一通气孔25和第二通气孔26，第一通气孔25可以位于第一侧壁23 上，第二通气孔26可以位于第二侧壁24上，但并不限制于此，一方面，可以在单晶炉冷却设备100使用之前，利用第一通气孔25将密封箱20内的空气抽出，避免空气中的氧气等杂质影响单晶炉200对单晶的提取，同时，还可以通过第二通气孔26输入与单晶炉200内相同的惰性气体，保证密封箱20和单晶炉200的气体相同，也可以避免影响单晶炉200对单晶的提取。
在一些可选的实施例中，继续结合图1至图6所示，本实施例提供的单晶炉冷却设备100，密封箱20还包括气体通道(图中未示出)，气体通道的一端与第二通气孔26连接，气体通道与冷却水管11相邻，冷却设备本体10在第一状态下，气体通道的另一端位于密封箱20外部用于***单晶炉200内并输入循环气体至单晶炉200内。
可以理解的是，本实施例提供的单晶炉冷却设备100，密封箱20还包括与第二通气孔26连接的气体通道，气体通道与冷却水管11相邻，冷却设备本体10在第一状态下，气体通道的另一端位于密封箱20外部用于***单晶炉200内并输入循环气体至单晶炉200内，可以在水冷的同时进行气冷处理。可选的，还可以包括冷却设备(图中未示出)和储气室(图中未示出)，当气体通过第二通气孔26输入至气体通道，气体通道的另一端位于密封箱20外部用于***单晶炉200内并输入循环气体至单晶炉200 内，单晶炉200的出气口可以将用于冷却降温的气体输出，并输入至气体冷却设备和储气室，实现气体循环。
通过上述实施例可知，本实用新型提供的单晶炉冷却设备，至少实现了如下的有益效果：
与现有技术相比，本实用新型提供的单晶炉冷却设备，设置直线滑轨分别与冷却水管和电机连接，通过电机驱动直线滑轨带动冷却水管沿第一方向移动，确保单晶炉冷却设备可以使得部分冷却水管位于密封箱外部，并***与冷却设备连接的单晶炉的进料口中，对单晶炉进行有效降温，可以缩短3个小时左右的停炉冷却时间，提高了单晶炉的利用率及生产效率，并且还可以在对单晶炉冷却处理后，通过电机使得冷却水管收纳于单晶炉冷却设备的密封箱内部，便于操作，易于收纳。
虽然已经通过例子对本实用新型的一些特定实施例进行了详细说明，但是本领域的技术人员应该理解，以上例子仅是为了进行说明，而不是为了限制本实用新型的范围。本领域的技术人员应该理解，可在不脱离本实用新型的范围和精神的情况下，对以上实施例进行修改。本实用新型的范围由所附权利要求来限定。
Claims (10)
1.一种单晶炉冷却设备，其特征在于，包括冷却设备本体，所述冷却设备本***于密封箱内，所述密封箱的第一侧包括开口；
所述冷却设备本体包括：冷却水管、直线滑轨和电机；
所述冷却水管包括至少一个沿第一方向延伸的U型水管，用于循环水流通，所述冷却水管包括进水口和出水口，所述进水口和所述出水口位于所述密封箱的第二侧，所述第一侧与第二侧分别位于所述冷却设备两侧；
所述直线滑轨沿所述第一方向延伸，所述直线滑轨分别与所述冷却水管和所述电机连接，所述电机用于驱动所述直线滑轨带动所述冷却水管沿所述第一方向移动，所述冷却设备本体在第一状态下，部分所述冷却水管位于所述密封箱外部用于***与冷却设备连接的单晶炉的进料口中，所述冷却设备在第二状态下，所述冷却水管位于所述密封箱内部；
其中，所述第一方向为所述第二侧指向所述第一侧的方向。
2.根据权利要求1所述的单晶炉冷却设备，其特征在于，所述冷却设备本体还包括连接件，所述连接件包括相连接的第一面和第二面；
所述第一面与所述直线滑轨垂直，且所述第一面包括进水孔和出水孔，所述冷却水管的所述进水口一侧贯穿所述进水孔，所述出水口一侧贯穿所述出水孔；
所述第二面与所述直线滑轨平行，且所述第二面与所述直线滑轨连接。
3.根据权利要求2所述的单晶炉冷却设备，其特征在于，所述第一面和第二面形成一个存储空间；
所述冷却设备本体还包括蓄水箱，所述蓄水箱位于所述存储空间内，所述蓄水箱包括第一蓄水箱和第二蓄水箱，所述进水口和所述第一蓄水箱连接，所述出水口和所述第二蓄水箱连接。
4.根据权利要求3所述的单晶炉冷却设备，其特征在于，所述密封箱包括沿第二方向相对设置的第一侧壁和第二侧壁；
所述冷却设备本体还包括水管定位棒、进水管和出水管，所述定位棒位于所述密封箱靠近所述第二侧，所述水管定位棒包括第一水管定位棒和第二水管定位棒；
所述第一水管定位棒的一端和所述第一侧壁固定连接，所述进水管的第一端和所述第一蓄水箱连接，且所述进水管缠绕在所述第一水管定位棒上；
所述第二水管定位棒的一端和所述第二侧壁固定连接，所述出水管的第一端和所述第二蓄水箱连接，且所述出水管缠绕在所述第二水管定位棒上；
其中，所述第一方向和所述第二方向相交。
5.根据权利要求4所述的单晶炉冷却设备，其特征在于，所述第一侧壁包括第一开口，所述进水管的第二端贯穿所述第一开口并伸出所述密封箱；
所述第二侧壁包括第二开口，所述出水管贯穿所述第二开口并伸出所述密封箱。
6.根据权利要求1所述的单晶炉冷却设备，其特征在于，还包括外部框架、顶板、底板和多个滚轮；
沿第三方向上，所述外部框架包括顶侧和底侧，所述底侧与所述滚轮连接；
所述顶板位于所述顶侧远离所述底侧的一侧，且与所述外部框架固定连接，所述顶板通过升降器件与所述密封箱连接；
所述底板位于所述底侧靠近所述顶侧的一侧，且与所述外部框架搭接，所述密封箱位于所述底板上；
其中，所述第一方向和所述第三方向相交，且所述第三方向和所述直线滑轨相交。
7.根据权利要求6所述的单晶炉冷却设备，其特征在于，所述外部框架还包括多个限位杆；
所述顶板包括多个限位孔，所述限位杆贯穿所述限位孔与所述顶板连接。
8.根据权利要求6所述的单晶炉冷却设备，其特征在于，所述底板远离所述顶板的一侧包括多个限位卡件，通过所述限位卡件与地面的限位坑卡合。
9.根据权利要求1所述的单晶炉冷却设备，其特征在于，所述密封箱包括第一通气孔和第二通气孔，所述第一通气孔和所述第二通气孔分别位于所述密封箱的两侧；
所述第一通气孔用于抽出所述密封箱内的空气，所述第二通气孔用于输入与单晶炉内相同的惰性气体。
10.根据权利要求9所述的单晶炉冷却设备，其特征在于，所述密封箱还包括气体通道，所述气体通道的一端与所述第二通气孔连接，所述气体通道与所述冷却水管相邻，所述冷却设备本体在第一状态下，所述气体通道的另一端位于所述密封箱外部用于***单晶炉内并输入循环气体至单晶炉内。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN202220219974.9U CN217298083U (zh) | 2022-01-26 | 2022-01-26 | 单晶炉冷却设备 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN202220219974.9U CN217298083U (zh) | 2022-01-26 | 2022-01-26 | 单晶炉冷却设备 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN217298083U true CN217298083U (zh) | 2022-08-26 |
Family
ID=82926261
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN202220219974.9U Active CN217298083U (zh) | 2022-01-26 | 2022-01-26 | 单晶炉冷却设备 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN217298083U (zh) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN114703540A (zh) * | 2022-04-28 | 2022-07-05 | 晶科能源股份有限公司 | 单晶炉热交换设备及其应用方法 |
-
2022
- 2022-01-26 CN CN202220219974.9U patent/CN217298083U/zh active Active
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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